制備彩色濾光片的方法和使用該方法制備的彩色濾光片的制作方法

            文檔序號:2816013閱讀:365來源:國知局

            專利名稱::制備彩色濾光片的方法和使用該方法制備的彩色濾光片的制作方法專利說明本發明涉及一種制備彩色濾光片的方法以及使用該方法制備的彩色濾光片。更具體而言,本發明涉及一種制備彩色濾光片的方法和使用該方法制備的彩色濾光片,所述方法包括對形成在基板上的黑矩陣(BM)圖形進行等離子體處理以增加該黑矩陣圖形和像素單元在疏墨水性方面的差異。本申請要求于2007年4月5日在KIPO提交的第10-2007-033671號韓國專利申請的優先權,其公開內容以參考的方式整體引入本文。
            背景技術
            :雖然光刻法的優點在于可以精確得到所期望的圖形,但是缺點在于需要進行許多步驟,使用多種類型的材料以使光刻膠的效果最大化,并且在例如涂布工藝的工藝中使用大量的光刻膠。最近,為了避免所述光刻法的缺點,已經提出了采用噴墨印刷法來得到精細圖形的方法。就使用噴墨印刷法來生產彩色濾光片而言,采用己知的光刻法來形成作為阻光部分的黑矩陣圖形,并將紅色、綠色和藍色(以下,將紅色標示為R,綠色標示為G,以及藍色標示為B)三種類型的墨水噴射到由用作間隔物的黑矩陣圖形所限定的像素單元中。就這一點而言,如果用作間隔物的黑矩陣圖形不具有對墨水的疏墨水性,則噴射入由所述黑矩陣圖形限定的像素單元中的墨水就會從該像素單元中流過為黑矩陣圖形的阻光部分進入相鄰的像素單元中,這可能導致相同顏色或者不同顏色的顏色混合。因此,需要在噴墨印刷過程中用作間隔物的黑矩陣圖形具有對墨水的高疏墨水性。另一方面,只有在由所述黑矩陣圖形限定的像素單元的基板表面對墨水具有低疏墨水性的時候,所述噴射的墨水才能均勻分布在像素單元中,這防止了由于像素單元的未填充導致的漏光并減少了像素單元中或像素單元4間的階差(step)。[9]但是,如果所述黑矩陣圖形是由具有高疏墨水性的黑矩陣材料制成的,則在后烘烤工藝中在快速揮發黑矩陣材料中的墨水排斥物質的過程中,墨水排斥物質就被吸附在不期望的像素單元上,這使得各個像素單元的表面都被重組,從而使得各個像素單元的表面都具有類似于黑矩陣表面的疏墨水性。[10]因此,即使將墨水噴出,但是在各個像素單元中墨水的分布不理想,造成未填充和像素單元中或像素單元間的明顯階差。[11]在等離子體處理之前加入表面活性劑以向黑矩陣圖形提供疏墨水性,在表l中給出了取決于表面活性劑類型的黑矩陣圖形的表面張力,而在表2中給出了取決于表面活性劑類型的采用噴墨法噴出的彩色墨水的表面張力。圖1和表3顯示了對其上形成有具有不同表面張力的黑矩陣圖形的未進行等離子體處理的基板,具有不同表面張力的不同類型彩色墨水的噴射結果。[12]當為黑矩陣(BM1、BM4和BM6)時,它們的黑矩陣圖形表面具有3645.4mN/m的高表面張力,只通過噴射5滴具有相對高表面張力(26.4mN/m)的墨水1和具有相對低表面張力(24.3mN/m)的墨水2就可以填充所有的像素單元。但是,在相鄰的像素單元之間觀察到了溢流。另一方面,當為具有2930mN/m的中等表面張力的黑矩陣(BM2和BM5)時,當噴射20滴墨水1和墨水2時像素單元被填充,但是發生了溢流。但是,當為具有小于25.3mN/m的表面張力的黑矩陣(BM3和BM7)時,即使噴射了20滴的墨水1和墨水2,像素單元也沒有被填充,并且在相鄰像素單元之間發生了溢流。[13]如上所述,當將彩色墨水噴射到黑矩陣基板的像素單元中時,為了防止在相鄰像素單元之間發生墨水的溢流,就要求黑矩陣圖形具有預定的疏墨水性。與此相關,如果黑矩陣圖形的表面張力非常低,而像素單元具有預定的疏墨水性。因此,墨水不會理想地流向與基板接觸的黑矩陣的較低部位的角落導致未填充。結果,即使增加了噴射墨水的量(墨滴的數目),仍然發生了未填充和溢流。[14]為了避免上述問題,在降低黑矩陣圖形表面的表面張力以增加疏墨水性后,可以在02氣氛中對黑矩陣圖形進行等離子體處理以使其部分親水化,或者可以在CF4氣氛中對具有相對高表面張力的黑矩陣圖形進行等離子體處理以使其部分疏水化。但是,在這種情況下,因為黑矩陣圖形和像素單元的表面在等離子體處理過程中被統統處理成親水性的或疏水性的,因此難以增加黑矩陣圖形和像素單元表面間在墨水的可分散性或疏墨水性方面的差異。[15]另夕卜,為了避免上述問題,第1997-203803號日本未審查的專利申請公開披露了一種采用墨水親合性處理劑對主單元進行表面處理和采用疏墨水性處理劑對突出單元(projectionunit)進行表面處理的方法。但是,這個方法的問題在于,所述處理是采用墨水親合性處理劑來進行,這樣疏墨水性處理劑不受影響,或者兩個處理工藝是采用墨水親合性處理劑和疏墨水性處理劑分別進行。[16]此外,第2000-0047958號韓國未審査的專利申請公開披露了一種彩色濾光片,其具有能夠改變潤濕性的潤濕性可變層(wettability-variablelayer)。但是,這個方法的缺點在于,除了為阻光部分的分隔層和為開口部分的墨水層以外,要單獨提供該潤濕性可變層,因此使得生產工藝復雜。另外,第2000-258622號日本未審查的專利申請公開披露了一種圖形化曝光感光層以將曝光部分轉化成親水性部分的方法。但是,在這個方法中,需要進行額外的步驟形成另外的感光層。
            發明內容技術問題[17]本發明的目的是提供一種制備彩色濾光片的方法以及采用該方法制備的彩色濾光片,在所述方法中,在采用噴墨印刷法噴射墨水的過程中像素單元中或像素單元間未發生顏色混合,沒有發生由于未填充導致的脫色,并且在制備所述濾光片的過程中,采用等離子體處理工藝在沒有額外步驟的情況下,通過增加黑矩陣圖形和像素單元間在疏墨水性方面的差異而使像素單元中或像素單元間沒有明顯的階差。技術方案[18]本發明提供了一種制備彩色濾光片的方法,該方法包括以下步驟(a)在基板上形成表面張力為2645mN/m的黑矩陣圖形;(b)對其上形成有黑矩陣圖形的基板進行等離子體處理;和(c)采用用墨水填充由所述黑矩陣圖形限定的像素單元。[19]此外,本發明提供了一種采用所述制備彩色濾光片的方法制備的彩色濾光片。[20]另外,本發明提供了一種包括所述彩色濾光片的顯示器件。有益效果[21]在采用噴墨印刷法制備彩色濾光片的過程中,增加了用作間隔物的黑矩陣圖形和像素單元間在疏墨水性方面的差異,從而提供了一種在像素單元中提高了墨水可分散性的彩色濾光片,在采用噴墨印刷法的噴墨過程中像素單元中或像素單元間沒有發生顏色混合,沒有發生由于未填充導致的脫色,表面均勻,并且通過增加黑矩陣圖形和像素單元間在疏墨水性方面的差異,使像素單元中或像素單元間沒有明顯的階差。[22]圖1圖示了采用未進行根據本發明的等離子體處理的黑矩陣制備的彩色濾光片的CCD(電荷耦合器件)照相機照片(X50);[23]圖2圖示了根據本發明的實施例15的彩色濾光片的CCD照相機照片(X50);禾口[24]圖3圖示了根據本發明的比較實施例15的彩色濾光片的CCD照相機照片(X50)。具體實施方式以下,將更詳細地描述本發明。[26]在本發明中,在采用噴墨印刷法制備彩色濾光片的過程中,可以將用于形成黑矩陣的感光樹脂組合物涂布在基板上,將其預烘烤、曝光、顯影并后烘烤以形成用作間隔物的黑矩陣圖形。用等離子體對這樣形成的黑矩陣圖形使進行疏水性表面處理。[27]對此,根據所加入的提供疏墨水性的表面活性劑的類型和含量,優選所述黑矩陣圖形具有2645mN/m的表面張力,并且在使用等離子體的疏水性表面處理的過程中可以增加黑矩陣圖形和像素單元間在疏墨水性方面的左升。[28]如果黑矩陣圖形的表面張力小于26mN/m,在使用等離子體的疏水性表面處理的過程后,可能會減少黑矩陣圖形和像素單元間在疏墨水性方面的差異。對于表面張力大于45mN/m的黑矩陣圖形,則即使不加入用于降低黑矩陣圖形的表面張力的表面活性劑,也難以確保黑矩陣圖形具有大于45mN/m的表面張力。為了確保表面張力大于45mN/m,可以進行額外的表面處理,例如02等離子體處理或親水性涂布。[29]本發明提供了一種制備彩色濾光片的方法,該方法包括以下步驟(a)在基板上形成表面張力為2645mN/m的黑矩陣圖形;(b)對其上形成有黑矩陣圖形的基板進行等離子體處理;和(c)采用墨水填充由所述黑矩陣圖形限定的像素單元。