圖像數(shù)據(jù)生成裝置及其方法、圖像形成裝置及其方法

專利名稱：圖像數(shù)據(jù)生成裝置及其方法、圖像形成裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在對象物上形成顯影劑圖像(toner image)的技術(shù)。
背景技術(shù)：
以前，作為在印刷電路板、半導(dǎo)體襯底等對象物上形成布線圖案的方法之一，以下方法為人們所知通過在銅箔上形成與布線圖案相對應(yīng)的抗蝕劑膜的圖案(即，抗蝕劑圖案resist pattern)，并隔著抗蝕劑圖案在銅箔上涂敷蝕刻液，以此除去從銅箔的抗蝕劑膜露出的部位，從而形成由銅形成的布線圖案。在上述的布線圖案的形成中，作為形成抗蝕劑圖案的方法，例如利用光刻法 (photolithography)，在該光刻法中，通過隔著掩模對對象物上的具有感光性的抗蝕劑膜照射光，以此在抗蝕劑膜上形成抗蝕劑圖案的圖像，并通過使該抗蝕劑膜顯影來形成與布線圖案相對應(yīng)的抗蝕劑圖案，其中，上述掩膜具有與布線圖案相對應(yīng)的透光部或遮光部。在日本特開2002-122977號公報中公開了以下技術(shù)在光刻法工序中，通過使與抗蝕劑圖案的孤立線(即，周圍無其他線的孤立的線)相對應(yīng)的掩模圖案的線寬比設(shè)計線寬細(xì)，以此防止孤立線因光學(xué)鄰近效應(yīng)而變粗。另一方面，作為形成圖像的方法，以下方法也為人們所知利用靜電復(fù)印法在具有感光性的對象物上照射光來形成靜電潛像，并在該靜電潛像上提供顯影劑(toner)(即，進行顯影)，以此來形成顯影劑圖像。在日本專利第3668373號公報中公開了以下技術(shù)為了抑制顯影時的靜電潛像的邊緣效應(yīng)(即，通過使靜電潛像的邊緣部附近的電場比與靜電潛像邊緣相分開的其他區(qū)域的電場強，使得在邊緣部附近比其他區(qū)域多附著顯影劑從而濃度變高的現(xiàn)象)，在形成靜電潛像時，在從一個圖形要素中的關(guān)注像素到該圖形要素的邊緣為止的距離中的最短距離較短的情況下，使對關(guān)注像素照射的光的強度變小，從而抑制顯影時的顯影劑的過剩附著。但是，在對于利用靜電復(fù)印法形成于感光鼓上的靜電潛像，利用顯影工序使顯影劑附著在該靜電潛像上從而形成顯影劑圖像的情況下，以下情況為人們所知在線狀圖形要素中因邊緣效應(yīng)而過剩附著顯影劑，由此顯影劑圖像的線寬變得比靜電潛像的線寬粗。 另外，在將該顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物上時，往往過剩附著的顯影劑會在對象物上蔓延。由于這些原因，往往轉(zhuǎn)印在對象物上的顯影劑圖像的線狀圖形要素的寬度將大于設(shè)計線寬。 也存在局部產(chǎn)生此種線狀圖形要素的寬度增大的情況，如日本專利第3668373號公報那樣，即使基于最短距離調(diào)整了照射在關(guān)注像素上的光的強度，也難于使線狀圖形要素的寬度均勻且等于設(shè)計線寬，其中，上述最短距離是指，從線狀圖形要素中的關(guān)注像素到該線狀圖形要素的邊緣為止的距離中的最短距離。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及用于生成圖像數(shù)據(jù)的圖像數(shù)據(jù)生成裝置，其目的在于修正邊緣效應(yīng)所導(dǎo)致的線狀圖形要素的寬度的增大，從而使顯影劑圖像的線狀圖形要素的寬度與所期望的寬度相同。本發(fā)明涉及的圖像數(shù)據(jù)生成裝置，生成用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)。圖像數(shù)據(jù)生成裝置具有外廓識別單元，其識別原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組的外廓線；判定單元，其對位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于所述外廓線的關(guān)系；修正單元，其根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正。由此，當(dāng)在對象物上形成顯影劑圖像時，能夠?qū)吘壭?yīng)所導(dǎo)致的線狀圖形要素的寬度的增大進行修正，從而能夠?qū)@影劑圖像的線狀圖形要素的寬度做成所期望的寬度。本發(fā)明涉及的另一種圖像數(shù)據(jù)生成裝置具有劃定單元，其在原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組，劃定出一塊圖形要素組；外廓識別單元，其識別劃定單元劃定出的所述一塊圖形要素組的外廓線；判定單元，其對所述一塊圖形要素組中的位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于該外廓線的關(guān)系；修正單元，其根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正。由此，能夠?qū)吘壭?yīng)所導(dǎo)致的線狀圖形要素的寬度的增大進行修正，從而能夠?qū)@影劑圖像的線狀圖形要素的寬度做成所期望的寬度。本發(fā)明還涉及一種圖像數(shù)據(jù)生成方法，用來生成用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)。圖像數(shù)據(jù)生成方法包括識別原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組的外廓線的工序；對位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于所述外廓線的關(guān)系的工序；根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正的工序。本發(fā)明涉及的另一種圖像數(shù)據(jù)生成方法，包括在原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組，劃定出一塊圖形要素組的工序；識別所劃定的所述一塊圖形要素組的外廓線的工序；對所述一塊圖形要素組中的位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于該外廓線的關(guān)系的工序；根據(jù)判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正的工序。本發(fā)明還涉及具有圖像數(shù)據(jù)生成裝置的圖像形成裝置。圖像形成裝置還具有潛像形成部，其基于所述圖像數(shù)據(jù)生成裝置所生成的修正完畢數(shù)據(jù)，在感光體上形成靜電潛像；顯影部，其通過對所述靜電潛像提供顯影劑來使所述靜電潛像顯影，從而形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像；顯影劑圖像轉(zhuǎn)印部，其將所述顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物上。本發(fā)明還涉及用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像的圖像形成方法。 圖像形成方法包括識別原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組的外廓線的工序；對位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于所述外廓線的關(guān)系的工序；根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正的工序；根據(jù)修正完畢數(shù)據(jù)來在感光體上形成靜電潛像的工序；通過對所述靜電潛像提供顯影劑來使所述靜電潛像顯影，從而形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像的工序；將所述顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物上的工序。