可調多激光脈沖掃描顯微鏡和操作該顯微鏡的方法

專利名稱：可調多激光脈沖掃描顯微鏡和操作該顯微鏡的方法
可調多激光脈沖掃描顯微鏡和操作該顯微鏡的方法背景技術
應用脈沖激光光束的顯微鏡在本領域是已知的，特別地是使用兩個或多個不同波 長的脈沖激光光束的共焦顯微鏡。這兩個或多個激光脈沖被臨時地空間同步化，但波長不 同。基于特定類型的顯微鏡，激光脈沖或者同時地到達待測樣本上的特定掃描點，或者不同 波長的激光脈沖之間間隔特定的時間延遲到達該特定掃描點。應用兩個不同激光脈沖的 顯微鏡比如為相干反斯托克斯拉曼散射(CARS)顯微鏡，受激拉曼散射(SRS)顯微鏡，拉曼 感應科爾效應散射(RIKES)顯微鏡，和頻振蕩(SFG)顯微鏡以及受激發射損耗(STED)顯微 鏡。應用三個不同的波長以明顯的預定義的時間延遲或相重疊地照射樣本的顯微鏡比如為 非退化反斯托克斯拉曼散射(CARS)顯微鏡。
對于這些類型的顯微鏡的不同的應用，期望的是從一個或多個不同波長的激光脈 沖中選出透射的波長。已知有使用聲光可調濾波器(AOTF)來選擇波長。將射頻應用至透 射特定波長的激光脈沖的AOTF晶體，通過改變射頻，僅有與該特定、改變的射頻相關的特 定波長的激光被晶體透射。
AOTFs的一個特性是通過AOTF的不同中心波長的激光脈沖將經歷不同的時間延 遲，即這些光以不同的速度通過A0TF。換句話說，不同波長的兩個激光脈沖具有不同的有效 折射率，因而在不同的時間離開A0TF。“離散(walk-off)”的時間量基于兩個激光光束的波 長差。對于上述的顯微鏡，兩個或多個脈沖激光光束需要以給定的時間延遲或時間重疊到 達樣本，以生成強的信號。該時間延遲可以是零或者非零，但對于每一特定應用該值都是特 定的。波長差在幾納米至幾百納米的范圍之間。調節至少一個波長會導致脈沖之間時間延 遲發生變化，因而如果所引起的時間延遲非最佳，則會導致非最佳的成像。發明內容
本發明的目的是提供可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其允許調節至少一個激光脈沖 的波長，且允許調節不同波長的兩個激光脈沖之間的特定時間延遲。該時間延遲可為零或非零。
本發明的另一目的是提供一種用于操作上述可調多激光脈沖掃描顯微鏡的方法， 從而調節至少一個激光脈沖的波長，且將兩個激光脈沖之間的時間延遲調節至一特定值。 基于特定類型的顯微鏡和應用，該時間延遲可為零或非零。
根據本發明，借由一可調多激光脈沖掃描顯微鏡來實現上述目的，其使用兩個不 同波長的脈沖激光光束以同時或以特定的時間延遲來照射待測樣本上的掃描點，該顯微鏡 包括提供第一不同波長的第一激光脈沖的第一脈沖激光光源；提供第二不同波長的第二 激光脈沖的第二脈沖激光光源；聲光可調濾波器(A0TF)，用于調節第一和第二激光脈沖中 的至少一個；在聲光可調濾波器上游的延遲臺，用于延遲第一和第二激光脈沖中的至少一 個；在聲光可調濾波器下游探測第一和第二激光脈沖之間的時間延遲的延遲探測器；致動 器，用于基于延遲探測器所探測的時間延遲來移動延遲臺。
根據用于操作本發明的顯微鏡的本發明的第一方法，該方法包括打開第一和第二脈沖激光光源；將第一和第二激光脈沖中之一的波長調節至期望的波長；使用延遲探測 器探測第一和第二激光脈沖之間的時間延遲并生成表示該時間延遲的延遲信號；處理該延 遲信號以生成用于移動延遲臺的控制信號；根據控制信號移動延遲臺；以及對樣本進行成像。
