專利名稱：光阻瓶安全防護器的制作方法
技術領域：
本發明涉及半導體制造領域，特別涉及一種光阻瓶安全防護器。
背景技術：
光阻(又名光刻膠)是集成電路行業不可或缺的原料，光阻是由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。光阻通常用于光刻工藝，具體地，光阻經光照后，在曝光區能很快地發生光固化反應，使得光阻的物理性能，特別是溶解性、親合性等發生明顯變化。經適當的溶劑處理，溶去可溶性部分，得到所需圖像。光阻主要是以液態形式存放于光阻瓶內。請參考圖1，圖I為放置有光阻的光阻瓶示意圖，其中光阻瓶包括瓶體10 ;密封所述瓶體10的密封蓋11 ;盛放光阻的瓶膽12 ;貫穿密封蓋11并與瓶體10貫通的進氣管道13，所述進氣管道13用于向瓶體10內通入氣體，給·予瓶膽12施加壓力，使得瓶膽12向光阻設備輸出光阻；貫穿密封蓋11并與瓶膽12連通通的光阻輸出管道14,所述光阻輸出管道14在外部壓力下將瓶膽12內的光阻向光阻設備輸出，且所述光阻輸出管道14深入瓶體10底部。在光刻工藝中，通常通過進氣管道13向瓶體10內通入氣體輸入氮氣或者氬氣，在氣體產生的壓力下，光阻通過光阻輸出管道14輸出，直至光阻瓶內光阻用完。光阻瓶內的光阻用完之后，通常需要更換光阻瓶或補充光阻，此時操作人員需要將密封蓋11拔出，在拔出密封蓋11的時候，光阻瓶內殘留的光阻會濺射出來，濺至操作人員皮膚表面，使得操作人員受傷。
發明內容
本發明解決的問題是提供一種光阻瓶安全防護器，避免在更換光阻瓶或補充光阻時，傷害操作人員。為解決上述問題，本發明提供一種光阻瓶安全防護器，包括配置于光阻瓶外部的遮擋部，所述遮擋部適于遮擋從光阻瓶內濺射出的光阻。可選的，所述遮擋部形狀為傘狀、弧面狀、平面狀或帽狀。可選的，8X XI2〉遮擋部面積>4X Xr2，其中I為光阻輸出管道的長度，為光阻瓶的半徑。可選的，當所述遮擋部為傘狀時，傘狀遮擋部與水平面的夾角Θ的范圍為5。< Θ <35°。可選的，所述遮擋部的材料為塑料、玻璃或耐腐蝕金屬。可選的，還包括與遮擋部連接的承接部，所述承接部用于承接光阻瓶內飛濺出的光阻以及承接遮擋部遮擋流入的光阻。可選的，所述承接部材料為塑料、玻璃或耐腐蝕金屬。可選的，所述承接部包括與所述遮擋部連接的導流壁，所述導流壁與所述遮擋部外延連接。
可選的，所述導流壁內部具有至少I條的導流槽，所述導流槽適于將所述遮擋部遮擋的光阻導流至承接部地容器中。可選的，所述承接部包括與導流壁連接的容納部，所述容納部適于容納飛濺的光阻。可選的，所述承接部內還放置有若干子容納部，所述若干子容納部獨立于所述承接部，且所述子容納部放置于所述容納部內的位置與所述導流壁的導流槽對應，從而能夠承接沿導流槽流出的光阻。與現有技術相比，本發明具有以下優點本發明在光阻瓶外部額外設置遮擋部，從而能夠避免光阻瓶飛濺的光阻傷害工作人員。進一步地，本發明采用承接部與遮擋部配合，不但能夠避免飛濺的光阻傷害工作 人員，還能夠避免光阻污染超凈間的地面，保證安全生產。進一步地，本發明在所述承接部230內還設置有若干子容納部，所述若干子容納部獨立于所述承接部，所述子容納部放置于所述容納部內的位置與所述導流壁的導流槽對應，從而能夠承接沿導流槽流出的光阻；且在后續更換時，從而只需要更換子容納部，而不需要將整個防護器廢棄，節約了成本。
圖I為放置有光阻的光阻瓶示意圖；圖2為本發明光阻瓶安全防護器的一實施例剖面示意圖；圖3為本發明光阻瓶安全防護器的一實施例俯視圖；圖4為本發明光阻瓶安全防護器的另一實施例剖面示意圖；圖5為本發明光阻瓶安全防護器的又一實施例示意圖；圖6為本發明光阻瓶安全防護器的又一實施例示意圖。
具體實施例方式由背景技術可知，光阻瓶內的光阻用完之后，通常需要更換光阻瓶或補充光阻，此時操作人員需要將密封蓋11拔出，在拔出密封蓋11的時候，由于光阻瓶內存在內部殘壓，且在拔出密封蓋的同時，需將深入瓶體10底部的所述光阻輸出管道14同時拔出，若操作人員用力不當，光阻瓶內殘留的光阻或者粘附于所述光阻輸出管道14表面的光阻極易濺射出來，濺至操作人員皮膚表面，使得操作人員受傷。為此，本發明的發明人提供一種光阻瓶安全防護器，能夠在更換光阻瓶或補充光阻時保護操作人員，提高光阻瓶更換的安全系數，保證安全生產。請參考圖2和圖3，圖2為本發明光阻瓶安全防護器的一實施例剖面示意圖，圖3為本發明光阻瓶安全防護器的一實施例俯視圖，包括配置于光阻瓶110外部的遮擋部120，所述遮擋部120適于遮擋從光阻瓶內濺射出的光阻。具體地，所述遮擋部120形狀為傘狀、弧面狀、平面狀、帽狀等，需要說明的是，所述遮擋部120的面積與所述光阻輸出管道的長度對應，其原因在于，在拔出光阻瓶密封蓋時，通常會連同配置于密封蓋內的光阻輸出管道一同拔出，此時，除了受光阻瓶內的殘壓影響導致瓶內光阻濺射出來，光阻輸出管道表面粘附的光阻在外力作用下，也會濺射，因此所述遮擋部120的面積如果太小，無法有效遮擋飛濺的光阻，而所述遮擋部120過大，則會造
