主動元件陣列基板的制作方法

            文檔序號:2749712閱讀:118來源:國知局
            專利名稱:主動元件陣列基板的制作方法
            技術領域
            本實用新型屬于元件陣列基板,尤其涉及一種能應用于顯示面板的主動元件陣列基板。
            背景技術
            在目前液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)的制造過程中,薄膜晶體管陣 列基板(Thin Film Transistor Array substrate,TFT Array substrate)的邊緣(edge) 通常會被研磨,讓應力(stress)不易集中在邊緣,以減少薄膜晶體管陣列基板發(fā)生破裂的 機率。圖IA是現有的一種薄膜晶體管陣列基板未被研磨時的俯視示意圖。請參 閱圖1A,現有的薄膜晶體管陣列基板100包括一基板110、一像素陣列120、多個端子 (terminal) 130、多條引線(lead) 140 以及一短路環(huán)(shorting ring) 150。像素陣列120、端子130、引線140以及短路環(huán)150皆配置于基板110上,而像素陣 列120包括多條掃描線(scan line)122。該端子130連接掃描線122,而引線140連接于 端子130與短路環(huán)150之間。短路環(huán)150通過引線140與端子130能電性連接所有掃描線 122,所以掃描線122彼此電性導通而處于短路狀態(tài)。圖IB是圖IA中線I-I的剖面示意圖。請參閱圖IA與圖1B,當薄膜晶體管陣列基 板100未被研磨時,這時候基板110的邊緣E1,其形狀是呈現棱角形狀,如圖IB所示。此 時,應力容易集中在邊緣E1,以至于在邊緣El處容易發(fā)生破裂。圖IC是圖IA中薄膜晶體管陣列基板被研磨后的俯視示意圖,而圖ID是圖IC中 線II-II的剖面示意圖。請參閱圖IC與圖1D,為了減少邊緣El處發(fā)生破裂的機率,圖IA 的薄膜晶體管陣列基板100會進行研磨,以形成薄膜晶體管陣列基板100’。詳細而言,薄膜晶體管陣列基板100’,其基板110’的邊緣ΕΓ會形成一研磨面F1, 而研磨面Fl為斜面,如圖ID所示。這樣能使應力不易集中在邊緣E1’,減少基板110’的 邊緣ΕΓ發(fā)生破裂的機率。另外,在研磨薄膜晶體管陣列基板100之后,短路環(huán)150會被移 除,讓掃描線122解除短路狀態(tài)。另外,在進行研磨之后,引線140會被部分移除,而形成多條引線140’,如圖IC所 示。各條引線140’的長度Ll會被要求限制在一品管范圍內。一旦長度Ll不在此品管范 圍,代表薄膜晶體管陣列基板100’的質量不合格,而這會導致薄膜晶體管陣列基板100’可 能須要進行重工(rework),甚至報廢。一般而言,引線140’通常是通過光學顯微鏡來進行檢視,以量測各條引線140’的長 度Ll是否落在品管范圍內,并據此判定薄膜晶體管陣列基板100’的質量是否合格,進而決定 薄膜晶體管陣列基板100’是否可以進行后續(xù)正常程序;或者,須要進行重工,甚至報廢。

            實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種引線包括多個彼此串接的線段部,而這些線段部能在視覺上分辨出來的主動元件陣列基板。為解決上述技術問題,本實用新型提供一種主動元件陣列基板,所述主動元件陣 列基板包括一基板;一像素陣列,設置于所述基板上,所述像素陣列包括多條信號線,所述多條信號線 彼此交錯而呈網狀排列;多個端子,設置于所述基板上;以及多條引線,設置于所述基板上,各所述引線包括多個線段部,所述多個線段部彼此 串接,各所述端子連接于其中一線段部與其中一信號線之間,其中一線段部的邊緣與其所 連接的另一線段部的邊緣之間存有二夾角,所述夾角不等于180度。在同一條引線中,鄰接所述端子的線段部的寬度大于另一線段部的寬度;在相連二線段部中,距離所述端子較遠的線段部的寬度小于另一線段部的寬度。同一條引線的其中二線段部的面積不相等;同一條引線的其中二線段部的形狀不 相同。一條引線所包括的線段部的數量超過二個,或者一條引線所包括的線段部的數量 超過三個。所述夾角皆等于90度。至少二夾角皆小于180度;或者至少二夾角皆大于180度。所述線段部的形狀皆為矩形。至少一線段部的形狀為梯形。一些信號線為多條掃描線,而各所述掃描線連接其中一端子;或者一些信號線為 多條數據線,而各所述數據線連接其中一端子。所述像素陣列還包括多個像素單元,所述像素單元電性連接所述信號線。在本實用新型中,由于其中一線段部的邊緣與其所連接的另一線段部的邊緣之間 的夾角皆不等于180度,以至于同一條引線的這些線段部在視覺上可以分辨出來。因此,本 實用新型能讓工作人員可以很方便地進行主動元件陣列基板的檢視,以加速檢視工作的進 行,縮短進行檢視工作所要花費的時間。

