專利名稱：液晶板及液晶板的制造方法
技術領域：
本發明涉及液晶板(液晶"冬A)及液晶板的制造方法，特別是涉及在端部具有氣體阻擋層(力1 "'」7層)的液晶板及這樣的液晶板的制造方法。
背景技術：
在將液晶封入到薄膜基板間的液晶盒(液晶* & )中，有時氣體會進入到封入了液晶的區域內，產生氣泡。 因此，已知這樣的方案，S卩，在液晶盒的端部設置環氧粘著劑作為氣體阻擋層，防
止氣體從液晶盒的端部侵入到液晶盒內(例如專利文獻1)。然而，環氧粘著劑等有機材料，
有時不能完全地防止氣體進入，氣體依然進入到液晶盒內導致氣泡的發生。 另外，已知這樣的方案，即，在2片基板間配置由能夠獲得電致發光(EL :Electro
Luminescence)的發光材料構成的薄膜，在其端面，為了防止水蒸汽的進入，設置DLC (類金
剛石碳)膜作為氣體阻擋層(例如專利文獻2)。 可是，作為在基板形成薄膜的一般方法，已知例如在基板保持架在垂直方向載置
多片基板而成膜的方法(例如專利文獻3)。 專利文獻1 :日本特開2001-221998號公報(圖2) 專利文獻2 :日本特開2002-151253號公報(圖1) 專利文獻3 :日本特開平9-167763號公報
發明內容
圖15為用于說明液晶盒的制造工序的一部分的圖。 如圖15(a)所示，同時形成多個液晶盒110，該液晶盒110具有第一透明基板111、第一透明電極圖案112、第一定向層113、液晶層114、第二定向層115、第二透明電極圖案116、第二透明基板117、多個襯墊118及密封材料119等，在該第一透明基板lll及第二透明基板117的外部由等離子鍍膜方式形成用于防止氣體侵入的第二氣體阻擋層121及第三氣體阻擋層122。 此后，在圖15(a)中，由刀具(未圖示)切斷箭頭a及b所示部分，將液晶盒110一個一個地切出。 另外，圖15(b)為用刀具切斷了的液晶盒110的端面的局部放大圖，如圖所示，在切斷面形成多個深1 P m左右的細槽g。微觀地看，該槽g可考慮是因為用圓形前端的刀將具有柔性的基板撕碎地切斷而產生。 因此，如在液晶盒110的端部就這樣涂覆無機氣體阻擋層，則不能夠到達槽g的部分地涂覆，產生不能完全地防止氣體從槽g的部分進入的問題。 因此，本發明的目的在于提供一種能夠有效地防止氣體從液晶盒的端部進入的液晶板及這樣的液晶板的制造方法。 另外，在第一基板111及第二基板117的切斷部位近旁(圖1的虛線c-f)，在第二及第三氣體阻擋層121及第三氣體阻擋層122產生裂縫，所以，如僅在液晶盒110的端部設
置氣體阻擋層，則仍然存在氣體從該裂縫的部分進入的可能性。另外，在第二及第三氣體阻
擋層121及122上分別隔著粘著層配置偏振光片，為此，還存在從粘著層發生的氣體從上述
第二及第三氣體阻擋層121及122的裂縫部分進入到液晶盒內的可能性。 因此，本發明的目的在于提供一種能夠有效地防止氣體從液晶盒的端部及切斷部
位近旁進入的液晶板及這樣的液晶板的制造方法。 圖16為表示進行成膜的例子的圖。 圖16(a)表示在設置于反應管152內的基板支承夾具150上載置了晶片(基板)159的狀態的剖視圖。圖16(b)為從上方觀看圖16(a)的狀態的圖。如圖16所示那樣，基板159支承在基板支承夾具150的框架151上。在圖16所示方法中，以在基板159的上面成膜為目的，不以在基板的周邊成膜為目的。為此，在基板159的周邊部中的靠近基板支承夾具部150的部分不成膜，不能用于在基板周邊部成膜的目的。另外，在框架151與基板159接觸的部分如存在塵土，則有可能在基板159的背面產生劃痕。在硅晶片等那樣即使在背面產生劃痕也不產生大的問題的場合，能夠利用圖16所示那樣的基板支承夾具，但在液晶板那樣在背面產生的劃痕也對外觀質量產生影響的那樣的場合，劃痕可能成為影響質量的原因，所以，圖16所示那樣的基板支承夾具不能利用。 因此，本發明的目的在于提供一種能夠在液晶板的端部進行成膜，并且能夠抑制在液晶板的基板產生劃痕的液晶板的制造方法。 本發明的液晶板的特征在于具有液晶盒、平坦化層、氣體阻擋層；該液晶盒包含第一基板、第二基板、密封構件及在第一和第二基板間由密封構件封入的液晶層；該平坦化層覆蓋液晶盒的端部地配置著；該氣體阻擋層配置在平坦化層上。 另外，本發明的液晶板的制造方法的特征在于形成包含第一基板、第二基板、密封構件及在第一和第二基板間由密封構件封入的液晶層的液晶盒，覆蓋液晶盒的端部地涂覆平坦化層，在平坦化層上形成氣體阻擋層。 