專利名稱：光阻圖案的形成方法
技術領域：
本發明為有關感光性樹脂組合物及感光性組件
背景技術：
半導體集成電路、液晶顯示元件、印刷電路板等形成圖案所使用的圖像形成方法中，已知多為利用酚醛清漆型酚樹脂與1，2_重氮醌化合物組合所得的正型光阻的方法。該正型光阻為，未曝光部份為堿不溶性，曝光部份為堿可溶性，在堿顯影時，曝光部份的光阻被去除。此時，上述未曝光部份中的1，2-重氮醌化合物會引起與酚醛清漆型酚樹脂的相互作用，而形成具有溶解阻礙劑的作用，進而形成堿不溶性。又，曝光部份中，1，2-重氮醌化合物因紫外線的照射而分解，即引起所謂Wolff移轉而形成茚烯酮(4 > 7 > * f > )。又，此茚烯酮與水反應而形成茚羧酸。此茚羧酸因為酸性，而殘留的酚醛清漆型酚樹脂亦具有酚式羥基，故為弱酸性。因此，上述曝光部份對氫氧化四甲基銨的強堿水溶液為可溶。但是，使用氫氧化四甲基銨等強堿水溶液進行顯影時，常會使未曝光部份易產生剝離的情形。如此，上述正型光阻則不能具有充分的分辨率。又，使用強堿水溶液時，在安全性或廢液處理等環境面上也存在問題。因此，即使使用弱堿水溶液，也要求可充分顯影的感光性樹脂組合物。相對于前述要求，則需尋求對感光性樹脂組合物的特性進行改善。例如，已有提案一種含有在酚醛清漆型環氧化合物與不飽和一元酸所得的反應生成物上附加酸酐而得到的化合物的感光性樹脂組合物(例如，參考專利文獻1 幻。又，例如另有揭示一種含有具羧基的感光性樹脂的熱硬化性、光硬化性組合物(例如，參考專利文獻6)，其中的具羧基的感光性樹脂是通過酚醛清漆型酚樹脂與環氧化物的反應生成物與不飽和一元酸反應，使所得的反應生成物再與酸酐反應而得到的。又，亦有提出一種使用醇式羥基的酚醛清漆型酚樹脂的醇式羥基與酸酐反應所得的酚醛清漆型酚樹脂的正型感光性樹脂組合物(例如，參考專利文獻7)。專利文獻1 特開昭61143869號公報專利文獻2 特開平3-253093號公報專利文獻3 特開平6-192387號公報專利文獻4 特開平7-41716號公報專利文獻5 特開平9-136942號公報專利文獻6 國際公開第02/0M774號小冊子專利文獻7 特開2001-114853號公報
發明內容
本發明者們，由上述專利文獻1 7所記載的感光性樹脂組合物開始，對以往的感光性樹脂組合物進行詳細的研究。其結果，本發明者發現前述以往的感光性樹脂組合物，幾乎不能完全滿足優良光感度、圖像對比度、分辨率及密著性等全部特性。S卩，上述專利文獻1 5所記載的感光性樹脂組合物，因使用酚醛清漆型環氧樹脂，其與使用酚醛清漆型酚樹脂的情形相比較時，在耐堿性、基板與光阻的密著性等則有劣化的傾向。又，專利文獻6所記載的感光性樹脂組合物，雖使用酚醛清漆型酚樹脂，但并不使用1，2_重氮醌(quinonediazide)化合物。因此，該感光性樹脂組合物并不具有正型光阻的機能。又，專利文獻6記載的酚醛清漆型酚樹脂，并不具有酚式羥基。其結果，將會使該感光性樹脂組合物，例如即使含有重氮醌化合物的情形下，造成該酚醛清漆型酚樹脂與重氮醌化合物的相互作用并不充分，未曝光部份則會有未能充分形成堿不溶性的傾向。因此， 上述專利文獻6記載的感光性樹脂組合物，會有無法得到良好圖像對比度的傾向。專利文獻7所記載的感光性樹脂組合物，使用了酚醛清漆型酚樹脂及1，2-重氮醌化合物。但是，該酚醛清漆型酚樹脂的合成步驟更為繁雜，故會有不容易提升產量的傾向。本發明就是鑒于上述以往技術產生的問題而提出的，以提供一種即使于弱堿水溶液中亦可充分顯影，具有極為優良光感度、圖像對比度、分辨率及密著性的感光性樹脂組合物及感光性組件為目的。為解決上述問題，本發明則提供一種含有(a)酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基與多元酸酐反應所得的化合物，與(b) 1,2-重氮醌化合物的感光性樹脂組合物。上述感光性樹脂組合物，在酚醛清漆型酚樹脂所有的酚式羥基與多元酸酐反應所得的(a)成分中，進一步含有由1，2-重氮醌化合物所形成的(b)成分。如此，可使上述感光性樹脂組合物顯出更為優良的光感度、圖像對比度、分辨率及密著性。又，上述感光性樹脂組合物作為光阻膜使用時，在曝光部份中，因(a)成分為酸性，故例如顯影液為弱堿性時，亦可使上述曝光部份溶解于該顯影液中。因此，在堿顯影時， 使曝光部份溶解于弱堿水溶液，而可使光阻容易地由基材剝離。又，未曝光部中，因1，2_重氮醌化合物與不會與(a)成分的多元酸酐產生反應的酚式羥基會引起強烈的相互作用而可形成堿不溶性。因此，依本發明的內容，可提供一種即使于弱堿水溶液中亦可充分顯影，且具有極優良的光感度、圖像對比度、分辨率及密著性的感光性樹脂組合物。上述(a)成份，優選分子內至少具有1個下述式(A)所示2價的基。此時，即使于弱堿水溶液中，亦可充分進行顯影。[化1]
權利要求
1.光阻圖案的形成方法，其是在基材上將感光性組件以感光層與所述基材密著的方式層疊，將活性光線以圖像狀照射，將曝光部用PH值為9 11的堿性水溶液顯影而除去，所述感光性組件具備支撐體與在該支撐體上所形成的由感光性樹脂組合物構成的感光層，所述感光性樹脂組合物含有(a)由酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基與多元酸酐反應所得的化合物、與(b)l，2-重氮醌化合物。
全文摘要
本發明提供一種光阻圖案的形成方法，其是在基材上將感光性組件以感光層與所述基材密著的方式層疊，將活性光線以圖像狀照射，將曝光部用pH值為9～11的堿性水溶液顯影而除去，所述感光性組件具備支撐體與在該支撐體上所形成的由感光性樹脂組合物構成的感光層，所述感光性樹脂組合物含有(a)由酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基與多元酸酐反應所得的化合物、與(b)1，2-重氮醌化合物。
文檔編號G03F7/023GK102520580SQ20111040930
公開日2012年6月27日 申請日期2006年7月19日 優先權日2005年8月30日
發明者澤邊賢, 野尻剛 申請人:日立化成工業株式會社