            圖IA是現有的一種薄膜晶體管陣列基板未被研磨時的俯視示意圖。圖IB是圖IA中線I-I的剖面示意圖。圖IC是圖IA中薄膜晶體管陣列基板被研磨后的俯視示意圖。圖ID是圖IC中線II-II的剖面示意圖。圖2A是本實用新型第一實施例的主動元件陣列基板的俯視示意圖。圖2B是圖2A中其中一條引線的局部放大示意圖。圖3A是本實用新型第二實施例的主動元件陣列基板的俯視示意圖。圖3B是圖3A中其中一條引線的局部放大示意圖。圖4A是本實用新型第三實施例的主動元件陣列基板的俯視示意圖。圖4B是圖4A中其中一條引線的局部放大示意圖。
            具體實施方式
            為了使本實用新型所要解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白,以 下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實 施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。圖2A是本實用新型第一實施例的主動元件陣列基板的俯視示意圖。請參閱圖2A, 本實施例的主動元件陣列基板200包括一基板210、一像素陣列220、多個端子230以及多 條引線240,其中像素陣列220、端子230以及引線240均設置在基板210上。另外,圖2A 所示的主動元件陣列基板200尚未被研磨,所以主動元件陣列基板200還包括連接引線240 的短路環(huán)250a、250b。像素陣列220包括多條彼此交錯而呈網狀排列的信號線222、224,其中信號線222 為掃描線,而信號線224為數據線(data line)。在本實施例中,信號線222、224均連接端 子230,其中信號線222 (即掃描線)連接其中一個端子230,而信號線224 (即數據線)連 接另一個端子230。像素陣列220還包括多個像素單元226。像素單元226電性連接信號線222、224, 并可以控制液晶分子的旋轉,讓液晶顯示器能顯示影像。像素單元226的結構可與目前液 晶顯示器的像素單元相同,即像素單元226的結構的技術特征可為現有的技術,所以在此 不對像素單元226進行介紹。端子230不僅連接信號線222、224,還連接引線240。詳細而言,在連接信號線222 的端子230中,各個端子230連接于其中一條引線240與其中一條信號線222之間,而在連 接信號線224的端子230中,各個端子230則是連接于另一條引線240與其中一條信號線 224之間。在本實施例中,各條信號線222可以與其所連接的端子230 —體成型,而各條信號 線224可以與其所連接的端子230 —體成型。另外,各條信號線222的邊緣可以與其所連 接的端子230的邊緣切齊,而各條信號線224的邊緣也可以與其所連接的端子230的邊緣 切齊,如圖2A所示。當然,在其它未繪示的實施例中,在相連接的端子230與信號線222中,端子230 的邊緣可以凸出于信號線222的邊緣(如圖IA所示的薄膜晶體管陣列基板100與100’)。 同樣地,在相連接的端子230與信號線224中,端子230的邊緣也可以凸出于信號線224的 邊緣,所以圖2A中的端子230的形狀僅為舉例說明,并非限定本實用新型。須說明的是,雖然圖2A所示的端子230皆連接信號線222、224,但在其它未繪示的 實施例中,各個端子230也可以僅連接其中一條信號線222或信號線224,即各個端子230 僅連接像素陣列220的掃描線或數據線,例如端子230只連接信號線222 (即掃描線)而不 連接信號線224 (數據線);或是,端子230只連接信號線224 (即數據線)而不連接信號線 222(掃描線)。各條引線240包括多個線段部241、242與243,而同一條引線240的線段部241、 242與243彼此串接。也就是說,在各條引線240中,線段部241、242與243三者彼此連接, 并且排成一串,其中線段部242位于線段部241與線段部243之間。由于圖2A中的各條引線240包括三個線段部,即線段部241、242與243,因此各條