在上述本發明的液晶板及按照本發明的制造方法制造的液晶板的場合，能夠防止氣體從液晶板的端部進入，能夠避免氣泡在液晶層內發生。 本發明的液晶板的特征在于具有液晶盒、平坦化層、氣體阻擋層；該液晶盒包含第一基板、第二基板、密封構件及在第一和第二基板間由密封構件封入的液晶層，具有端部、上面及下面；該平坦化層覆蓋液晶盒的端部、上面及下面的一部分地配置著；該氣體阻擋層配置在平坦化層上。 另外，本發明的液晶板的制造方法的特征在于形成多個包含第一基板、第二基板、密封構件及在第一和第二基板間由密封構件封入的液晶層，并具有端部、上面及下面的液晶盒，切斷液晶盒的端部從而按盒單位切出液晶盒，覆蓋液晶盒的端部、上面及下面地涂覆平坦化層，在平坦化層上形成氣體阻擋層。 在上述本發明的液晶板及按照本發明的制造方法制造的液晶板的場合，能夠防止氣體從液晶板的端部及用于切出液晶盒的切斷部位近旁進入，能夠避免氣泡在液晶層內發生。 本發明的液晶板的制造方法的特征在于準備顯示屏保持架，該顯示屏保持架具有對液晶板進行支承的顯示屏支承部，使顯示屏支承部接觸在液晶板端部的一部分而對液晶板進行支承地在顯示屏保持架上安放液晶板，在液晶板端部形成成膜材料的膜。 在本發明的液晶板的制造方法中，最好利用多個顯示屏支承部在液晶板端部的多
個部位進行支承。 另外，在本發明的液晶板的制造方法中，最好液晶板端部與顯示屏支承部接觸的部分的形狀為線狀或點狀。 在本發明的液晶板的制造方法中，最好由濺鍍法在液晶板端部進行成膜。在該場合，最好使液晶板端部與成膜材料的飛來方向相向，一邊使液晶板在外形的周向轉動一邊實施濺鍍法。 按照上述本發明的液晶板的制造方法，能夠不在液晶板的表面及背面形成劃痕地在液晶板的端面及液晶板的端部的表面及下面進行成膜。
圖1為本發明液晶板的概略剖視圖。 圖2(a)為表示切出一個液晶盒110的狀態的圖，圖2(b)為表示覆蓋液晶盒110的端部地涂覆平坦化層141的狀態的圖，圖2(c)為表示在平坦化層141上形成無機氣體阻擋層142的狀態的圖，圖2(d)為表示在無機氣體阻擋層142上涂覆有機保護層143的狀態的圖。 圖3為表示用于平坦化層的涂覆的夾具的圖。 圖4(a)為用于說明無機氣體阻擋層的成膜方法的圖，圖4(b)為用于說明重疊多
個液晶盒100的層疊體330的圖。 圖5為本發明另一液晶板的概略剖視圖。 圖6(a)為表示切出一個液晶盒110的狀態的圖，圖6(b)為表示覆蓋液晶盒110的端部地涂覆平坦化層241的狀態的圖，圖6(c)為表示在平坦化層241上形成無機氣體阻擋層242的狀態的圖，圖6 (d)為表示在無機氣體阻擋層242上涂覆有機保護層243的狀態的圖。 圖7為濺鍍裝置的概略圖。 圖8為用于圖7所示濺鍍裝置的顯示屏保持架403的立體圖。 圖9(a)為未載置液晶盒110的狀態的顯示屏保持架403的從上方的俯視圖，圖
9(b)為載置了液晶盒110的狀態的顯示屏保持架403的從上方的俯視圖。 圖10(a)為未載置液晶盒110的狀態的顯示屏保持架403的正視圖，圖10(b)為
載置了液晶盒110的狀態的顯示屏保持架403的正視圖。 圖ll(a)為未載置液晶盒110的狀態的顯示屏保持架403的側視圖，圖ll(b)為載置了液晶盒110的狀態的顯示屏保持架403的側視圖。 圖12(a)為表示在顯示屏保持架403載置液晶盒110的順序(1)的圖，圖12(b)為表示在顯示屏保持架403載置液晶盒110的順序(2)的圖。 圖13(a)為表示在顯示屏保持架403載置液晶盒110的順序(3)的圖，圖13(b)
為表示在顯示屏保持架403載置液晶盒110的順序(4)的圖。 圖14為用于圖7所示濺鍍裝置的另一顯示屏保持架503的立體圖。 圖15(a)為用于說明液晶盒的制造工序的一部分的圖，圖15(b)為由刀具切斷了
5的液晶盒110的端面的局部放大圖。 圖16(a)為在設置于反應管152內的基板支承夾具150上載置了晶片(基板)159 的狀態的剖視圖，圖16(b)為從上方觀看到的狀態的圖。
具體實施例方式
下面，參照
本發明的液晶板及其制造方法。
