專利名稱：感光性樹脂組合物、使用其的物品以及負型圖案形成方法
技術領域：
本發明涉及分辨力優良、低成本、且在聚酰亞胺母體的結構上可以應用的選擇范圍廣的感光性樹脂組合物，特別涉及可以作為經由通過電磁波的圖案形成工序而形成的制品或構件的材料(例如，電子部件、光學制品、光學部件的成形材料、層形成材料或膠粘劑等)適當利用的感光性樹脂組合物、使用該樹脂組合物制作的物品、以及使用該樹脂組合物的負型圖案形成方法。
背景技術：
一直以來，作為半導體元件的表面保護膜或層間絕緣膜、電子部件的絕緣材料，可以使用耐熱性、電特性、機械特性優良的聚酰亞胺樹脂(非專利文獻1)。半導體集成電路和印刷基板上的電路圖案形成，經由在原材料表面上的抗蝕劑的造膜、對規定部位的曝光、通過蝕刻等除去不需要的部位、基板表面的清洗作業等煩雜且多種的工序來進行，因此，為了簡化電路圖案的制造工序，期待一種耐熱性感光性材料，其可以在通過曝光、顯影的圖案形成后將需要的部分的抗蝕膜作為絕緣材料直接殘留來使用。 作為這樣的材料，提出了將聚酰亞胺作為基礎聚合物的耐熱感光性材料。作為這樣的感光性聚酰亞胺，例如在專利文獻1中最初提出了由聚酰亞胺母體和重鉻酸鹽構成的體系。但是，該材料存在具有實用的靈敏度并且膜形成能力高等優點，但另一方面，存在欠缺保存安定性、而且在聚酰亞胺中殘存鉻離子等缺點，以至于不能實際應用。另外，專利文獻2中介紹了在作為聚酰亞胺母體的聚酰胺酸中通過酯鍵引入有感光性基團的化合物，專利文獻3中介紹了將在聚酰亞胺母體上具有甲基丙烯酰基的胺化合物添加到聚酰胺酸中，使氨基與羧基離子鍵合而成的化合物。但是，以酯鍵為代表的共價鍵型感光性聚酰亞胺，作為問題點可以列舉出合成工序煩雜、成本高。另外，離子鍵型感光性聚酰亞胺，作為問題點可以列舉如下由于聚酰亞胺骨架與感光性基團的鍵合力小，曝光部也溶解，因此膜殘留率降低、膜增厚困難(非專利文獻幻。另外，這些化合物的大部分是有機溶劑顯影性的化合物，考慮到成本方面以及環境負荷方面時，優選為可以通過堿水溶液進行顯影的化合物。這樣的聚酰亞胺母體，為了使耐熱性、機械特性優良，在基本骨架中使用芳香族類單體。通常，在基本骨架中具有芳香族環的聚酰亞胺母體，由于在波長400nm以下的紫外-可見區域、特別是i射線(波長365nm)以下的波長區域具有寬吸收帶，因此在紫外-可見光照射時透光性低。因而，感光性聚酰亞胺具有如下問題在曝光部光化學反應不能充分地進行，并且為低靈敏度或圖案的形狀變差。隨著耐熱感光性材料的應用范圍變寬， 材料要求變得多種多樣，要求感光性聚酰亞胺具有厚膜形成能力。在形成圖案為厚膜的情況下，透光性低的問題變得更加深刻。因此，為了實現膜物性以及靈敏度方面均優良的耐熱性感光性樹脂，在g射線(波長436nm)、h射線(波長405nm)、i射線(波長365nm)區域具有光反應活性的感光性系統的構成是必不可少的，特別優選在g射線(波長436nm)、 h射線(波長405nm)區域具有光反應活性的感光性系統的構成。
近年來，作為新型圖案形成材料之一，光產堿劑備受矚目。例如在非專利文獻3中公開了 2-硝基芐氧羰基環己胺作為光產堿劑。但是，該化合物不具有對h射線的靈敏度， 因此難以通過h射線產生堿。另外，在專利文獻4中公開一種潛在固化性環氧樹脂組合物，其包含環氧樹脂和在分子內具有2個以上由以下通式表示的基團的化合物。但是，在專利文獻4中僅僅公開了 使用超高圧水銀燈對該環氧樹脂組合物進行光照射，然后加熱，由此得到的組合物固化。
權利要求
1. 一種感光性樹脂組合物，其中，含有由通式(I)表示的光產堿劑以及聚酰亞胺母體，
2.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，在所述光產堿劑中，R3以及R4為氫原子、或可具有取代基的碳原子數1 12的烷基。
3.如權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，在所述光產堿劑中，R3以及R4為可具有取代基的碳原子數1 12的烷基。
4.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，在所述光產堿劑中，R3與R4連結形成可含有雜原子的環狀結構。
5.如權利要求1 4中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，由所述通式(I)表示的光產堿劑中，R1和&為甲基。
6.如權利要求1 5中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述聚酰亞胺母體為其自身通過堿性物質的作用促進向最終生成物的反應的物質。
7.如權利要求1 6中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述聚酰亞胺母體為其自身通過堿性物質的作用促進向最終生成物的反應并通過加熱溶解性發生變化的物質。
8.如權利要求1 7中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，還含有增感劑。
9.如權利要求1 8中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述聚酰亞胺母體為聚酰胺酸。
10.如權利要求1 9中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述光產堿劑對于 400nm以上波長的電磁波具有光分解性。
11.如權利要求1 10中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述光產堿劑減少 5%重量的溫度為170°C以上。
12.如權利要求1 11中任一項所述的感光性樹脂組合物，其作為涂料或印刷油墨、或者濾色片、柔性顯示器用膜、半導體裝置、電子部件、層間絕緣膜、配線包覆膜、光電路、光電路部件、防反射膜、全息圖、光學構件或建筑材料的形成材料使用。
13.印刷物、濾色片、柔性顯示器用膜、半導體裝置、電子部件、層間絕緣膜、配線包覆膜、光電路、光電路部件、防反射膜、全息圖、光學構件或建筑材料中的任一種物品，其至少一部分由權利要求1 12中任一項所述的感光性樹脂組合物或其固化物形成。
14.一種負型圖案形成方法，其中，對由權利要求1 12中任一項所述的感光性樹脂組合物構成的涂膜或成形體的表面以規定的圖案狀照射電磁波，在使所述涂膜或成形體的電磁波照射部位的溶解性選擇性地降低之后，進行顯影。
15.如權利要求14所述的負型圖案形成方法，其中，照射電磁波后，進行加熱處理，使所述涂膜或成形體的電磁波照射部位的溶解性選擇性地降低。
全文摘要
本發明提供一種感光性樹脂組合物，其為高靈敏度，不論聚酰亞胺母體的種類如何均得到溶解性對比度，結果可以保持充分的工藝余量，并且得到形狀良好的圖案。所述感光性樹脂組合物，其中，含有由通式(I)表示的光產堿劑以及聚酰亞胺母體，通式(I)中，各符號如說明書中定義所示。通式(I)
文檔編號G03F7/004GK102171612SQ200980138968
公開日2011年8月31日 申請日期2009年10月1日 優先權日2008年10月2日
發明者坂寄勝哉, 片山麻美, 福田俊治 申請人:大日本印刷株式會社