            5引線240所包括的線段部的數量超過二個。然而,在其它未繪示的實施例中,各條引線240 所包括的線段部的數量也可以僅為二個,所以圖2A所示的各條引線240所包括的線段部的 數量僅為舉例說明,并非限定本實用新型。線段部243分別連接端子230。詳細而言,在連接信號線222的端子230中,各個 端子230連接于其中一個線段部243與其中一條信號線222之間,而在連接信號線224的 端子230中,各個端子230則是連接于另一個線段部243與其中一條信號線224之間。圖2B是圖2A中其中一條引線的局部放大示意圖。請參閱圖2A與圖2B,由于同一 條引線240的線段部241、242與243彼此串接,因此在同一條引線240中,線段部241的邊 緣會連接線段部242的邊緣,而線段部242的邊緣會連接線段部243的邊緣。承上述,線段部241的邊緣與其所連接的線段部242的邊緣之間存有二夾角Al,而 線段部242的邊緣與其所連接的線段部243的邊緣之間也存有二夾角A2,其中夾角Al、A2 皆不等于180度。換句話說,線段部241、242及243三者的邊緣并沒有切齊,所以同一條引 線240的線段部241、242及243在視覺上可以分辨出來。在本實施例中,線段部241、242及243的形狀實質上皆為矩形,而夾角A1、A2實質 上皆等于90度。也就是說,線段部241的部分邊緣與其所連接的線段部242的部分邊緣二 者實質上垂直,而線段部242的部分邊緣與其所連接的線段部243的部分邊緣二者也是實 質上垂直。在同一條引線240中,鄰接端子230的線段部243的寬度W3皆大于線段部242的 寬度W2和線段部241的寬度Wl,而寬度W2大于寬度Wl。由此可知,在相連二線段部中,例 如在線段部241、242中,或在線段部242、243中,距離端子230較遠的線段部的寬度小于另 一線段部的寬度。另外,在同一條引線240中,其中二線段部的面積不相等,例如從圖2B可 以看出,線段部241、242及243三者的面積彼此不相等。在研磨主動元件陣列基板200之后,工作人員可以直接用一般的放大鏡或是光學 顯微鏡來檢視這些引線240被研磨后的外觀,確認研磨后的主動元件陣列基板200的質量 是否合格。由于同一條引線240的線段部241、242及243在視覺上可以分辨出來,因此,根 據線段部241、242及243三者研磨后的外觀,工作人員可以很方便地檢視主動元件陣列基 板200,以加速檢視工作的進行。舉例而言,當主動元件陣列基板200進行研磨時,在正常情況下,也就是主動元件 陣列基板200的質量為合格的情況下,線段部241與短路環(huán)250a、250b皆完全移除,線段部 242則是部分移除而保留一部分在基板210上,而線段部243皆未被研磨而全部保留。換句 話說,在研磨后,正常的主動元件陣列基板200應該是會留下部分線段部242與完整的線段 部 243。然而,在異常情況下,即主動元件陣列基板200的質量為不合格的情況下,有可能 只有線段部241被部分移除。此時,主動元件陣列基板200須要重工,以完全移除線段部 241 ;或者,也有可能線段部241、242皆完全移除,而線段部243部分移除,甚至是線段部 243完全移除,而端子230被部分移除。此時,主動元件陣列基板200不僅可能須要進行重 工,甚至更可能被迫報廢。另外,在液晶顯示器的制造過程中,難免會有靜電的產生,而發(fā)生靜電放電的現 象。一般而言,靜電放電通常容易發(fā)生在寬度小的線路上,而一旦線路發(fā)生靜電放電,靜電會破壞線路,造成主動元件陣列基板200損壞,進而導致良率(yield)降低。由于在相連二線段部中,距離端子230較遠的線段部的寬度小于另一線段部的寬 度,因此引線240會讓靜電放電盡量發(fā)生在線段部241,讓線段部241容易遭到靜電的破壞, 以間接保護線段部242、243以及端子230。因為線段部241在研磨過程中必須完全移除,所 以即使靜電破壞線段部241,仍難以造成主動元件陣列基板200的損壞。圖3A是本實用新型第二實施例的主動元件陣列基板的俯視示意圖,而圖3B是圖 3A中其中一條引線的局部放大示意圖。