本發(fā)明涉及的另一種圖像形成方法包括在原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組，劃定出一塊圖形要素組的工序；識別所劃定的所述一塊圖形要素組的外廓線的工序； 對所述一塊圖形要素組中的位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于該外廓線的關(guān)系的工序；根據(jù)判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正的工序；基于修正完畢數(shù)據(jù)來在感光體上形成靜電潛像的工序；通過對所述靜電潛像提供顯影劑來使所述靜電潛像顯影，從而形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像的工序；將所述顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物上的工序。 上述的目的及其他的目的、特征、方式及優(yōu)點，通過以下參照附圖進行的對本發(fā)明的詳細(xì)說明得以明確。


圖1是說明本發(fā)明的一個實施方式的圖案形成系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是表示圖1所示的圖案形成系統(tǒng)100的圖像記錄裝置裝置1的圖。
圖3是表示圖1所示的圖案形成系統(tǒng)100的動作的流程圖。
圖4是表示感光體表面的電位分布的圖。
圖5是表示感光體表面的電位分布的圖。
圖6是表示感光體表面的電位分布的圖。
圖7A是表示靜電潛像與顯影劑圖像之間的關(guān)系的圖。
圖7B是表示靜電潛像與顯影劑圖像之間的關(guān)系的圖。
圖7C是表示靜電潛像與顯影劑圖像之間的關(guān)系的圖。
圖8是表示圖形圖案組的一個例子的圖。
圖9A是表示每個區(qū)域的顯影劑圖像的變粗方式的圖。
圖9B是表示每個區(qū)域的顯影劑圖像的變粗方式的圖。
圖9C是表示每個區(qū)域的顯影劑圖像的變粗方式的圖。
圖IOA是表示圖形圖案數(shù)據(jù)的修正的圖。
圖IOB是表示圖形圖案數(shù)據(jù)的修正的圖。
圖IlA是表示圖形圖案數(shù)據(jù)的修正的圖。
圖IlB是表示圖形圖案數(shù)據(jù)的修正的圖。
圖12是表示計算修正量和生成修正完畢圖案數(shù)據(jù)的處理流程的具體例的圖。
圖13A是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖13B是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖13C是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖13D是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖13E是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖13F是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖14是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖15是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖16是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖17是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖18是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖19是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖20A是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖20B是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
圖20C是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。圖20D是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。圖21A是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。圖21B是表示用于說明修正量的計算過程的圖形圖案的圖。
具體實施例方式<裝置結(jié)構(gòu)>圖1是表示本發(fā)明的實施方式涉及的圖案形成系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)的圖。圖案形成系統(tǒng)100是在薄膜(film)狀的對象物9上形成布線圖案的裝置。對象物9是具有可撓性的柔性(flexible)基板(即，薄膜基板)，具有薄膜狀的絕緣性基體材料和形成于該絕緣性基體材料的一個主面整體上的導(dǎo)電層(在本實施方式中為銅箔(Cu))，該導(dǎo)電層的電阻率為 IO"6 Ω · cm以上且IO3 Ω · cm以下。圖案形成系統(tǒng)100通過蝕刻(etching)對象物9上的銅箔來除去不需要部分從而形成銅布線圖案，由此形成電路基板片，該電路基板片是多個柔性電路基板連續(xù)的片狀部件，為此，在該銅箔的表面上還進行以下處理利用所謂的靜電復(fù)印方式，用具有耐蝕刻性的顯影劑印刷布線圖案。如圖1所示，圖案形成系統(tǒng)100具有圖像形成裝置1，其將與布線圖案相對應(yīng)的顯影劑圖像轉(zhuǎn)印(即，形成)在對象物9的導(dǎo)電層的表面上，并使該顯影劑圖像定影在導(dǎo)電層上作為抗蝕劑圖案；蝕刻裝置61，其通過在從導(dǎo)電層的抗蝕劑圖案露出的部位(S卩，顯影劑圖像未覆蓋的部位)上涂敷蝕刻液來進行蝕刻，從而從絕緣性基體材料上除去該部位； 第一清洗裝置62，其對蝕刻完畢的對象物9進行清洗；圖像除去裝置63，其從對象物9上剝離并除去抗蝕劑圖案(即，顯影劑圖像)；及第二清洗裝置64，其對已除去抗蝕劑圖案的對象物9進行清洗。在以下的說明中，將利用圖像形成裝置1轉(zhuǎn)印顯影劑圖像的對象物9的導(dǎo)電層的表面91稱為“被轉(zhuǎn)印面91”。圖2是放大顯示圖像形成裝置1的圖。如圖2所示，圖像形成裝置1具有移動機構(gòu)2，其保持具有絕緣性基體材料93和導(dǎo)電層94的對象物9，并且在沿著被轉(zhuǎn)印面91的移動方向即(+Y)方向上移動；加工單元3，其利用靜電復(fù)印法在感光鼓31上形成顯影劑圖像；第一電位施加部4，其從該顯影劑圖像對感光鼓31的外周面施加規(guī)定的電位；第二電位施加部5，其與對象物9相接觸地對被轉(zhuǎn)印面91施加規(guī)定的電位；及數(shù)據(jù)處理部7，其對加工單元3所形成的顯影劑圖像的圖案數(shù)據(jù)進行修正及存儲等。數(shù)據(jù)處理部7具有原始圖案數(shù)據(jù)存儲部71，其存儲成為顯影劑圖像來源的布線圖案的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)來作為原始圖案數(shù)據(jù)；及數(shù)據(jù)修正部72，其生成修正完畢圖案數(shù)據(jù)，該修正完畢圖案數(shù)據(jù)是指，對原始圖案數(shù)據(jù)進行修正后的修正完畢數(shù)據(jù)。加工單元3具有經(jīng)由減速器與馬達(dá)(省略圖示)相連接的感光鼓31，感光鼓 31能夠以與圖2中的X方向平行的旋轉(zhuǎn)軸310為中心沿著圖2中的順時針方向進行旋轉(zhuǎn)。感光鼓31具有鼓主體311，該鼓主體311由鋁等金屬形成，而且以旋轉(zhuǎn)軸310為中心，并且鼓主體311電接地。在鼓主體311的外周面上均勻地涂敷(或蒸鍍)有例如包括酞菁染料(phthalocyanine)的單層型有機感光體(以下簡稱為“感光體312”)。另外，感光體312除了由包括酞菁染料的單層型有機感光體形成以外，也可以由例如非晶硅 (amorphoussilicon)等無機感光體形成。
