專利名稱：：帶隔壁圖案基板及其制造方法
技術領域：
：本發明涉及液晶顯示裝置、場致發光顯示裝置等中使用的帶隔壁圖案基板及其制造方法。更詳細來說，涉及通過噴墨方式而印刷有各像素的帶隔壁圖案基板及其制造方法。
背景技術：
：彩色液晶顯示裝置等中使用的濾色器是彩色液晶顯示裝置等中不可或缺的部件，具有提高液晶顯示裝置的畫質、或對各像素賦予各種原色色彩的作用。以往，對該濾色器的制造方法反復進行了各種研究，作為代表的方法，已知光刻方式、噴墨方式等。在光刻方式中，在整個基板上形成各色的感光性樹脂層的涂膜，然后除去涂膜中不需要的部分，將殘留圖案作為各色像素。在該方法中，由于涂膜的很多部分為不需要，因此在制造濾色器時大量顏料等材料被浪費。此外，由于要對每個顏色像素進行曝光、顯影工序，因此工序數變多。由此，采用光刻方式的濾色器制造在成本、環境方面均存在問題。在這一點上，近年來噴墨方式受到了重視。采用噴墨方式的濾色器制造將R、G、B這3色的著色樹脂組合物作為油墨使用，能夠同時印刷各顏色。因此，材料的浪費也少，而且由于像素形成工序縮短，因此可以期待環境負荷的減少和成本的大幅降低。專利文獻1:特開平6-347637號7〉才艮專利文獻2:特開平7-035915號爿〉才艮專利文獻3:特開平7-035917號公報專利文獻4:特開平7-248413號/>才艮作為使用噴墨方式的濾色器基板的制造方法，提出了專利文獻1~4中記載的方法。在專利文獻l(特開平6-347637號公報)中記載，為了防止油墨向玻璃基板上所需的著色層區域以外擴散，通過形成如下隔壁，即，使區劃各像素間的黑色隔壁部(黑色矩陣)中含有氫氟酸系防水、防油劑，隔壁的臨界表面張力小于35達因，間隙的被印刷面的臨界表面張力為35達因以上，并且油墨的表面張力與隔壁和間隙的被印刷面的臨界表面張力具有5達因以上的差的隔壁，從而使油墨僅固定在著色區域內。此外，在專利文獻2(特開平7-35915號公報)、專利文獻3(特開平7-35917號公報)、專利文獻4(特開平7-248413號公報)中記載，作為用于防止著色層形成工序中的油墨洇滲、混色的間隔壁的隔壁，是含有含氟化合物和/或含硅化合物的黑色樹脂層，其在水中的后退接觸角為40°以上、或者在用于形成像素的著色油墨中的后退接觸角為20°以上。這些方法由于使用含有具有防油墨性的氟化合物的黑色樹脂組合物來形成隔壁，因此不需要對形成的隔壁圖案賦予防油墨性的工序、對被印刷面賦予親油墨性的工序等，工序數少，能夠降低環境負荷和制造成本，可以說是非常優選的方法。作為其他方法，有在基板上將隔壁材料圖案化而形成隔壁圖案后，進行防油墨性表面處理的方法，但是工序數增加一個，而且難以控制上部、側面的防油墨性程度。此外，還有在基板上設置隔壁材料，經防油墨處理后進行圖案化的方法，但在該情況下，僅能對上部賦予防油墨性，而且有時在圖案化工序中還會失去防油墨性，因此難以賦予所需的防油墨性。
發明內容但是，對于上述以往的方法，在使用有機溶劑系的顏料分散型著色油墨、通過噴墨進行印刷的情況下，產生如下問題，即，在鄰接的像素間油墨之間越過隔壁而混合，產生混色不良，或者相反著色層露白。而且，雖然隔壁表面對用于形成像素的著色油墨具有充分的防油墨性，但是在形成隔壁圖案時的煅燒工序、進行噴墨印刷前的清洗工序中，有時防油墨劑分解而飛散，或者防油墨劑滲出到隔壁外。由此，由隔壁圍成的開口部的基板表面被防油墨劑污染，產生所述的著色層露白、像素形狀變得不平坦等問題，難以形成無混色、露白且平坦的像素。此外，為了設置無混色等的平坦像素，必須控制隔壁的防油墨性，但是如果隔壁上部為防油墨性，則在其上設置罩面層、導電層等功能層時，隔壁與功能層的密合性不充分，存在功能層產生不均、膜剝離等問題。為了避免這一點，考慮形成無防油墨性的隔壁，然而這時，雖然隔壁與功能層的密合性達到充分，但卻會發生混色、露白，不能形成平坦的像素。即，難以兼顧無混色、露白且平坦的像素與無不均、膜剝離的功能層。本發明為解決上述問題點而完成，其課題在于，提供能夠形成沒有混色、露白不良、并且各像素平坦且均勻的著色層的帶隔壁圖案基板及其制造方法。此外，提供在隔壁上設有功能層時，功能層沒有不均，而且與功能層具有高密合性的帶隔壁圖案基板及其制造方法。以下，示出用于解決上述課題的本申請的構成。第1發明是，一種帶隔壁圖案基板，其特征在于，具有基板、以及在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案，所述隔壁的上部表面，釆用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為25%~60%。第2發明是，上述第l發明所述的帶隔壁圖案基板，其特征在于，被所述隔壁包圍的基板表面，采用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。第3發明是，一種帶隔壁圖案基板，其特征在于，具有基板、以及在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案，所述隔壁中，距所述基板側的高度為卯％以下的部分，采用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。第4發明是，上述第3發明所述的帶隔壁圖案基板，其特征在于，被所述隔壁包圍的基板表面，采用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。第5發明是，一種帶隔壁圖案基板，其特征在于，具有基板、在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案、以及在被所述隔壁圖案包圍的區域采用著色油墨而形成的著色層，所述隔壁的上部表面，采用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為20%以下，并且所述隔壁上沒有附著著色油墨。第6發明是，上述第5發明所述的帶隔壁圖案基板，其特征在于，在所述隔壁和著色層上，具有功能層。