請參閱圖3A與圖3B,第二實施例的主動元件陣列 基板300包括基板210、像素陣列220、端子230、多條引線340以及短路環(huán)250a、250b?;?10、像素陣列220、端子230以及短路環(huán)250a、250b的結構與彼此之間的設 置關系都與第一實施例相同,故不再重復介紹。另外,主動元件陣列基板300的功效以及研 磨后確認質量合格的方式都與第一實施例相同,所以也不再重復介紹。然而,本實施例的主 動元件陣列基板300與第一實施例之間存有差異,即本實施例的引線340形狀與第一實施 例的引線240有所不同。引線340連接端子230,而各條引線340包括多個線段部241、342及243。在同一 條引線340中,線段部241、342及243彼此串接,其中線段部342連接于線段部241與線段 部243之間。線段部241、243的形狀實質上皆為矩形,而線段部342的形狀實質上為梯形, 如圖3B所示。由此可見,在同一條引線340中,其中二線段部的形狀并不相同。另外,在本實施例中,線段部241的邊緣與其所連接的線段部342的邊緣之間存有 二夾角A3,線段部342的邊緣與其所連接的線段部243的邊緣之間存有二夾角A4,其中夾 角A3皆小于180度,夾角A4皆大于180度。換句話說,線段部241與342 二者的邊緣沒有 切齊,線段部243與342 二者的邊緣沒有切齊,如圖3B所示。因此,同一條引線340的線 段部241、342及243在視覺上仍可以分辨出來,讓工作人員方便地檢視主動元件陣列基板 300,加速檢視工作的進行。圖4A是本實用新型第三實施例的主動元件陣列基板的俯視示意圖,而圖4B是圖 4A中其中一條引線的局部放大示意圖。請參閱圖4A與圖4B,第三實施例的主動元件陣列 基板400包括基板210、像素陣列220、端子230、多條引線440以及短路環(huán)250a、250b。承上述,基板210、像素陣列220、端子230以及短路環(huán)250a、250b的結構、功用以 及彼此之間的設置關系都與第一實施例相同,故不再重復介紹,因此以下僅介紹本實施例 與第一實施例二者的差異。本實施例的引線440,其整體形狀與第一實施例的引線240有所不同。詳細而言, 各條引線440包括多個線段部241、442、443、444以及445,其中同一條引線440的線段部 241、442、443、444以及445皆彼此串接,而各條引線440所包括的線段部的數量為五個,已 超過三個。由于各條引線440所包括的線段部的數量超過三個,因此在研磨主動元件陣列基 板400之后,根據引線440被研磨后的外觀,工作人員不僅可以確認研磨后的主動元件陣列 基板400的質量是否合格,同時更可以監(jiān)控研磨機臺的參數是否出現異常。舉例而言,當主動元件陣列基板400進行研磨時,在最佳情況下,即主動元件陣列 基板400的質量為最佳的條件下,線段部241、442和短路環(huán)250a、250b皆完全移除,線段部 443被部分移除而保留一部分在基板210上,而線段部444、445皆未被研磨而全部保留。換句話說,在研磨后,最佳的主動元件陣列基板400應該會留下部分線段部443與完整的線段 部 444、445。其次,當主動元件陣列基板400的質量仍為合格,而研磨機臺的參數開始出現異 常時,有可能線段部241皆完全移除,線段部442被部分移除,而線段部443、444、445則完 全保留;或者,也有可能線段部241、442、443皆完全移除,線段部444被部分移除,而線段部 445則完全保留。由此可見,當線段部442或線段部445 二者被部分移除時,這表示研磨機 臺的參數開始出現異常,研磨機臺須要進行調整(tone)。在異常情況下,即主動元件陣列基板400的質量為不合格的條件下,有可能只有 線段部241被部分移除。此時,主動元件陣列基板400可能須要重工,以完全移除線段部 241 ;或者,也有可能線段部241、442-444皆完全移除,而線段部445則是部分移除,甚至線 段部445完全移除,而端子230被部分移除。此時,主動元件陣列基板400不僅可能須要進 行重工,甚至更可能被迫報廢。綜上所述,由于引線的多個線段部在視覺上可以分辨出來,因此工作人員可以直 接用一般的放大鏡或是光學顯微鏡來檢視引線,并根據線段部研磨后的外觀,來確認研磨 后的主動元件陣列基板的質量是否合格。如此,本實用新型能讓工作人員可以很方便地進 行主動元件陣列基板的檢視,以加速檢視工作的進行,縮短進行檢視工作所要花費的時間。其次,本實用新型還可以設計不同引線的外觀,讓各條引線所包括的線段部的數 量超過三個。