圖1為本發明液晶板的概略剖視圖。 圖1所示液晶板100由液晶盒110、配置在液晶盒110的上面上的第一偏振光片 130、用于固定第一偏振光片130的第一粘著層132、配置在液晶盒110的下面上的第二偏振 光片131、用于固定第二偏振光片131的第二粘著層133、覆蓋液晶盒110的(作為切斷面 的)端部地配置的第一氣體阻擋層140等構成。 液晶盒110具有第一透明基板111、第二透明基板117、密封材料119、為了保持第 一及第二透明基板111及117間的間隔而配置了多個的襯墊118、封入在第一及第二透明 基板111及117與密封材料119間的液晶層114、配置在第一透明基板111上的第二氣體 阻擋層121、配置在第二透明基板117上的第三氣體阻擋層122等。另外，在第一透明基板 111上形成第一透明電極圖案112及第一定向層113，在第二透明基板117上形成與第一透 明電極圖案112相向的第二透明電極圖案116及第二定向層115。請留意，為了進行說明， 圖1的比例尺可能與實際不同。 在液晶層114使用一般使用的TN(雙扭式向列型)液晶等。 第一及第二透明基板111及117為柔性的，由厚度lOOym的聚碳酸酯樹脂形成。 然而，第一及第二透明基板lll及117不限于此，也可為變性丙烯酸樹脂、聚甲基丙烯酸樹 脂、聚醚砜樹脂、聚對苯二甲酸乙二酯樹脂、降冰片烯(7 A40于 > )樹脂、玻璃等，厚度 也可以為50 250iim。 第一及第二透明電極圖案112及115通過在第一及第二透明基板111及117上分 別用濺鍍法形成厚約O. 03ym的由ITO構成的透明導電膜，此后由腐蝕將不需要的部分除 去而圖案化。對第一及第二透明電極圖案實施規定的配線，從液晶板100的顯示驅動控制 部(未圖示)施加規定的交流電壓地構成。液晶板100的顯示驅動控制部在第一及第二透 明電極圖案112及115間施加規定的交流電壓，從而能夠在透過模式與非透過模式間切換 液晶層114。 第二及第三氣體阻擋層121及122由二氧化硅構成，在制造液晶盒時由濺鍍法在 第一及第二透明基板111及117上成膜。 第一氣體阻擋層140由平坦化層141、無機氣體阻擋層142及有機保護層143構 成。在圖2中，僅表示液晶板100的一部分的剖視圖，第一氣體阻擋層140在液晶盒110的 大體整個周圍進行配置。 作為平坦化層141，使用以環氧樹脂為主成分的、作為氣體阻擋性樹脂的"馬克西 布(^々^一^)"(注冊商標)，使干燥時的膜厚成為約5 lOym地進行涂覆。如上述 那樣，在液晶盒110的端部形成在切斷時產生的細槽(參照圖15(b))，即使想就這樣利用濺 鍍等涂覆無機氣體阻擋層，槽也不能被無機氣體阻擋層可靠地覆蓋，不能防止氣體的進入。 因此，為了對槽進行填充，覆蓋液晶盒110的端部地先設置了平坦化層141。而且，在本實施例中，作為平坦化層141，利用了以環氧樹脂為主成分的樹脂，該環氧樹脂還兼有氣體阻擋 性能，所以，能夠進一步提高氣體阻擋性能。 作為無機氣體阻擋層142，使用二氧化硅，由濺鍍法使膜厚成為100nm地成膜。而 且，無機氣體阻擋層不限于于由二氧化硅形成的阻擋層，例如也可由氮化硅、DLC、鋁箔、銅 箔等構成。另外，膜厚如在10nm以上，則能夠獲得所期望的氣體阻擋特性。無機氣體阻擋層 142在由平坦化層141平滑化了的表面上成膜，所以，能夠確實地覆蓋液晶盒110的端部。
作為有機保護層143，使用以環氧樹脂為主成分的、作為氣體阻擋性樹脂的"馬克 西布(^々)一7")"(注冊商標)，使干燥時的膜厚成為約5 10iim地涂覆。由具有氣體 阻擋特性的平坦化層141和無機氣體阻擋層142，能夠獲得足夠的氣體阻擋功能，所以，不 一定非要設置有機保護層143。然而，無機氣體阻擋層142為硬質，所以，除了成膜時的針孔 外，還存在發生劃痕、裂紋等的可能性，有機保護層143的目的在于彌補這樣的針孔、劃痕、 裂紋等導致的氣體阻擋特性的不完備。因此，通過設置有機保護層143，能夠可靠地維持液 晶盒110的端部的氣體阻擋特性。 圖2是用于說明液晶板100的制造工序的圖。 圖2(a)表示由刀具切斷同時形成了多個的液晶盒110而切出一個液晶盒110的 狀態(即圖15(a)的工序后的狀態)。 在圖2(a)所示狀態下，液晶盒110具有第一透明基板111、第一透明電極圖案 112、第一定向層113、液晶層114、第二定向層115、第二透明電極圖案116、第二透明基板 117、襯墊118、密封材料119、第二氣體阻擋層121、第三氣體阻擋層122等。另外，如上述那 樣，在液晶盒IIO的端部形成在切斷時產生的細槽(參照圖15(b))。
圖2(b)為表示覆蓋液晶盒110的端部地涂覆了平坦化層141的狀態的圖。