第7發明是，一種帶隔壁圖案基板，其特征在于，具有基板、在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案、以及在被所述隔壁圖案包圍的區域釆用著色油墨而形成的著色層，所述隔壁中，距所述基板側的高度為卯％以下的部分，采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z49)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下，并且所述隔壁上沒有附著著色油墨。第8發明是，上述第7發明所述的帶隔壁圖案基板，其特征在于，在所述隔壁和著色層上，還具有功能層。第9發明是，一種帶隔壁圖案基板的制造方法，包括以下工序。在基板上的規定位置上形成含有氟化合物的隔壁材料的圖案的工序；對所述隔壁材料的圖案照射電離放射線的工序；將照射電離放射線后的隔壁材料的圖案在18or;以下進行加熱固化，形成隔壁的工序。第IO發明是，上述第9發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，形成的隔壁的上部表面，采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF—SIMS)進行負離子分析時，F—碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為25%~60%。第ll發明是，上述第9發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，形成的所述隔壁中，距所述基板側的高度為90%以下的部分，采用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。第12發明是，第9發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，具有在形成隔壁的工序之后，采用著色油墨來形成著色層的工序。第13發明是，第9發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，具有在形成隔壁的工序之后，采用著色油墨來形成著色層的工序，并且隔壁圖案上沒有附著著色油墨。第14發明是，第9發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，包括在形成隔壁的工序之后，釆用著色油墨來形成著色層的工序；以及在形成著色層后，在形成所述隔壁和著色層后進行表面清洗處理的工序。第15發明是，第9發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，包括在形成隔壁的工序之后，采用著色油墨來形成著色層的工序；以及在形成著色層后，在形成所述隔壁和著色層后進行表面清洗處理的工序；并且，表面清洗處理后的隔壁的上部表面，采用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為20%以下。第16發明是，第9發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，包括在形成隔壁的工序之后，采用著色油墨來形成著色層的工序；以及在形成著色層后，在形成所述隔壁和著色層后進行表面清洗處理的工序；并且，表面清洗處理后的所述隔壁中，距所述基板側的高度為卯％以下的部分，采用飛行時間型二次離子質i普儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。第17發明是，一種帶隔壁圖案基板的制造方法，包括以下工序。在基板上的規定位置上形成含有氟化合物的隔壁材料的閨案的工序；在被所述隔壁圖案包圍的區域中填充著色油墨，形成著色層的工序；以及在形成所述隔壁和著色層后進行表面清洗處理的工序。第18發明是，第17發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，在采用著色油墨形成著色層的工序后的隔壁圖案上沒有附著著色油墨。第19發明是，第17發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，表面清洗處理工序后的所述隔壁的上部表面，采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為20%以下。第20發明是，第17發明所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，表面清洗處理工序后的所述隔壁中，距所述基板側的高度為卯％以下的部分，采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z-19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。可以提供能夠形成沒有混色、露白不良、并且各像素平坦且均勻的著色層的帶隔壁圖案基板。圖l是本發明的帶隔壁圖案基板的說明圖。圖2是表示本發明的帶隔壁圖案基板制法的一例的說明圖。圖3是表示本發明的帶隔壁圖案基板制法的一例的說明圖。具體實施例方式以下，邊參照附圖邊對本發明進一步進M細說明。圖1是表示本發明的帶隔壁圖案M剖面的一例的剖面圖。圖示出保護層l、隔壁2、基材3、著色層(像素)4。圖2表示本發明的帶隔壁圖案J41形成方法的一例。在圖2中，具有(a)在基材整個面上設置隔壁材料的工序；(b)將隔壁圖案化的工序；(c)設置著色層時，在隔壁的開口部設置著色層的工序。這里，將設置于隔壁之間的各開口部中的各個著色層作為像素。