加工單元3還具有帶電器32，其與感光鼓31相對地設(shè)置在感光鼓31的(+Z)側(cè)， 用來使感光體312帶電；潛像形成部33，其對帶電后的感光體312的外周面照射圖像形成用的光從而形成靜電潛像；顯影部34，其通過將具有耐蝕刻性的液體顯影劑(例如，分散在異鏈烷烴(isoparaffin)類的絕緣性溶劑(載流液)中的濕式顯影劑)涂敷在感光體312 上的靜電潛像上來使該靜電潛像顯影，從而在感光體312的外周面上形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像；清潔器35，其對感光體312的表面進行清洗；及除電器36，其出射光從而對感光體 312進行除電。在加工單元3的感光鼓31的周圍，從帶電器32起沿著感光鼓31的旋轉(zhuǎn)方向(即， 圖1中的順時針方向)配置有潛像形成部33、顯影部34、清潔器35及除電器36，顯影部34 上連接有供應(yīng)顯影液即液體顯影劑的顯影劑供應(yīng)部(省略圖示)。另外，在圖像形成裝置1 中，在感光鼓31的周圍，在顯影部34與清潔器35之間還配置有第一電位施加部4。第一電位施加部4是通過電暈放電(corona discharge)來產(chǎn)生離子并通過將該離子提供至感光體312來使感光體312帶電的電暈帶電機構(gòu)，在本實施方式中，利用柵格電極(scorotron)作為第一電位施加部4來對感光體312施加電位(以下稱為“第一電位”)。 另外，與第一電位施加部4同樣地，加工單元3的帶電器32也是通過電暈放電使感光體312 帶電的電暈帶電機構(gòu)。第二電位施加部5具有兩個觸頭51，觸頭51具有由導(dǎo)電性材料形成的刷子(例如碳刷(carbon brush)、導(dǎo)電性毛刷)。各觸頭51由省略圖示的支撐部件所支撐，而且直接與對象物9的導(dǎo)電性被轉(zhuǎn)印面91接觸。由于各觸頭51的電極電接地，因此對象物9的被轉(zhuǎn)印面91也電接地。換言之，通過第二電位施加部5的觸頭51，對對象物9的被轉(zhuǎn)印面91 施加作為接地電位的電位(以下稱為“第二電位”)。在圖像形成裝置1中，在感光鼓31的(-Z)側(cè)，通過移動機構(gòu)2而與感光鼓31相對置地移動的對象物9的被轉(zhuǎn)印面91在第一電位施加部4與清潔器35之間最接近感光鼓 31的外周面。并且，通過第一電位施加部4和第二電位施加部5施加電位，在感光鼓31與對象物9最接近的位置，規(guī)定的轉(zhuǎn)印電壓作用于感光鼓31與對象物9的被轉(zhuǎn)印面91之間， 從而感光鼓31的外周面上的顯影劑圖像轉(zhuǎn)印至對象物9的被轉(zhuǎn)印面91上。在以下的說明中，將感光鼓31的外周面與對象物9的被轉(zhuǎn)印面91最接近的位置稱為“轉(zhuǎn)印位置”。對加工單元3來說，轉(zhuǎn)印位置相對固定。在圖像形成裝置1中，第一電位施加部4和第二電位施加部5為顯影劑圖像轉(zhuǎn)印部，其使規(guī)定的轉(zhuǎn)印電壓在轉(zhuǎn)印位置作用于感光鼓31與對象物9 的被轉(zhuǎn)印面91之間，從而將顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物9上。圖像形成裝置1還具有定影部52，該定影部52配置在對象物9通過移動機構(gòu)2移動的移動方向上的比上述轉(zhuǎn)印位置更下游一側(cè)(即，(+Y)側(cè))的位置，而且使對象物9的被轉(zhuǎn)印面91上所轉(zhuǎn)印的顯影劑圖像定影在被轉(zhuǎn)印面91上。在圖像形成裝置1中，利用定影部52對對象物9的被轉(zhuǎn)印面91進行非接觸加熱，由此使得顯影劑圖像定影在被轉(zhuǎn)印面 91上從而成為抗蝕劑圖案。移動機構(gòu)2具有對象物供應(yīng)部203，其保持轉(zhuǎn)印顯影劑圖像之前的輥狀的對象物 9，并且將對象物9供應(yīng)至轉(zhuǎn)印位置；轉(zhuǎn)印輥204，其在轉(zhuǎn)印位置從下表面?zhèn)?即與被轉(zhuǎn)印面 91相反的一側(cè))即(-Z)側(cè)支撐對象物9 ；及對象物回收部205，其配置在對象物9通過移動機構(gòu)2移動的移動方向上的比定影部52更下游一側(cè)(即，(+Y)側(cè))的位置，卷繞并回收由定影部52定影了顯影劑圖像之后的對象物9。在圖2中，省略了配置在定影部52與對象物回收部205之間的蝕刻裝置61等其他裝置的圖示。如圖1所示，在圖案形成系統(tǒng)100中，在對象物9通過移動機構(gòu)2移動的移動方向上，在圖像形成裝置1的定影部52與對象物回收部205之間依次配置有蝕刻裝置61、第一清洗裝置62、圖像除去裝置63及第二清洗裝置64，若關(guān)注對象物9上的一個部位，則該部位被移動機構(gòu)2依次從一個裝置搬送至其他裝置。換言之，移動對象物9的移動機構(gòu)2是被圖像形成裝置1、蝕刻裝置61、第一清洗裝置62、圖像除去裝置63及第二清洗裝置64共用的對象物搬送機構(gòu)。蝕刻裝置61具有多個噴霧器(spray)611，該多個噴霧器611向形成有顯影劑圖像的對象物9的被轉(zhuǎn)印面91上噴射以氯化鐵(FeCl3)、氯化銅(CuCl2)等為主要成分的蝕刻液；第一清洗裝置62具有多個噴霧器621，該多個噴霧器621向?qū)ο笪?的被轉(zhuǎn)印面91 噴射純水等清洗液。另外，圖像除去裝置63具有多個噴霧器631，該多個噴霧器631向?qū)ο笪?的被轉(zhuǎn)印面91噴射用于從對象物9剝離顯影劑圖像的剝離液；第二清洗裝置64與第一清洗裝置62同樣地具有多個噴霧器641，該多個噴霧器641向?qū)ο笪?的被轉(zhuǎn)印面91 噴射純水等清洗液。〈布線圖案形成的流程〉圖3是表示本實施方式涉及的圖案形成系統(tǒng)100在薄膜狀的對象物9上形成布線圖案的流程的圖。另外，步驟S13至步驟S17示出了關(guān)注感光體312的一部分的處理的流程，對感光體312整體來說，實際上，這些步驟在時間上幾乎并行進行。另外，步驟S18至步驟S22示出了關(guān)注對象物9的一部分的處理的流程，對對象物9整體來說，實際上，這些步驟在時間上幾乎并行進行。首先，在圖案形成系統(tǒng)100的圖像形成裝置1中，在形成顯影劑圖像時，為了防止 (或抑制)邊緣效應(yīng)所導(dǎo)致的線狀圖形要素的線寬的增大，利用圖2所示的數(shù)據(jù)處理部7的數(shù)據(jù)修正部72，對原始圖案數(shù)據(jù)存儲部71所存儲的原始圖案數(shù)據(jù)進行修正，從而生成線狀圖形要素局部變細(xì)的修正完畢圖案數(shù)據(jù)(步驟S11)。該步驟Sll將在后面詳細(xì)說明。修正完畢圖案數(shù)據(jù)所示的圖像與原始圖案數(shù)據(jù)同樣地為二值圖像，從圖2所示的數(shù)據(jù)處理部向加工單元3的潛像形成部33發(fā)送修正完畢圖案數(shù)據(jù)(步驟S12)。在圖像形成裝置1中，首先，感光鼓31以旋轉(zhuǎn)軸310為中心，沿著圖2中的順時針方向以一定的旋轉(zhuǎn)速度開始旋轉(zhuǎn)，并且在移動機構(gòu)2上，對象物供應(yīng)部203和對象物回收部 205分別沿著逆時針方向旋轉(zhuǎn)，從而使對象物9開始以一定的速度向(+Y)方向移動。在加工單元3中，通過感光鼓31的旋轉(zhuǎn)，以旋轉(zhuǎn)軸310為中心的圓筒鼓狀的環(huán)狀部件即感光鼓 31，相對于配置在周圍的各周邊結(jié)構(gòu)(即帶電器32、潛像形成部33、顯影部34、第一電位施加部4、清潔器35及除電器36)，沿著外周面連續(xù)性地循環(huán)移動，從而這些周邊結(jié)構(gòu)開始對感光體312進行處理。帶電器32依次對到達(dá)相對置的位置的感光體312的一部分(以下稱為“對象部位”)提供電荷，使對象部位的表面均勻地帶例如+700V(伏特volt)的電(步驟S13)。帶電后的對象部位向潛像形成部33的光的照射位置連續(xù)性地移動。潛像形成部33具有LED陣列作為光源，在該LED陣列配置有用于出射規(guī)定波長的光的多個發(fā)光二極管(LED)。在潛像形成部33中，基于數(shù)據(jù)處理部7所發(fā)送的修正完畢圖