平坦化層141的涂覆利用圖3所示那樣的夾具進行。S卩，在配置于基座300的金 屬板301和磁鐵302間，將圖2(a)所示液晶盒110夾入，使得容易涂覆液晶盒110的周圍 的端部地固定。由磁鐵302與金屬板301間的磁力固定液晶盒110，所以，不在液晶盒110 形成劃痕，另外，也不利用特別的粘著劑等，能夠簡單地進行平坦化層141的涂覆。
固定液晶盒110后，在三聚氰酰胺樹脂制海綿310的前端部抹上以環氧樹脂為主 成分的作為氣體阻擋性樹脂的"馬克西布(^々)一^ )"(注冊商標)與溶劑混而獲得的 溶液312，涂覆在液晶盒110的規定區域地作業。平坦化層141的涂覆除了利用三聚氰酰胺 樹脂制海綿310以外，還可利用高密度的海綿、高精細纖維的布等。在涂覆溶液312后，在 60 8(TC下對液晶盒110進行約1小時燒成，使溶劑揮發，完成平坦化層141的涂覆。平 坦化層141也可通過分成多次反復涂覆溶液而成膜。 圖2(c)為表示在平坦化層141上形成了無機氣體阻擋層142的狀態的圖。
無機氣體阻擋層142通過一邊使液晶板100轉動，一邊在氬與氧的混合氣氛中使 從靶221飛出來的硅與氧反應，從而成膜。如圖4(a)所示，層疊了多個液晶板100的層疊 體330載置在按k方向自轉的小型轉盤323上，該小型轉盤323配置在按j方向公轉的大型 轉盤322上，該大型轉盤322配置在容器320內。層疊體330如圖4(b)所示，通過使30片 左右的液晶盒100與比液晶盒110小一圈的襯墊交替地層疊而成，使液晶盒110的端部附 近露出地配置。二氧化硅分子341與氬分子340沖撞而隨機移動，所以，能夠在液晶盒110 的端部均勻地形成規定厚度(例如100nm)的無機氣體阻擋層142。而且，由于液晶盒110的端部附近露出地配置，所以，例如在液晶盒110具有圖4(b)所示開口部150的場合，開口部150的部分也能夠良好地形成無機氣體阻擋層。 圖2(d)為表示在無機氣體阻擋層142上涂覆了有機保護層143的狀態的圖。
有機保護層143的涂覆與平坦化層141的涂覆同樣，利用圖3所示那樣的夾具，在三聚氰酰胺樹脂制海綿310的前端部抹上以環氧樹脂為主成分的作為氣體阻擋性樹脂的"馬克西布("7々)一^)"(注冊商標)與溶劑混而獲得的溶液312，涂覆在液晶盒110的規定區域地作業。在涂覆溶液312后，在60 8(TC下對液晶盒110進行約1小時燒成，使溶劑揮發，完成有機保護層143的涂覆。 如上述那樣，按照圖2(a) 圖2(d)的制造工序，在液晶盒110的端部形成第一氣體阻擋層140。 形成第一氣體阻擋層140后，在液晶盒110的上面配置第一粘著層132及第一偏振光片，在液晶盒110的下面配置第一粘著層132及第一偏振光片，完成液晶板100。
可是，在利用鋁箔作為無機氣體阻擋層142的場合，涂覆平坦化層141后，覆蓋涂覆面地使鋁箔粘著，用自動皺紋加壓裝置加壓，使氣泡消失后，在鋁箔的端部也涂覆粘著劑，完成鋁箔的配置。在鋁箔粘著時，最好使用在平坦化層141利用的樹脂。
圖5為本發明的另一液晶板的概略剖視圖。 圖5所示液晶板200由液晶盒110、配置在液晶盒110的上面x上的第一偏振光片230、用于固定第一偏振光片230的第一粘著層232、配置在液晶盒110的下面y上的第二偏振光片231、用于固定第二偏振光片231的第二粘著層233、覆蓋液晶盒110的上面x的一部分(切斷部位近旁)、下面y的一部分(切斷部位近旁)及端部z (切斷面)地配置的第一氣體阻擋層240等構成。液晶盒110與圖1所示液晶盒110中的液晶盒同樣，所以，省略說明。 第一氣體阻擋層240由平坦化層241、無機氣體阻擋層242、及有機保護層243構成。在圖5中，僅表示液晶板200的一部分的剖視圖，但氣體阻擋層240實際上配置在液晶盒110的大體整個周圍。 作為平坦化層241，使用以環氧樹脂為主成分的、作為氣體阻擋性樹脂的"馬克西布(^々^一7")"(注冊商標)，使干燥時的膜厚成為約5 10iim地涂覆。如上述那樣，在液晶盒110的上面x及下面y的切斷部位近旁，在切斷時產生裂縫，如果這樣，則存在氣體從裂縫的部分進入的危險。另外，即使想利用濺鍍等涂覆無機氣體阻擋層，裂縫的部分也不被無機氣體阻擋層可靠地覆蓋，不能防止氣體的進入。同樣，在液晶盒110的端部z形成在切斷時產生的細槽(參照圖15(b))，即使想就這樣利用濺鍍等涂覆無機氣體阻擋層，槽也不被無機氣體阻擋層可靠地覆蓋，不能防止氣體的進入。為此，為了對裂縫、槽進行填充，覆蓋液晶盒110的上面x及下面y的切斷部位近旁和端部z地先設置平坦化層241。而且，在本實施例中，作為平坦化層241，利用了以環氧樹脂為主成分的樹脂，該環氧樹脂還兼有氣體阻擋性能，所以，能夠進一步提高氣體阻擋性能。 無機氣體阻擋層242使用二氧化硅，用濺鍍法使膜厚成為100nm地成膜。而且，無機氣體阻擋層不限于用二氧化硅獲得，例如也可由氮化硅、DLC、鋁箔、銅箔等構成。另外，膜厚如在10nm以上，則能夠獲得所期望的氣體阻擋特性。無機氣體阻擋層242在由平坦化層241平滑化了的表面上成膜，所以，能夠確實地覆蓋液晶盒110的上面x及下面y的切斷部