[30]在步驟a中,在基板上形成表面張力為2645mN/m的黑矩陣圖形。步驟a包括(al)將感光樹脂組合物涂布在基板上;(a2)預烘烤所述感光樹脂組合物以形成黑矩陣膜;和(a3)將所形成的黑矩陣膜進行選擇性曝光和顯影,然后進行后烘烤。[31]所述基板的實例包括,但并不限于,玻璃基板、塑性基板和柔性基板。優選使用具有高耐熱性的玻璃基板。[32]用于在基板上形成黑矩陣圖形的感光樹脂組合物的實例可以包括含有黑色顏料的著色劑、堿可溶性樹脂粘合劑、帶有乙烯基不飽和雙鍵的多官能單體、光聚合引發劑、用于提供疏墨水性的表面活性劑、溶劑和添加劑。[33]用在本發明中的包含黑色顏料的所述著色劑可以為炭黑和兩種以上著色劑的混合物。炭黑的實例可以包括由東海碳業有限公司(TokaiCarbonCo.Ltd.)生產的SEAST5HIISAF-HS、SEASTKH、SEAST3HHAF-HS、SEASTNH、SEAST3M、SEAST300HAF-LS、SEAST116HMMAF-HS、SEAST116MAF、SEASTFMFEF-HS、SEASTSOFEF、SEASTVGPF、SEASTSVHSRF-HS和SEASTSSRF;由三菱化學株式會社(MitsubishiChemicalCo.Ltd.)生產的DIAGRAMBLACKII,DIAGRAMBLACKN339,DIAGRAMBLACKSH,DIAGRAMBLACKH,DIAGRAMLH,DIAGRAMHA,DIAGRAMSF,DIAGRAMN550M,DIAGRAMM,DIAGRAME,DIAGRAMG,DIAGRAMR,DIAGRAMN760M,DIAGRAMLR、#2700、#2600、#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#900,MCF88、#52、#50、#47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050,MA7,MA77,MA8,MAll,OIL7B,OIL9B,OILllB,OIL30B禾nOIL31B;由德固賽有限公司(DegussaCo.Ltd.)生產的PRINTEX-U、PRINTEX-V、PRINTEX-140U、PRINTEX140V、PRINTEX-95、PRINTEX-85、PRINTEX-75、PRINTEX-55、PRINTEX-45、PRINTEX-300、PRINTEX畫35、PRINTEX-25、PRINTEX-200、PRINTEX-40、PRINTEX-30、PRINTEX-3、PRINTEX-A、SPECIALBLACK-550、SPECIALBLACK-350、SPECIALBLACK畫250、SPECIALBLACK-100和LAMPBLACK-101;以及由哥倫比亞碳業有限公司(ColombiaCarbonCo.Ltd.)生產的RAVEN-1100ULTRA、RAVEN-1080ULTRA、RAVEN-1060ULTRA、RAVEN-1040、RAVEN-1035、RAVEN-1020、RAVEN-1000、RAVEN-890H、RAVEN-890、RAVEN-880ULTRA、RAVEN-860ULTRA、RAVEN-850、RAVEN-820、RAVEN-790ULTRA、RAVEN-780ULTRA、RAVEN-760ULTRA、RAVEN-520、RAVEN-500、RAVEN-460、RAVEN-450、RAVEN畫430ULTRA、RAVEN-420、RAVEN-410、RAVEN-2500ULTRA、RAVEN-2000、RAVEN-1500、RAVEN-1255、RAVEN-1250、RAVEN-1200、RAVEN-1190ULTRA和RAVEN-1170。可以單獨與炭黑一起使用的著色劑的實例可以包括CARMINE6B(C.I.124卯),PHTHALOCYANINEGREEN(C丄74260),PHTHALOCYANINEBLUE(C丄74160),MITSUBISHICARBONBLACKMAI00,PERYLENEBLACK(BASFK0084,K0086),CYANINEBLACK,LIONOLYELLOW(C.I.21090),LIONOLYELLOWGRO(C.I.21090),BENZIDINEYELLOW4T-564D,MITSUBISHICARBONBLACKMA-40,VICTORIAPUREBLUE(C.I.42595),C.I.PIGMENTRED97、122、149、168、177、180、192、215,C丄PIGMENTGREEN7、36,C.I.PIGMENT15:1、15:4、15:6、22、60、64,C.I.PIGMENT83、139,C.I.PIGMENTVIOLET23,白色顏料和熒光顏料。此外,上述著色劑可以單獨或者將兩種以上類型混合以得到黑色。基于100重量份的感光樹脂組合物的總固體量,優選著色劑的用量為2050重量份。如果著色劑的量小于20重量份,因為減少了單位厚度的由感光樹脂組合物制成的阻光圖形的OD值,就要求顯著增加該圖形的厚度以得到所需的OD值。因此,對于像素單元,通過噴墨形成的彩色圖形間的階差就會變大。另外,如果著色劑的量大于50重量份,因為單位厚度的OD值非常高,則優點在于減少了圖形的厚度。但是,因為相對減少了樹脂和交聯劑的量,可能會降低形成阻光圖形的加工性能。另外,可能會降低如該阻光圖形表面的電性能、對基板的粘接強度和表面性能的多種性能。用在本發明中的堿可溶性樹脂粘合劑可以通過共聚合具有酸性官能9團的單體和能夠與該具有酸性官能團的單體共聚合的其它單體來制備。優選的是,所述含有酸性官能團的單體為選自下列單體中的一種或多種(甲基)丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、馬來酸、富馬酸、馬來酸單甲酯、異戊二烯磺酸和苯乙烯磺酸。優選的是,所述能夠與具有酸性官能團的單體共聚合的單體為選自下列單體中的一種或多種苯乙烯、氯苯乙烯、a-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酉旨、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-氯丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸酰基辛氧基-2-羥基丙酯、丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯、(甲基)丙烯酸苯氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸對壬基苯氧基聚乙二醇酯、(甲基)丙烯酸對壬基苯氧基聚丙二醇酯、(甲基)丙烯酸四氟丙酯、(甲基)丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟異丙酯、(甲基)丙烯酸八氟戊酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、琥珀酸P-(甲基)酰氧基乙基氫酯、a-羥甲基丙烯酸甲酯、ct-羥甲基丙烯酸乙酯、(x-羥甲基丙烯酸丙酯和a-羥甲基丙烯酸丁酯。另外,在所述堿可溶性樹脂粘合劑中,所述反應基團是給該堿可溶性樹脂粘合劑提供反應活性的基團,并且可利用聚合反應將該反應基團加入到該堿可溶性樹脂粘合劑的共聚物或者多元共聚物中。關于這一點,優選的是,所述反應基團為選自(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、乙烯基芐基縮水甘油醚、乙烯基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、4-甲基-4,5-環氧戊烯、Y-環氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y-環氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、Y-環氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷和降冰片基衍生物中的一種或多種。