成浪費。本發明的發明人對光阻瓶內的殘壓和拔出光阻密封蓋的力度大小進行了深入的研究，發現當8X 31 X12>S>4X 31 Xr2時，其中S為遮擋部120面積，I為光阻輸出管道121的長度，r為光阻瓶110的半徑，在光阻瓶內的殘壓和拔出光阻密封蓋時飛濺的光阻都能夠有效地被遮擋，所述遮擋部120遮擋效果佳。當所述遮擋部120為傘狀時，請依舊參考圖2，傘狀遮擋部120與水平面的夾角Θ的范圍為5° < Θ <35°時，遮擋部120遮擋效果佳，所述遮擋部120中間位置具有一裝配結構，所述裝配結構與光阻瓶110的密封蓋結構匹配，使得所述遮擋部能夠裝配于密封蓋上。所述遮擋部120的裝配結構與密封蓋外·部可以為螺紋結合、卡合或彈性結合，從而有效地使得所述遮擋部120裝配于密封蓋。所述遮擋部120的材料為塑料、玻璃或耐腐蝕金屬，例如為聚四氟乙烯(PTFE)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、高密度聚乙烯(HDPP)、聚氯乙烯(PVC)、通用聚苯乙烯(GPPS)JiW擊性聚苯乙烯(HIPS)、苯乙烯-丙烯腈共聚物(AS)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)、聚甲基丙烯酸酯(PMMA)、聚酰胺(PA)、聚甲醛樹脂(Ρ0Μ)。另外，發明人發現現有的光阻瓶在更換光阻瓶或補充光阻時，光阻輸出管道內的殘余光阻會滴至超凈間(Clean Room)的黃光區域地面，對工作環境造成破壞。且光阻具有污染，后續清潔麻煩。為此，本發明的發明人還提出一種光阻瓶安全防護器，不但能夠在更換光阻瓶或補充光阻時保護操作人員，提高光阻瓶更換的安全系數，而且能夠防止殘余的光阻污染地面，保證安全生產。請參考圖4，圖4為本發明光阻瓶安全防護器的另一實施例剖面示意圖，包括配置于光阻瓶210外部的遮擋部220，所述遮擋部220適于遮擋從光阻瓶內濺射出的光阻。所述遮擋部220的具體描述請參考前一實施例中遮擋部的描述，在這里不再贅述。所述光阻瓶安全防護器還包括與遮擋部220連接的承接部230，所述承接部230用于承接光阻瓶內飛濺出的光阻以及承接遮擋部220遮擋流入的光阻。具體地，所述承接部2 3 O材料為塑料、玻璃或耐腐蝕金屬，例如為聚四氟乙烯(PTFE)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、高密度聚乙烯(HDPP)、聚氯乙烯(PVC)、通用聚苯乙烯(GPPS)、耐沖擊性聚苯乙烯(HIPS)、苯乙烯-丙烯腈共聚物(AS)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)、聚甲基丙烯酸酯(PMMA)、聚酰胺(PA)、聚甲醛樹脂(Ρ0Μ)。還需要說明的是，所述承接部230與所述遮擋部220 —體成型，所述承接部230與所述遮擋部220形成一空腔，所述光阻瓶210的瓶體上部放置于所述空腔內，所述承接部230與所述光阻瓶210的瓶體總部或底部密閉連接，且所述承接部230具有容積，從而使得飛濺的光阻能夠沿所述遮擋部220流至所述承接部230內。在本發明的其他實施例中，請參考圖5，所述承接部230包括與所述遮擋部220連接的導流壁231，所述導流壁231與所述遮擋部220外延連接，且所述導流壁231內部具有至少I條的導流槽232，所述導流槽232適于將所述遮擋部220遮擋的光阻導流至承接部地容器中。所述承接部230還包括與導流壁231連接的容納部233，所述容納部233適于容納飛濺的光阻。具體地，所述承接部230還設置有排出孔，所述排出孔連接廢舊光阻處理裝置，從而能夠將飛濺的光阻直接排入安全的廢舊光阻處理裝置內。