10案數(shù)據(jù)對感光體312出射圖像形成用的光。在感光體312的對象部位中的照射到光的部位， 表面的電荷移動到感光體312內(nèi)，使得表面電位降低到+100V。另外，由于未照射到光的部位維持帶電狀態(tài)不變，因此在感光體312上形成基于電荷分布的圖像(即靜電潛像)(步驟 S14)。潛像形成部33的光源無需一定是LED，也可以是例如半導(dǎo)體激光器或?qū)?lamp)和液晶光閥(liquid crystal shutter)進行組合而成的器件。在感光鼓31上，形成有靜電潛像的部分(對象部位)向與顯影部34相對置的位置移動。在顯影部34中，顯影輥341與顯影偏置電源343相連接，通過顯影偏置電源343 來被施加+500V的電位。并且，因顯影輥341與靜電潛像之間的偏置電壓，液體顯影劑中的帶正電的濕式顯影劑(即，分散在液體顯影劑的溶劑中并且?guī)в信c感光體312表面相同極性的電的濕式顯影劑)涂敷在靜電潛像上(步驟SK)。在本實施方式中，作為濕式顯影劑， 使用粒徑為0. 1 μ m以上且2 μ m以下(更優(yōu)選地，0. 1 μ m以上且0. 5 μ m以下)的顯影劑。圖4至圖6是示意性地表示通過顯影部34 (參照圖2~)涂敷有濕式顯影劑92的感光體312表面的電位分布的圖。在圖4至圖6中，用實線301描畫感光體312表面的電位， 以實線301相對于感光體312表面位于與鼓主體311相反一側(cè)的情況為正。另外，實線301 與感光體312表面之間的上下方向的距離表示電位的大小。如圖4所示，在感光體312上的對象部位中，僅僅在通過潛像形成部33 (參照圖2) 使表面電位降低的部位附著濕式顯影劑92，由此靜電潛像得以顯影，其中，該濕式顯影劑 92帶有與感光體312表面相同極性的電即正電。即，利用濕式顯影劑92在感光體312的外周面上的對象部位上形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像。在圖2所示的圖像形成裝置1中，感光鼓 31和鼓旋轉(zhuǎn)用的馬達(dá)作為顯影劑圖像保持部，該顯影劑圖像保持部在感光體312的外周面上保持轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像并且使感光體312循環(huán)移動。在顯影部34中，對象部位上的不需要的液體顯影劑被位于顯影輥341的(_Z)側(cè) (即，感光鼓31的循環(huán)移動的下游側(cè))的刮板輥(squeegee roller) 342刮取從而返回到顯影部34。刮板輥342與刮板用電源344相連接，通過刮板用電源344被施加+500V的電位。 并且，刮板輥342沿著圖2中的順時針方向旋轉(zhuǎn)以刮取液體顯影劑，從而回收感光體312上的剩余的液體顯影劑(即，過量涂敷到由潛像形成部33降低了表面電位的部位上的液體顯影劑，及涂敷到表面電位未降低的部位即背景(background)上的液體顯影劑)。接著，在感光鼓31的循環(huán)移動過程中，通過配置在轉(zhuǎn)印位置近前的第一電位施加部4，從感光體312上所顯影的顯影劑圖像對感光體312的外周面施加極性與濕式顯影劑的帶電極性相同的正極性的第一電位(步驟S16)。由此，如圖5所示，感光體312的外周面的對象部位整體帶與利用帶電器32的帶電大致相同或著絕對值大的電位(在本實施方式中約為+800V)的電。另外，在對象部位中，濕式顯影劑92的附著區(qū)域的電位與非附著區(qū)域的電位略微不同，但此種程度的電位差幾乎不會影響后述的濕式顯影劑92的轉(zhuǎn)印。另外，該電位差通過延長第一電位施加部4施加第一電位的時間而能夠得以消除。若圖2所示的第一電位施加部4的第一電位的施加完畢，則感光鼓31的對象部位到達(dá)轉(zhuǎn)印位置，其中，該轉(zhuǎn)印位置是最接近與感光鼓31的旋轉(zhuǎn)同步移動的對象物9的被轉(zhuǎn)印面91的位置，并且在轉(zhuǎn)印位置，對象部位以與感光鼓31的旋轉(zhuǎn)速度相對應(yīng)的速度(即， 與感光鼓31的外周面的旋轉(zhuǎn)軸310相垂直的截面的接線方向的速度)正確地向(+Y)方向移動。另外，對象物9通過移動機構(gòu)2，以與轉(zhuǎn)印位置的感光體312的對象部位相同的速度向與對象部位的前進方向相同的移動方向即(+Y)方向移動。由此，在與轉(zhuǎn)印位置極近處， 對象物9 (對象物9的與對象部位相對置的部位)的位置相對于對象部位而固定。此時，對象物9通過分別配置在轉(zhuǎn)印位置的(+Y)側(cè)和(-Y)側(cè)的第二電位施加部5 的兩個觸頭51而電接地(換言之，通過第二電位施加部5，對對象物9的被轉(zhuǎn)印面91施加有接地電位)，規(guī)定的轉(zhuǎn)印電壓作用于轉(zhuǎn)印位置的對象物9的被轉(zhuǎn)印面91與感光體312的對象部位之間。即，產(chǎn)生從對象部位到被轉(zhuǎn)印面91的電場，從而如圖6所示，從感光體312 到對象物9的被轉(zhuǎn)印面91的方向(即，圖6中的標(biāo)有附圖標(biāo)記302的箭頭指向的方向)的力作用于濕式顯影劑92。由此，附著在感光體312的對象部位上的帶有正電的顯影劑圖像依次轉(zhuǎn)印在對象物9的被轉(zhuǎn)印面91上(步驟S17)。在圖像形成裝置1中，在根據(jù)原始圖案數(shù)據(jù)生成修正完畢圖案數(shù)據(jù)時，原始圖案數(shù)據(jù)所示的圖像中的線狀圖形要素被局部變細(xì)，該變細(xì)量是為了使最終線寬變得如原始圖案數(shù)據(jù)一樣均勻而考慮顯影時的顯影劑的過剩附著和轉(zhuǎn)印時的蔓延計算出來的。因此，因邊緣效應(yīng)而過剩附著在變細(xì)的部位的濕式顯影劑在轉(zhuǎn)印時在對象物9的被轉(zhuǎn)印面91上蔓延，由此在對象物9上形成包括線寬均勻而且忠實于原始圖案數(shù)據(jù)的線狀圖形要素的顯影劑圖像。轉(zhuǎn)印濕式顯影劑后的感光體312的對象部位接著移動到圖2所示的清潔器35的位置。清潔器35利用噴霧器噴嘴351對對象部位噴出清洗液，以此潤濕未轉(zhuǎn)印在對象物9 上而殘留在對象部位上的濕式顯影劑等不需要的物質(zhì)(以下稱為“殘顯影劑”)。由此，固定在對象部位的殘顯影劑將溶脹，從而使殘顯影劑對感光體312的粘接力得以降低。接下來，通過圖2中的按順時針方向(即，與感光鼓31的旋轉(zhuǎn)方向相同的方向) 旋轉(zhuǎn)的海綿輥(sponge roller) 352、353、3M來擦洗感光體312的對象部位，以此使殘顯影劑附著在這些海綿輥上，從而從感光體312上除去殘顯影劑。附著在海綿輥上的殘顯影劑與清洗液一起被吸嘴吸收，從而從海綿輥上除去附著在海綿輥上的殘顯影劑。若用清潔器35清潔感光體312的表面，從而感光體312機械性地返回初始狀態(tài)， 則通過具有燈和過濾器的組合、或者LED等的除電器36，對對象部位照射光，從而對感光體 312進行除電，使其返回電初始狀態(tài)。如上所述，步驟S13至步驟S17的處理，對于感光體312上的各部位幾乎并行進行，對依次到達(dá)轉(zhuǎn)印位置的感光體312的各部位連續(xù)性地進行處理。