優選的是,在本發明中使用的堿可溶性樹脂粘合劑具有約50300KOHmg/g的酸值和1,000200,000的重均分子量。上述堿可溶性樹脂粘合劑可以單獨或將兩種以上的類型混合使用。優選的是,基于100重量份的感光樹脂組合物的總固體量,所述堿可溶性樹脂粘合劑的用量為125重量份(基于感光樹脂組合物的總固體量的10590重量%)。如果堿可溶性樹脂粘合劑的量小于1重量份,則會降低采用感光樹脂組合物形成的膜的粘接強度。如果堿可溶性樹脂粘合劑的量大于25重量份,則會降低采用感光樹脂組合物形成的膜的強度和光敏性。所述具有乙烯基不飽和雙鍵的多官能單體可以包括具有一個或多個能夠加成聚合到分子中的不飽和基團并且具有100'C以上的沸點的化合物,或者為具有己內酯的官能單體。具有一個或多個能夠加成聚合到分子中的不飽和基團且具有IO(TC以上沸點的化合物的實例可以包括單官能單體,例如聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯;以及多官能單體,例如聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯。此外,所述具有己內酯的多官能單體的實例可以包括加成到二季戊四醇上的KAYARADDPCA-20、30、60和120,加成到丙烯酸四氫呋喃酯上的KAYARADTC-110S以及加成到新戊二醇羥基新戊酸酯上的KAYARADHX-220和KAYARADHK-620。另外,可用的多官能單體的實例可以包括雙酚A衍生物的環氧丙烯酸酯和酚醛環氧丙烯酸酯,而聚氨酯性多官能丙烯酸酯的實例可以包括U-324A、U15HA禾卩U-4HA。上述具有乙烯基不飽和雙鍵的多官能單體可以單獨或將兩種以上的種類混合使用。優選的是,基于100重量份的感光樹脂組合物的總固體量,所述具有乙烯基不飽和雙鍵的多官能單體的用量為120重量份(基于感光樹脂組合物的總固體量的550重量%)。如果具有乙烯基不飽和雙鍵的多官能單體的用量小于1重量份,則會降低涂膜的光敏性或強度。如果多官能單體的量大于20重量份,因為過度增加了感光樹脂層的粘接粘度,膜的強度可能較差并且在顯影過程中可能會破壞圖形。光聚合引發劑的作用是利用光產生自由基,并且可以優選與選自下列化合物中的一種或多種化合物混合苯乙酮化合物、非咪唑化合物(non-imidazolecompound)、三噪^七合物禾口月虧"f七合物。能夠用作光聚合引發劑的苯乙酮化合物的實例可以包括2-羥基-2-甲基-l-苯基丙烷-l-酮、l-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙垸-l-酮、4-(2-羥基乙氧萄-苯基-(2-羥基-2-丙基)酮、1-羥基環己基苯基酮、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶姻丁醚、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2-甲基-(4-甲硫基)苯基-2-嗎啉基-l-丙烷-l-酮、2-芐基-2-二甲氨基-l-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-l-酮和2_甲基_1-[4_(甲硫基)苯基]_2_嗎啉基丙烷一1_酮。非咪唑化合物的實例可以包括2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基非咪唑、2,2'-雙(鄰-氯苯基)-4,4',5,5'-四(3,4,5-甲氧基苯基)-l,2'-非咪唑、2,2'-雙(2,3-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基非咪唑和2,2'-雙(鄰-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-l,2'-非咪唑。三嗪化合物的實例可以包括3-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}丙酸、3-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-3-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸1,1,1,3,3,3-六氟異丙酯、2-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}乙酸乙酯、2-2-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}乙酸2-環氧乙酯、2-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}乙酸環己酯、2-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}乙酸芐酯、3-{氯-4-[2,4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}丙酸、3-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-均三嗪-6-基]苯硫基}丙酰胺、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-均三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(l-對-二甲氨基苯基)-U-丁二烯基-均三嗪和2-三氯甲基-4-氨基-6-對-甲氧基苯乙烯基-均三嗪。肟化合物的實例可以包括由日本的千葉有限公司(ChibaCo.,Ltd)生產的CGI-242和CGI-124。優選的是,基于100重量份的具有感光樹脂組合物的乙烯基不飽和雙鍵的多官能單體,光聚合引發劑的用量為1300重量份。具體而言,優選的是,基于100重量份的感光樹脂組合物的總固體量,使用0.15重量份的苯乙酮化合物、0.15重量份的非咪唑化合物或0.055重量份的三嗪化合物。基于100重量份的感光樹脂組合物的總固體量,所述光聚合引發劑還可以包含0.015重量份的促進自由基產生的光致交聯敏化劑或者0.015重量份的促進固化的固化促進劑作為輔助組分。所述光致交聯敏化劑的實例可以包括二苯甲酮化合物,例如二苯甲酮、4,4-雙(二甲氨基)二苯甲酮、4,4-雙(二乙氨基)二苯甲酮、2,4,6-三甲氨基二苯甲酮、鄰苯甲酰苯甲酸甲酯、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮和3,3,4,4-四(叔丁基過氧羰基)二苯甲酮;芴酮化合物,例如9-芴酮、2-氯-9-芴酮和2-甲基-9-芴酮;噻噸酮化合物,例如噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮、異丙基噻噸酮和二異丙基噻噸酮;P占噸酮化合物,例如咕噸酮和2-甲基咕噸酮;蒽醌化合物,例如蒽醌、2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、叔丁基12蒽醌和2,6-二氯-9,10-蒽醌;吖啶化合物,例如9-苯基吖啶、1,7-雙(9-吖啶基)庚烷、1,5-雙(9-吖啶基戊烷)和1,3-雙(9-吖啶基)丙烷;二羰基化合物,例如芐基-1,7,7-三甲基-雙環-[2,2,1]庚烷-2,3-二酮和9,10-菲酉昆;氧化膦化合物,例如2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦和雙(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2,4,4-三甲基戊基氧化膦;二苯甲酮化合物,例如4-(二甲氨基)苯甲酸甲酯、4-(二甲氨基)苯甲酸乙酯和4-(二甲氨基)苯甲酸2-正丁氧基乙基酯;氨基增效劑,例如2,5-雙(4-二乙氨基亞芐基)環戊酮、2,6-雙(4-二乙氨基亞芐基)環己酮和2,6-雙(4-二乙氨基亞芐基)-4-甲基-環戊酮;香豆素化合物,例如3,3-羰基乙烯基-7-(二乙氨基)香豆素、3-(2-苯并噻唑基)-7-(二乙氨基)香豆素、3-苯甲酰基-7-(二乙氨基)香豆素、3-苯甲酰基-7-甲氧基-香豆素和10,10-羰基雙[1,1,7,7-四甲基-2,3,6,7-四氫-1&511,111^(:1]-苯并吡喃并[6,7,8^]-喹嗪-11-酮;査耳酮化合物,例如4-二乙氨基查耳酮和4-疊氮亞芐基苯乙酮;2-苯甲酰甲叉(2-benzoylmethylene);以及3-甲基-b-萘并噻唑啉。