專利名稱：一種掩膜版傳遞和檢查夾具的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于傳遞和檢查夾具技術領域，尤其涉及一種掩膜版傳遞和檢 查夾具。
背景技術：
掩膜版是掩膜行業內的一種光罩，它可以將圖形轉移到晶圓上，由于這種 工藝對掩膜版的表面潔凈度和缺陷要求很高，這就給掩膜版的清洗和檢查造成 了很大的難度。在一般掩膜版的生產過程中，人手必須接觸到掩膜版才可進行
傳遞，傳遞時手就會污染掩膜版；同時，掩膜版表面會貼一層保護膜，當掩膜 版在儀器上檢查時容易把此保護膜弄破。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種掩膜版傳遞和檢查夾具，旨在解決現有技 術中的掩膜版在傳遞時易受到手的污染和在4企查時易損壞其表面的保護膜的問 題。
本實用新型是這樣實現的， 一種掩膜版傳遞和檢查夾具，其包括一框架、 若干位于所述框架上的用來支撐掩膜版的支撐件和定位掩膜版的定位件，且所 述支撐件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一對邊中部分別向外設有 一把手，所述把手和框架之間通過連接件連接。
在傳遞時手握住把手，不會接觸到掩膜版，避免了手對掩膜版的污染；掩 膜版在儀器上檢查時，在大小塑料銷釘的作用下，可以保證掩膜版上的保護膜 不被損壞。
圖1是本實用新型實施例提供的一種掩膜版傳遞和檢查夾具的方形框架的
示意圖2是本實用新型實施例提供的一種掩膜版傳遞和檢查夾具的支撐件的示 意圖3是本實用新型實施例提供的一種掩膜版傳遞和檢查夾具的定位件的示 意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，
以下結合附圖 及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體 實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
參閱圖1所示，本實用新型實施例提供的一種掩膜版傳遞和檢查夾具，包 括一方形框架1、若干個支撐件6和定位件7，所述支撐件6可選用小塑料銷4丁， 定位件7可選用大塑料銷釘。所述方形框架1由硬鋁制成，其一對邊中部各向 外設有一把手5，所述把手5與方形框架1之間通過連接件連接，比如螺釘； 所述方形框架1的四邊中部及四角分別開設有一小孔3和兩相同的大孔2，所 述兩大孔2對稱設于小孔3的兩側，所述小孔3和支撐件6配合，所述大孔2 和定位件7配合，可使支撐件6和定位件7固定在方形框架1上，其中所述支 撐件6的高度小于定位件7的高度；所述支撐件6的用來支撐掩膜版，所述定 位件7用來限定掩膜版的位置和外形尺寸。
在傳遞時，手握住把手5，不會接觸到掩膜版，避免了手對掩膜版的污染； 掩膜版在儀器上檢查時，由于掩膜版放置在支撐件6上，而定位件7高于支撐 件6,這樣可以保證掩膜版上的保護膜在檢查時不祐:損壞。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型， 凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應 包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1、一種掩膜版傳遞和檢查夾具，包括一框架，其特征在于還包括若干位于所述框架上的用來支撐掩膜版的支撐件和定位掩膜版的定位件，且所述支撐件的高度小于所述定位件的高度。
2、 如權利要求1所述的一種掩膜版傳遞和^r查夾具，其特征在于所述支 撐件由開設于框架周邊中部及四角的小孔分別固定，所述定位件由分別設置于 所述小孔兩側的大孔固定。
3、 如權利要求2所述的一種掩膜版傳遞和檢查夾具，其特征在于所述框 架的 一對邊中部各向外設有一把手，所述把手和框架之間通過連接件連接。
4、 如權利要求3所述的一種掩膜版傳遞和檢查夾具，其特征在于所述框 架為方形，由硬鋁制成。
5、 如權利要求1或2所述的一種掩膜版傳遞和檢查夾具，其特征在于所述支撐件為小塑料銷釘。
6、 如權利要求1或2所述的一種掩膜版傳遞和檢查夾具，其特征在于所述定位件為大塑料銷釘。
專利摘要本實用新型適用于傳遞和檢查夾具技術領域，提供了一種掩膜版傳遞和檢查夾具，其包括一框架、若干位于所述框架上的用來支撐掩膜版的支撐件和定位掩膜版的定位件，且所述支撐件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一對邊中部分別向外設有一把手，所述把手和框架之間通過連接件連接。在傳遞時手握住把手，不會接觸到掩膜版，避免了手對掩膜版的污染；掩膜版在儀器上檢查時，在大小塑料銷釘的作用下，可以保證掩膜版上的保護膜不被損壞。
文檔編號G03F7/20GK201273985SQ20082014715
公開日2009年7月15日 申請日期2008年9月10日 優先權日2008年9月10日
發明者荊學軍 申請人:清溢精密光電(深圳)有限公司