專利名稱:防護薄膜組件收納容器及其制造方法
技術領域:
本發明是關于一種防護薄膜組件收納容器及其制造方法,該制造方法可 收納、保管、輸送在吾人制造半導體裝置、印刷基板或是液晶顯示器等產品 時作為防塵器使用的微影用防護薄膜組件。
背景技術:
在LSI、超LSI等半導體或是液晶顯示板等產品的制造中,是用光照射 半導體晶圓或液晶用原板以制作形成圖案,惟若此時所使用的光罩或初縮遮 罩(以下僅稱光罩)有灰塵附著的話,由于該灰塵會吸收光,使光彎曲,故 除了會使轉印的圖案變形、使邊緣變粗糙以外,還會使基底污黑,并損壞尺 寸、品質、外觀等。
因此,該等作業通常是在無塵室內進行,惟即使如此欲經常保持光罩清 潔仍相當困難。于是,吾人遂在光罩表面貼附作為防塵器之用的防護薄膜組 件后再進行曝光。此時,異物并非直接附著于光罩表面上,而是附著于防護 薄膜組件上,故只要在微影步驟中將焦點對準光罩圖案上,防護薄膜組件上 的異物就不會對轉印造成影響。
一般而言,該防護薄膜組件,是用透光性良好的硝化纖維素、醋酸纖維 素或氟系樹脂等物質構成透明防護薄膜,并以鋁、不銹鋼、聚乙烯等物質構 成防護薄膜組件框架,將該防護薄膜貼附黏著于該防護薄膜組件框架的上端 面。接著,在防護薄膜組件框架的下端設置為裝著于光罩上而由聚丁烯樹脂、 聚醋酸乙烯酯樹脂、丙烯酸樹脂等物質所構成的梨著層,以及保護黏著層的 脫模層(隔離部)。
然而,在將防護薄膜組件貼附于光罩上后其所形成的封閉空間雖然具有 防止異物從外部侵入內部的效果,惟若異物是附著于防護薄膜組件本身且在 封閉空間內部時,便難以防止光罩表面附著異物。因此,除了要求防護薄膜組件本身的高度清潔性以外,更強烈要求保管、輸送時使用的防護薄膜組件 收納容器(參照下述專利文件1)也具有維持該清潔性的性能。具體而言, 要求其防止靜電性能優異,并由受摩擦時發塵量少的材質所構成,且形成能 盡量防止防護薄膜組件與構成零件間的接觸的構造,以及施加外力時能夠防 止變形的高剛性構造。
防護薄膜組件收納容器通常是將丙烯腈-丁二烯_苯二烯共聚物
(Acrylonitrile Butadiene Styrene, ABS )樹脂、丙烯酸等樹脂以射出成形或是 真空成形等方式制造而成。利用該等成形方法,具備表面平滑故異物附著或 發塵的疑慮較少、 一體成形無接縫故發塵或異物侵入的疑慮較少、即使物品 形狀復雜也能輕易制造、量產性優異、成本低廉等優點。圖6表示防護薄膜 組件收納容器外觀的一個實施例。該容器是由載置防護薄膜組件的容器本體 61,以及被覆防護薄膜組件同時容器本體與周緣部嵌合卡止的蓋體62所構 成,容器本體利用黏貼膠帶(未經圖示)或夾箝器63與蓋體連結。
半導體用或印刷基板用的防護薄膜組件收納容器,其外形邊長大約 200 300mm左右,該等容器通常是利用射出成形方式制造而成。另一方面, 主要用于液晶用防護薄膜組件而邊長超過500mm的大型防護薄膜組件收納 容器, 一般是對ABS、丙烯酸等合成樹脂片材以真空成形方式所制造而成。 這是因為,若使用從一個地方或是數個地方的閘門將樹脂以高速注入模具內 的射出成形方式,其樹脂流動距離太長而會造成制作上的困難。另一方面, 真空成形法,是在模具上覆蓋加熱過的樹脂片材,再以真空吸引成形,故即 使大型物品也能輕易制得。
射出成形法除了閘門部分以外可以制得所想要的形狀,相對于此,如圖 5所示的真空成形法無法制得所想要的形狀。這是因為,成形部分51的周圍 會有真空吸引時用來形成按壓緣部的原料片材的邊端材料52殘留的關系。 因此,在真空成形法中,必須在成形后利用機械加工步驟除去周圍剩余的部 分。
