專利名稱：一種lcd曝光機(jī)吸附平臺升降緩動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種曝光機(jī)吸附平臺升降緩動(dòng)裝置。
技術(shù)背景目前，傳統(tǒng)的曝光機(jī)在工作過程中，其吸附平臺在與光罩玻璃接觸后容易使光罩玻璃 產(chǎn)生變形，因此會影響曝光質(zhì)量。如何解決上述問題，成為亟待解決的問題。 實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、曝光效果好的LCD曝光機(jī)吸附平臺升降緩動(dòng)裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案一種LCD曝光機(jī)吸附平臺升降緩動(dòng)裝置，包括吸附平臺，在所述吸附平臺上方有一光 罩玻璃，在所述吸附平臺下方有一固定座板，其特征在于還包括位于固定座板下方的氣 缸座板，該固定座板通過多個(gè)軸與所述氣缸座板連接，在所述固定座板和氣缸座板之間設(shè) 有一軸承座板，該軸承座板是套設(shè)在所述軸上，該軸承座板通過一連接件與所述吸附平臺 連接，在所述氣缸座板上固定有平衡緩沖氣缸和升降氣缸，所述軸承座板與一拉回法蘭活 動(dòng)連接，該拉回法蘭與升降氣缸的活塞桿緊配，所述平衡緩沖氣缸的平衡活塞桿與軸承座 板配合的一端設(shè)有彈簧，該彈簧與所述軸承座板緊配。所述平衡緩沖氣缸與一消音器連接。所述平衡緩沖氣缸和升降氣缸都設(shè)有電磁閥。本實(shí)用新型由于采用了上述結(jié)構(gòu)，在固定座板和氣缸座板之間設(shè)有一軸承座板，軸承 座板套設(shè)在軸上，軸承座板通過一連接件與吸附平臺連接，在氣缸座板上固定有平衡緩沖 氣缸和升降氣缸，軸承座板與一拉回法蘭活動(dòng)連接，拉回法蘭與升降氣缸的活塞桿緊配， 平衡緩沖氣缸的平衡活塞桿與軸承座板配合的一端設(shè)有彈簧，彈簧與所述軸承座板緊配， 故與傳統(tǒng)技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過采用平衡緩沖氣缸、升降氣缸和一彈簧控制吸附平臺 的上升和下降，使吸附平臺與光罩玻璃緊密接觸，又能夠防止玻璃發(fā)生變形，故本實(shí)用新 型使用壽命長、曝光效果好；另外，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單。
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖1為的本實(shí)用新型一種LCD曝光機(jī)吸附平臺升降緩動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，它是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。一種LCD曝光機(jī)吸附平臺升降緩動(dòng)裝置， 包括吸附平臺2，在所述吸附平臺2上方有一光罩玻璃1，在所述吸附平臺2下方有一固 定座板3。在本技術(shù)方案中，本實(shí)用新型還包括位于固定座板3下方的氣缸座板5，該固 定座板3通過多個(gè)軸11與所述氣缸座板5連接，在所述固定座板3和氣缸座板5之間設(shè) 有一軸承座板4，該軸承座板4是套設(shè)在所述軸11上，因此軸承座板4可以在沿著軸11 在固定座板3和氣缸座板5之間上下升降，在該軸承座板4通過一連接件12與所述吸附 平臺2連接，在所述氣缸座板5上固定有平衡緩沖氣缸6和升降氣缸8，所述軸承座板4 與一拉回法蘭9活動(dòng)連接，該拉回法蘭9與升降氣缸8的活塞桿81緊配，所述平衡緩沖 氣缸6的平衡活塞桿61與軸承座板4配合的一端設(shè)有彈簧7,該彈簧7與所述軸承座板4 緊配。所述平衡緩沖氣缸6與一消音器10連接，消音器10用于消除平衡緩沖氣缸工作中 產(chǎn)生的噪音。平衡緩沖氣缸6和升降氣缸8都設(shè)有電磁閥13，通過電磁閥13來控制平衡 緩沖氣缸6和升降氣缸8的工作。本實(shí)用新型使用時(shí)，通過控制電磁閥13作用使升降氣缸8工作，此時(shí)在拉回法蘭9 與活塞桿81的配合作用下使軸承座板4向上升，由于軸承座板4與吸附平臺2連接在一 起，因此吸附平臺2開始向上升，在吸附平臺4靠近光罩玻璃1的時(shí)，平衡緩沖氣缸6 工作，此時(shí)，平衡緩沖氣缸6借助彈簧7的緩沖作用，使吸附平臺4與光罩玻璃1緊密貼 合，防止了光罩玻璃l的變形，最好，本實(shí)用新型再通過升降氣缸8的作用，使吸附平臺 2下降，離開光罩玻璃l?？傊緦?shí)用新型雖然例舉了上述優(yōu)選實(shí)施方式，但是應(yīng)該說明，顯然本領(lǐng)域的技術(shù) 人員可以進(jìn)行各種變化和改型。因此，除非這樣的變化和改型偏離了本實(shí)用新型的范圍， 否則都應(yīng)該包括在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種LCD曝光機(jī)吸附平臺升降緩動(dòng)裝置，包括吸附平臺(2)，在所述吸附平臺(2)上方有一光罩玻璃(1)，在所述吸附平臺(2)下方有一固定座板(3)，其特征在于還包括位于固定座板(3)下方的氣缸座板(5)，該固定座板(3)通過多個(gè)軸(11)與所述氣缸座板(5)連接，在所述固定座板(3)和氣缸座板(5)之間設(shè)有一軸承座板(4)，該軸承座板(4)是套設(shè)在所述軸(11)上，該軸承座板(4)通過一連接件(12)與所述吸附平臺(2)連接，在所述氣缸座板(5)上固定有平衡緩沖氣缸(6)和升降氣缸(8)，所述軸承座板(4)與一拉回法蘭(9)活動(dòng)連接，該拉回法蘭(9)與升降氣缸(8)的活塞桿(81)緊配，所述平衡緩沖氣缸(6)的平衡活塞桿(61)與軸承座板(4)配合的一端設(shè)有彈簧(7)，該彈簧(7)與所述軸承座板(4)緊配。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附平臺升降緩動(dòng)裝置，其特征在于所述平衡緩沖氣缸 (6)與一消音器(10)連接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附平臺升降緩動(dòng)裝置，其特征在于所述平衡緩沖氣缸 (6)和升降氣缸(8)都設(shè)有電磁閥(13)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種LCD曝光機(jī)吸附平臺升降緩動(dòng)裝置，包括吸附平臺，在吸附平臺上方有一光罩玻璃，在吸附平臺下方有一固定座板，其特征在于還包括位于固定座板下方的氣缸座板，該固定座板通過多個(gè)軸與氣缸座板連接，在固定座板和氣缸座板之間設(shè)有一軸承座板，該軸承座板是套設(shè)在所述軸上，該軸承座板通過一連接件與吸附平臺連接，在氣缸座板上固定有平衡緩沖氣缸和升降氣缸，軸承座板與一拉回法蘭活動(dòng)連接，拉回法蘭與升降氣缸的活塞桿緊配，平衡緩沖氣缸的平衡活塞桿與軸承座板配合的一端設(shè)有彈簧，彈簧與軸承座板緊配。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，故本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用壽命長、曝光效果好。
文檔編號G03F7/20GK201107545SQ20072005978
公開日2008年8月27日 申請日期2007年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月20日
發(fā)明者張光輝 申請人:志圣科技(廣州)有限公司