另外,固化促進劑的實例可以包括2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并噁唑、2,5-二巰基-1,3,4-噻二唑、2-巰基-4,6-二甲氨基吡啶、季戊四醇-四(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇-三(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇-四(2-巰基乙酸酯)、季戊四醇-三(2-巰基乙酸酯)、三羥甲基丙烷-三(2-巰基乙酸酯)和三羥甲基丙烷-三(3-巰基丙酸酯)。表面活性劑用于為黑矩陣圖形提供疏墨水性。表面活性劑的實例包括硅表面活性劑和氟表面活性劑。硅表面活性劑的具體實例可以包括,但不限于,由BYK化學有限公司(BYK-ChemieCo.Ltd.)生產的BYK-077、BYK-085、BYK-300、BYK-301、BYK-302、BYK-306、BYK-307、BYK-310、BYK陽320、BYK-322、BYK-323、BYK-325、BYK-330、BYK-331、BYK-333、BYK-335、BYK-341v344、BYK-345v346、BYK-348、BYK-354、BYK-355、BYK-356、BYK-358、BYK-361、BYK-370、BYK-371、BYK-375、BYK-380和BYK-390。氟表面活性劑的具體實例可以包括,但不限于,由DIC(大日本墨水和化學品(DaiNipponInk&Chemicals))有限公司生產的F-114、F-177、F-410、F-411、F—450、F-493、F-494、F-443、F-444、F-445、F-446、F-470、F-471、F-472SF、F-474、F-475、F-477、F-478、F-479、F-480SF、F-482、F-483、F-484、F-486、F-487、F-172D、MCF-350SF、TF-1025SF、TF-1117SF、TF-1026SF、TF-1128、TF-1127、TF-1129、TF-1126、TF-1130、TF-1116SF、TF-1131、TF1132、TF1027SF、TF-1441禾卩TF-1442。優選的是,基于100重量份的感光樹脂組合物的總固體量,加入用于提供疏墨水性的表面活性劑的用量為0.031.2重量份。考慮到溶解性、顏料可分散性和涂布性質,溶劑的實例可以包括丙二醇單甲醚、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、環己酮、2-庚酮、3-庚酮、丙酸2-羥基乙酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸丁酯、戊酸戊酯(amylpermate)、乙酸異戊酯、乙酸異丁酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸乙酯和乙酸Y-羥丁酯。上述溶劑可以單獨或將兩種以上類型混合使用。所述感光樹脂組合物可以進一步包含一種或多種選自下列物質中的添加劑分散劑、粘合增進劑、抗氧化劑、紫外吸收劑和熱聚合抑制劑。所述分散劑可以通過提前對顏料進行表面處理而從內部添加到顏料中或者從外部加入到顏料中。分散劑可以被分成聚合物型分散劑、非離子型分散劑、陰離子型分散劑和陽離子型分散劑。分散劑的實例可以包括聚亞烷基二醇及其酯、聚氧化烯烴多元醇、酯氧化烯加成物、醇氧化烯加成物、硫酸酯、磺酸酯、碳酸酯、羧酸酯、垸基酰胺氧化烯加成物和烷基胺。它們可以單獨或將兩種以上類型混合加入。所述粘合增進劑的實例可以包括乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)-硅垸、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基三甲氧基硅垸、3-氨基丙基三乙氧基硅垸、3-環氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、3-環氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-乙氧基環己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和3-巰基丙基三甲氧基硅烷。抗氧化劑的實例可以包括2,2-硫代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)和2,6-g,t-丁基苯酚,而紫外吸收劑的實例可以包括2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯-苯并三唑和烷氧基二苯甲酮。另外,熱聚合抑制劑的實例可以包括氫醌、對甲氧基苯酚、二叔丁基對甲酚、連苯三酚、叔丁基鄰苯二酚、苯醌、4,4-硫代雙(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)和2-巰基咪唑。[60]另外,所述感光樹脂組合物還可以包括一種或多種選自下列物質中的添加劑炭黑分散物質、具有預定功能的樹脂粘合劑、單體、輻射敏感化合物以及其它添加劑。在步驟al的過程中,可以采用在相關領域中公知的方法,例如旋涂法、浸涂法、刮涂法等,將所述感光樹脂組合物涂布在基板上。在步驟a2的過程中,優選在8012(TC下進行預烘烤15分鐘。在步驟a3的過程中,采用在相關領域中公知的方法可以進行選擇性曝光和顯影。采用一種曝光裝置,例如掩模對準器、曝光機(stepper)或掃描儀將所述黑矩陣膜曝光于透過圖形掩膜的g-射線(436nm)、h-射線(405nm)或i-射線(365nm)光源或者其組合光源下。曝光能量取決于所述黑矩陣膜的光敏性,并且可以為20200mJ/cm2。曝光完成后,可以將基板浸在顯影溶液中或者可以將顯影溶液噴灑在基板上以形成所需的黑矩陣圖形。另外,在顯影完成后,可以對黑矩陣圖形進行后烘烤以增對下面的基板的粘接強度。對于后烘烤條件,優選在20025(TC下進行后烘烤10200分鐘。優選的是,當所形成的黑矩陣圖形的厚度為1.15pm時,該圖形的光學密度(OD)為約36,并且根據所加入的表面活性劑的類型和量,該黑矩陣圖形表面的表面張力為2645mN/m。在步驟b的過程中,對其上形成有黑矩陣圖形的基板進行等離子體處理。對其上形成有黑矩陣圖形的基板在CF4氣體氣氛中進行等離子體處理以進行疏水性表面處理。通常,在真空中相對于兩個具有不同電勢差的電極增加電壓以產生等離子體。對于這一點,根據用于形成等離子體的氣體的類型,該等離子體可以用于例如表面清理、表面重整、表面蝕刻或表面沉積等領域。在本發明中,按照疏水層的等離子體表面蝕刻法和表面沉積法,采用CFW乍為活性氣體對黑矩陣基板進行疏水性處理。對于這一點,在由有機物質制成的黑矩陣圖形表面和由無機物質制成的像素單元的玻璃表面之間存在著采用等離子體進行的疏水性表面處理的程度上的差異。因此,可以采用等離子體,對其上形成了表面張力為2645mN/m的黑矩陣圖形的基板進行疏水性表面處理以增加黑矩陣圖形和像素單元的表面之間在疏墨水性方面的差異。[67]在步驟c中,用墨水填充由黑矩陣圖形限定的像素單元。