在本發明中，研究了在被隔壁圖案所包圍的區域釆用著色油墨來形成著色層時發生混色、露白不良的主要因素，結果發現，最優選使氟系化合物在隔壁的上部表面偏析而賦予防油墨性，此外，通過使隔壁的上部表面釆用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF-SIMS)進行負離子分析的結果，即通過使F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率在特定的范圍內，可不發生混色和露白，使4象素的平坦性提高。即，形成的隔壁的上部表面，采用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z-19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率優選為25%~60%。如果是上部表面在該范圍的隔壁圖案，在填充著色油墨而形成著色層時，可以制成沒有混色和露白、并且平坦性高的像素。此外，優選對被隔壁包圍的14^面采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF-SIMS)進行負離子分析的結果，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率在10%以下。在該范圍時，在填充著色油墨而形成著色層時，可以制成沒有露白的像素。進而，所述隔壁中，距所述基板側的高度為卯％以下的部分，采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率優選為10%以下。隔壁的上部表面以外優選防油墨性不太高。這是因為填充有油墨時會產生露白等問題。此外，如果隔壁內部的防油墨性高，則隔壁與;S4l的密合性下降，因此從這一點出發也優選在上述范圍內。此外，內添了防油墨劑的隔壁由于具有在制造過程中在上部偏析的性質，因此，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占M附近全部負離子的檢測強度的比率，比所述隔壁中距所述M側的高度為90%以下的部分中的值低。此外，如果完全沒有防油墨性，則后述的著色層的形狀可能會變為凹狀，優選F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占所述全部負離子的檢測強度的比率在0.1%~5%為好。在該范圍內時沒有混色，作為確認方法之一，有著色油墨附著在隔壁上的確i人。作為具體的確認方法，對于隔壁上部，分析在著色油墨中含有、但在隔壁中不含有的成分即可。作為成分，可以列舉元素、有機官能基等，但并不限于這些。對于分析方法，只要能夠進行成分確認就可以是任意的分析方法，可以列舉例如TOF-SIMS、EDX(能量分歉型熒光X射線分析)、XPS(X射線電子分光分析)、ICP發光分析等。例如在隔壁中不含Cu元素、而使用含有Cu元素的著色油墨時，可以通過進行隔壁上部的Cu元素分析來確認。此外，例如隔壁中不含苯環、而使用含有苯環的著色油墨時，可以通過進行有無苯環的分析來確認。此外，雖然形成著色層時優選隔壁的上部表面具有一定程度的防油墨性，但是優選形成著色層之后的隔壁的上部表面的防油墨性低。在隔壁層上設置罩面層、導電層等功能層時，如果隔壁的上部表面的防油墨性高，則功能層會產生不均，或者由于隔壁與功能層的密合性變低而發生功能層的膜剝離等。即，形成著色層之后的隔壁上部表面，采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率優選為20%以下，更優選為3~20%。此外，所述隔壁中，距所^41側的高度為卯％以下的部分，采用飛行時間型二次離子質鐠儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下，優選在0.1~5%的范圍內。這是因為，如果內部的防油墨性過高，則隔壁與基仗的密合性下降。13這里，著色層可以由紅(R)、綠(G)、藍(B)等著色材料構成的油墨形成，也可以由紅(R)、綠(G)、藍(B)等發光材料構成的油墨形成。采用由著色材料構成的油墨形成時，可以作為液晶顯示裝置或場致發光顯示裝置中使用的濾色器來使用。此外，釆用由發光材料構成的油墨形成時，可以作為場致發光顯示裝置來4吏用。此外，所述著色材料，發光材料可以是除了紅(R)、綠(G)、藍(B)以外的青、品紅、黃、紫等其它顏色，也可以適當組合。作為液晶顯示裝置用時，可以在隔壁和著色層上進一步依次層疊透明導電層、取向膜層。例如，使與形成有薄膜晶體管之類的電極的相對a相對配置，并隔著液晶層，構成液晶顯示裝置。此外，還可以才艮據需要在所述濾色器上設置保護層4。場致發光顯示裝置也同樣可以在隔壁和著色層上層疊導電層、保護層等。M可以使用玻璃基仗、石英M、塑料M等公知的J41材料。優選使用透明性基敗，其中玻璃141的透明性、強度、耐熱性、耐候性優異。以下，對于隔壁及其形成方法進行詳細說明。在本發明中，隔壁的膜厚(高度)優選為l.Opm以上。進一步更優選為1.5jum~5nm。隔壁的高度小于1.0nm時，易發生混色，隔壁的高度過高時，難以形成精細的隔壁，而且與著色層高度差增大，因而是不優選的。隔壁優選由含有防油墨劑的樹脂組合物形成。作為防油墨劑，可以列舉硅系材料、氟系材料等，優選使用氟化合物。特別是后述的用光刻法形成隔壁的情況，可以使用感光性樹脂組合物來形成。此外，用于顯示裝置時，優選使其具有遮光性。具體來說，可以通過在隔壁材料中混入遮光性材料來賦予遮光性。在本發明中，隔壁的形成方法沒有特別限定，可以通過光刻法、印刷法、轉印法等以往7>知的方法來形成。從生產率、隔壁的形成性等方面出發，優選光刻法。此外，隔壁2可以是1層或2層以上的多層結構。此外，為l層時，工序少至一個、而且無需位置對合等，因而優選。這里，重要的是，隔壁上部表面、所述隔壁中距所述基板側高度為卯％以下的部分或者隔壁開口部的F-碎片離子在前述的范圍內。隔壁的F-碎片離子檢測強度的調整在下述的實施例中示出，可以通過隔壁的形成用組合物中含氟化合物量的調節、隔壁形成時的煅燒工序時的減壓度和氧濃度或煅燒溫度的調節等來進行。此外，！