8位近旁和端部z。 作為有機保護層243，使用以環氧樹脂為主成分的、作為氣體阻擋性樹脂的"馬克 西布(^々)一7")"(注冊商標)，使干燥時的膜厚成為約5 10iim地涂覆。由具有氣體 阻擋特性的平坦化層241和無機氣體阻擋層242，能夠獲得足夠的氣體阻擋功能，所以，不 一定非要設置有機保護層243。然而，無機氣體阻擋層242為硬質，所以，除了成膜時的針孔 外，還存在發生劃痕、裂紋等的可能性，有機保護層243的目的在于彌補這樣的針孔、劃痕、 裂紋等導致的氣體阻擋特性的不完備。因此，通過設置有機保護層243，能夠可靠地維持液 晶盒110的上面x及下面y的切斷部位近旁和端部z的氣體阻擋特性。
圖6為用于說明液晶板200的制造工序的圖。 圖6(a)表示同時形成了多個的液晶盒110由刀具切斷、切出了一個液晶盒110的 狀態(即圖15的工序后的狀態)。在圖6(a)所示狀態下，液晶盒110與圖2(a)所示狀態 相同。 圖6(b)為表示覆蓋液晶盒110的上面x及下面y的切斷部位近旁c及e和端部 z地涂覆平坦化層241的狀態的圖。 平坦化層241的涂覆利用圖3所示那樣的夾具進行。平坦化層241涂覆的具體的
順序與關于圖2 (b)使用圖3說明的順序相同，所以，省略說明。 圖6(c)為表示在平坦化層241上形成無機氣體阻擋層242的狀態的圖。 無機氣體阻擋層242通過一邊使液晶板100轉動， 一邊在氬與氧的混合氣氛中使
從靶221飛出來的硅與氧反應，從而成膜。無機氣體阻擋層142成膜的具體的順序與關于
圖2 (c)使用圖4說明的順序相同，所以，省略說明。 圖6(d)為表示在無機氣體阻擋層242上涂覆了有機保護層243的狀態的圖。
有機保護層243的涂覆與平坦化層241的涂覆同樣，利用圖3所示那樣的夾具進 行。有機保護層243的涂覆的具體的順序與使用圖3對圖2(d)進行了說明的順序相同，所 以，省略說明。 如上述那樣，按照圖6(a) 圖6(d)的制造工序，在液晶盒110的端部和其近旁， 形成第一氣體阻擋層240。而且，與圖6(d)所示那樣，第一氣體阻擋層240最好從液晶 盒110的切斷部位到距離w的范圍覆蓋液晶盒110的端部部分。在本實施例中，距離w為 0. 5mm。 第一氣體阻擋層240形成后，避開第一氣體阻擋層240，在液晶盒110的上面x上 配置第一粘著層232及第一偏振光片230，在液晶盒110的下面y上配置第二粘著層233及 第二偏振光片231，完成液晶板100。而且，由于存在從第一粘著層232及第二粘著層233 發生氣體的可能性，所以，最好第一粘著層232及第二粘著層233與氣體阻擋層140相互不 接觸地設置。 可是，在利用鋁箔作為無機氣體阻擋層242的場合，平坦化層241的涂覆后，覆蓋
涂覆面地粘著鋁箔，用自動皺紋加壓裝置進行加壓，使氣泡消失后，在鋁箔的端部也涂覆粘
著劑，完成鋁箔的配置。在鋁箔粘著時，最好使用在平坦化層241利用的樹脂。 下面，說明按照上述方法制造的液晶板100及200的評價結果。 在70°C、2. 2大氣壓的環境下保管液晶板，經過規定時間后，將液晶板取出到常溫
及常壓的環境，利用鐵球進行在液晶板施加10秒、20N/cm2的壓力的加壓實驗。此時，觀察液晶板內的氣泡的存在、非存在、及發生了的氣泡消失的時間。結果，對于氣體阻擋層140及 240都未設置在端部的液晶板，在經過300 400h后實施了加壓實驗的場合，開始在液晶 板內觀察到氣泡。另外，對于僅在端面設置了氣體阻擋層140的液晶板100，在經過約700h 后實施了加壓實驗的場合，開始在液晶板內觀察到氣泡。另外，對于覆蓋端部地設置了氣體 阻擋層240的液晶板200，在經過約lOOOh后實施了加壓實驗的場合，開始在液晶板內觀察 到氣泡。 根據上述結果和其它可靠性試驗的結果，推斷上述測定結果的加速系數，加以適 用，得到這樣的結論，即，在氣體阻擋層140及240都未設置在液晶板的端部的場合，可以認 為氣泡的發生使得實用期間為2年左右。相對于此，對于氣體阻擋層140僅設置在端面的 液晶板100，實用期間為4 5年，對于覆蓋端部地設置了氣體阻擋層240的液晶板200，已 經明確實用期間大幅度延長為5 6年。 如上述那樣，對于液晶板100及200，由圖4所示裝置實施無機氣體阻擋層142及 242的成膜。然而，也能夠使用以下所示裝置由濺鍍成膜。
