專利名稱：陣列基板及其制作方法、顯示裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。
背景技術：
傳統的邊緣場開關模式(Fringe Field Switching, FFS)、高級超維場轉換(Advanced super Dimension Switch, ADS)模式顯示技術中，公共電極線和柵線使用相同材料，同時沉積在TFT基板上，且公共電極線與柵線平行，同時與數據線有交疊部分，因而產生寄生電容Cd。(數據線和公共電極線之間的寄生電容)。公共電極線電壓是通過DC直流直接輸送到每個亞像素的公共電極上，由于公共電極線受到Cde的影響,容易發生畫面泛綠(greenish)問題,影響顯示效果,且在FFS或ADS模式下，面板尺寸越大，該問題越嚴重。
發明內容
(一)要解決的技術問題本發明要解決的技術問題是如何減輕或避免FFS或ADS模式的顯示面板出現畫面泛綠現象(二)技術方案為解決上述技術問題，本發明提供了一種陣列基板，包括形成在基板上的多條公共電極線、柵線、數據線以及所述柵線和數據線之間形成的若干像素單元，所述像素單元中包括像素電極、第一薄膜晶體管及公共電極，所述柵極和數據線通過第一薄膜晶體管驅動像素電極，所述公共電極線連接公共電極，所述公共電極線與所述數據線不交疊，所述公共電極線與所述柵線之間間隔有絕緣層。其中，所述公共電極線與所述數據線平行。其中，所述像素單元中設有一用于公共電極線與所述公共電極連接的第二薄膜晶體管，所述第二薄膜晶體管的柵極連接所述柵線，源漏極分別連接所述公共電極和公共電極線。其中，所述公共電極線與所述數據線位于同一層。本發明還提供了一種陣列基板制作方法，包括步驟在基板上形成包括柵線、第一柵極及柵絕緣層的圖形；形成包括第一有源層、第一源極、第一漏極、數據線、公共電極及公共電極線的圖形，使公共電極線連接所述公共電極，且與所述數據線不交疊；形成包括鈍化層、過孔及像素電極的圖形。其中，所述公共電極線與所述數據線平行。其中，在形成第一柵極的同時還形成第二柵極的圖形，在第一有源層的同時還形成第二有源層的圖形；在形成第一源極、第一漏極和數據線的同時還形成第二源極、第二漏極和公共電極線的圖形；公共電極線連接第二源極，在形成第二源極、第二漏極和公共電極線的圖形后形成公共電極的圖形，公共電極連接第二漏極。本發明還提供了一種顯示裝置，包括如上述任一項所述的陣列基板。(三)有益效果本發明的陣列基板將公共電極線和數據線設計成不交疊的形式，不會產生公共電極線和數據線的寄生電容，從而減輕了由于該寄生電容導致的畫面泛綠現象。
圖I是本發明實施例I的一種陣列基板結構示意圖；圖2是本發明實施例2的一種陣列基板結構示意圖；圖3是圖2中沿A-A線的剖面圖；圖4是制作實施例2的陣列基板時在基板上形成柵線和柵極的示意圖，其中(a)為平面示意圖，(b)為沿(a)中沿A-A向的截面圖；圖5是在圖4的基礎上形成柵絕緣層的示意圖，其中(a)為平面示意圖，(b)為沿(a)中沿A-A向的截面圖；圖6是在圖5的基礎上形成兩個薄膜晶體管的示意圖，其中(a)為平面示意圖，(b)為沿(a)中沿A-A向的截面圖；圖7是在圖6的基礎上形成公共電極的示意圖，其中(a)為平面示意圖，(b)為沿(a)中沿A-A向的截面圖。
具體實施例方式下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發明，但不用來限制本發明的范圍。實施例I如圖I所示，本實施例的陣列基板包括柵線I、數據線2、公共電極線6以及柵線I和數據線2之間形成的若干像素單元。像素單元中包括薄膜晶體管3、條狀像素電極4和公共電極5。薄膜晶體管3的柵極連接柵線1，源漏極分別連接數據線2和條狀像素電極