[68]采用等離子體進行疏水性表面處理,從而使基板在所形成的黑矩陣圖形和像素單元間在疏墨水性方面具有顯著差異,而根據噴墨法涂布在該基板上的R、G和B型墨水可以為光致固化型或熱固化型墨水。如果墨水是光致固化型墨水,則該墨水可以包含用于提供顏色特性的顏料、樹脂粘合劑、具有乙烯基不飽和雙鍵的多官能單體、光致聚合引發劑、用于提供疏墨水性的表面活性劑、溶劑和其它添加劑。如果墨水是熱固化型墨水,則該墨水可以包含用于提供顏色特性的顏料、樹脂粘合劑、具有乙烯基不飽和雙鍵的多官能單體、熱聚合引發劑或催化劑、用于提供疏墨水性的表面活性劑、溶劑和其它添加劑。如果所述光致固化型或熱固化型墨水是用于噴墨的彩色墨水,與在常規光刻法中使用的光刻膠的情況不同,因為不進行采用堿的顯影工藝,所以該墨水可以不具有酸值。用于為生產彩色墨水提供顏色特性的紅色顏料的實例包括萘酚紅顏料,例如Pig.Red#l(C.U2070)、Pig.Red#2(CI.12310)、Pig.Red#3(C.U2120)、Pig.Red#4(C.I.12085)、Pig.Red#5(C.U2490)、Pig.Red#6(CI.12090)、Pig.Red#7(C丄12420)、Pig.Red#8(C.I.12355)、Pig.Red#9(CU.12460)、Pig.Red#10(C.I.12440)、Pig.Red#11(C.U2430)、Pig.Red#12(CI.12385)、Pig.Red#13(C丄12395)、Pig.Red弁14(C丄12380)、Pig.Red#15(CL12465)、Pig.Red#16(12500)、Pig.Red#17(C.I.12390)、Pig.Red#18(C.U2350)、Pig.Red#21(C.I.12300)、Pig.Red#22(C.L12315)、Pig.Red弁23(C丄12355)、Pig.Red#31(12360)、Pig.Red#32(12320)、Pig.Red#95(C.I,15897)、Pig.Red#112(C丄12370)、Pig.Red組4(C丄12351)、Pig.Red#119(C.I.12469)、Pig.Red#146(C112485)、Pig.Red#147(C.U2433)、Pig.Red弁148(C丄12369)、Pig.Red#150(C.U2290)、Pig.Red#151(CU.15890)、Pig.Red#184(C.I.12487)、Pig.Red#187(C.I.12486)、Pig.Red#188(C.I.12467)、Pig.Red#210(C.I.12474)、Pig.Red#245(C.I.12317)、Pig.Red#253(CI.12375)、Pig.Red弁258(C.I.12318)和Pig.Red#261(C.I.12468);萘酚和金屬的配合物,例如Pig.Red糾9(C丄15630)、Pig.Red存49:1(C丄15630:1)、Pig.Red#49:2(CI.15630:2)、Pig.Red#49:3(C.1.15630:3)、Pig.Red#50:1(CU5500:l)、Pig.Red#51:l(C.I.15580:l)、Pig.Red#53(C.L15585)、Pig.Red#53:l(C.I.15585:1)、Pig.Red#68(C.I.15525)、Pig.Red存243(C丄15910)和Pig.Red#247(C丄15915);雙偶氮吡唑啉酮類顏料,例如Pig.Red#37(C121205)、Pig.Red存38(C丄21210)和Pig.Red#41(C.I.21200);雙偶氮縮合物,例如Pig.Red#144(C.I.20735)、Pig.Red#166(C.L20035)、Pig.Red#220(C.I.20055)、Pig.Red#221(C.I.20065)和Pig.Red弁242(C丄20067);2-羥基-3-萘甲酸金屬配合物,例如Pig.Red#48:1(C.I.15865:1)、Pig.Red弁48:2(C丄15865:2)、Pig.Red#48:3(C.I.15865:3)、Pig.Red#48:4(C.I.15865:4)、Pig.Red#48:5(C.I.15865:5)、Pig.Red#52:1(C.I.15860:1)、Pig.Red#52:2(C.I.15860:2)、Pig.Red#57:1(C.I.15850:1)、Pig.Red#58:2(C.I.15825:2)、Pig.Red#58:4(C.1.15825:4)、Pig.Red#63:1(C.I.15880:1)、Pig.Red#63:2(C.I.15880:2)、Pig.Red#64(C.1.15800)、Pig.Red存64:1(C丄15800:1)和Pig.Red#200(C.1.15867);萘磺酸金屬配合物,例如Pig.Red#60:1(C.I.16105:1)、Pig.Red弁66(C.I.18000:1)和Pig.Red#67(C.I.18025:1);三芳基碳錄(triarylcarbonium)例如Pig.Red#81:1(C.I.45160:1)、Pig.Red#81:3(C.L45160:3)和Pig.Red弁169(C丄45160:2);蒽醌類顏料,例如Pig.Red#89(C.I.60745)和Pig.Red#177(65300);硫靛類顏料,例如Pig.Red#88(C.I.73312)和Pig.Red#181(C.I.73360);喹吖啶酮類顏料,例如Pig.Red弁122(C丄73915)、Pig.Red弁207(C丄73900)和Pig.Red#209(C.I.73905);菲類顏料,例如Pig.Red弁123(C丄71145)、Pig.Red存149(C丄71137)、Pig.Red#178(C.I.71155)、Pig.Red#179(C.I.71130)、Pig.Red#190(C.L71140)、Pig.Red#194(C.I.71IOO)和Pig.Red#224(C.I.71127);苯并咪唑酮類顏料,例如Pig.Red#171(CI.12512)、Pig.Red#175(C.U2513)、Pig.Red#176(CL12515)、Pig.Red#185(C.1.12516)和Pig.Red弁208(C丄12514);皮蒽酮類顏料,例如Pig.Red#216(C丄59710);二酮吡咯并吡咯顏料,例如Pig.Red弁254(C丄56110);以及異吲哚啉類顏料,例如Pig.Red#260(C.I.56295)。紫色顏料的實例可以包括三芳基碳鐺類顏料,例如Pig.Violet糾(C丄45170:2)、Pig.Violet#2(C.I.45175:l)、Pig.Violet#3(CI.42535:2)、Pig.Violet弁27(C.I.42535:3)和Pig.Violet#39(C.I.42555:2);蒽醌類顏料,例如Pig.Violet弁5:1(C丄58055:1);萘酚類顏料,例如Pig.Violet存25(C丄12321)和Pig.Violet#50(C丄12322);喹吖啶酮類顏料,例如Pig.Violet弁19(C丄73900);二噁嗪類顏料,例如Pig.Viole說23(C丄51319)和Pig.Violet弁37(C丄51345);菲類顏料,例如Pig.Violet#29(C.I.71129);以及苯并咪唑酮類顏料,例如Pig.Violet約2(C.L12517)。藍色顏料的實例可以包括三芳基碳鐵類顏料,例如Pig.Blue弁l(C丄42595:2)、Pig.Blue#2(CI.44045:2)、Pig.Blue弁9(C丄42025:l)、Pig.Blue//10(C.I.44040:2)、Pig.Blue存14(C丄42600:l)、Pig.Blue#18(C.I.42770:l)、Pig.Blue#19(C.I.42750)、Pig.Blue弁56(C丄42800)和Pig.Blue#62(C.I.44084);銅酞菁類顏料,例如Pig.Blue弁15(C.I.74160)和Pig.Blue弁15:l(C丄74160);無金屬酞菁類顏料,例如Pig.Blue弁16(C丄74100);靛蒽醌類顏料,例如Pig.Blue#60(C.I.69800)和Pig.Blue弁64(C丄69825);以及靛青類顏料,例如Pig.Blue弁66(C.I.73000)和Pig.Blue#63(C.I.73015:x)。