專利名稱：一種光刻機化學品接口系統及其應用的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種光刻機化學品接口，尤其涉及一種可以保證化學品更換無誤的光刻機化學品接口系統、以及使用所述接口系統進行化學品更換的方法。
背景技術：
光刻技術是集成電路制造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術；光刻工藝是集成電路制造技術最核心的工序之一。隨著集成電路制造往更小尺寸延伸，光刻技術已從常規光學技術發展到應用電子束、X射線、微離子束、激光等新技術；使用波長已從4000埃擴展到0. 1埃數量級范圍。光刻技術已經成為一種精密的微細加工技術，并逐漸成為引領整個行業走向的風向標。正因為如此，光刻相關各個環節的技術研發也是各大公司關注的重點。在半導體制造產業中，光刻工藝所用的化學品種類繁多，有光刻膠、抗反射材料、填充材料等等，每個制造公司就光刻膠而言就有二十幾種甚至更多，而這些材料包裝大同小異，只有瓶上的說明標簽可區別。在使用更換這些化學品時，因人為因素容易更換錯誤，導致時間和成本上的浪費。每個制造公司都出過這樣的事故。目前為防止此類事故的發生，防止更換錯誤的化學品，人們對硬件上進行了改進，在化學品包裝上增加了一種接口，不同的化學品接口(key code)不同，機臺端長管頂部有一內置突起圓環，而在化學品瓶上是一帶缺口的圓環，當長管插入瓶內后，內置突起和瓶上缺口吻合即化學品無誤，完成安裝。但是，此種硬件防止措施并不完善，因為當機臺端的長管插入瓶內后，發現接口對應不上，才能知曉化學品是否更換錯誤。一旦發現錯誤，瓶內的化學品污染了機臺管路配件，需要對機臺進行清潔，同時機臺端的長管內的化學液體也污染了瓶內的化學品，導致機時和化學品成本上的巨大浪費。
發明內容
針對光刻機更換化學品過程中容易出現錯誤的問題，本發明提供了一種新型的光刻機化學品接口系統、以及使用該接口系統進行化學品更換的方法，在化學品接觸前就能夠進行確認化學品是否正確，安裝和更換化學品前就有效的防止了錯誤的發生。因此，本發明的目的是提供一種光刻機化學品接口系統，包括連接化學品瓶的瓶口、和連接機臺端長管和長管頂部。具體地，本發明光刻機化學品接口系統中，所述瓶口設計為兩個上下相鄰的同心圓環，上部圓環可以繞圓心旋轉，上部圓環和下部圓環設有對齊的缺口，并且上部圓環的缺口連通下部圓環的缺口 ；所述長管頂部設有可拆下的鑰匙圓環；鑰匙圓環設有與所述同心圓環缺口相吻合的突起；所述長管頂部還包括內置突起圓環，內置突起圓環的內置突起與鑰匙圓環的突起相同。
其中，所述鑰匙圓環突起厚度最好大于上部圓環的厚度，這樣突起可以插入下部圓環的缺口內，最優選地，突起厚度等于上部圓環和下部圓環缺口的深度之和。原則上，突起的數量可以比上部圓環或下部圓環缺口數量較少，但是本發明最優選地，突起的數量可以比上部圓環或下部圓環缺口數量相同。其中，上部圓環或下部圓環缺口數量優選為3飛個。原則上，所述各突起的粗細和長度尺寸可以相同或不同，但與對應缺口的粗細和長度尺寸相同。本發明的第二個目的是提供一種使用上述光刻機化學品接口系統進行化學品瓶與機臺段長管的連接安裝方法。