專利名稱：四龍門式檢測裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種面板影像檢測技術，特別是一種四龍門式檢測裝置。
背景技術：
由于全球大尺寸基板的需求量與日俱增，使得針對檢測8. 5代以下的基板的影像 所設計的雙龍門式檢測裝置，在檢測8. 5代以上基板的影像時，檢測的速度明顯變得緩慢。在TFT LCD的檢測過程中，在視覺檢測裝置后有雙龍門式檢測裝置，其在龍門機構 上置設檢測設備。請參閱圖1，其為現有技術的雙龍門式檢測裝置(10)，如圖所示，其包括 第一移動臂(12)和第二移動臂(14)，該第一移動臂(12)和第二移動臂(14)上各設有檢測 單元。經由運輸設備將基板(16)導進檢測位置，在掃描缺陷(161、162、163、164)后再做影 像擷取，故該基板(16)在工藝中所產生的缺陷(161、162、163、164)，可由雙龍門式檢測裝 置(10)得到再次確認。但是，雙龍門式檢測裝置(10)在針對已知坐標位置的缺陷(161、162、163、164)進 行檢測時，以第一移動臂(12)、第二移動臂(14)先分別滑動至缺陷(161)、缺陷(163)，并 由其上所設置的檢測單元擷取影像，再分別滑動至缺陷(164)、缺陷(162)，然后由其上所 設置的檢測單元擷取影像。簡言之，在相同的時間下，該雙龍門式檢測裝置(10)僅將基板 (16)分成左、右兩個區域進行檢測，使得單一移動臂需要執行的影像檢測范圍較大。此外， 由于基板的代增加，使得其尺寸也隨之增大，雙龍門式檢測裝置在檢測基板(26)的速度方 面，也漸漸無法符合客戶的要求。鑒于上述缺點，現有技術的雙龍門式檢測裝置(10)的實用性有限制，因此必須將 其改良以縮短影像檢測所需的時間。
發明內容
為了解決上述問題，本發明目的之一為提供一種四龍門式檢測裝置，其將基座分 成四個檢測區，并以四個移動臂執行檢測，以提升檢測速度。本發明目的之一是提供一種四龍門式檢測裝置，其包括基座、第一測定機構和第 二測定機構，其中第一測定機構包括第一移動臂和第二移動臂，該第一移動臂、第二移動臂 的一側或兩側分別與第一驅動單元相連接，并且第一驅動單元接設于基座；該第二測定機 構，包括第三移動臂和第四移動臂，該第三移動臂、第四移動臂的一側或兩側分別與第二驅 動單元相連接，并且第二驅動單元接設于基座；在上述第一移動臂、第二移動臂、第三移動 臂以及第四移動臂的相對內側各接設至少一可移動的檢測單元。以下通過具體實施例，配合所附圖詳加說明，會更容易了解本發明的目的、技術內 容、特點及其所達成的功效。
圖1為現有技術的雙龍門式檢測裝置的俯視示意圖。
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圖2為本發明的四龍門式檢測裝置的俯視示意圖。 圖3為本發明的四龍門式檢測裝置的側視示意圖。 圖4為本發明的四龍門式檢測裝置的實施示意圖。 主要組件符號說明
具體實施例方式本發明的上述目的，及其結構與功能上的特性，將根據附圖的優選實施例予以說明。請參閱圖2、和3，本發明一優選實施例的四龍門式檢測裝置包括基座(20)、第一 測定機構(22)以及第二測定機構(24)。第一測定機構(22)置設于基座(20)的一半側，包 括第一移動臂(222)及第二移動臂(224)，將第一移動臂(222)、第二移動臂(224)的一側 分別與第一驅動單元(226)相接設(如圖3)，且第一驅動單元(226)接設于基座(20)上。該第二測定機構(24)，其置設于基座(20)的另一半側，包括第三移動臂(242)和 第四移動臂(244)，將第三移動臂(242)、第四移動臂(244)的一側分別與第二驅動單元 (246)相連接(如圖3)，并且第二驅動單元(246)接設于基座(20)上。如圖2所示，在第一移動臂(222)、第二移動臂(224)的相對內側各接設可移動的 檢測單元(223)、檢測單元(225)，經由第一驅動單元(226)以使第一移動臂(222)及其檢 測單元(223)、第二移動臂(224)及其檢測單元(225)分別移動至基板(26)的缺陷(262) 處、缺陷(261)處，以供檢測單元(223、225)擷取缺陷(261、262)的影像，并傳回該缺陷的 位置或僅傳回該缺陷的位置。上述基板(26)為平面待測物。在第三移動臂(242)、第四移動臂(244)的相對內側各接設可移動的檢測單元 (243)、檢測單元(245)，經由第二驅動單元(246)以使第三移動臂(242)及其檢測單元 (243)、第四移動臂(244)及其檢測單元(245)分別移動至基板(26)的缺陷(263)處、缺陷 (264)處，以供檢測單元(243、245)擷取缺陷(263、264)的影像并傳回該缺陷的位置或僅傳 回該缺陷的位置。