綠色顏料的實例可以包括三芳基碳鐺類顏料,例如Pig.Green#l(C.I.42040:l)、Pig.Green弁2(C.I.42040:l)和Pig.Green#4(C.I.42000:2);銅酞菁類顏料,例如Pig.Green弁7(C.I.74260)和Pig.Green#36(C.I.74265);以及金屬配合物,例如Pig.Green弁8(C丄10006)和Pig.Green弁10(C丄12775)。黃色顏料的實例可以包括單偶氮類顏料,例如Pig.YellowM(C.I.11680)、Pig.Yellow#2(C.1.11730)、Pig,Yellow弁3(C丄l1710)、Pig.Yellow#5(C.I.I1660)、Pig.Yellow弁6(C丄11670)、Pig.Yellow#10(C.I.12710)、Pig,Yellow#49(C.I.I1765)、Pig.Yellow#65(C.I.l1740)、Pig.Yellow#73(C.I.l1738)、Pig.Yellow#74(C丄11741)、Pig.Yellow^75(C.1.11770)、Pig.Yellow#97(C丄11767)、Pig.Yellow#98(C丄11727)、Pig.Yellow#lll(C.1.11745)、Pig.Yellow#l16(C.I.l1790)和Pig.Yellow/H67(C丄11737);單偶氮-金屬配合物,例如Pig.Yellow存61(C丄13880)、Pig.Ydlow#62:l(CI.13940:1)、Pig.Yellow存100(C丄19140:1)、Pig.Yellow#168(C.U3960)、Pig.Yellow^l69(C.I.13955)和Pig.Yellow#183(CI.18792);二乙酰乙酰基芳基化物(bisacetoacetarylide)類顏料,例如Pig.Ydlow弁16(C.I.20040);二芳基化合物,例如Pig.Yellow#12(GI.21090)、Pig.Yellow^l3(C丄21100)、Pig.Yellow#14(C.I.21095)、Pig.Yellow//17(C丄21105)、Pig.Yellow#55(C.I.21096)、Pig.Yellow船(C丄21091)、Pig.Yellow#81(C丄21127)、Pig.Yellow#83(C.I.21108)、Pig.Yellow#87(CI.21107:1)、Pig.Yellow#l13(C丄21126)、Pig.Yellow#l14(C丄21092)、Pig.Yellow弁124(C丄21107)、Pig.Yellow#126(CI.21101)、Pig.Yellow#127(21102)、Pig.Yellow#152(CI.2111l)、Pig.Yellow#170(C121104)、Pig.Yellow#171(C.I.21106)、Pig.Yello滿72(C丄21109)和Pig.Yellow#174(C.I.21098);黃烷士酮類顏料,例如Pig.Yellow#24(CI.70600);二偶氮縮合物類顏料,例如Pig.Yellow#93(C.I.20710)、Pig.Yellow#94(C.I.20038)、Pig.Yellow#95(CI.20034)、Pig.Yellow弁128(C丄20037)禾PPig.Yellow弁166(C丄20035);蒽醌類顏料,例如Pig.Yellow存123(C丄65049)和Pig.Yellow#147(C.I.60645);醛連氮類顏料,例如Pig.Yellow#101(C.I.48052);萘磺酸-金屬配合物,例如Pig.Yellow#104(C丄15985:l);蒽素嘧啶類顏料,例如Pig.Yellow弁108(C丄68420);異吲哚啉酮類顏料,例如Pig.Yellow#109(C.I.56284)、Pig.Yellow#l10(C.I.56280)、Pig.Yellow弁139(C丄56298)和Pig.Yellow^l85(C丄56290);苯并咪唑酮類顏料,例如Pig.Yellow#123(C.1.11783)、Pig.Yellow#154(C丄13980)、Pig.Yellow#175(C.1.11784)、Pig.Ydlow^80(C.I.21290)和Pig.Yellow弁181(C丄l1777);喹酞酮類顏料,例如Pig.Yellow#138(CI.56300);金屬配合物,例如Pig.Yellow#117(C.I.48043)、Pig.Yellow^129(C.I.48042)、Pig.Yellow#150(C丄12764)、Pig.Yellow#153(C丄48545)、Pig.Yellow#177(C.I.48120)和Pig.Yellow#179(C.I.48125)。另夕卜,橙色顏料的實例可以包括單偶氮類顏料,例如Pig.Orange糾(C.U1725)和Pig.Orange#6(C.U2730);萘酚類顏料,例如Pig.Orange#2(C.U2060)、Pig.Orange弁5(C丄12075)、Pig.Orange#22(CI.12470)、Pig.Orange#24(C.I.12305)和Pig.Orange弁38(C丄12367);萘酚-金屬配合物,例如Pig.Orange#17(C.I.15510:1)、Pig.Orange弁17:l(15510:2)和Pig.Orange#46(C.1.15602);雙偶氮吡唑啉酮類顏料,例如Pig.Orange弁13(C.I.21110)和Pig.Orange#34(C.I.21115);二芳基化物類顏料,例如Pig.Orange#15(C.I.21130)禾卩Pig.Orange#16(C.I.21160);萘磺酸-金屬配合物,例如Pig.Orange#19(dI.15990);二偶氮縮合物類顏料,例如Pig.Orange#31(dI.20050);苯并咪唑酮類顏料,例如Pig.Orange弁36(C丄11780)和Pig.Orange#60(CI.11782);皮蒽酮類顏料,例如Pig.Orange#40(C丄59700);紫環酮(perinone)類顏料,例如Pig.Orange#43(CI.71105);喹吖啶酮類顏料,例如Pig.Orange弁48(C丄73900);以及異吲哚啉類顏料,例如Pig.Orange#61(C.I.11265)、Pig.Orange糾6(C.I.48210)和Pig.Orange#69(C.I.56292)。應用于熱固性墨水的熱固型引發劑的實例可以包括,但并不限于,偶氮化合物,例如由和光純藥工業株式會社(WakoPurechemicalIndustris.,Ltd.)制造的偶氮腈類引發劑,例如V-60、V-65、V-59、V-70和V-40;偶氮酯類引發劑,例如V-601;偶氮酰胺類引發劑,例如VA-086、VA-085、VA-080、Vam-llO、Vam-111和VF-096;偶氮脒類引發劑,例如V-50、VA-044、VA-046B、Aam-027、VA-060、VA-057和VA-061;以及大分子偶氮引發劑,例如VPS-0501、VPS-lOOl、VPE-0201、VPE-0401、VPE-0601和VPTG-0301。為了防止在黑矩陣圖形中出現溢流并確保對像素單元的理想填充,優選用于噴墨的彩色墨水的表面張力為2030mN/m。優選的是,基于100重量份的墨水組合物,所述光致固化型或熱固化型墨水含有0.010.1重量份的硅或氟表面活性劑以使得該彩色墨水的表面張力為2030mN/m,并且其相對于黑矩陣圖形表面的接觸角為2060。其中,對降低表面張力非常有用的所述硅表面活性劑的實例可以包括,但并不限于,BYK-300、BYK-301、BYK-302、BYK-306、BYK-307、BYK-310、BYK-330、BYK-333、BYK-335、BYK-341、BYK-344、BYK-345和BYK-370。