在另一實施例中，請參考圖6，所述承接部230內還設置有若干子容納部2331，所述若干子容納部2331獨立于所述承接部，即所述若干子容納部2331可以與所述承接部230分離，所述子容納部2331可以為小型的塑料杯、紙杯或玻璃杯，且所述子容納部2331的大小與所述容納部233的內部尺寸匹配，且所述子容納部2331放置于所述容納部233內的位置與所述導流壁231的導流槽232對應，從而能夠承接沿導流槽232流出的光阻，在所述子容納部2331內承接光阻后，可以直接將所述子容納部2331從所述承接部230內拿出棄置，而不需要更換所述承接部230，從而能夠節約成本。 本發明在光阻瓶外部額外設置遮擋部，從而能夠避免光阻瓶飛濺的光阻傷害工作人員。進一步地，本發明采用承接部與遮擋部配合，不但能夠避免飛濺的光阻傷害工作人員，還能夠避免光阻污染超凈間的地面，保證安全生產。本發明雖然已以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發明，任何本領域技術人員在不脫離本發明的精神和范圍內，都可以利用上述揭示的方法和技術內容對本發明技術方案做出可能的變動和修改，因此，凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發明技術方案的保護范圍。
權利要求
1.一種光阻瓶安全防護器，其特征在于，包括 配置于光阻瓶外部的遮擋部，所述遮擋部適于遮擋從光阻瓶內濺射出的光阻。
2.如權利要求I所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，所述遮擋部形狀為傘狀、弧面狀、平面狀或帽狀。
3.如權利要求I所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，8Xπ XI2〉遮擋部面積>4X Xr2，其中I為光阻輸出管道的長度，為光阻瓶的半徑。
4.如權利要求2所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，當所述遮擋部為傘狀時，傘狀遮擋部與水平面的夾角Θ的范圍為5° < Θ <35°。
5.如權利要求I所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，所述遮擋部的材料為塑料、玻璃或耐腐蝕金屬。
6.如權利要求I所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，還包括與遮擋部連接的承接部，所述承接部用于承接光阻瓶內飛濺出的光阻以及承接遮擋部遮擋流入的光阻。
7.如權利要求6所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，所述承接部材料為塑料、玻璃或耐腐蝕金屬。
8.如權利要求6所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，所述承接部包括與所述遮擋部連接的導流壁，所述導流壁與所述遮擋部外延連接。
9.如權利要求8所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，所述導流壁內部具有至少I條的導流槽，所述導流槽適于將所述遮擋部遮擋的光阻導流至承接部地容器中。
10.如權利要求8所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，所述承接部包括與導流壁連接的容納部，所述容納部適于容納飛濺的光阻。
11.如權利要求8所述光阻瓶安全防護器，其特征在于，所述承接部內還放置有若干子容納部，所述若干子容納部獨立于所述承接部，且所述子容納部放置于所述容納部內的位置與所述導流壁的導流槽對應，從而能夠承接沿導流槽流出的光阻。
全文摘要
一種光阻瓶安全防護器，包括配置于光阻瓶外部的遮擋部，所述遮擋部適于遮擋從光阻瓶內濺射出的光阻。本發明能夠有效防止光阻瓶內的光阻飛濺傷害工作人員。
文檔編號G03F7/00GK102902159SQ20121039928
公開日2013年1月30日 申請日期2012年10月18日 優先權日2012年10月18日
發明者程蒙, 韓新田, 李純陽, 傅鈺 申請人:上海宏力半導體制造有限公司