4。公共電極5與條狀像素電極4間隔有絕緣層(通常為鈍化層)。為了減輕由于公共電極線6和數據線2的寄生電容導致的畫面泛綠現象，本實施例中，在陣列基板上，將公共電極線6與數據線2平行設置，使公共電極線6與數據線2不產生交疊，避免了公共電極線6和數據線2形成的寄生電容。公共電極線6與公共電極5直接連接，且公共電極線6與柵線I之間間隔有柵絕緣層。本實施例中，由于公共電極線6與柵線I交疊，同樣會產生公共電極線6與柵線I的寄生電容，但是柵線通常采用逐行掃描的形式，同一時刻不是所有的柵線都有電壓，因此，畫面泛綠現象會減輕。實施例2實施例I中由于公共電極線6與柵線I會發生交疊，而產生寄生電容，為了避免該寄生電容的產生，本實施例中，在陣列基板的每個像素單元中還設置了薄膜晶體管7，如圖2和3所示，包括柵極71、有源層72、源極73及漏極74。薄膜晶體管7的柵極71連接柵線1，源極73和漏極74分別連接公共電極線6和公共電極5。
如果沒有薄膜晶體管7，亞像素(即像素單元)的公共電極5和公共電極線6是直接相連的，那么當前行的柵線I關閉，其他行柵線I在依次不斷開關的同時，由于柵線I和公共電極線6的交疊電容的存在，會影響到公共電極線6的信號穩定性，進而影響到亞像素的公共電極5的電壓；薄膜晶體管7的存在可以有效的減小該影響，當薄膜晶體管7關閉時，柵線對公共電極線6的耦合影響不會直接作用在亞像素的公共電極5上，從而減小對亞像素的公共電極5的影響。實施例3本實施例提供了一種制作陣列基板的方法，包括在基板上形成包括柵線、第一柵極及柵絕緣層的圖形；形成包括第一有源層、第一源極、第一漏極、數據線、公共電極及公共電極線的圖形，使公共電極線連接所述公共電極，且與所述數據線不交疊；形成包括鈍化層、過孔及像素電極的圖形。其中，公共電極線與所述數據線平行。對于實施例2的陣列基板，在形成第一柵極的同時還形成第二柵極的圖形，在第一有源層的同時還形成第二有源層的圖形；在形成第一源極、第一漏極和數據線的同時還形成第二源極、第二漏極和公共電極線的圖形；公共電極線連接第二源極，形成第二源極、第二漏極和公共電極線的圖形后形成公共電極的圖形，公共電極連接第二漏極。下面以制作實施例2的陣列基板為例詳細說明，其制作過程如圖Γ7所示，包括步驟一在基板上形成包括柵線I、第一柵極31、第二柵極71及柵絕緣層9的圖形。具體制作過程如圖4中(a) (b)所示，在基板8 (通常是玻璃基板)上沉積(也可以是涂敷、濺射等多種方式)柵金屬薄膜，通過構圖工藝(構圖工藝通常包括光刻膠涂敷、曝光、顯影、刻蝕、光刻膠剝離等工藝)在基板8上形成包括柵線I、第一柵極31及第二柵極71的圖形。如圖5中(a) (b)所示，形成柵線I、第一柵極31及第二柵極71的圖形后，在沉積柵絕緣薄膜以形成柵絕緣層9。步驟二 形成包括第一有源層32、第一源極33、第一漏極34、數據線2、第二有源層72、第二源極73、第二漏極74、公共電極5及公共電極線6的圖形，使公共電極線6連接公共電極5，且與數據線2不交疊。具體制作過程如圖6中(a) (b)所示。在步驟一的基板的基礎上沉積半導體薄膜，通過構圖工藝形成第一有源層32及第二有源層72。沉積源漏金屬薄膜，通過構圖工藝形成第一源極33、第一漏極34、數據線2、第二源極73、第二漏極74和公共電極線6的圖形(第一有源層32、第一源極33、第一漏極34、數據線2、第一有源層32、第二源極73、第二漏極74和公共電極線6也可采用灰調或半調掩膜板只進行一次構圖工藝形成)。第二漏極74連接公共電極線6。由于公共電極線6和數據線2在同一層形成。為了避免公共電極線6與數據線2交疊，本實施例中公共電極線6與數據線2平行。如圖7中(a) (b)所示，沉積透明導電薄膜(如ΙΤ0薄膜)，通過構圖工藝形成公共電極5的圖形，公共電極5與第二漏極74連接。其中(a)中未示出所有層級結構。