所述氟表面活性劑的實例可以包括,但并不限于,F-114、F-177、F-410、F-411、F-450、F-493、F-494、F-443、F-444、F-445、F-446、F-470、F畫471、F-475、F畫482、F-487、F畫172D、TF-1128、TF畫1127、TF-1129、TF-1126、TF-1130、TF-1116SF、TF-1131、TF1132、TF1027SF、TF-1441禾卩TF畫1442。[78]優選的是,采用噴墨法進行所述光致固化型或熱固化型墨水的填充,并且可以同時或者連續使用R、G和B型墨水進行該填充。對于光致固化型墨水,在將不同類型的墨水分別噴出或者同時噴出后,在50150。C的溫度下進行低溫熱固化102000秒,在40300mJ/cm2的曝光劑量下進行曝光,并在20025(TC的溫度下進行高溫熱固化10200分鐘。對于熱固化型墨水,在將不同類型的墨水分別噴出或者同時噴出后,在5015(TC的溫度下進行低溫熱固化102000秒,并在200250°C的溫度下進行高溫熱固化10200分鐘而沒有單獨的曝光步驟。對光致固化型墨水和熱固化型墨水的混合物可以進行上述步驟。另外,本發明提供了用上述方法制備的彩色濾光片。[81]此外,本發明提供了包括所述彩色濾光片的顯示器件。[82]除了根據本發明的顯示器件包括根據本發明的彩色濾光片以外,該顯示器件可以具有在相關領域中公知的構型。實施例從下面的實施例中可以更好地理解本發明,這些實施例用于解釋說明本發明,而不應理解為限制本發明。制備實施例l:阻光感光樹脂組合物的制備基于IOOO重量份的阻光感光樹脂組合物,將下列物質彼此混合65重量份用作著色劑的炭黑、29重量份用作堿可溶性樹脂粘合劑的(甲基)丙烯酸芐酯/(甲基)丙烯酸的共聚物(酸值110KOHmg/g,摩爾比70/30,Mw=30,000)、70重量份其中將烯丙基縮水甘油醚加成到(甲基)丙烯酸芐酯/(甲基)丙烯酸的共聚物中的聚合物(酸值80KOHmg/g,Mw=22,000)、50重量份用作官能單體的二季戊四醇六丙烯酸酯、20重量份用作光聚合引發劑的2-節基-2-(二甲氨基)-1-(4-嗎啉基苯基)丁烷-1-酮、10重量份的2,2'-雙(鄰氯苯基)-4,4,5,5'-四苯基-l,2'-非咪唑、5重量份的4,4-雙(二乙氨基)二苯甲酮、5重量份的巰基苯并噻唑、9重量份的用作添加劑的聚酯分散劑、0.53重量份用作粘合增進劑的3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸、1重量份用作流平劑的用于提供疏墨水性的硅或氟表面活性劑、440重量份用作溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯和290重量份的丙酸乙氧基乙酯。然后,將混合物攪拌5小時以制備黑矩陣感光樹脂組合物。制備實施例2:用于噴墨的彩色墨水的制備噴墨R墨水弁1對于采用噴墨法噴灑到像素單元上的紅色墨水,基于1000重量份的噴墨組合物,將下列物質彼此混合用作著色劑的56.4重量份的PIGMENTRED#254、16.3重量份的PIGMENTRED#177禾卩11.3重量份的PIGMENTYELLOW#139,50.8重量份其中將烯丙基縮水甘油醚加成到以70:30的摩爾比彼此混合的(甲基)丙烯酸芐酯和(甲基)丙烯酸的共聚物中的用作堿可溶性樹脂粘合劑的聚合物(Mw^24,000),101.5重量份用作官能單體的二季戊四醇六丙烯酸酯,5重量份的偶氮酰胺型熱固化引發劑(Vam-110,和光純藥工業株式會社),39重量份用作添加劑的聚酯分散劑,10重量份的3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷,0.35重量份用作勻染劑的氟表面活性劑(MegafaceF-475,日本油墨化學品工業株式會社(JapanInkChemicalIndustryCo.Ltd.),日本),580重量份用作溶劑的二甘醇一丁醚乙酸酯,35重量份的丙二醇單甲醚乙酸酯,60重量份的甲氧基丙醇,以及20重量份的丁基溶纖劑乙酸酯,然后將混合物攪拌5小時以制備用于噴墨的墨水組合物。噴墨R墨水存2對于采用噴墨法噴灑到像素單元上的紅色墨水,基于1000重量份的噴墨組合物,將下列物質彼此混合用作著色劑的56.4重量份的PIGMENTRED#254、16.3重量份的PIGMENTRED#177禾Q11.3重量份的PIGMENTYELLOW#139,39.3重量份其中將烯丙基縮水甘油醚加成到以70:30的摩爾比彼此混合的(甲基)丙烯酸芐酯和(甲基)丙烯酸的共聚物中的用作堿可溶性樹脂粘合劑的聚合物(Mw^24,000),78.6重量份用作官能單體的二季戊四醇六丙烯酸酯,5重量份的偶氮酰胺型熱固化引發劑(Vam-110,和光純藥工業株式會社),37重量份用作添加劑的聚酯分散劑,10重量份的3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷,0.6重量份用作流平劑的硅表面活性劑(BYK330,BYK化學,德國),620重量份用作溶劑的二甘醇一丁醚乙酸酯,37重量份的丙二醇單甲醚乙酸酯,60重量份的甲氧基丙醇,以及20重量份的丁基溶纖劑乙酸酯,然后將混合物攪拌5小時以制備用于噴墨的墨水組合物。[91]噴墨R墨水弁3除了與噴墨R墨水#1的情形不同,加入0.35重量份的MegafaceF-487(日本油墨化學品工業株式會社,日本)代替F-475作為氟表面活性劑以外,使用與R墨水W相同的步驟制備R墨水弁3。噴墨R墨水弁4除了與噴墨R墨水弁2的情形不同,加入0.6重量份的BYK331(BYK化學,德國)代替BYK330作為硅表面活性劑以外,使用與R墨水弁2相同的步驟制備R墨水弁4。實施例1將使用在下表l中描述的表面活性劑F-177制備的感光樹脂組合物溶液(BM5)采用旋涂法涂布在玻璃上,并在約10(TC下進行預熱處理2分鐘,形成厚度約為2.4pm的膜。接著,在室溫下冷卻該膜,并使用光掩膜和高壓汞燈用100mJ/cm2的能量進行曝光。按照噴灑法使用0.04%KOH水溶液在25°C的溫度下使曝光后的基板顯影,用純水沖洗,鼓風干燥,在對流加熱爐中在22(TC下進行后烘烤30分鐘,并在CF4氣體氣氛中使用等離子體進行疏水性表面處理。隨后,將所制備的噴墨R墨水W噴射在像素單元上。對于這一點,所述像素單元的大小為212.5pmx572.5pm。在噴墨后,在IO(TC下進行低溫熱固化2分鐘,并在22(TC下進行后烘烤30分鐘以使墨水固化。墨水的噴射結果描述在表4中。實施例2除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用BYK307(BM2)作為表面活性劑并且使用噴墨R墨水#2作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。[100]實施例3除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用BYK331(BM4)作為表面活性劑并且使用噴墨R墨水#2作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。實施例4除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用F-177(BM5)作為表面活性劑并且使用噴墨R墨水#2作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。實施例5除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用F-472SF(BM6)作為表面活性劑并且使用噴墨R墨水#2作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。