然而,通常,利用真空成形法所制作的防護薄膜組件收納容器其板厚約 為2 5mm左右,很薄,并沒有足夠的剛性。因此,在切削加工時被切削部 分會產生振動,除了凹凸以外,還會產生如圖3所示的須狀毛邊32,故難以 獲得清潔的表面。因此,通常,會利用刀類工具進行毛邊除去作業作為切削加工之后的后 續處理。然而,利用刀類工具進行切削也會產生新的毛邊,故要獲得完全清 潔的狀態非常的困難。又,尤其在大型防護薄膜組件收納容器中也有外周長超過5m者,其去除毛邊處理需要數十分鐘,在成本上也造成很大的問題。 [專利文獻1]日本特開2000 - 173887號公報發明內容發明所欲解決的問題由以上情事,本發明的目的在于提供一種清潔且成本低廉的防護薄膜組 件收納容器,其確立出真空成形后適當的外周圍加工方法,使端面不會產生 毛邊等瑕瘋。解決問題的技術手段本發明的制造方法,先將樹脂片材以真空成形方式形成防護薄膜組件收 納容器構件的形狀后,再切削除去片材周圍剩余部分,制得防護薄膜組件收 納容器構件,接著,對剩余部分除去后形成的表面部分進行溶解處理。防護薄膜組件收納容器構件,通常,是指防護薄膜組件收納容器本體與防護薄膜組件收納容器蓋體,其他,只要是防護薄膜組件收納容器構造用的構件,則不問其種類為何。溶解處理,可涂布有機溶劑。又,亦可用熱風吹送取代。又,本發明一種防護薄膜組件收納容器,其是由利用上述制造方法所制得的防護薄膜組件收納容器本體與防護薄膜組件收納容器蓋體所構成的,容器蓋體使用其周緣部與容器本體嵌合卡止的形態為佳。 對照現有4支術的功效若依本發明,便能輕易溶解除去切削加工后表面所生毛邊,使表面平滑, 因此便能以低成本制得端面清潔的防護薄膜組件收納容器。端面清潔的話, 便可維持防護薄膜組件收納容器所要求的清凈性。
圖1是表示本發明的防護薄膜組件收納容器構件端面處理方法其一實 施例的說明圖。圖2是表示本發明的防護薄膜組件收納容器構件端面處理方法其另一 實施例的^L明圖。
圖3是表示外周圍切削加工后端面外觀一實施例的說明圖。
圖4是表示現有所用防護薄膜組件收納容器本體端面處理方法一實施
例的說明圖。
圖5是表示真空成形后防護薄膜組件收納容器構件狀態的立體圖。 圖6是表示防護薄膜組件收納容器外觀一實施例的立體圖。 主要附圖標記說明
11防護薄膜組件收納容器構件端面
12溶媒保持機構
21防護薄膜組件收納容器構件端面
22噴嘴
23力口熱器
31防護薄膜組件收納容器構件端面
32毛邊
41防護薄膜組件收納容器構件端面
42切割器
51防護薄膜組件收納容器構件(成形部分)
52剩余部分(按壓緣部)
61防護薄膜組件收納容器本體
62防護薄膜組件收納容器蓋體
63夾箝器
具體實施例方式
以下,根據
本發明的防護薄膜組件收納容器的實施形態。
圖1以及圖2是表示本發明的防護薄膜組件收納容器構件端面處理的一 個實施例的說明圖,圖3是真空成形后進行外周圍切削加工時的外觀的一個 實施例的說明圖。
經過外周圍切削加工后的防護薄膜組件收納容器構件端面31,會因為 板厚或切削條件而造成差異,并產生如圖3所示的須狀毛邊32。本發明,如圖1所示的將有機溶媒浸潤于溶媒保持機構12,并使該機構邊壓抵著容器構 件端面11邊移動,而將溶y漆涂布于該端面的表面。有枳"容々某宜選擇對作業 人員危害最小且即使溶解容器材質也不會產生變色者為佳,例如,對丙烯腈
- 丁二烯-苯二蹄共聚物樹月旨(acrylonitrile butadiene styrene; ABS )材質而 言可使用丙酮、曱基乙基酮(methyl ethyl ketone; MEK)等。溶媒保持機構 12宜適當選擇不會被溶媒侵蝕的材質為佳,例如使用MEK時,由折迭纖維 素系的擦拭布所制成的溶媒保持機構12,便能有效防止MEK侵蝕。又,移 動速度或溶媒的浸潤量,壓抵強度等,可邊確認涂布后的完成情況邊作適當 的調整。
又,圖2是表示附帶有熱風吹送功能的其他實施形態。設置在加熱器 23前端的噴嘴22邊將大約150 ~ 20(TC左右的熱風吹送到防護薄膜組件收納 容器構件端面21,邊在該端面上移動。此時,利用熱風吹送讓須狀毛邊受熱 溶縮而被燒光,如是便能輕易的從表面除去該毛邊。然而,高溫熱風處理很 危險,溫度控制很難,長時間對著同一個處所吹送太久會在表面留下溶縮凹 痕,若能準備專用裝置自動執行是很好,但是用人力執行該作業、該有機溶 媒的方法,才具備實用性。
以下,說明本發明的實施例,惟本發明并非僅限定于此。 [實施例1]