41表面的F-碎片離子檢測強度的調整可以列舉如下的方法調節隔壁形成時的煅燒工序時的減壓度或煅燒溫度；使煅燒氣氛為惰性氣氛；設置紫外線固化工序；調節清洗工序等的M等。其次，對于^f吏用光刻法的隔壁形成法的一例進^f亍i兌明。在將上述含有賦予防油墨性的材料的感光性樹脂組合物涂布在J41上的工序中，在適當清洗過的基板上，使用狹縫口模涂布機、旋涂機等公知的涂布裝置，均勻涂布后述的含有防油墨劑的負型感光性樹脂組合物(參照圖3(a))。然后，為了除去溶劑成分，可以根據需要進行減壓干燥處理、預焙處理。這時，使用氟系防油墨劑時，^bfr涂膜中的防油墨劑具有緩慢地在涂膜表面偏析的性質，才艮據從涂布至溶劑揮發而涂膜完全固化為止的時間及其條件的不同，防油墨劑的偏析狀態發生變化。因此，在得到均勻性能的隔壁方面，較理想的是，使本工序中從涂布至減壓干燥或預焙為止的時間間隔及它們的M保持均勻。在形成隔壁圖案的工序中，可以使用曝光裝置和光掩模，通過以往公知的曝光、顯影方法來形成隔壁圖案(參照圖3(b))。在對所述隔壁圖案照射紫外線而使之固化的工序中，可以在從基敗的上面通過電離放射線使隔壁固化之后，使之熱固化(參照圖3(c))。作為電離放射線，例如可以照射200500nm的紫外線等使隔壁固化。作為照射的光源，由于感光性樹脂大多在200~400nm的波長范圍具有感光性，因此特別優選在該波長范圍至少具有一個以上分光峰。此外，包含促進防油墨劑分解的波長(例如200nm以下)的光源，會使隔壁表面的防油墨降低，而且分解的防油墨劑會污染開口部的J41表面，因此是不優選的。作為光源，特別優選高壓汞燈或金屬卣化物燈。關于照射的曝光量，如果隔壁的紫外線交聯不充分，則形成著色層時著色油墨對溶劑的耐受性不足，有時會在隔壁表面產生龜裂，因此較理想的是，在254nm時為100mJ/cm2以上、在365nm時為500mJ/cm2以上。在本發明中，在該工序中，通過極力抑制防油墨劑因熱分解所致的飛散、滲出，并在形成著色層時，使隔壁充分固化直至隔壁表面不產生龜裂，從而可以防止采用噴墨來形成著色層時的^象素的混色、露白、顏色不均。此外，由上述含有防油墨劑的感光性樹脂組合物形成的隔壁是具有遮光性的遮光層時，通過上述釆用高壓汞燈或金屬卣化物燈的紫外線照射，雖然隔壁的表面固化，但是由于遮光而無法固化至內部。這時，可以設置在小于180lC的溫度ii行加熱處理來熱固化的工序(參照圖3(d))。作為加熱方法，可以利用采用對流烘箱、熱板、卣素加熱器、IR烘箱的加熱等，沒有特別限制。但是，在180"C以上的溫度加熱時，即使在前工序中采用高壓汞燈或金屬卣化物燈使隔壁表面紫外線固化，也在隔壁開口部的^表面上可見防油墨劑因熱分解所致的飛散、滲出，在釆用噴墨來形成著色層時，導致露白、平坦性惡化，因此是不優選的，用于熱固化的加熱溫度較理想的是抑制為小于180匸。此外，不含紫外線照射工序時，雖然根據樹脂組成的不同而不同，但為了固化必須進行18or;以上的高溫加熱，在隔壁開口部的^i4^面上可能發生防油墨劑因熱分解所致的飛散、滲出等。作為感光性樹脂組合物，可以使用例如負型的感光性樹脂組合物，可以適當組合下述的各成分，以設計為在照射的光波長范圍內具有感光性。主要成分包括粘合劑樹脂、具有自由基聚合性的化合物、光聚合引發劑、溶劑、防油墨劑、以及才艮據需要的遮光性材料。首先，作為粘合劑樹脂，優選堿可溶性的熱固化性樹脂，具體來說，可以列舉甲酚-線型酚醛樹脂、聚乙烯基苯酚樹脂、丙烯酸類樹脂、曱基丙烯酸類樹脂等。這些粘合劑樹脂可以單獨使用，也可以混合2種以上。此外，為了促進低溫下的固化性，除了這些樹脂之外，還可以含有三聚氰胺衍生物和光致酸發生劑。作為三聚氰胺衍生物，只要是具有羥甲基或曱氧基甲基的化合物即可，特別優選在溶劑中溶解性大的三聚氰胺衍生物。光致酸發生劑通過在進行啄光時產生的酸的作用，來促進三聚氰胺衍生物與粘合劑樹脂的脫水^^應和交^i^應，光致酸發生劑中，也特別優選在溶劑中溶解性大的光致酸發生劑。作為一例，具體來說，可以列舉二苯基哄絲、二甲苯基哄鎮、苯基(4-茴香基)橫錯、雙(3-硝基苯基)碘鈸、雙(4-叔丁基苯基)硪鎮、雙(4-氯苯基)碘錯、雙(4-正十二烷基苯基)碘絲、4-異丁基苯基(4-甲苯基)碘錯、4-異丙基"/匕。乂"苯基(4-甲苯基)碘鎮等二芳基碘銪、或三苯基锍等三芳基锍等三芳基锍的氯化物、溴化物、或者氟硼酸鹽、六氟磷酸鹽、六氟砷酸鹽、芳香族磺酸鹽、四(五氟苯基)硼酸鹽、二苯基苯甲酰甲基锍(正丁基)三苯基硼酸酯等的锍有機硼配合物鹽、或者2-甲基-4,6-雙(三氯甲基)三溱、2-(4—曱氧基苯基)—4，6—雙(三氯甲基)三"桊、2-{2-(5-曱基吹喃-2-基)乙烯基}-4，6-雙(三氯甲基)-均三溱等三溱化合物、或者l，2-二疊氮基萘醌、1，2-二疊氮基萘醌-4-磺酸鈉、1，2-二疊氮基萘職-5-磺酸鈉、1，2-二疊氮基萘醌-4-磺酸酯衍生物、1，2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯衍生物等重氮萘醌化合物等。在本發明中，具有自由基聚合性的化合物可以使用例如具有乙烯基或烯丙基的單體、寡聚物、末端或側鏈中具有乙烯基或烯丙基的聚合物。具體來說，可以列舉(甲基)丙烯酸及其鹽、(曱基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯酰胺類、馬來酸酐、馬來酸酯、衣康酸酯、苯乙烯類、乙烯基醚類、乙烯基酯類、N-乙烯基雜環類、烯丙基醚類、烯丙基酯類以及它們的衍生物。作為優選的化合物，可以列舉例如季戊四醇三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二(三羥曱基丙烷)四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯及二季戊四醇六丙烯酸酯等較低分子量的多官能丙烯酸酯等，但并不限于此。這些具有自由基聚合性的化合物可以單獨使用，也可以混合2種以上。具有自由基聚合性的化合物的量，相對于粘合劑樹脂100重量份,可以為1~200重量份的范圍，優選為10~150重量份。