可以理解，本發明并不僅限于兩個不同波長的脈沖，還可應用于三個或更多的波 長。應用三個不同的波長以明顯的預定義的時間延遲照射樣本的顯微鏡比如為非退化相干 反斯托克斯拉曼散射(CARS)顯微鏡。為此，顯微鏡可包含兩個延遲臺和三個激光光源。這 三個激光光源并不必然需要有三個不同的激光器，也可由一個或兩個激光器結合一個或多 個將發射的激光分離成閑頻信號和信號波長的光學參量振蕩器來制造這三個激光光源。根 據本發明，用于操作包含有三個不同波長的激光脈沖的顯微鏡的方法包括打開第一和第二 脈沖激光光源并關閉第三脈沖激光光源；將第二激光脈沖的波長調節至期望的波長；使用 延遲探測器探測第一和第二激光脈沖之間的時間延遲并生成表示該時間延遲的第一延遲 信號；處理該第一延遲信號以生成用于移動第一延遲臺的第一控制信號；根據第一控制信 號移動第一延遲臺；打開第一和第三脈沖激光光源并關閉第二脈沖激光光源；將第三激光 脈沖的波長調節至期望的波長；使用延遲探測器探測第一和第三激光脈沖之間的時間延遲 并生成表示該時間延遲的第二延遲信號；處理該第二延遲信號以生成用于移動第二延遲臺 的第二控制信號；根據第二控制信號移動第二延遲臺；以及打開第一、第二和第三脈沖激 光光源以對樣本進行成像。
該方法可類推至四個或更多不同波長的激光脈沖，例如，在第一步驟中，打開激光 光源I和2、關閉激光光源3和4，隨后打開激光光源I和3、關閉激光光源2和4，此后再打 開激光光源I和4、關閉激光光源2和3。如果使用TPA探測器測量激光脈沖之間的時間延 遲，則僅需要一個TPA探測器，其可探測上述連續步驟中第一激光光源和其它激光光源之 間的各個時間延遲。在所有延遲臺的位置被設定后再進行成像，在具有4個激光光源的該 例中，是在3個延遲臺的位置被設定后再進行成像。
調節一個或多個延遲臺的位置的最簡單的方法是在監視顯微樣本的成像質量時 手動地移動該臺。然而，通過測量脈沖之間的延遲并根據可從查詢表讀取的位置來調節延 遲臺的位置，可獲得更好的性能。該表包含相關參數，例如，調節脈沖的波長，應用的顯微鏡 類型以及AOTF的特性。可選地，對一組特定的波長執行測量，對其它波長則是計算并調節 其特征延遲。
另外，延遲臺可以是機動的，且可提供控制以基于延遲探測器所探測的時間延遲 對機動的延遲臺進行控制。控制單元接收來自TPA探測器的延遲信號并生成用于移動延遲 臺的控制信號，其引起了被TPA探測器再次探測的另一時間延遲，而該時間延遲則再次使 得控制單元生成控制信號，該控制信號被傳輸至延遲臺的驅動機構，因而通過測量此時再 次調節的時間延遲引起了另一反饋，等等，因此甚至實現了閉環控制。控制單元可以是一個 簡單的CPU或商用個人電腦PC。除了 TPA探測器的其它探測器也是可用的，但TPA探測器 對超速激光應用是特別合適的，其性價比高且耐用，特別是設計作為基于LED的TPA探測 器。
通過在聲光可調濾波器下游的、且提取部分光束至延遲探測器的分束器向TPA探 測器提供激光脈沖的選出的樣本。優選地，該分束器從聲光可調濾波器的下游轉移第一和第二激光脈沖約5%的光強至延遲探測器，并允許95%的光強入射至樣本用于對其進行成像。為恰當地探測激光脈沖之間的時間延遲，提取的5%的光強量即是充足的，但提取出1% 至10%之間的任一光強量皆可行，S卩，雖然較低百分比的光強即已足夠，但同樣接受并可使用較高的光強。
第一脈沖激光光源包括第一激光器,第二脈沖激光光源包括第二激光。優選地,這些激光光源被設計為發射預啁啾激光光束。可選地，第一和第二脈沖激光光源可包括一泵浦激光，其結合一光學參量振蕩器以將泵浦激光轉換成不同波長的第一和第二激光脈沖。 鑒于僅需一臺激光器、節省了用于第二激光的成本且將失敗的風險降低至一臺激光器，因而后者特別地耐用且性價比高。
根據另一優選實施例，第一二向色裝置是在延遲臺的上游空間地分離第一和第二激光脈沖；第二二向色裝置是在延遲臺的下游再次合并第一和第二激光脈沖。根據本發明的實施例，僅由一種類型的激光脈沖，例如第一激光脈沖被AOTF透射且調節，而另一激光脈沖，例如第二激光脈沖整個繞過AOTF并在AOTF的下游與第一激光脈沖再次空間地合并。 因而，聲光可調濾波器是單通道聲光可調濾波器，第一和第二激光脈沖中僅有一個透射穿過該聲光可調濾波器。可選地，聲光可調濾波器是多通道聲光可調濾波器，第一和第二激光脈沖皆可透射穿過該聲光可調濾波器。