圖7為濺鍍裝置的概略圖。 在真空室401內配置轉動的盤402，在其上安置水平地載置了液晶盒的顯示屏保 持架403。盤402在R方向轉動，而載置了盤402的盤支承臺404也在室401內沿T方向轉 動。并且使成膜材料從顯示屏保持架403的側面方向飛來地配置由硅構成的靶405，在氧氣 氛中將活化了的氬氣照射到靶405，由濺鍍法形成Si02膜。通過這樣實施成膜，能夠在液晶 板端部進行成膜。 圖8為用于圖7所示濺鍍裝置的顯示屏保持架403的立體圖。
顯示屏保持架403在長方形的支承臺406上具有配置在液晶盒110的一方的短邊 側的可動支柱407和配置在液晶盒110的周邊的其它5根第一固定支柱481 第五固定支 柱485。如后述那樣，可動支柱407在液晶盒110的載置時能夠裝拆，第一固定支柱481 第五固定支柱485固定在支承臺406。顯示屏保持架403還相應于載置的液晶盒110的片 數在第一固定支柱481 第五固定支柱485固定顯示屏支承部409。另一方面，顯示屏支承 部409未固定在可動支柱407上。在本實施例中，表示了載置5片液晶盒110的例子，但顯 示屏支承部409的數量不限于此，而且也可不在全部顯示屏支承部409載置液晶盒110。
圖9為顯示屏保持架403的從上方的俯視圖。 圖9(a)表示未載置液晶盒110的狀態的顯示屏保持架403，圖9(b)表示載置了液 晶盒110的狀態的顯示屏保持架403。如圖9(a)所示，在支承臺406設置了可動支柱407 和第一固定支柱481 第五固定支柱485。在第一固定支柱481與第二固定支柱482間固 定有折曲的板狀第一顯示屏支承部491，在第三固定支柱第三固定支柱483與第四固定支 柱484間固定折曲了的板狀的第二顯示屏支承部492。另外，使一部分處于第一顯示屏支承 部491及第二顯示屏支承部492上地設有一端固定在第一固定支柱485的折曲的板狀的第 三顯示屏支承部493。如上述那樣，第三顯示屏支承部493不與可動支柱407固定。另外， 第一顯示屏支承部491及第二顯示屏支承部492分別具有2個部位的折曲部411，第三顯 示屏支承部493也具有2個部位的折曲部413。由第一顯示屏支承部491 第三顯示屏支 承部493構成1組顯示屏支承部409，在1組顯示屏支承部409載置1片液晶盒110。在圖 9(a)中僅表示1組顯示屏支承部409，但實際上能夠朝附圖的里側構成多組顯示屏支承部。
設于第一顯示屏支承部491的2個折曲部11間的距離比液晶盒110的橫向寬度 小。第二顯示屏支承部492也同樣，設于第二顯示屏支承部492的2個折曲部412間的距 離比液晶盒110的橫向寬度小。 圖9(b)表示在顯示屏保持架403載置了液晶盒110的狀態。液晶盒110從各支 柱離開規定距離地載置。例如，設液晶盒110的第一短邊1001與可動支柱407的距離為 dl，設液晶盒110的第二短邊1003與第五固定支柱485的距離為d4，則dl、d4的距離最好 使得能夠在液晶盒110的端部均勻地成膜地離開規定的距離。另外，最好dl與d4的大小 大致相等。另外，如設液晶盒110的第一長邊1002與第二固定支柱482的距離為d2，第一 長邊1002與第四固定支柱484的距離為d3，第二長邊1004與第三固定支柱483的距離為 d5，第二長邊1004與第一固定支柱481的距離為d6，則d2、d3、d5、d6的距離最好使得能夠
在液晶盒110的端面均勻地成膜地離開規定距離。另外，最好d2、d3、d5、d6的大小大致相等。 液晶盒110最好在第一顯示屏支承部491及第二顯示屏支承部492共4個部位受 到支承。另外，如液晶盒110在第三顯示屏支承部493的至少1個部位受到支承，在共5個 部位或6個部位受到支承，則更理想。 圖10為表示從圖8的前面側觀看顯示屏保持架403的狀態的圖。