在本發明中，光聚合引發劑通過曝光產生自由基，通過具有自由基聚合性的化合物，使粘合劑樹脂交聯。作為光聚合引發劑的例子，具體來說，可以列舉二苯甲酮、4，4，-雙(二曱基氨基)二苯甲酮、4，4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮等二苯甲酮化合物、1-羥基環己基苯乙酮、2，2-二曱ll^-2-苯基苯乙酮、以及2-曱基一l一4一(甲石克基)^^]—2-嗎啉代丙烷-1-酮等苯乙酮衍生物、噻噸酮、2,4-二乙基瘙喊酮、2-異丙基瘞噸酮、2-氯瘞p屯酮等瘞p屯酮衍生物、2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、氯代蒽醌等蒽醌衍生物、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚衍生物、苯基雙-(2，4,6-三甲基苯甲酰基)-氧化膦等酰基膦衍生物、2-(鄰氯苯基)-4，5-雙(4，-曱基苯基)咪哇基二聚體等洛粉堿二聚體、N—苯基氨基乙酸等N—芳基氨基乙酸類、4,4，-二疊氮基查爾酮等有機疊氮化物類、3，3，，4，4，-四(叔丁基過氧化羧基)二苯甲酮、含有醌二疊氮基的化合物等。這些光聚合引發劑可以單獨使用，也可以混合2種以上。光聚合引發劑的量，相對于粘合劑樹脂100重量份，可以為0.1~50重量份的范圍，優選為1~20重量份。此外，遮光性材料對隔壁賦予遮光性，提高顯示裝置的顯示品質。作為遮光性材料，可以使用黑色顏料、黑色染料、炭黑、苯胺黑、石墨、氧化鐵黑、氧化鈦、無機顏料和有機顏料。這些遮光性材料可以單獨使用，也可以混合2種以上。進而，本發明中使用的防油墨劑對隔壁賦予對著色油墨的防油墨性。防油墨劑可以預先添加在用于形成隔壁的樹脂組合物中使用。作為防油墨劑，可以使用氟系化合物或硅系化合物，特別優選使用氟系化合物。作為所述氟系化合物的例子，在本發明中，在兼顧隔壁表面的防油墨性與開口部基材表面的親油墨性的方面，特別優選重均分子量為10，000~100,000的含氟共聚物。此外，用于形成隔壁的樹脂組合物中，還可以根據需要加入具有相溶性的添加劑，例如流平劑、鏈轉移劑、穩定劑、增感色素、表面活性劑、偶聯劑等。這里，采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF—SIMS)進行的負離子分析，優選使用PHI/EVANS公司制TRIFT-II裝置，測定*為，作為l次離子使用Ga+，在加速電壓18kV、試樣電流2nA、測定面積180inm□(RAW形式測定時)、測定質量M/Z^.72000、測定時間2分鐘下進行，以全部數據取得形式(RAW形式)測定包括隔壁上部表面或開口部的皿表面的區域，由繪圖中提取出隔壁上部表面21或開口部的^L^面的鐠圖，算出F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率。此外，所述隔壁中，距所述基板側的高度為卯。/。以下部分的負離子分析，在將隔壁整體中上部10%的部分(或超過10%的部分)通過研磨等除去后，用與上述方法同樣的方法進行測定，計算得出。在本發明中，隔壁的線寬與一般的濾色器、EL元件中使用的隔壁的線寬對應，具體來說，優選為5100jim。線寬小于5nm時，即侵Z使隔壁上部表面中含有大量的氟，也難以防止混色的發生，而且可以說隔壁的圖案形成本身憑借以往的技術也是困難的。另一方面，隔壁的線寬超過100pm時，作為液晶顯示裝置的品質下降，因而不優選。這里，飛行時間型二次離子質i瞽儀(TOF-SIMS)即4吏在小于)im數jum的區域也能夠分解能力良好地進行分析，作為線寬僅數十mm的隔壁上部表面的分析方法，可以說是尤為合適的方法。在本發明中，根據隔壁圖案的形狀、開口寬、隔壁膜厚、線寬、著色油墨種類、環境溫度等，隔壁上部表面和開口部的14^面的氟比率優選在上述范圍內進#^整。著色層可以用噴墨法、印刷法、轉印法、電極沉積法等7>知的方法來形成，但從生產率等的觀點出發，優選使用噴墨法(參照圖3(e))。著色層中使用的著色油墨可以使用著色劑、熱固化性樹脂、溶劑等公知的材料，根據需要，可以添加*劑等添加劑進行制備。作為著色劑，可以使用染料、顏料，但火耐熱性、耐候性等可靠性的觀點出發，特別優選顏料*型。此外，作為溶劑，可以利用水系和有機溶劑系，M對廣泛的樹脂組合物具有高溶解性、即使高固體成分濃度下也能夠噴出噴墨的觀點出發，特別優選使用有機溶劑。制成濾色器時，作為著色層中使用的著色劑，可以使用著色顏料。作為著色顏料的具體例，可以列舉PigmentRed9、19、38、43、97、122、123、144、149、166、168、177、179、180、192、215、216、208、216、217、220、223、224、226、227、228、240、PigmentBlue15、15:6、16、1922、29、60、64、PigmentGreen7、36、PigmentRed20、24、86、93、108、109、110、117、125、137、138、139、147、148、153、154、166、168、185、PigmentOrange36、PigmentViolet23等，可以單獨或將2種以上混^使用。作為所述的著色油墨中使用的溶劑，可以優選使用其表面張力在適于噴墨方式的范圍、例如40mN/m以下、且沸點在130匸以上的溶劑。表面張力超過40mN/m時，存在對噴墨噴出時的點形狀的穩定性產生顯著不良影響的傾向，此外，沸點小于130"C時，噴嘴附近的干燥性顯著變得過高，存在導致噴嘴堵塞等不良狀況發生的傾向。作為優選的溶劑，可以列舉例如2-曱氧基乙醇、2-乙氡基乙醇、2-丁氧基乙醇、乙酸2-乙氡基乙酯、乙酸2-丁氡基乙酯、乙酸2-曱氧基乙酯、2—乙氡基乙基醚、2-(2—乙氧基乙氡基)乙醇、2—(2—丁氧基乙氧基)乙醇、乙酸2-(2-乙猛乙緣)乙酯、乙酸2-(2-丁氧基乙氧基)乙酯、2-苯氧基乙醇和二乙二醇二曱基醚等，根據需要，可以單獨或將二種以上混合使用。