步驟三如圖2和3所示，形成包括鈍化層10、過孔11 (圖3中虛線框所示)及像素電極4的圖形。其中圖2中未示出所有層級結構。具體制作過程為在步驟二的基板的基礎上沉積絕緣薄膜，通過構圖工藝在像素電極4與第一漏極34接觸的區域刻蝕過孔11，并形成鈍化層10。沉積透明導電薄膜(如ΙΤ0薄膜)，通過構圖工藝形成像素電極4的圖形。實施例4本實施例中提供了一種顯示裝置，包括實施例I或2中的陣列基板。所述顯示裝置可以為液晶面板、電子紙、液晶電視、液晶顯示器、數碼相框、手機、平板電腦等任何具有顯示功能的產品或部件。由于采用了實施例I或2中的陣列基板，本實施例的顯示裝置的泛綠現象得到了很好的改善，極大地提高了顯示效果。以上實施方式僅用于說明本發明，而并非對本發明的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本發明的范疇，本發明的專利保護范圍應由權利要求限定。
權利要求
1.一種陣列基板，包括形成在基板上的多條公共電極線、柵線、數據線以及所述柵線和數據線之間形成的若干像素單元，所述像素單元中包括像素電極、第一薄膜晶體管及公共電極，所述柵極和數據線通過第一薄膜晶體管驅動像素電極，所述公共電極線連接公共電極，其特征在于，所述公共電極線與所述數據線不交疊，所述公共電極線與所述柵線之間間隔有絕緣層。
2.如權利要求I所述的陣列基板，其特征在于，所述公共電極線與所述數據線平行。
3.如權利要求I或2所述的陣列基板，其特征在于，所述像素單元中設有一用于公共電極線與所述公共電極連接的第二薄膜晶體管，所述第二薄膜晶體管的柵極連接所述柵線，源漏極分別連接所述公共電極和公共電極線。
4.如權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述公共電極線與所述數據線位于同一層。
5.一種陣列基板制作方法，其特征在于，包括步驟 在基板上形成包括柵線、第一柵極及柵絕緣層的圖形； 形成包括第一有源層、第一源極、第一漏極、數據線、公共電極及公共電極線的圖形，使公共電極線連接所述公共電極，且與所述數據線不交疊； 形成包括鈍化層、過孔及像素電極的圖形。
6.如權利要求5所述的陣列基板制作方法，其特征在于，所述公共電極線與所述數據線平行。
7.如權利要求5所述的陣列基板制作方法，其特征在于，在形成第一柵極的同時還形成第二柵極的圖形，在形成第一有源層的同時還形成第二有源層的圖形；在形成第一源極、第一漏極和數據線的同時還形成第二源極、第二漏極和公共電極線的圖形；公共電極線連接第二源極，在形成第二源極、第二漏極和公共電極線的圖形后形成公共電極的圖形，公共電極連接第二漏極。
8.—種顯示裝置，其特征在于，包括如權利要求廣4中任一項所述的陣列基板。
全文摘要
本發明公開了一種陣列基板，涉及顯示技術領域，該陣列基板包括形成在基板上的多條公共電極線、柵線、數據線以及所述柵線和數據線之間形成的若干像素單元，所述像素單元中包括像素電極、第一薄膜晶體管及公共電極，所述柵極和數據線通過第一薄膜晶體管驅動像素電極，所述公共電極線連接公共電極，所述公共電極線與所述數據線不交疊，所述公共電極線與所述柵線之間間隔有絕緣層。本發明還公開了一種制作上述陣列基板的方法及包括上述陣列基板的顯示裝置。本發明將公共電極線和數據線設計成不交疊的形式，不會產生公共電極線和數據線的寄生電容，從而減輕了由于該寄生電容導致的畫面泛綠現象。
文檔編號G02F1/1343GK102929060SQ20121046616
公開日2013年2月13日 申請日期2012年11月16日 優先權日2012年11月16日
發明者劉家榮, 姚之曉, 林鴻濤 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術有限公司