因此，感光體312的外周面上的顯影劑圖像整體在轉(zhuǎn)印位置轉(zhuǎn)印在對象物9上，通過反復(fù)執(zhí)行此處理，在最終成為多個柔性電路基板的對象物9上形成與多個柔性電路基板的布線圖案相對應(yīng)的顯影劑圖像。在圖像形成裝置1中，對象物9的形成有顯影劑圖像的部位借助移動機構(gòu)2從轉(zhuǎn)印位置向(+Y)側(cè)移動從而通過定影部52的下方，以此利用定影部52對被轉(zhuǎn)印面91和被轉(zhuǎn)印面91上的顯影劑圖像進行加熱，從而使顯影劑圖像定影在被轉(zhuǎn)印面91上而成為抗蝕劑圖案(步驟S18)。對象物9的定影有顯影劑圖像的部位，借助圖1所示的移動機構(gòu)2從圖像形成裝置1向蝕刻裝置61移動，蝕刻裝置61對其涂敷蝕刻液，以此對導(dǎo)電層94(參照圖2)的從顯影劑圖像(即抗蝕劑圖案)露出的部位實施蝕刻，從而從絕緣性基體材料93(參照圖2) 上除去該部位(步驟S19)。由此，由銅形成的導(dǎo)電層94中的僅僅被顯影劑圖像覆蓋的部分殘留在絕緣性基體材料93上，從而成為柔性電路基板的布線圖案(即銅電極和銅配線)。對象物9的被實施蝕刻的部位借助移動機構(gòu)2從蝕刻裝置61向第一清洗裝置62 移動，并且在第一清洗裝置62被噴射純水，以此清洗對象物9從而除去對象物9上的蝕刻液(步驟S20)。對象物9的清洗完畢的部位借助移動機構(gòu)2從第一清洗裝置62向圖像除去裝置 63移動，在圖像除去裝置63被涂敷剝離液，以此從布線圖案上剝離除去對象物9上的顯影劑圖像(即，絕緣性基體材料93上所形成的布線圖案上的抗蝕劑圖案)(步驟S21)。由此， 形成具有絕緣性基體材料93和形成于絕緣性基體材料93上的銅布線圖案的柔性電路基板。對象物9的顯影劑圖像被剝離的部位借助移動機構(gòu)2從圖像除去裝置63向第二清洗裝置64移動，在第二清洗裝置64被噴射純水，以此清洗對象物9來除去對象物9上的剝離液(步驟S22)。然后，對象物9的清洗完畢的部位借助移動機構(gòu)2從第二清洗裝置64 搬出，并且在根據(jù)需要進行加熱或送風(fēng)等來對其進行干燥之后，由移動機構(gòu)2的對象物回收部205來卷繞并回收。由此，形成多個柔性電路基板連續(xù)的電路基板片。在以上的工序中，本實施方式中的圖案形成系統(tǒng)100將想要制造的柔性電路基板的銅布線圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)從外部的CAD系統(tǒng)等輸入至數(shù)據(jù)處理部7，并將該設(shè)計數(shù)據(jù)作為成為顯影劑圖像來源的原始圖案數(shù)據(jù)而存儲在原始圖案數(shù)據(jù)存儲部71中。并且，為了最終在對象物9 (柔性基板)的表面上形成與該原始圖案數(shù)據(jù)相符的顯影劑圖像，考慮顯影工序、轉(zhuǎn)印工序中的圖案的變形(變粗)，利用數(shù)據(jù)修正部72修正原始圖案數(shù)據(jù)，從而生成修正完畢圖案數(shù)據(jù)(步驟Sll)。這樣，在圖像形成裝置1中，數(shù)據(jù)修正部72發(fā)揮圖像數(shù)據(jù)生成裝置的作用，該圖像數(shù)據(jù)生成裝置生成用于形成顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)即修正完畢圖案數(shù)據(jù)。然后，利用該修正完畢圖案數(shù)據(jù)進行曝光、顯影、轉(zhuǎn)印、蝕刻及剝離工序，從而制造柔性電路基板。接著，說明圖案形成系統(tǒng)100的數(shù)據(jù)修正部72進行數(shù)據(jù)修正的細(xì)節(jié)，即上述的步驟Sll的細(xì)節(jié)。<靜電潛像和轉(zhuǎn)印后的顯影劑圖像變粗的一般的傾向>圖7A至圖7C示出了如下情況下的靜電潛像與顯影劑圖像之間的關(guān)系，箭頭的左側(cè)表示靜電潛像，右側(cè)表示顯影劑圖像，其中，上述情況是指，用靜電復(fù)印法在感光體鼓上形成任意圖形圖案的靜電潛像，使液體顯影劑附著來顯影并轉(zhuǎn)印在對象物上，從而形成顯影劑圖像的情況。這里，所謂的圖形圖案，是指原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素。如圖7B 所示，在圖形圖案為圓形的情況下在各方向上均勻變粗，如圖7C所示，在為正方形的情況下，相對于各邊均勻變粗。另外，在圖形圖案為線狀的情況下，如圖7A所示，顯影劑圖像與靜電潛像相比，寬度方向的變粗量比長度方向的變粗量大。<圖形圖案組的周圍對各圖形圖案的變粗的影響>由本發(fā)明者們研究開發(fā)的結(jié)果可知，在想要形成多個圖形圖案集合而成的圖形要素組即圖形圖案組的顯影劑圖像的情況下，各圖形圖案的顯影劑圖像變粗的狀態(tài)，將根據(jù)如何受到該圖形圖案組的外廓線外側(cè)的不存在圖形圖案的區(qū)域的影響而改變，而且將根據(jù)該圖形圖案在圖形圖案組中與上述外廓線之間的位置關(guān)系而不同。圖8示出了圖形圖案組的一個例子，這里，圖中縱向長度長的線段(圖中涂黑的部分)的多個圖形圖案以平行的狀態(tài)聚集而形成圖形圖案組。
另外，在該圖8的說明中，所謂的外廓線，是指將形成圖形圖案組的全部圖形圖案 (縱向長度長的線段)看作一個圖形組，將位于圖中最左側(cè)的線段的左邊、全部的線段的下邊的延長線、位于圖中最右側(cè)的線段的右邊以及全部的線段的上邊的延長線順序連接而成的線，在該外廓線的內(nèi)部包括全部的圖形圖案。在對于此種圖形圖案組，利用靜電復(fù)印方式在感光體鼓上形成靜電潛像，并使液體顯影劑附著來顯影，然后轉(zhuǎn)印在對象物上來獲得顯影劑圖像的情況下，圖形圖案的各部分受到來自外廓線外側(cè)的影響的方式有以下三種方式。第一是不受來自圖形圖案組的外廓線外側(cè)的影響的情況。距離外廓線規(guī)定距離 (這里為300μπι)以上的內(nèi)側(cè)的圖形圖案符合這部分。這部分是位于圖8的標(biāo)有Rl的區(qū)域的圖形圖案。第二是從圖形圖案的短邊側(cè)受到來自圖形圖案組的外廓線外側(cè)的影響的情況。位于距離圖形圖案組的外廓線規(guī)定距離(這里為300μπι)以內(nèi)的位置且圖形圖案的線段的短邊與外廓線相重疊的圖形圖案符合該部分。第三是從圖形圖案的長邊側(cè)受到來自圖形圖案組的外廓線外側(cè)的影響的情況。位于距離圖形圖案組的外廓線規(guī)定距離(這里為300μπι)以內(nèi)的位置且圖形圖案的線段的長邊與外廓線相重疊或平行的圖形圖案符合這部分。就圖8的圖形圖案組而言，對照三種方式，則圖8中標(biāo)有R2的區(qū)域的圖形圖案符合第二方式，同樣地，標(biāo)有R3的區(qū)域符合第三方式，標(biāo)有R4的區(qū)域符合第二方式和第三方式這兩種方式。另外，剩余的圖形圖案組的中央部的標(biāo)有Rl的區(qū)域符合第一方式。并且，實驗性地確認(rèn)出，在這些各個區(qū)域，所形成的顯影劑圖像將如下地變粗。艮口， Rl區(qū)域如圖9Α那樣與線段的方向無關(guān)地變粗規(guī)定量。R2區(qū)域如圖9Β那樣與線段的方向無關(guān)地短邊側(cè)的前端變粗而成為如棉棒的圓形前端那樣的形狀，而且變粗量隨著遠(yuǎn)離前端 (外廓)而減少。R3區(qū)域如圖9C那樣與線段的方向無關(guān)地其粗度方向的變粗量隨著遠(yuǎn)離外廓而減少。R4區(qū)域的變粗方式為R2區(qū)域的變粗方式和R3區(qū)域的變粗方式疊加的變粗方式。另外，在這里，與外廓線之間的規(guī)定距離即300μπι表示與外廓線外側(cè)的無圖形區(qū)域相對應(yīng)的液體顯影劑被圖形圖案的靜電潛像的電荷吸引而對圖形圖案的顯影劑圖像帶來影響的區(qū)域的距離。該規(guī)定距離的具體的值能夠根據(jù)曝光、顯影的條件或液體顯影劑的特性等而變更。實際上，可以根據(jù)例如圖案形成系統(tǒng)100的條件來實驗性地決定。<各區(qū)域的圖形圖案數(shù)據(jù)的修正規(guī)則>在本發(fā)明中，根據(jù)上述的與周圍之間的位置關(guān)系和變粗方式，利用數(shù)據(jù)修正部72 對作為顯影劑圖像來源的原始圖案數(shù)據(jù)進行變細(xì)修正，從而生成修正完畢圖案數(shù)據(jù)。該修正是考慮各區(qū)域的變粗方式，按照抵消變粗的影響的修正規(guī)則來進行，以使顯影及轉(zhuǎn)印后的顯影劑圖像具有與原始圖案數(shù)據(jù)相等的布線圖案。該修正量即變細(xì)量是考慮到顯影時的顯影劑的過剩附著及轉(zhuǎn)印時的蔓延而計算出的。并且，基于該計算出的修正量來計算修正完畢圖案數(shù)據(jù)，根據(jù)該修正完畢圖案數(shù)據(jù)在感光鼓上進行曝光來形成靜電潛像。若按照每個區(qū)域說明修正的具體內(nèi)容，則需要進行以下修正因為Rl區(qū)域與線段的方向無關(guān)地變粗規(guī)定量，所以對于全部的線段，使之變細(xì)規(guī)定量，例如變細(xì)2μπι。將變細(xì)的修正后的線段作為修正完畢圖案數(shù)據(jù)。