溶劑除了要求溶解性之外，還要求經時穩定性和干燥性等，可與使用的著色劑及粘合劑樹脂的特性相應地適當選擇。所述著色油墨中可以配合以下列舉的粘合劑樹脂。作為所述著色油墨的粘合劑樹脂，可以列舉S^白、明膠、聚乙烯醇、羧曱基乙縮醛、聚酰亞胺樹脂、丙烯酸類樹脂、環氧樹脂和三聚氰胺樹脂等，可以根據使用的著色劑適當選擇。例如，要求耐熱性、耐光性時優選丙烯酸類樹脂。為了提高色素在所述著色油墨的粘合劑樹脂中的^L，可以添加*劑。作為分散劑，可以列舉非離子性表面活性劑、例如聚氧乙烯烷基醚等，此外，作為離子性表面活性劑，可以列舉例如烷基M酸鈉、聚脂肪酸鹽、脂肪酸鹽烷基磷酸鹽及四烷基銨鹽等，除此之外，還可以列舉有機顏料衍生物及聚酯等。分歉劑可以單獨或將二種以上混^^吏用。作為場致發光用時，作為著色層中使用的著色劑，可以使用發光材料。作為發光材料，有無機化合物的發光材料、有機化合物的發光材料，有機化合物的發光材料有低分子型和高分子型。這些發光材料可以使用公知的材料。此外，還可以適當使用溶劑、其它添加物等。此外，各色著色層可以根據隔壁的高度等進行調整。優選的是，各色著色層，相對于隔壁的高度，像素的平均膜厚優選在80~120%的范圍內，更優選在90~110%的范圍內。此外，在像素內，進一步優選像素膜厚均勻。例如，在一個像素內，像素任意一部分的膜厚優選相對于該像素或該顏色的同一顏色的所有像素的平均膜厚在80~120%的范圍內，更優選在90~110%的范圍內。在形成著色層后，可以在隔壁層和著色層上設置功能層。作為功能層，可以列舉罩面層、保護層、導電層、電極等。這里，在隔壁和著色層上形成功能層時，如果防油墨性強，則功能層會產生不均，或由于功能層與隔壁之間的密合性弱而功能層產生膜剝離。因此，F-碎片離子優選在前述范圍內。為了達到此目的，優選在形成著色層后，通it^面清洗處理來除去隔壁上部表面附近的氟化合物(參照圖3(f))。作為表面清洗，可以列舉紫外線照射處理、等離子體照射處理、電暈放電處理、紫外線照射臭氧處理等干式處理方法以及使用洗劑、溶劑、堿等的濕式處理方法。其中，優選紫外線照射臭氧處理。由于釆用包含波長185nm的低壓汞燈、包含波長172nm的氣準分子燈的UV照射處理，能夠在無需供給臭氧的情況下進行紫外線照射臭氧處理，因而是特別優選的。采用低壓汞燈時，燈與基敗間的距離為5~20mm，采用氙準分子燈時，燈與J4l間的距離為l~3mm，優選以曝光量5004000mJ/cn^進行照射處理，更優選以曝光量1000~3000mJ/cm2進行照射處理，從而可以將隔壁表面的防油墨劑分解除去，達到上述的F-碎片離子范圍。通過這樣進行，能夠使著色層(像素)沒有露白、混色并確保平坦性，并且確保隔壁與功能層的密合性，并形成沒有不均的功能層。實施例以下，通過實施例和比較例來更詳細地說明本發明，但本發明并限于下述例子。<實施例1>(隔壁的制作)作為含有氟系防油墨劑的感光性樹脂組合物，使用以下述組成比配合并用三聯輥進行充分混煉而成的組合物。作為a，使用無堿玻璃("#1737"corning7>司制)，在其上涂布該感光性樹脂組合物，在卯r;預焙2分鐘，形成膜厚2.0nm的^U^。[感光性樹脂組合物曱酚-線型酚醛樹脂"ep4050g"(旭有機材公司制)20重量份環己酮80重量份^H5料"MA-8"(MitsubishiMaterials公司制)23重量份^ft劑"Solsperse#5000"(Zeneca公司制)1.4重量份具有自由基聚合性的化合物"三羥甲基丙烷三丙烯酸酯"(大敗有^l^司制)5重量份光聚合引發劑"IRUGACURE369"(汽巴精化公司制)2重量份含氟化合物"F179"(大日本油墨化學公司制、重均分子量10000)0.5重量份然后，使用線寬35jLAm的格子狀圖案的光掩才莫，用超高壓汞燈進行100mJ/cm2的紫外線曝光，進行顯影處理。接著，用高壓汞燈進行1000mJ/cm2的紫外線照射處理后，在熱風式'煅燒爐內在溫度160C進行加熱處理20分鐘，得到實施例1的帶隔壁基板。<實施例2>在所述實施例l中，不對進行了顯影處理并形成了格子圖案的基板進行紫外線照射處理，在使爐內充滿氮并使氧濃度為10%的惰性氣體環境的熱風式煅燒爐內，在溫度230X:進行加熱處理20分鐘，除此以外與實施例1同樣地進行，得到實施例2的帶隔壁基板。<實施例3>在所述實施例1中，不對進行了顯影處理并形成了格子圖案的基板進行紫外線照射處理，在將內部用干式泵減壓并使減壓真空度達75000Pa的腔內，用熱板在溫度160匸進行加熱處理20分鐘，除此以外與實施例l同樣地進行，得到實施例3的帶隔壁基l<實施例4~6>在所述實施例1中，將感光性樹脂組合物的含氟化合物"F179"(大日本油墨化學公司制、重均分子量10000)的使用量變為0.3重量份，除此之外與實施例1~3同樣地進行，得到實施例4~6的帶隔壁基板。<比較例1>在所述實施例1中，不對進行了顯影處理并形成了格子圖案的基板進行紫外線照射處理，在熱風式煅燒爐內，在溫度230^進行加熱處理20分鐘，除此以外與實施例1同樣地進行，得到比較例1的帶隔壁基敗。<比較例2>在所述實施例1中，使感光性樹脂組合物的含氟化合物"F179"(大日本油墨化學公司制、重均分子量10000)為0.1重量份，除此以外與實施例1同樣地進行，得到比較例2的帶隔壁M。接著，對于實施例1~6和比較例1~2的帶隔壁基敗，對隔壁上部表面和成為被印刷面的開口部的玻璃表面，采用TOF—SIMS進行負離子分析，算出F-碎片離子(M/Z-19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率(F-%),示于表l。此外，使用SAICASNN型(DAIPLAWINTES制)，削去隔壁中上部膜厚10%的部分，使隔壁內部露出。對于該表面也同樣進行分析。(著色油墨的調整)將下述組合物在氮氣氛下加入偶氮雙異丁腈0.75重量份，在70C、5小時的條件下使之反應，得到丙烯酸類共聚物樹脂。