利用真空成形法對厚度3mm的防靜電ABS[商品名Toyolacparel (TORAY股份有限公司制)丙烯腈_ 丁二烯-笨二烯共聚合物(約87% ) 與聚醚醯胺酯(約13%)的混合物](黑色)片材進行成形。成形后的外觀 如圖5所示的周圍留有剩余部分52,利用數控刨刮機(numerical controlled router; NC router)將該部分切削除去,即制得防護薄膜組件收納容器構件。 接著,如圖1所示的將纖維素制擦拭布[商品名Bemcot PS2 (旭化成股份 有限公司制)]折迭起來浸潤于MEK中,涂布容器端面整圈。之后,靜置 10min使其完全干燥之后,用純水洗凈除去灰塵等雜物,并觀察其外觀。涂 布部分外觀光澤情況與非涂布部雖有若干差異,但沒有變色,品質良好。又, 此時可確認并無毛邊。接著,將白色黏貼膠帶[商品名Almake tape ( ALMA 公司制)]黏貼于端面,在撕下來以確認是否有毛邊等雜物附著,發現并無任何須狀毛邊附著。 [實施例2]
用與上述實施例1完全相同的方式,制作防護薄膜組件收納容器構件。
然后,如圖2所示的從安裝在加熱器23 (八光電機制作所制)前端的噴嘴 22的前端邊吹送出溫度180 200。C的熱風噴嘴前端邊以約5mm/s的速度 移動。之后,洗凈去除雜物后,觀察外觀。結果,雖然沒有發現毛邊等瑕疵, 但發現數個地方因為過熱而造成表面粗糙。又,與上述實施例l相同用黏貼 膠帶確認是否有毛邊附著,則完全未發現有毛邊附著。 [比4交例]
用與上述實施例l、 2完全相同的方式,制作防護薄膜組件收納容器構 件。接著,如圖4所示的用切割器42沿端面41的棱線進行去角。之后,用 純水洗凈去除雜物,觀察外觀,發現毛邊未完全除去的地方有數個地方,而 切割器切割太多的地方也有數個地方。再者,與上述實施例相同用黏貼膠帶 進行檢驗,發現到處都有須狀毛邊附著,從外觀上以及清凈性的觀點來看情 況非常不理想。
本發明,可輕易溶解除去切削加工后表面所生的毛邊使其平滑,故可適 用于對清潔性特別要求的防護薄膜組件收納容器的產業技術范圍內。
權利要求
1、一種防護薄膜組件收納容器構件的制造方法,其特征為將樹脂片材以真空成形方式形成防護薄膜組件收納容器構件的形狀后,切削除去片材周圍的剩余部分,制得防護薄膜組件收納容器構件,接著,對剩余部分除去后形成的表面部分進行溶解處理。
2、 如權利要求1所述的防護薄膜組件收納容器構件的制造方法,其中, 該防護薄膜組件收納容器構件是防護薄膜組件收納容器本體。
3、 如權利要求1所述的防護薄膜組件收納容器構件的制造方法,其中, 該防護薄膜組件收納容器構件是防護薄膜組件收納容器蓋體。
4、 如權利要求1至3中任一項所述的防護薄膜組件收納容器構件的制 造方法,其中,該溶解處理是以涂布有積二容劑方式施行。
5、 如權利要求1至3中任一項所述的防護薄膜組件收納容器構件的制 造方法,其中,該溶解處理是以吹送熱風方式施行。
6、 一種防護薄膜組件收納容器,包含以如權利要求2所述的制造方法所制得的防護薄膜組件收納容器本體,及以如權利要求3所述的制造方法所制得的防護薄膜組件收納容器蓋體。
7、 如權利要求6所述的防護薄膜組件收納容器,其中,該容器蓋體是 以其周緣部與容器本體互相嵌合卡止。
全文摘要
本發明的目的在于提供一種干凈且成本低廉的防護薄膜組件收納容器,其在真空成形后以適當的加工方法對外周圍進行加工,使端面沒有毛邊等瑕疵。為達到上述目的,先將樹脂片材真空成形,再切削除去片材周圍的剩余部分,制得防護薄膜組件收納容器構件,接著,對該剩余部分除去后的表面部分實施有機溶劑涂布等的溶解處理。便能輕易溶解除去切削加工后表面所生的毛邊,使表面平滑,而以成本低廉的方式獲得端面清潔的防護薄膜組件收納容器。
文檔編號G03F1/62GK101289000SQ20081008845
公開日2008年10月22日 申請日期2008年3月31日 優先權日2007年4月20日
發明者關原一敏 申請人:信越化學工業株式會社