對于位于R2區(qū)域的原始圖案數(shù)據(jù)而言，按照圖IOA的表，在與外廓線相重疊的線段的前端(即端邊)，使其線段的寬度變細(xì)12 μ m，在距離外廓線50 μ m的內(nèi)側(cè)使其線段的寬度變細(xì)IOym……”，這樣地使線段的寬度變細(xì)。例如如下地將線段的前端的左右切成大致三角形來使前端變細(xì)若原始圖案數(shù)據(jù)為圖IOB中用實線表示的粗度為50 μ m的線段，則修正完畢圖案數(shù)據(jù)如用虛線及剖面線表示的那樣，在與外廓線相重疊的部分左右分別變細(xì) F = 6ym即變細(xì)修正量為共計12 μ m,而且在距離外廓線50 μ m的內(nèi)側(cè)之處，左右分別變細(xì) 5 μ m0圖IOB是夸大描畫的圖，圖中，F(xiàn) = 6μπι，Ε = Ιμπι。將變細(xì)的修正后的線段作為修正完畢圖案數(shù)據(jù)。對位于R3區(qū)域的原始圖案數(shù)據(jù)而言，按照圖IlA的表，根據(jù)相應(yīng)的原始圖案數(shù)據(jù)與外廓線之間的距離計算變細(xì)修正量，根據(jù)原始圖案數(shù)據(jù)的線寬計算變細(xì)修正系數(shù)1，根據(jù)與相鄰的布線圖案之間的間隔的寬度計算變細(xì)修正系數(shù)2，并且將這些數(shù)值相乘得到的值作為變細(xì)修正量。例如，若原始圖案數(shù)據(jù)是在圖IlB中用實線表示的粗度為50 μ m的線段， 其外側(cè)與外廓線相重疊，且與相反側(cè)的鄰接圖案的間隔為50 μ m，則在與外廓線相重疊一側(cè)沒有相鄰的布線圖案(間隔寬度為250 μ m以上)，變細(xì)修正量A在與外廓線相重疊的一側(cè)為 A = 12μπιΧ1Χ1. 8 = 19. 2μπι。另外，在相反一側(cè)為 B = 10 μ mX 1 X 1 = 10 μ m。就下一個布線圖案而言，與D側(cè)的相鄰布線圖案的距離也為50μπι，因此C = SymXlXl = 8ym，D = 6ymXlXl = 6ym。由此，修正完畢圖案數(shù)據(jù)成為用虛線及剖面線表示的數(shù)據(jù)。R4區(qū)域的變粗方式是混合R2區(qū)域的變粗方式和R3區(qū)域的變粗方式的變粗方式， 所以修正量也可以是作為R2區(qū)域計算出的值和作為R3區(qū)域計算出的值的和。但是，與這樣的單純的相加方式相比，將修正量設(shè)定為作為R2區(qū)域計算出的值X α +作為R3區(qū)域計算出的值X β =修正量，并導(dǎo)入0彡系數(shù)α、β彡1的系數(shù)來計算，則能夠適合于各種條件。就系數(shù)α、β而言，可以生成根據(jù)原始線寬、與相鄰線的間隔寬度等條件來實驗性地決定出的值的表來使用相應(yīng)的值，或者為了簡單可以規(guī)定適當(dāng)?shù)某?shù)。另外，上述的修正量的計算不限于此，能夠進行其他的變形，另外也能夠?qū)肫渌乃枷?。例如，與區(qū)域R3同樣地，在區(qū)域R1、R2也可以導(dǎo)入圖7的原始線寬、與相鄰線之間的間隔寬度所對應(yīng)的修正量系數(shù)的思想，在修正量表的值上乘以修正量系數(shù)來計算出上述修正量。另外，在存在如圖21A及圖21B所示的區(qū)域R3和R3所夾著的扇形區(qū)域R5，或者區(qū)域R3和R2所夾著的扇形區(qū)域R6的情況下，如下所述地應(yīng)對對扇形區(qū)域R5進行與R3同樣的修正，對扇形區(qū)域R6生成專用的修正用表(未圖示)等。如以上那樣，在通過對圖形圖案數(shù)據(jù)的變細(xì)修正來在對象物9上形成該圖形圖案的顯影劑圖像的情況下，能夠抵消邊緣效應(yīng)，從而該顯影劑圖像能夠成為原始圖案數(shù)據(jù)的該圖形圖案的形狀。<計算修正完畢圖案數(shù)據(jù)的處理流程>這里，基于表示數(shù)據(jù)處理部7的控制裝置(所謂的微型計算機)執(zhí)行的處理流程的具體例的圖12，說明圖3的步驟Sll的修正量的計算和修正完畢圖案數(shù)據(jù)的生成。首先，圖案形成系統(tǒng)100將想要制造的柔性電路基板的銅布線圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)從外部的CAD系統(tǒng)等輸入至數(shù)據(jù)處理部7，并存儲到原始圖案數(shù)據(jù)存儲部71中作為成為顯影劑圖像來源的圖形圖案的原始圖案數(shù)據(jù)(步驟S101)。
然后，接著，劃分用于計算修正量的圖形圖案組(步驟S102)。S卩，在本實施方式中，位于離圖形圖案的靜電潛像的距離為300 μ m左右的位置的顯影劑因電場而被吸引，從而導(dǎo)致變粗，因此若圖形圖案之間的間隔為300 μ m以內(nèi)，則作為一個圖形圖案組對待。具體而言，對于由圖13A所示的黑色線段的集合構(gòu)成的原始圖案數(shù)據(jù)而言，暫且使全部的圖形圖案的各點在全部方向上變粗150 μ m左右。由此，相互之間的距離為300 μ m以內(nèi)的圖形圖案的間隙消失而成為一體，從而成為較大的一個圖形圖案。然后，使該一個圖形圖案的周圍的各點收縮150 μ m，從而得到圖13B。以后，將進入到該圖13B的外形范圍的圖形圖案作為一個圖形圖案組來對待。另外，在一個原始圖案數(shù)據(jù)中存在相互之間的距離為300μπι以上的多個圖形圖案組時，在該步驟S102對各個圖形圖案組進行劃分。換言之，從原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形圖案組劃定出一塊圖形圖案組。然后，對各個圖形圖案組進行以下的修正處理。接著，判定相當(dāng)于前面說明的Rl區(qū)域的部分(步驟S103)。即，使圖13Β的圖形收縮300μπι，得到圖13C。進入該圖13C的外形范圍的圖形圖案成為Rl區(qū)域。該部分的圖形圖案如圖13D所示，是對圖13C和作為原始圖案數(shù)據(jù)的圖13Α進行與(邏輯與)處理而得的。接著，判定相當(dāng)于前面說明的R2區(qū)域、R3區(qū)域及R4區(qū)域的部分(步驟S 104)。 即，從圖13Β的圖形中除去圖13C的Rl區(qū)域而得到圖13Ε，進入到該外形范圍的圖形圖案成為R2區(qū)域、R3區(qū)域及R4區(qū)域。該部分的圖形圖案如圖13F所示，是對圖13Ε和作為原始圖案數(shù)據(jù)的圖13Α進行與(邏輯與)處理而得的。接著，劃定該圖形圖案組的外廓線(步驟S105)。這里，提取圖13F的各圖形圖案的邊緣而得到圖14。接著，對該圖14和圖13C進行或(邏輯或)處理而得到圖15。進而， 從該圖15的邊緣線各邊的各個點使垂直的線伸長出300 μ m，并將不與其他邊緣線重合的部分作為沿周點。連接該沿周點，得到圖16中用粗線表示的外廓線。由此，數(shù)據(jù)修正部72 識別出外廓線。接著，對于成為外廓線的各圖形圖案的各點，判定是圖形圖案的長邊還是短邊 (步驟 S106)。接著，劃分出從短邊側(cè)受到外部的影響的區(qū)域(步驟S107)。