23甲基丙烯酸20重量份甲基丙烯酸甲酯IO重量份甲基丙烯酸丁酯55重量份曱基丙烯酸羥基乙酯15重量份乳酸丁酯300重量份用丙二醇單甲基醚乙酸酯稀釋，使所得到的丙烯酸類共聚物樹脂相對于整體達到10重量％，得到丙烯酸類共聚物樹脂的稀釋液。向該稀釋液80.1g中，添加著色顏料19.0g、作為分軟劑的聚氧乙烯烷基醚0.9g，用三聯輥進行混煉，得到紅色、綠色、藍色的各著色清漆。此外，作為紅色顏料，使用PigmentRed177(蒽醌系)，作為綠色顏料，使用PigmentGreen36(銅酞菁系)，作為藍色顏料，使用PigmentBluel5(銅酞菁系)。向得到的各著色清漆中分別添加丙二醇單甲基醚乙酸酯，調整其顏料濃度為12~15重量％，粘度為15cps，得到紅色、綠色和藍色著色油墨。(濾色器的制作)在所述隔壁的開口部，作為顏料^f吏用上述3色的著色油墨，采用搭載了12pl、180dpi頭的噴墨印刷裝置，形成紅色著色層(R)、綠色著色層(G)、藍色著色層(B)各自的4象素圖案。噴出著色油墨后，首先用熱板在卯x:加熱2分鐘，使溶劑蒸發。然后用熱風式煅燒爐，在230匸加熱處理30分鐘，使油墨固化，從而形成像素圖案。這樣形成的實施例16的濾色器，是沒有著色層的混色、露白且具有平坦著色層的沒有顏色不均的良好濾色器。另一方面，比較例l的濾色器發生著色層的露白不良，著色層的形狀也為凸形狀，可見顏色不均。此外，比較例2中，混色不良多發。此外，進行了隔壁上著色油墨成分的分析。在分別隨機選擇的5處隔壁上進行TOF-SIMS分析，確認是否檢測出表示綠、藍油墨存在的Cu+碎片離子、和表示紅油墨存在的C28H1604N2碎片離子。結果示于表2。[表l隔壁上部表面的F-(0/。)基板表面的F-(%)隔壁削去10%后內部的F-(0/0)濾色器的品質實施例l4365艮好實施例24854良好實施例353了4良好實施例43222良好實施例53522良好實施例63932良好比較例l52134發生露白，著色層為凸形狀比較例22211發生混色[表2C28Hi6O4N2實施例l無無實施例2無無實施例3無無實施例4無無實施例5無無實施例6無無比較例l無無比較例2有有(功能層的制作)形成著色層后，采用低壓汞燈，對實施例的樣品進行基板間距離10mm、3000mJ/cii^的紫外線照射處理，使隔壁上部的防油墨性降低。然后采用狹縫口模涂布機涂布丙烯酸類樹脂系熱固化型(酸_環氧固化型)保護劑，在230X:烘箱中加熱30分鐘，形成膜厚2pm的罩面層。采用TOF-SIMS，對罩面層形成前的隔壁上部和削去10%的內部進行負離子分析，算出F-碎片離子(M/Z=19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率(F_%)，示于表3。此外，將功能層有無不均的結果示于表3。[表3<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>實施例16的濾色器，既沒有功能層不均，而且也沒有膜剝離。可以提供具有沒有混色、露白不良、并且各像素平坦且均勻的著色層的帶隔壁a及其制造方法，在彩色液晶顯示裝置等中使用的濾色器、EL顯示裝置等中有用。權利要求1.一種帶隔壁圖案基板，其特征在于，具有基板、以及在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案，所述隔壁的上部表面，采用飛行時間型二次離子質譜儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z＝19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為25％～60％。2.根據權利要求l所述的帶隔壁圖案基板，其特征在于，被所述隔壁包圍的基板表面，釆用飛行時間型二次離子質鐠儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z-19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。3.—種帶隔壁圖案基板，其特征在于，具有基板、以及在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案，所述隔壁中，距所述基板側的高度為90%以下的部分，采用飛行時間型二次離子質鐠儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z=19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。4.根據權利要求3所述的帶隔壁圖案基板，其特征在于，被所述隔壁包圍的基板表面，采用飛行時間型二次離子質語儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z=19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。5.—種帶隔壁圖案基板，其特征在于，具有基板、在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案、以及在被所述隔壁圖案包圍的區域采用著色油墨而形成的著色層，所述隔壁的上部表面，采用飛行時間型二次離子質譜儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z-19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為20%以下，并且所述隔壁上沒有附著著色油墨。6.根據權利要求5所述的帶隔壁圖案基板，其特征在于，在所述隔壁和著色層上，具有功能層。7.