所述方法步驟包括將鑰匙圓環從機臺端長管頂部卸下，插入上部圓環中，鑰匙圓環的突起與上部圓環通孔相吻合，使用鑰匙圓環旋轉上部圓環，使上部圓環的通孔與下部圓環凹槽對齊，證明化學品無誤，移除鑰匙圓環，機臺端長管內置突起圓環的內置突起插入通孔和凹槽內，將長管插入化學品瓶內完成化學品瓶口與長管的對接安裝。本發明提供的光刻機化學品接口系統改進了硬件，在機臺端長管頂部增加了可拆下的稱鑰匙圓環，鑰匙圓環也帶有突起與原設計內置突起一樣；并增加了內置突起厚度。化學品瓶口設計為兩個缺口一致的圓環上部圓環、下部圓環，上部圓環可轉動。更換化學品時，將鑰匙圓環拆下插入上部圓環，當鑰匙圓環的突起和上部圓環缺口吻合，可用鑰匙圓環旋轉上部圓環，使之缺口和下部圓環缺口重合，即證明化學品無誤，移除鑰匙圓環，機臺端的長管可插入新的化學品瓶內，內置的突起通過上部圓環、下部圓環缺口可插到底，完成安裝新的化學品。該設計相當于先用一把鑰匙打開瓶子，在化學品接觸前就進行確認是否正確，安裝和更換化學品前就有效的防止了錯誤的發生。
圖1為本發明光刻機化學品接口系統鑰匙圓環結構示意圖；圖2為本發明光刻機化學品接口系統瓶口俯視結構示意圖3為本發明光刻機化學品接口系統瓶口上、下部圓環組成結構示意圖；圖4為圖3所述上、下部圓環缺口對齊結構示意圖；圖5為在瓶口使用前圖3所述上、下部圓環缺口結構示意圖；圖6為本發明光刻機化學品接口系統對接化學品瓶和長管結構示意圖。
具體實施例方式本發明提供了一種光刻機化學品接口系統，以及使用所述光刻機化學品接口系統進行光刻機與化學品瓶進行對接的方法，在機臺端長管頂部增加了可拆下的稱鑰匙圓環，鑰匙圓環也帶有突起與原設計內置突起一樣；并增加了內置突起厚度。化學品瓶口設計為兩個缺口一致的圓環(上部圓環簡稱A圓環，下部圓環簡稱B圓環)，A圓環可轉動。更換化學品時，將鑰匙圓環拆下插入A圓環，當鑰匙圓環的突起和A圓環缺口吻合，可用鑰匙圓環旋轉A圓環，使之缺口和B圓環缺口重合，即證明化學品無誤，移除鑰匙圓環，機臺端的長管可插入新的化學品瓶內，內置的突起通過A、B圓環缺口可插到底，完成安裝新的化學品。該設計相當于先用一把鑰匙打開瓶子，在化學品接觸前就進行確認是否正確，安裝和更換化學品前就有效的防止了錯誤的發生。下面參照附圖，通過具體實施例，對本發明光刻機化學品接口系統及其應用進行詳細的介紹和描述，以使更好的理解本發明，但是應當理解的是，下述實施例并不限制本發明范圍。參照圖廣圖6，本發明提供的光刻機化學品接口系統，包括連接化學品的瓶口 2，瓶口 2內設有瓶口缺口 20。瓶口 2設計為兩個上下相鄰的同心圓環上部圓環21和下部圓環22，上部圓環21可以繞圓心旋轉，上部圓環21和下部圓環22設有對齊的缺口，并且上部圓環的缺口連通下部圓環的缺口，從而組成瓶口缺口 20。本發明提供的光刻機化學品接口系統，還包括連接機臺空心管3的長管5，長管5的頂部設有可拆下的鑰匙圓1環；瓶口缺口 20與鑰匙圓環1的突起10相吻合。長管5的頂部還包括內置突起圓環4，內置突起圓環4的內置突起與鑰匙圓環1的突起10相同。突起10的高度大于上部圓環21的厚度，最好等于瓶口缺口 20的深度。瓶口缺口 20的數量共有；Γ6個，鑰匙圓環1的突起10的個數、以及內置突起圓環4的內置突起的個數與瓶口缺口 20的個數相同。各突起10的位置、長度、粗細程度可以不同，此時，相應地，各個缺口 20的深度也可以不相同，并分別對應于一個突起10。