這里，如圖17所示， 描畫出在直角方向上將圖形圖案的短邊側(cè)成為外廓線的各點從外廓線向內(nèi)側(cè)壓入的線，將該線與外廓線之間的區(qū)域作為從短邊側(cè)受影響的區(qū)域。接著，劃分出從長邊側(cè)受到外部的影響的區(qū)域(步驟S108)。這里，如圖18所示， 描畫出在直角方向上將圖形圖案的長邊側(cè)成為外廓線的各點從外廓線向內(nèi)側(cè)壓入的線，將該線與外廓線之間的區(qū)域作為從長邊側(cè)受影響的區(qū)域。接著，判定相當(dāng)于前面說明的R4區(qū)域的部分(步驟S109)。S卩，將步驟S107所劃分出的從短邊側(cè)受到影響的區(qū)域與步驟S108所劃分出的從長邊側(cè)受到影響的區(qū)域的重合部分(參照圖19)作為R4區(qū)域。接著，判定相當(dāng)于前面說明的R2區(qū)域及R3區(qū)域的部分(步驟S110)。S卩，將從步驟S107所劃分出的從短邊側(cè)受到影響的區(qū)域中除去R4區(qū)域的區(qū)域作為R2區(qū)域，將從步驟 S108所劃分出的從長邊側(cè)受到影響的區(qū)域中除去R4區(qū)域的區(qū)域作為R3區(qū)域(參照圖19)。然后，通過上述步驟S106至步驟S110，對各圖形圖案分別判定是短邊與外廓線對置的區(qū)域R2，還是長邊與外廓線對置的區(qū)域R3，還是短邊及長邊都與外廓線對置的區(qū)域 R4。這樣，圖像數(shù)據(jù)修正部72，對位于與所識別出的圖形圖案組的外廓線之間的距離小于規(guī)定距離的位置的圖形圖案，判定相對于外廓線的關(guān)系，特別是判定取決于外廓線的形狀及距外廓線的距離的關(guān)系。接著，按照前面說明的R1、R2、R3及R4的各區(qū)域，對相應(yīng)的圖形圖案數(shù)據(jù)計算上述的圖形圖案數(shù)據(jù)的修正量即變細(xì)量(步驟S111)。接著，對各圖形圖案，基于計算出的修正量，修正各圖形圖案數(shù)據(jù)。由此，計算出修正完畢圖案數(shù)據(jù)(步驟S112)。即，對位于距離外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形圖案數(shù)據(jù)， 進行變細(xì)修正。然后，利用如以上那樣計算出的修正完畢圖案數(shù)據(jù)來形成顯影劑圖像。〈長邊、短邊的判定方法〉這里，在計算修正完畢圖案數(shù)據(jù)的處理流程中，對在步驟S106判定成為外廓線的圖形圖案是該圖形圖案的長邊還是短邊的方法，說明其思想的一個例子。(1)首先，對作為判定對象的邊，考慮以下的局部坐標(biāo)系。 判定對象邊的始點(0，0)·判定對象邊的終點(L，0)，其中L =判定對象邊的長度(2)接著，設(shè)定L且L的正方形區(qū)域(在以下的說明中將該正方形區(qū)域稱為判定用區(qū)域)。(3)接著，求出位于判定用區(qū)域內(nèi)的其他邊。(4)接著，求出該判定用區(qū)域內(nèi)的其他邊的、在X方向上的投影長度的總和J。(5)在L/2 < J時，判定為判定對象邊為長邊，在L/2 > J時，判定為判定對象邊為短邊。例如，若對圖20A的圖形圖案的G邊和H邊進行判定，則就邊G而言，如圖20A那樣，因為J = J1+J2 < L/2，所以判定為邊G為短邊。另外，就邊H而言，如圖20C那樣，因為 L/2 ^ J，所以判定為邊H為長邊。另外，若根據(jù)這樣的判定規(guī)則，則例如在對如圖20D的判定對象邊I那樣進行判定的情況下，可能會發(fā)生如下問題由于J = 0 < L/2，所以將原本應(yīng)該判定為長邊的邊I判定為短邊。因此，為了避免此種誤判定，在例如判定對象邊的長度小于40 μ m的情況下，只要在確認(rèn)出與該判定對象邊相連的邊的矢量的基礎(chǔ)上進行如“不判定為短邊”那樣的例外處理即可。另外，上述的修正量的計算，可以用二值圖像進行，也可以直接用向量數(shù)據(jù)來進行。如以上那樣，根據(jù)本發(fā)明，在要在對象物9上形成顯影劑圖像時，對邊緣效應(yīng)所導(dǎo)致的線狀圖形要素的寬度的增大進行修正，從而能夠防止或抑制線寬的增大，能夠?qū)@影劑圖像的線狀圖形要素的寬度做成所期望的寬度，例如能夠做成與布線圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)相等的值。在上述實施方式中，通過數(shù)據(jù)修正部72來實現(xiàn)識別圖形圖案組的外廓線的外廓識別單元、判定外廓線與圖形圖案之間的關(guān)系的判定單元及根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來修正圖形圖案數(shù)據(jù)的修正單元，但這三個單元也可以通過多個裝置來實現(xiàn)。另外，在原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中存在多個圖形圖案組的情況下劃定一塊圖形圖案組的劃定單元也可以通過與數(shù)據(jù)修正部72不同的裝置來實現(xiàn)。 詳細(xì)地描寫并說明了發(fā)明，但所陳述的說明只是示例而不是限定。因此，只要不脫離本發(fā)明的范圍，能夠進行很多變形或能夠?qū)崿F(xiàn)很多方式。
權(quán)利要求
1.一種圖像數(shù)據(jù)生成裝置，生成用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)，其特征在于，具有外廓識別單元，其識別原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組的外廓線； 判定單元，其對位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于所述外廓線的關(guān)系；修正單元，其根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正。
2.根據(jù)權(quán)利要求1記載的圖像數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于，所述修正單元對位于距所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素的數(shù)據(jù)進行變細(xì)修正，使得在所述對象物上形成了該圖形要素的顯影劑圖像的情況下，與邊緣效應(yīng)相抵消從而使該顯影劑圖像形成為原始圖案數(shù)據(jù)的該圖形要素的形狀。
3.一種圖像數(shù)據(jù)生成裝置，生成用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)，其特征在于，具有劃定單元，其在原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組，劃定出一塊圖形要素組； 外廓識別單元，其識別劃定單元劃定出的所述一塊圖形要素組的外廓線； 判定單元，其對所述一塊圖形要素組中的位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于該外廓線的關(guān)系；修正單元，其根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正。
4.根據(jù)權(quán)利要求3記載的圖像數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于，所述修正單元對位于距所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素的數(shù)據(jù)進行變細(xì)修正，使得在所述對象物上形成了該圖形要素的顯影劑圖像的情況下，與邊緣效應(yīng)相抵消從而使該顯影劑圖像形成為原始圖案數(shù)據(jù)的該圖形要素的形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項記載的圖像數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于，所述判定單元判定所述圖形要素的短邊與所述外廓線對置，還是長邊與所述外廓線對置，還是長邊和短邊都與所述外廓線對置。