優選地，根據本發明的可調多激光脈沖掃描顯微鏡是共焦顯微鏡，但本發明同樣適用于其他類型的顯微鏡，例如線掃描顯微鏡。特別地對于共焦顯微鏡，優選地應用形式為相干反斯托克斯拉 曼散射(CARS)顯微鏡，受激拉曼散射(SRS)顯微鏡，拉曼感應科爾效應散射(RIKES)顯微鏡，和頻振蕩(SFG)顯微鏡以及受激發射損耗(STED)顯微鏡。


圖1示意性地示出本發明的第一實施例，其中手動地調節延遲臺。
圖2示意性地示出本發明的第二實施例，其中受控地調節延遲臺。
圖3示意性地示出本發明的第三實施例，其中受控地調節延遲臺，且僅包含一個具有兩個輸出波長的激光光源。
圖4示意性地示出本發明的第四實施例，其中手動地調節延遲臺，且僅有一個波長被AOTF透射且調節。
具體實施方式
圖1示出本發明第一實施例的基本設計。該實施例包括第一激光器I和第二激光器2。兩個激光器優選地皆為脈沖激光器，但同樣可以采用連續激光器，其合并脈沖發生器以將連續激光轉換成脈沖激光。第一激光器I發射的激光具有第一波長，第二激光器2發射的激光具有與第一波長不同的第二波長。第一激光器發射的激光的光路由附圖標記3 7]\ 出，第二激光器發射的激光的光路由附圖標記4示出。光路3和4可與A0TF8的光軸7 — 致，或可如圖1所示偏離光軸7并被平面鏡5和6反射以在進入所述AOTF之前與光軸7 — 致。在該實施例中，AOTF被設計為多通道A0TF，其透射來自第一激光器I和第二激光器2 的激光。第二激光器2發射的激光脈沖在AOTF的輸入側由附圖標記9示出，在AOTF的輸出側由附圖標記10示出，且輸入和輸出都發生在AOTF的光軸7上。
并行地，第一激光器沿光路3發出激光脈沖，被平面鏡11反射至可如箭頭13所示前后移動的延遲臺12。延遲臺12包括反射元件14，在該實施例中其包含彼此之間成90度的兩個反射表面15和16。這使得入射在表面15上的光束被反射至反射表面16，并被反射表面16反射成相反的方向，產生了橫向偏移但平行于入射至反射表面15的光束。沿著箭頭13移動延遲臺可延長或縮短第一激光器I和AOTF之間的整個光程，因而使得源自第一激光器I的激光脈沖延遲到達。如果該整個光程延長了，則激光脈沖較遲地到達A0TF，如果縮短則較早地到達。二向色裝置20合并來自延遲臺12的光路和來自平面鏡6的光路，其允許來自平面鏡6并源自激光器2的激光脈沖透過二向色裝置20，而源自第一激光器I并來自延遲臺12的激光脈沖被反射90度至光路7。
在示意性示出的實施例中，為展示延遲臺12的功能，調節延遲臺12的位置從而來自第一激光器I的激光脈沖17與源自第一激光器I的激光脈沖9同時到達A0TF8的輸入側。由于激光脈沖9和激光脈沖17的波長不同，因而以不同的速度傳播通過A0TF8，因此根據該實施例，來自第一激光器I的激光的激光脈沖18比源自第二激光器2的激光脈沖10 更早地到達AOTF的輸出側。來自第二激光器2的結果激光脈沖10和來自第一激光器I的結果激光脈沖18之間的時間延遲由Λ t示出。激光脈沖10和18都入射在樣本19上。為了生成樣本19的全像，如本領域已知的，根據典型掃描顯微鏡那樣對樣本進行掃描，例如共焦掃描顯微鏡。
基于特定的顯微鏡，例如相干反斯托克斯拉曼散射(CARS)顯微鏡、受激拉曼散射 (SRS)顯微鏡、拉曼感應科爾效應散射(RIKES)顯微鏡、和頻振蕩(SFG)顯微鏡以及受激發射損耗(STED)顯微鏡，且基于特定應用的參數，例如波長或兩個不同脈沖之間的波長差，一特定的時間差和兩個脈沖之間的Λ t產生出最佳的成像結果。基于上述因素的最佳時間差可為零或非零，但無論如何為一特定值。調節Λ t的最簡單的機構是允許沿箭頭13手動地移動延遲臺12的機構，例如采用可旋轉的調節旋鈕，其基于旋轉調節旋鈕驅動移動延遲臺 12的傳動裝置。在調節延遲臺12的位置時，通過觀察成像可獲得延遲臺12的最佳位置。 可選地，使用獨立的外部探測器測量延遲At，并從基于特定應用參數的表中讀取延遲臺的最佳位置。隨后可手動地調節延遲臺，將其位置調節至從查詢表中讀出的位置。可選地，以開環控制的方式使用動力致動器進行調節。