如此,在研磨主動元件陣列基板之后,根據這些引線被研磨后的外觀,工作人 員不僅可以確認研磨后的主動元件陣列基板的質量是否合格,同時更可以監(jiān)控研磨機臺的 參數是否出現異常,以提早發(fā)現研磨機臺的需要進行調整的時機,進而提高良率。再者,在相連二線段部中,距離端子較遠的線段部的寬度可以小于另一線段部的 寬度。如此,引線會讓靜電放電盡量發(fā)生在研磨過程中必須完全移除的線段部,以間接保護 其它保留下來的線段部以及端子,進而降低靜電損壞主動元件陣列基板的機率。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本 實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等,均應包含在本實用新型 的保護范圍之內。
            權利要求一種主動元件陣列基板,其特征在于,所述主動元件陣列基板包括一基板;一像素陣列,設置于所述基板上,所述像素陣列包括多條信號線,所述多條信號線彼此交錯而呈網狀排列;多個端子,設置于所述基板上;以及多條引線,設置于所述基板上,各所述引線包括多個線段部,所述多個線段部彼此串接,各所述端子連接于其中一線段部與其中一信號線之間,其中一線段部的邊緣與其所連接的另一線段部的邊緣之間存有二夾角,所述夾角不等于180度。
            2.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,在同一條引線中,鄰接所述端 子的線段部的寬度大于另一線段部的寬度;在相連二線段部中,距離所述端子較遠的線段部的寬度小于另一線段部的寬度。
            3.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,同一條引線的其中二線段部 的面積不相等;同一條引線的其中二線段部的形狀不相同。
            4.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,一條引線所包括的線段部的 數量超過二個,或者一條引線所包括的線段部的數量超過三個。
            5.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,所述夾角皆等于90度。
            6.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,至少二夾角皆小于180度;或 者至少二夾角皆大于180度。
            7.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,所述線段部的形狀皆為矩形。
            8.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,至少一線段部的形狀為梯形。
            9.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,一些信號線為多條掃描線,而 各所述掃描線連接其中一端子;或者一些信號線為多條數據線,而各所述數據線連接其中 一端子。
            10.如權利要求1所述的主動元件陣列基板,其特征在于,所述像素陣列還包括多個像 素單元,所述像素單元電性連接所述信號線。
            專利摘要一種主動元件陣列基板,其包括一基板、一像素陣列、多個端子以及多條引線。像素陣列設置于基板上,并包括多條彼此交錯而呈網狀排列的信號線。這些端子設置于基板上。這些引線設置于基板上。各個引線包括多個彼此串接的線段部,而各個端子連接于其中一線段部與其中一信號線之間。其中一線段部的邊緣與其所連接的另一線段部的邊緣之間存有二夾角,而這些夾角不等于180度。
            文檔編號G02F1/1362GK201681238SQ200920261068
            公開日2010年12月22日 申請日期2009年12月4日 優(yōu)先權日2009年12月4日
            發(fā)明者潘宏維, 郭德興 申請人:深圳華映顯示科技有限公司;中華映管股份有限公司
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