圖10(a)為表示在顯示屏保持架403未載置液晶盒110的狀態的圖。另外，表示 為了說明而除去了可動支柱407的狀態。在支承臺406上設置第一固定支柱481和第二固 定支柱482，在兩者間設置多個第一顯示屏支承部491。另外，雖然未在圖中表示，但實際上 在支承臺406上設置第三固定支柱483和第四固定支柱484，在兩者間設置多個第二顯示屏 支承部492。第一顯示屏支承部491在2個部位的折曲點411折曲，具有澡盆形狀。圖中未 表示的第二顯示屏支承部492也同樣。在第一顯示屏支承部491及第二顯示屏支承部492 上設有一端固定在第五固定支柱485的多個第三顯示屏支承部493，如后述那樣，第三顯示 屏支承部493也在2個部位的折曲點折曲，具有澡盆形狀。由第一顯示屏支承部491、第二 顯示屏支承部492、第三顯示屏支承部493構成一組顯示屏支承部409。
圖10(b)為表示在圖10(a)所示顯示屏保持架403的各顯示屏支承部409上載置 了液晶盒110的狀態。液晶盒110保持在第一顯示屏支承部491上，第一顯示屏支承部491 僅與液晶盒110的棱412接觸。在這里，第一顯示屏支承部491具有板狀，所以，在構成液 晶盒110的棱412的直線與第一顯示屏支承部491平行的場合，第一顯示屏支承部491與 液晶盒110的棱412接觸的部分成為線狀。這里所說的線狀指液晶盒110與顯示屏支承部 接觸的部分的形狀的縱向長度與寬度相比非常大的狀態。另一方面，在構成液晶盒110的 棱412的直線與第一顯示屏支承部491不平行的場合，第一顯示屏支承部491與液晶盒110 的棱412接觸的部分為點狀。這里所說的點狀，指液晶盒110與顯示屏支承部接觸的部分 的面積相比于液晶盒110的尺寸非常小的狀態。 這樣，液晶盒110與第一顯示屏支承部491接觸的部分的面積非常小，液晶盒110 的端部的側面、表面、下面都不與第一顯示屏支承部491接觸，所以，一邊使顯示屏保持架 403轉動， 一邊從顯示屏保持架403的側面方向進行濺鍍，從而能夠在液晶盒110的側面、表 面及下面形成具有足夠膜厚的薄膜。雖然圖中未表示，但實際上液晶盒110與第二顯示屏 支承部492接觸的部分也同樣地形成為線狀或點狀。
11
圖11為圖8所示顯示屏保持架403的側視圖。 圖11(a)為表示未在顯示屏保持架403載置液晶盒110的狀態的圖。在圖11中， 與圖10所示場合不同，表示設置了可動支柱407的狀態。在支承臺406上設有第一固定支 柱481 (圖中未表示)和第二固定支柱482，在兩者間設有多個第一顯示屏支承部491 (圖 中未表示)。另外，在支承臺406上設有第三固定支柱483(圖中未表示)和第四固定支柱 484，在兩者間設有多個第二顯示屏支承部492 (圖中未表示)。在第一顯示屏支承部491 及第二顯示屏支承部492上設有在第五固定支柱485固定了一端的多個第三顯示屏支承部 493，在2個部位的折曲點413折曲，呈澡盆形狀。由第一顯示屏支承部491、第二顯示屏支 承部492、第三顯示屏支承部493構成一組顯示屏支承部409。 圖ll(b)為表示在圖ll(a)所示顯示屏保持架403的各顯示屏支承部409載置了 液晶盒110的狀態的圖。液晶盒110雖然也可與第三顯示屏支承部493接觸地受到支承， 但在受到支承的場合，第三顯示屏支承部493僅與液晶盒110的棱414接觸。在這里，第三 顯示屏支承部493具有板狀，所以，在構成液晶盒110的棱414的直線與第三顯示屏支承部 493平行的場合，第三顯示屏支承部493與液晶盒110的棱414接觸的部分成為線狀。另一 方面，在構成液晶盒110的棱414的直線與第三顯示屏支承部493不平行的場合，第三顯示 屏支承部493與液晶盒110的棱414接觸的部分成為點狀。這樣，液晶盒110與第三顯示 屏支承部493接觸的部分的面積非常小，液晶盒110的端部的側面、表面、下面都不與第三 顯示屏支承部493接觸，所以，一邊使顯示屏保持架403轉動，一邊從顯示屏保持架403的 側面方向濺鍍，從而能夠在液晶盒110的側面、表面及下面形成具有足夠膜厚的薄膜。