附圖2展示了對延遲臺12的調節進行改進的實施例。除附圖1示出的實施例以外，附圖2中的實施例還包含延遲探測器21。在該特殊實施例中，延遲探測器21設計為基于 LED的雙光子吸收探測器，通常縮寫為TPA。也可以使用其它類型的探測器，但TPA探測器具有簡單、便宜的優點且可使用用于超快激光應用的耐用且性價比高的自相關器的結構。TPA 探測器可探測激光脈沖10和18之間的延遲Λ t，生成表示延遲Λ t的信號，并通過延遲信 號線23將該信號發送至控制單元22。控制單元22可以是能夠處理通過延遲信號線23輸入的延遲信號、且通過控制信號線24輸出控制信號的任何控制單元。延遲臺12可以是機動的，例如使用結合有適當傳動機構的步進馬達來移動延遲臺，這里由嚙合齒條26的齒輪 25示出。其他合適的驅動機構可包括蝸輪。
通過具有5%的反射率和95%的透射率，通常稱為95% (T) -5% (R)的分束器27將樣本激光脈沖傳輸至TPA探測器，其在A0TF8的下游將激光脈沖10和18光強的5%轉移至 TPA探測器21。TPA探測器僅探測脈沖10和18之間的時間延遲Λ t，因此僅需相對較低的光強。附圖2示出的實施例允許閉環控制且可微調作為反饋至閉環控制環的控制變量的延遲Λ t。控制單元22可為簡單的中央處理單元CPU，或商用個人電腦PC，其被配置為執行期望的控制步驟。為了進行控制，可在PC中預存儲校準表，以查詢相應于波長和可調激光光源的延遲臺的最佳位置。通常，對于AOTF的特定模型僅需實施一次校準程序并構成AOTF 晶體的群延遲(group delay)特性。如果群延遲特性是已知的，則該步驟完全可以避免，不需執行校準程序即可在校準表中存儲適當的數據。
附圖3示出附圖2所示出的實施例的變型，設法僅使用一個激光器I。激光器I發射的激光被光學參量振蕩器36分離成兩個不同波長的激光脈沖,光學參量振蕩器36將發射的激光分離成具有“閑頻”波長的激光和具有“信號”波長的激光。使用二向色裝置28將這兩個不同波長的激光脈沖空間地分離。平面鏡29、30和31將相應于“信號”波長的脈沖組引導至將空間分離的脈沖再次合并的二向色裝置32，同時在再合并二向色裝置32的上游，平面鏡33將對應于閑頻波長的另外的脈沖組引導至延遲臺12，隨后上述二向色裝置32 將其再次合并。布置另外的平面鏡34和35將這兩個激光脈沖沿相同的光路弓I導至A0TF8。 其他元件與附圖2中示出的實施例相同，包括分束器27、TPA探測器21、延遲線23、控制單元22和控制信號線24。為保持抽樣，附圖3中省略了驅動激動延遲臺12的驅動機構元件， 可以理解其與附圖2中示出的實施例相同。
附圖4示出上述實施例的另一變型，為簡化示出了附圖1的實施例的變型。然而可以理解，包含有結合控制的機動延遲臺12的附圖2和3的實施例可應用同樣的變型。在附圖4示出的實施例中，第一激光器I產生的激光脈沖沿與附圖1的實施例完全相同的光路經過延遲臺12進入A0TF8。而第二激光器產生的激光脈沖并未被引導穿過A0TF8，而是在A0TF8的下游與源自第一激光器I的未調節脈沖、且當時已被A0TF8調節的調節輸出脈沖再次合并。這種情況下，使用平面鏡37和二向色裝置38完成再合并，其中后者在A0TF8 的下游將激光脈沖10和18再次合并。該實施例中，其中僅調節一個波長，即源自第一激光器I的激光脈沖，由于僅需知道A0TF8的參數比如基于特定應用和基于波長的激光傳播通 SAOTFS的速度，可基于調節的激光脈沖的波長預存儲延遲臺的位置，因而可特別容易地實施控制。這種情況下，甚至無需閉環反饋控制，由于用于確定最佳延遲的所有參數都是已知的，因而簡單的開環控制 即已足夠。