在第一移動臂(222)和第二移動臂(224)的一側接設第一導軌(227)，并且第一導 軌(227)置設于基座(20)的一側邊，在第一移動臂(222)和第二移動臂(224)的另一側接 設第二導軌(228)，并且第二導軌(228)置設于基座(20)的中段處。第二導軌(228)上可 接設排氣設備，該排氣設備可用來排出第二導軌(228)所產生的微塵，以免微塵對檢測過 程產生不良的影響。在第三移動臂(242)和第四移動臂(244)的一側接設第三導軌(247)，并且第三導 軌(247)置設于基座(20)的一側邊，在第三移動臂(242)及第四移動臂(244)的另一側接 設第四導軌(248)，并且第四導軌(248)置設于基座(20)的中段處。第四導軌(248)上可 接設排氣設備，該排氣設備可用以排出該第四導軌(248)所產生的微塵，以免微塵對檢測 過程產生不良的影響。上述第一驅動單元(226)、第二驅動單元(246)可為精度較高、剛性較強、能快速 的到達定位，并且在低速中平穩運轉的線性馬達(Linearmotor)，或磁浮，或滾珠螺桿，或鏈 條，或皮帶等等。上述基座(20)上可設置計算機，并且在計算機中預先植入檢測軟件，以指 引第一移動臂(222)、第二移動臂(224)、第三移動臂(242)和第四移動臂(244)的檢測路 徑。該基座(20)上可設置運輸設備，以傳送基板(26)至待檢測位置。綜合上述，本發明的四龍門式檢測裝置將基板(26)分成四個檢測區，并在相同的 時間下以四個移動臂執行檢測，使得各個移動臂所須執行檢測的范圍相對縮小，同時使得 本發明可進行檢測的基板尺寸(26)相對增大，如圖4所示。因此，模擬推估在單片基板(26) 上平均位置存在100個缺陷，同時以現有雙龍門式檢測裝置、本發明進行檢測，現有雙龍門 式檢測裝置須費時約85秒，而本發明則僅費時約54秒。故本發明相對于現有雙龍門式檢 測裝置，其速度明顯較快。以上所述的實施例僅為說明本發明的技術思想和特點，其目的在使本領域技術人 員能夠了解本發明的內容并據以實施，并不能以此限定本發明，即凡是依本發明所公開的 精神所作的等效變化或修飾，仍應涵蓋在本發明的權利要求中。
權利要求
一種四龍門式檢測裝置，包括一基座；以及一第一測定機構，其置設于所述基座的一半側，包括一第一移動臂和一第二移動臂，所述第一移動臂、所述第二移動臂分別與一第一驅動單元連接，并且所述第一驅動單元與所述基座相連接；以及一第二測定機構，其置設于所述基座的另一半側，包括一第三移動臂和一第四移動臂，所述第三移動臂、所述第四移動臂分別與一第二驅動單元連接，并且所述第二驅動單元與該基座相連接；其中所述第一移動臂、所述第二移動臂、所述第三移動臂以及所述第四移動臂的相對內側各接設至少一個可移動的檢測單元，經由所述第一驅動單元、第二驅動單元以使所述第一移動臂、所述第二移動臂、所述第三移動臂以及所述第四移動臂及其檢測單元移動至一基板的一缺陷處，以使所述檢測單元擷取所述缺陷的影像。
2.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第一移動臂和所述第二移動臂的 一側接設有一第一導軌，并且所述第一導軌置設于基座的一側邊，所述第一移動臂和所述 第二移動臂的另一側接設有一第二導軌，并且所述第二導軌置設于所述基座的中段處。
3.如權利要求2所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第二導軌上接設一排氣設備，用 來排出所述第二導軌所產生的微塵。
4.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第三移動臂和所述第四移動臂的 一側接設有一第三導軌，并且所述第三導軌置設于基座的一側邊，所述第三移動臂和所述 第四移動臂的另一側接設有一第四導軌，并且所述第四導軌置設于所述基座的中段處。
5.如權利要求4所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第四導軌上接設一排氣設備，用 來排出所述第四導軌所產生的微塵。
6.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第一驅動單元、第二驅動單元可 為一磁浮、一滾珠螺桿、一鏈條、一皮帶或一線性馬達。
7.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述基座上設置一運輸設備，以傳送 所述基板至待檢測位置。
8.如權利要求1或7所述的四龍門式檢測裝置，其中所述基板為一平面待測物。
9.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述檢測單元移動至所述基板的該缺 陷處，將所述缺陷的位置傳回至一計算機單元。
全文摘要
一種四龍門式檢測裝置，包括基座、第一測定機構和第二測定機構，其中第一測定機構包括第一移動臂和第二移動臂，第一移動臂、第二移動臂的一側或兩側分別與第一驅動單元相連接，并且第一驅動單元接設于基座；第二測定機構，包括第三移動臂和第四移動臂，其中第三移動臂、第四移動臂的一側或兩側分別與第二驅動單元相連接，并且第二驅動單元接設于基座；在上述第一移動臂、第二移動臂、第三移動臂以及第四移動臂的相對內側各接設至少一個可移動的檢測單元。
文檔編號G02F1/13GK101876757SQ20091013621
公開日2010年11月3日 申請日期2009年4月29日 優先權日2009年4月29日
發明者葉君基, 莊茂德 申請人:晶彩科技股份有限公司