參照圖5 圖6，本發明光刻機化學品接口系統使用前，瓶口 2位于上部圓環21的上部缺口 210與和位于下部圓環22的下部缺口 220并不對齊，而是相互錯開，將鑰匙圓環1的突起10插入上部缺口 210內，當鑰匙圓環1的突起10與上部缺口 210向吻合時，第一次證明化學品無誤，轉動上部圓環21。上部圓環21旋轉，上部缺口 210與下部缺口 220對齊，組成缺口 20。移除鑰匙圓環1，機臺端的空心管3插入化學品瓶內，內置突起圓環4的內置突起通過上部缺口 210插至下部缺口 220的底部，第二次確認接口吻合，最后按照現有技術完成化學品瓶與光刻機的對接安裝的其它步驟。以上對本發明的具體實施例進行了詳細描述，但其只是作為范例，本發明并不限制于以上描述的具體實施例。對于本領域技術人員而言，任何對本發明進行的等同修改和替代也都在本發明的范疇之中。因此，在不脫離本發明的精神和范圍下所作的均等變換和修改，都應涵蓋在本發明的范圍內。
權利要求
1.一種光刻機化學品接口系統，其特征在于，包括連接化學品的瓶口，所述瓶口設計為兩個上下相鄰的同心圓環，上部圓環可以繞圓心旋轉，上部圓環和下部圓環設有對齊的缺口，并且上部圓環的缺口連通下部圓環的缺口；還包括連接機臺長管的長管頂部，所述長管頂部設有可拆下的鑰匙圓環；鑰匙圓環設有與所述同心圓環缺口相吻合的突起；所述長管頂部還包括內置突起圓環，內置突起圓環的內置突起與鑰匙圓環的突起相同。
2.根據權利要求1所述的光刻機化學品接口系統，其特征在于，所述突起高度大于上部圓環厚度。
3.根據權利要求2所述的光刻機化學品接口系統，其特征在于，所述突起高度與上部圓環和下部圓環深度之和相同。
4.根據權利要求1所述的光刻機化學品接口系統，其特征在于，所述鑰匙圓環突起與上部圓環或下部圓環缺口數量相同。
5.根據權利要求1或4所述的光刻機化學品接口系統，其特征在于，所述上部圓環或下部圓環缺口數量為3飛個。
6.根據權利要求1所述的光刻機化學品接口系統，其特征在于，所述各突起的位置、尺寸不同。
7.一種使用權利要求1所述光刻機化學品接口系統進行化學品瓶與機臺段長管的連接安裝方法，其特征在于，將鑰匙圓環從機臺端長管頂部卸下，插入上部圓環中，鑰匙圓環的突起與上部圓環通孔相吻合，使用鑰匙圓環旋轉上部圓環，使上部圓環的通孔與下部圓環凹槽對齊，證明化學品無誤，移除鑰匙圓環，機臺端長管內置突起圓環的內置突起插入通孔和凹槽內，將長管插入化學品瓶內完成化學品瓶口與長管的對接安裝。
全文摘要
本發明提供的光刻機化學品接口系統改進了硬件，在機臺端長管頂部增加了可拆下的稱鑰匙圓環，鑰匙圓環也帶有突起與原設計內置突起一樣；并增加了內置突起厚度。化學品瓶口設計為兩個缺口一致的圓環上部圓環、下部圓環，上部圓環可轉動。更換化學品時，將鑰匙圓環拆下插入上部圓環，當鑰匙圓環的突起和上部圓環環缺口吻合，可用鑰匙圓環旋轉上部圓環，使之缺口和下部圓環缺口重合；移除鑰匙圓環，機臺端的長管可插入新的化學品瓶內，完成安裝新的化學品。
文檔編號G03F7/20GK102566314SQ20121001498
公開日2012年7月11日 申請日期2012年1月18日 優先權日2012年1月18日
發明者何偉明, 朱治國 申請人:上海華力微電子有限公司