下面，說明在顯示屏保持架403載置液晶盒110的順序。 首先，如圖12(a)所示，從支承臺406的連接部415分離顯示屏保持架403的可動 支柱。然后，在多個顯示屏支承部409上載置液晶盒110。圖12(b)為表示在最上部的顯 示屏支承部409載置了液晶盒110的狀態的圖。第二片以后的液晶盒110也同樣地載置在 顯示屏支承部409，圖13(a)表示在全部顯示屏支承部409載置了液晶盒110的狀態。最 后，如圖13(b)所示，將可動支柱407安裝在支承臺406的連接部415。通過設置可動支柱 407，能夠防止在成膜工序中液晶盒110飛出到外部，通過使得能夠拆卸可動支柱407，能夠 容易地在顯示屏保持架403載置液晶盒110。 作為顯示屏保持架403的構成材料，例如不銹鋼能夠較好地得以使用。但是，只要 是不發生氣體、微粒且具有剛性，則也可選擇其它材料。 另外，第一顯示屏支承部491 第三顯示屏支承部493表示了由具有折曲點的直 線部分構成的例子，但也可具有曲線形狀。 圖14為用于圖7所示濺鍍裝置的另一顯示屏保持架503的立體圖。 顯示屏保持架503與上述的顯示屏保持架403不同，顯示屏支承部成為細線狀。在
這里，細線狀指截面大小相比于長度方向非常小的形狀。這些顯示屏支承部例如能夠由金
屬線等構成。 另外，顯示屏保持架503的顯示屏支承部509具有細線狀，所以，顯示屏支承部509 與液晶盒110的棱接觸的部分成為點狀。這里所說的點狀指液晶盒110與顯示屏支承部 509接觸的部分的面積相比于液晶盒110的尺寸非常小的狀態。這樣，液晶盒110與顯示屏 支承部509接觸的部分的面積非常小，液晶盒110的端部的側面、表面、下面都不與顯示屏支承部509接觸，所以，一邊使顯示屏保持架503轉動，一邊從顯示屏保持架503的側面方
向濺鍍，從而能夠在液晶盒110的端部的側面、表面及下面形成具有足夠膜厚的薄膜。顯示
屏保持架503的其它構成與顯示屏保持架403相同，所以，省略其說明。在本實施例的說明中，表示了第一顯示屏支承部491 第三顯示屏支承部493由
具有折曲點的直線部分構成的例子，但如與液晶盒110接觸的部分為點狀，則也可具有曲
線形狀。 作為顯示屏保持架503的構成材料，例如不銹鋼能夠較好地得到使用。但是，只要 是不發生氣體、微粒且具有剛性，則也能夠選擇其它材料。
權利要求
一種液晶板，其特征在于具有液晶盒、平坦化層、氣體阻擋層；該液晶盒包含第一基板、第二基板、密封構件及在所述第一和第二基板間由所述密封構件封入的液晶層；該平坦化層覆蓋所述液晶盒的端部地配置著；該氣體阻擋層配置在所述平坦化層上。
2. 根據權利要求1所述的液晶板，其特征在于所述平坦化層還進一步覆蓋所述液晶盒的上面及下面的一部分地配置著。
3. 根據權利要求1所述的液晶板，其特征在于所述氣體阻擋層具有配置在所述平坦化層上的無機氣體阻擋層和配置在所述無機氣體阻擋層上的有機保護層。
4. 根據權利要求2所述的液晶板，其特征在于所述無機氣體阻擋層由金屬箔形成。
5. 根據權利要求1所述的液晶板，其特征在于所述第一及第二基板為塑料基板。
6. 根據權利要求1所述的液晶板，其特征在于還具有形成在所述第一及第二基板上的第二氣體阻擋層。
7. —種液晶板的制造方法，該液晶板具有包含第一基板、第二基板、密封構件及在所述第一和第二基板間由所述密封構件封入的液晶層的液晶盒，其特征在于，具有以下工序準備顯示屏保持架，該顯示屏保持架具有對所述液晶盒進行支承的顯示屏支承部，使所述顯示屏支承部接觸在所述液晶盒端部的一部分而對所述液晶盒進行支承地在所述顯示屏保持架上安放所述液晶盒，在所述液晶盒端部形成成膜材料的膜。
8. 根據權利要求7所述的液晶板的制造方法，其特征在于利用多個所述顯示屏支承部在所述液晶盒端部的多個部位支承所述液晶盒。
9. 根據權利要求7所述的液晶板的制造方法，其特征在于所述液晶盒端部與所述顯示屏支承部接觸的部分的形狀為線狀或點狀。
10. 根據權利要求7所述的液晶板的制造方法，其特征在于由濺鍍法在所述液晶盒端部進行成膜。
11. 根據權利要求10所述的液晶板的制造方法，其特征在于使所述液晶盒端部與所述成膜材料的飛來方向相向， 一邊使所述液晶盒在外形的周向轉動一邊實施所述濺鍍法。
全文摘要
本發明的目的在于提供一種能夠有效地防止氣體從液晶盒的端部或切斷部位近旁進入的液晶板及這樣的液晶板的制造方法。本發明的液晶板及這樣的液晶板的制造方法的特征在于具有液晶盒、平坦化層、氣體阻擋層；該液晶盒包含第一基板、第二基板、密封構件及在第一和第二基板間由上述密封構件封入的液晶層；該平坦化層覆蓋液晶盒的端部地配置著；該氣體阻擋層配置在平坦化層上。
文檔編號G02F1/1339GK101790702SQ20088010455
公開日2010年7月28日 申請日期2008年8月29日 優先權日2007年8月31日
發明者富樫清吾, 新井真 申請人:西鐵城控股株式會社