附圖標記列表
I第一激光器
2第二激光器
3第一激光的光路
4第二激光的光路
5平面鏡
6平面鏡
7光軸
8AOTF
9在AOTF輸入側的激光脈沖
10在AOTF輸出側的激光脈沖
11平面鏡
12延遲臺
13箭頭
14反射元件
15反射表面
16反射表面
17在AOTF輸入側的激光脈沖
18在AOTF輸出側的激光脈沖
19樣本
20二向色裝置
21延遲探測器
22控制單元
23延遲信號線
24控制信號線
25齒輪
26齒條
27分束器
28二向色裝置
29平面鏡
30平面鏡
31平面鏡
32二向色裝置
33平面鏡
34平面鏡
35平面鏡
36光學參量振蕩器
37平面鏡
38二向色裝置
權利要求
1.一種可調多激光脈沖掃描顯微鏡，使用至少兩個不同波長的脈沖激光光束同時地或以特定的時間延遲來照射待測樣本上的掃描點，包括提供第一不同波長的第一激光脈沖的第一脈沖激光光源；提供第二不同波長的第二激光脈沖的第二脈沖激光光源；聲光可調濾波器(A0TF)，用于調節穿過該聲光可調濾波器的第一和第二激光脈沖中的至少一個；延遲臺，設置在該聲光可調濾波器的上游或與該聲光可調濾波器平行，用于延遲第一和第二激光脈沖中的至少一個；以及致動器，用于基于該聲光可調濾波器下游的第一和第二激光脈沖之間的時間延遲來移動該延遲臺。
2.根據權利要求1的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中致動器是機動的，且提供控制以基于該時間延遲控制該機動的致動器。
3.根據權利要求1的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中進一步包括用于在該聲光可調濾波器下游探測第一和第二激光脈沖之間的時間延遲的延遲探測器。
4.根據權利要求3的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，進一步包括設置在該聲光可調濾波器下游提取部分光束至該延遲探測器的分束器。
5.根據權利要求1的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中第一脈沖激光光源包括第一激光器，第二脈沖激光光源包括第二激光器。
6.根據權利要求1的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中第一和第二脈沖激光光源包括一泵浦激光器，其結合光學參量振蕩器以將泵浦激光轉換成不同波長的第一和第二激光脈沖。
7.根據權利要求6的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，進一步包括第一二向色裝置，在延遲臺的上游空間地分離第一和第二激光脈沖；第二二向色裝置，在延遲臺的下游對第一和第二激光脈沖進行再合并。
8.根據權利要求1的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中該顯微鏡為共焦顯微鏡。
9.根據權利要求8的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中該顯微鏡是由相干反斯托克斯拉曼散射(CARS )顯微鏡、受激拉曼散射(SRS )顯微鏡、拉曼感應科爾效應散射(RIKES )顯微鏡、和頻振蕩(SFG)顯微鏡以及受激發射損耗(STED)顯微鏡組成的組中的一種。