實施例6除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用BYK307(BM2)作為表面活性劑并且使用噴墨R墨水#3作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。實施例7除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用F-472SF(BM6)作為表面活性劑并且使用噴墨R墨水#4作為墨水以外,釆用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。比較實施例1除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用BYK330(BM3)作為表面活性劑并且使用R墨水W作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。比較實施例2除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用F-475(BM7)作為表面活性劑并且使用R墨水W作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。除了在制備感光樹脂組合物的過程中沒有使用表面活性劑(BM1)并且使用R墨水#2作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。比較實施例4除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用BYK330(BM3)作為表面活性劑并且使用R墨水#2作為墨水以外,采用與實施例1相同的步驟制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。比較實施例5除了在制備感光樹脂組合物的過程中使用F-475(BM7)作為表面活性劑并且使用R墨水#2作為墨水以外,采用與實施例1相同的程序制備彩色濾光片。墨水的噴射結果描述在表4中。表1在等離子體處理之前取決于所使用的表面活性劑類型的黑矩陣圖形的表面張力(mN/m)<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>表2取決于所使用的表面活性劑類型的彩色墨水的表面張力(mN/m)<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>表3在等離子體表面處理之前對黑矩陣基板噴射墨水的結果BM圖形彩色墨水墨水噴射結果<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>表4在等離子體表面處理后對黑矩陣基板噴射墨水的結果<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>*對像素單元的理想滴數2030滴在實施例17中,如果使用等離子體將具有約29mN/m以上的高表面張力的黑矩陣圖形進行疏水性表面處理,當噴射具有約2030mN/m的低表面張力的墨水時,則像素單元被適當數目的墨水滴(2030滴)填充而沒有發生溢流。相反,在比較實施例l、2、4和5中,如果使用等離子體對具有約25mN/m以下的低表面張力的黑矩陣圖形進行疏水性表面處理,即使噴射具有約2030mN/m的低表面張力的墨水,像素單元也不能被適當數目的墨水滴理想地填充。為了理想地填充像素單元,需要使用具有較低表面張力的墨水。此外,在比較實施例3中,如果使用等離子體對不含有為提供疏墨水性而加入的表面活性劑的黑矩陣進行疏水性表面處理,則該像素單元被20滴墨水填充。如果噴射更多的墨水滴,則發生溢流。特別是,因為沒有使用表面活性劑,當用光刻膠涂布黑矩陣時,由于相對較高的表面張力可能導致形成次品。因此,即使當使用等離子體對具有2645mN/m的高表面張力的黑矩陣圖形進行疏水性表面處理時,如果使用具有2030mN/m的表面張力的彩色墨水,則噴射適當數目的墨水滴以進行填充而不會發生從一個像素單元向相鄰像素單元的溢流。當使用等離子體對具有26mN/m以下的低表面張力的黑矩陣圖形進行疏水性表面處理時,使用表面張力小于20mN/m的彩色墨水以噴射適當數目的墨水滴,而不會發生從一個像素單元向相鄰像素單元的溢流。由此,進行填充。權利要求1、一種制備彩色濾光片的方法,該方法包括以下步驟(a)在基板上形成表面張力為26~45mN/m的黑矩陣圖形;(b)對其上形成有黑矩陣圖形的基板進行等離子體處理;和(c)用墨水填充由所述黑矩陣圖形限定的像素單元。2、根據權利要求1所述的制備彩色濾光片的方法,其中,所述黑矩陣圖形的形成包括以下步驟(al)將感光樹脂組合物涂布在所述基板上;(a2)預烘烤所述感光樹脂組合物以形成黑矩陣膜;和(a3)對所形成的黑矩形膜進行選擇性曝光和顯影,然后進行后烘烤。3、根據權利要求2所述的制備彩色濾光片的方法,其中,基于100重量份的所述感光樹脂組合物的總固體量,該感光樹脂組合物含有2050重量份的著色劑。4、根據權利要求2所述的制備彩色濾光片的方法,其中,基于100重量份的所述感光樹脂組合物的總固體量,該感光樹脂組合物含有0.031.2重量份的硅或氟表面活性劑。5、根據權利要求2所述的制備彩色濾光片的方法,其中,所述感光樹脂組合物的預烘烤在80120r下進行15分鐘。6、根據權利要求2所述的制備彩色濾光片的方法,其中,所述后烘烤在200250。C下進行10200分鐘。7、根據權利要求1所述的制備彩色濾光片的方法,其中,當所述黑矩陣圖形的厚度為1.15pm時,所形成的黑矩陣圖形的光密度為36。8、根據權利要求1所述的制備彩色濾光片的方法,其中,使用CF4氣體進行所述等離子體處理。9、根據權利要求1所述的制備彩色濾光片的方法,其中,所述墨水的表面張力為2030mN/m。10、根據權利要求l所述的制備彩色濾光片的方法,其中,基于100重量份的所述墨水組合物,該墨水含有0.010.1重量份的硅或氟表面活性劑。11、根據權利要求1所述的制備彩色濾光片的方法,其中,所述墨水相對于所述黑矩陣圖形表面的接觸角為2060。12、根據權利要求l所述的制備彩色濾光片的方法,其中,采用噴墨印刷法對所述像素單元進行填充。13、根據權利要求1所述的制備彩色濾光片的方法,其中,所述墨水為光致固化型或熱固化型墨水。14、根據權利要求l所述的制備彩色濾光片的方法,其中,對所述像素單元進行填充以使得同時或者連續涂布兩種以上類型的墨水。15、根據權利要求13所述的制備彩色濾光片的方法,其中,所述光致固化型墨水通過如下步驟固化在填充過程中,將每種類型的墨水噴出或者將所有類型的墨水噴出后,在50150。C的低溫下加熱102000秒,在40300mJ/cn^的曝光劑量下曝光,并通過在200250"C的高溫下加熱10200分鐘固化。16、根據權利要求13所述的制備彩色濾光片的方法,其中,所述熱固化型墨水通過如下步驟固化在填充過程中,將每種類型的墨水噴出或者將所有類型的墨水噴出后,在5015(TC的低溫下加熱102000秒,并通過在200250。C的高溫下加熱10200分鐘固化。17、一種彩色濾光片,其使用根據權利要求116中任一項所述的方法來制備。18、一種顯示器件,其包括權利要求17所述的彩色濾光片。全文摘要本發明涉及一種制備彩色濾光片的方法以及使用該方法制備的彩色濾光片。更具體而言,本發明涉及一種制備彩色濾光片的方法和使用該方法制備的彩色濾光片,所述方法包括對形成在基板上的黑矩陣(BM)圖形進行等離子體處理以增加該黑矩陣圖形和像素單元在疏墨水性方面的差異。當使用本發明的制備方法時,可以提供這樣一種彩色濾光片,在使用噴墨印刷法的噴墨過程中在像素單元中或像素單元間沒有發生顏色混合,沒有發生由于未填充而導致的脫色,表面均勻,并且像素單元中或像素單元間沒有明顯的階差。文檔編號G02B5/20GK101669047SQ200880011366公開日2010年3月10日申請日期2008年3月6日優先權日2007年4月5日發明者崔東昌,崔庚銖,柳民兒,池昊燦,車槿英,金大鉉,金星炫,金美愛,金美經,金賢湜,金載駿申請人:Lg化學株式會社
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