6.一種圖像數(shù)據(jù)生成方法，生成用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)，其特征在于，包括識別原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組的外廓線的工序；對位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于所述外廓線的關(guān)系的工序；根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正的工序。
7.一種圖像數(shù)據(jù)生成方法，生成用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)，其特征在于，包括在原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組，劃定出一塊圖形要素組的工序； 識別所劃定的所述一塊圖形要素組的外廓線的工序；對所述一塊圖形要素組中的位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于該外廓線的關(guān)系的工序；根據(jù)判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正的工序。
8.一種圖像形成裝置，用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像，其特征在于， 具有圖像數(shù)據(jù)生成裝置，其生成用于形成所述顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)， 潛像形成部，其基于所述圖像數(shù)據(jù)生成裝置所生成的修正完畢數(shù)據(jù)，在感光體上形成靜電潛像，顯影部，其通過對所述靜電潛像提供顯影劑來使所述靜電潛像顯影，從而形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像，顯影劑圖像轉(zhuǎn)印部，其將所述顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物上；其中， 所述圖像數(shù)據(jù)生成裝置具有外廓識別單元，其識別原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組的外廓線， 判定單元，其對位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于所述外廓線的關(guān)系，修正單元，其根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正。
9.一種圖像形成裝置，用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像，其特征在于， 具有圖像數(shù)據(jù)生成裝置，其生成用于形成所述顯影劑圖像的圖像數(shù)據(jù)， 潛像形成部，其基于所述圖像數(shù)據(jù)生成裝置所生成的修正完畢數(shù)據(jù)，在感光體上形成靜電潛像，顯影部，其通過對所述靜電潛像提供顯影劑來使所述靜電潛像顯影，從而形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像，顯影劑圖像轉(zhuǎn)印部，其將所述顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物上；其中， 所述圖像數(shù)據(jù)生成裝置具有劃定單元，其在原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組，劃定出一塊圖形要素組， 外廓識別單元，其識別劃定單元劃定出的所述一塊圖形要素組的外廓線， 判定單元，其對所述一塊圖形要素組中的位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于該外廓線的關(guān)系，修正單元，其根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9記載的圖像形成裝置，其特征在于，所述修正單元對位于距所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的圖形要素的數(shù)據(jù)進行變細(xì)修正，使得在所述對象物上形成了該圖形要素的顯影劑圖像的情況下，與邊緣效應(yīng)相抵消從而使該顯影劑圖像形成為原始圖案數(shù)據(jù)的該圖形要素的形狀。
11.一種圖像形成方法，用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像，其特征在于，包括識別原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組的外廓線的工序；對位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于所述外廓線的關(guān)系的工序；根據(jù)該判定單元的判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正的工序； 根據(jù)修正完畢數(shù)據(jù)來在感光體上形成靜電潛像的工序；通過對所述靜電潛像提供顯影劑來使所述靜電潛像顯影，從而形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像的工序；將所述顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物上的工序。
12. —種圖像形成方法，用于以靜電復(fù)印方式在對象物上形成顯影劑圖像，其特征在于，包括在原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組，劃定出一塊圖形要素組的工序； 識別所劃定的所述一塊圖形要素組的外廓線的工序；對所述一塊圖形要素組中的位于距識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于該外廓線的關(guān)系的工序；根據(jù)判定結(jié)果來對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正的工序； 基于修正完畢數(shù)據(jù)來在感光體上形成靜電潛像的工序；通過對所述靜電潛像提供顯影劑來使所述靜電潛像顯影，從而形成轉(zhuǎn)印前的顯影劑圖像的工序；將所述顯影劑圖像轉(zhuǎn)印在對象物上的工序。
全文摘要
提供一種圖像數(shù)據(jù)生成裝置及其方法、圖像形成裝置及其方法。圖像形成裝置(1)的數(shù)據(jù)修正部(72)，從原始圖案數(shù)據(jù)的圖像中的圖形要素組劃定一塊圖形要素組(步驟S102)，識別所劃定出的所述一塊圖形要素組的外廓線(步驟S105)，對所述一塊圖形要素組中的位于距所識別出的所述外廓線規(guī)定距離內(nèi)的位置的圖形要素，判定相對于該外廓線是長邊與其對置還是短邊與其對置的關(guān)系(步驟S106)，根據(jù)判定結(jié)果來計算修正量(步驟S111)，并對該圖形要素的數(shù)據(jù)進行修正(步驟S112)。
文檔編號G03G21/00GK102169314SQ20111005100
公開日2011年8月31日 申請日期2011年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月25日
發(fā)明者永田泰史, 盛孝之, 青池正明 申請人:大日本網(wǎng)屏制造株式會社