10.根據權利要求1的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中聲光可調濾波器是單通道聲光可調濾波器，第一和第二激光脈沖中僅有一個透射穿過該聲光可調濾波 器。
11.根據權利要求1的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中聲光可調濾波器是多通道聲光可調濾波器，第一和第二激光脈沖皆透射穿過該聲光可調濾波器。
12.根據權利要求3的可調多激光脈沖掃描顯微鏡，其中延遲探測器設計為基于LED的雙光子吸收(TPA)探測器。
13.一種操作可調多激光脈沖掃描顯微鏡的方法，該顯微鏡使用至少兩個不同波長的脈沖激光光束同時地或以特定的時間延遲來照射待測樣本上的掃描點，包括提供第一不同波長的第一激光脈沖的第一脈沖激光光源；提供第二不同波長的第二激光脈沖的第二脈沖激光光源；聲光可調濾波器(A0TF)，用于調節穿過該聲光可調濾波器的第一和第二激光脈沖中的至少一個；延遲臺，設置在該聲光可調濾波器的上游或與該聲光可調濾波器平行，用于延遲第一和第二激光脈沖中的至少一個；以及致動器，用于基于該聲光可調濾波器下游的第一和第二激光脈沖之間的時間延遲來移動該延遲臺，所述方法包括打開第一和第二脈沖激光光源；將第一和第二激光脈沖中之一的波長調節至期望的波長；確定第一和第二激光脈沖之間的時間延遲并生成表示該時間延遲的延遲信號；處理該延遲信號以生成用于移動延遲臺的控制信號；根據控制信號移動延遲臺；以及對樣本進行成像。
14.一種操作可調多激光脈沖掃描顯微鏡的方法，該顯微鏡使用至少三個不同波長的脈沖激光光束同時地或彼此之間以特定的時間延遲來照射待測樣本上的掃描點，包括提供第一不同波長的第一激光脈沖的第一脈沖激光光源；提供第二不同波長的第二激光脈沖的第二脈沖激光光源；提供第三不同波長的第三激光脈沖的第三脈沖激光光源；第一和第二聲光可調濾波器(AOTF)或多通道聲光可調濾波器，用于調節穿過該第一和第二聲光可調濾波器(AOTF)或多通道聲光可調濾波器的第一、第二及第三激光脈沖中的至少兩個激光脈沖；第一和第二延遲臺，設置在該聲光可調濾波器或多通道聲光可調濾波器的上游或與其平行，用于延遲第一、第二及第三激光脈沖中的兩個激光脈沖；以及致動器，用于基于時間延遲來移動第一和第二延遲臺，所述方法包括打開第一和第二脈沖激光光源并關閉第三脈沖激光光源；將第二激光脈沖的波長調節至期望的波長；確定第一和第二激光脈沖之間的時間延遲并生成表示該時間延遲的第一延遲信號；處理該第一延遲信號以生成用于移動第一延遲臺的第一控制信號；根據第一控制信號移動第一延遲臺；打開第一和第三脈沖激光光源并關閉第二脈沖激光光源；將第三激光脈沖的波長調節至期望的波長；確定第一和第三激光脈沖之間的時間延遲并生成表示該時間延遲的第二延遲信號；處理該第二延遲信號以生成用于移動第二延遲臺的第二控制信號；根據第二控制信號移動第二延遲臺；以及打開第一、第二和第三脈沖激光光源以對樣本進行成像。
15.根據權利要求14的操作可調多激光脈沖掃描顯微鏡的方法，進一步包括將該方法應用于非退化反斯托克斯拉曼散射(CARS)顯微鏡。
全文摘要
描述了一種可調多激光脈沖掃描顯微鏡及操作該顯微鏡的方法，使用兩個不同波長的脈沖激光光束同時地或以特定的時間延遲來照射待測樣本上的掃描點。顯微鏡包括發射不同波長的激光的至少兩個脈沖激光光源，用于調節至少一個激光脈沖的聲光可調濾波器(AOTF)，設置在聲光可調濾波器上游的延遲臺，以及用于基于時間延遲移動延遲臺的致動器。從而，至少一種脈沖的波長被調節且至少兩個不同波長的脈沖之間的延遲被調節。
文檔編號G02B21/00GK103026282SQ201180022811
公開日2013年4月3日 申請日期2011年5月4日 優先權日2010年5月6日
發明者V·V·里那瑪查理, W·C·海氏 申請人:徠卡顯微系統復合顯微鏡有限公司