—種帶隔壁圖案基板，其特征在于，具有基板、在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案、以及在被所述隔壁圖案包圍的區域采用著色油墨而形成的著色層，所述隔壁中，距所述基板側的高度為90%以下的部分，釆用飛行時間型二次離子質鐠儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z-19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下，并且所述隔壁上沒有附著著色油墨。8.根據權利要求7所述的帶隔壁圖案基板，其特征在于，在所述隔壁和著色層上，具有功能層。9.一種帶隔壁圖案基板的制造方法，包括以下工序在基板上的規定位置上形成含有氟化合物的隔壁材料的圖案的工序；對所述隔壁材料的圖案照射電離放射線的工序；將照射電離放射線后的隔壁材料的圖案在180"C以下進行加熱固化，形成隔壁的工序。10.根據權利要求9所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，形成的隔壁的上部表面，釆用飛行時間型二次離子質鐠儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z-19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為25%~60%。11.根據權利要求9所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，形成的所述隔壁中，距所述基板側的高度為90%以下的部分，采用飛行時間型二次離子質鐠儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z=19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。12.根據權利要求9所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，具有在形成隔壁的工序之后，釆用著色油墨來形成著色層的工序。13.根據權利要求9所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，具有在形成隔壁的工序之后，采用著色油墨來形成著色層的工序，并且隔壁圖案上沒有附著著色油墨。14.根據權利要求9所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，包括在形成隔壁的工序之后，釆用著色油墨來形成著色層的工序；以及在形成著色層后，在形成所述隔壁和著色層后進行表面清洗處理的工序。15.根據權利要求9所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，包括在形成隔壁的工序之后，采用著色油墨來形成著色層的工序；以及在形成著色層后，在形成所述隔壁和著色層后進行表面清洗處理的工序；并且，表面清洗處理后的隔壁的上部表面，釆用飛行時間型二次離子質鐠儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z=19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為20%以下。16.根據權利要求9所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，包括在形成隔壁的工序之后，釆用著色油墨來形成著色層的工序；以及在形成著色層后，在形成所述隔壁和著色層后進行表面清洗處理的工序；并且，表面清洗處理后的所述隔壁中，距所述基板側的高度為卯％以下的部分，采用飛行時間型二次離子質鐠TOF—SIMS儀進行負離子分析時，M/Z=19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。17.—種帶隔壁圖案基板的制造方法，包括以下工序在基板上的規定位置上形成含有氟化合物的隔壁材料的圖案的工序；在被所述隔壁圖案包圍的區域中填充著色油墨，形成著色層的工序；以及在形成所述隔壁和著色層后進行表面清洗處理的工序。18.根據權利要求17所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，在采用著色油墨形成著色層的工序后的隔壁圖案上沒有附著著色油墨。19.根據權利要求17所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，表面清洗處理工序后的所述隔壁的上部表面，采用飛行時間型二次離子質譜儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z=19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為20%以下。20.根據權利要求17所述的帶隔壁圖案基板的制造方法，其特征在于，表面清洗處理工序后的所述隔壁中，距所述基板側的高度為90%以下的部分，釆用飛行時間型二次離子質鐠儀TOF-SIMS進行負離子分析時，M/Z=19的F-碎片離子的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為10%以下。全文摘要本發明的目的在于提供能夠形成沒有混色、露白不良、并且各像素平坦且均勻的著色層的帶隔壁圖案基板及其制造方法。本發明提供一種帶隔壁圖案基板，其具有基板、以及在所述基板上的規定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁圖案，所述隔壁的上部表面采用飛行時間型二次離子質譜儀(TOF-SIMS)進行負離子分析時，F-碎片離子(M/Z＝19)的檢測強度占全部負離子的檢測強度的比率為25％～60％。文檔編號G02B5/20GK101506695SQ20078003096公開日2009年8月12日申請日期2007年6月19日優先權日2006年6月20日發明者三浦洋之,久保祐治,池田武司,神永純一,青木英士申請人:凸版印刷株式會社