專利名稱：更換光阻過濾器的系統與方法
技術領域：
本發明涉及一種更換光阻過濾器的系統與方法，特別是涉及一種可減少過濾器所誘致(Filter-Induced)的晶圓缺陷的更換光阻過濾器的系統與方法。
背景技術：
在微影制程中，光阻涂布系統(Photoresist Coating System)(或涂布器 (Coater))經由一或多條導管，例如輸送管(Pipe)，以及過濾系統(Filtration System)而與化學藥品的供給作連接。此過濾系統通常包含有過濾器，其中 過濾器至少包括用以濾除來自即將供應給涂布器的化學溶液，例如光阻， 的粒子與其他污染物的多孔性介質。當新的過濾器安裝于過濾系統時，使用化學溶液來清洗或沖洗此系統，其中此系統包含導管與過濾器本身。顯 然地，在化學溶液本身的價格昂貴而完成此制程需要超過兩公升溶液的情 況下，這是一種昂貴的制程。 一種替代的選擇方式是在過濾器未上線 (Off-Line)時，可使用較便宜的化學溶液或溶劑來清洗或"預濕(Pre-Wet)" 過濾器，再將預濕之后的過濾器安裝于系統上。過濾器經安裝后，則使用 較昂貴的化學溶液來清洗此系統，以沖洗過濾器與輸送管。使用如同上述的光阻過濾器的優點包含降低源自于延長去光阻溶液壽 命的操作成本、因光阻的載送量與停機時間的減少而可提高整體生產量、 以及減少污水處理廠的需求。在一般的情況下，當需要將新的過濾器安裝 于機臺上時，是將此過濾器安裝于未上線模型(Dummy)上，并在此模型上 對此過濾器進行手動預濕。在完成預濕制程后，隨即自未上線模型上卸下 此過濾器，再將此過濾器安裝于所需的機臺中。不幸的是，使用如上所述的光阻過濾器會引發晶圓缺陷。這樣缺陷的 其中一種可能是起因于過濾器的預濕不足，而在過濾器的內側形成氣泡， 如此一來可能會引發架橋缺陷(Bridge Defect)。另一種造成這種缺陷的原因 是此過濾器的品質不佳，其中此情況下的污染粒子可能源自于過濾器本身。 又一種造成這種缺陷的原因是所采用的過濾器的使用壽命已接近使用期限 或已經超過期限。此外，過濾器污染的風險為在未上線模型與實際機臺上 所進行的每一次的過濾器安裝與卸載。有鑒于上述現有的光阻過濾器存在的缺陷，本發明人基于從事此類產 品設計制造多年豐富的實務經驗及專業知識，并配合學理的運用，積極加以研究創新，以期創設一種新型的更換光阻過濾器的系統與方法，能夠改 進一般現有的光阻過濾器，使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計， 并經過反復試作樣品及改進后，終于創設出確具實用價值的本發明。發明內容本發明的目的就是在于，提供一種更換光阻過濾器的系統與方法，用 以改善現有制造設備中容易產生過濾器所誘致的晶圓缺陷，以及須在原制 程中全程使用較昂貴的化學溶液來操作的缺點。本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據 本發明提出的一種實施光阻過濾器更換技術的系統，其中該實施光阻過濾器更換技術的系統至少包括 一過濾系統，連接至一分配器，其中該過濾 系統至少包括一過濾器；以及一開關機構，用以選擇性地連接該過濾系統 以輸通一第一化學溶液和一第二化學溶液的其中之一。前述的實施光阻:濾器更換:支術的:手、:充，i中所述的開關機構^一位 置是利用手動或軟件來控制 前述的實施光阻過濾器更換技術的系統，其中所述的第 一化學溶液至 少包括光阻，該第二化學溶液至少包括可溶解該第一化學溶液的一溶劑。 前述的實施光阻過濾器更換技術的系統，其中在該分配器用以涂布晶圓的正常操作期間，連接該過濾系統以輸通該第一化學溶液；及在更換該 光阻過濾器時，連接該光阻過濾器，以同時輸通該第二化學溶液。本發明的目的及解決其技術問題還采用以下技術方案來實現。依據本 發明提出的 一種更換過濾系統的光阻過濾器的方法，其中該過濾系統是連 接至一分配器，該更換過濾系統的光阻過濾器的方法至少包括換上該光 阻過濾器；連接該過濾系統以輸通一第一化學溶液，來清洗和預濕該光阻 過濾器；以及在該連接該過濾系統以輸通該第一化學溶液的步驟后，連接 該分配器以接收一第二化學溶液。本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。前述的更換過濾系統的光阻過濾器的方法，其中所述的第二化學溶液 是一光阻溶液，該第一化學溶液為可溶解該第二化學溶液的一溶劑。前述的更換過濾系統的光阻過濾器的方法，其中連接該過濾系統以輸 通該第一化學溶液的步驟，和連接該分配器以接收該第二化學溶液的步驟 是使用一開關機構來進行，該開關機構的一位置是利用手動或軟件來控制。本發明的目的及解決其技術問題另外還采用以下技術方案來實現。依 據本發明提出的 一種更換過濾系統的光阻過濾器的裝置，借以有助于更換 連接至一分配器的該過濾系統的該光阻過濾器，其中該更換過濾系統的光阻過濾器的裝置至少包括 一第一連接元件，用以連接該過濾系統以在更 換該光阻過濾器的同時輸通一 第 一化學溶液，其中該第 一化學溶液是用以清洗和預濕該光阻過濾器；以及一第二連接元件，用以在連接該過濾系統以輸通該第一化學溶液后，連接該分配器以接收一第二化學溶液。本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。 前述的一種更換過濾系統的光阻過濾器的裝置，其中所述的第二化學溶液是一光阻溶液，該第一化學溶液是可溶解該第二化學溶液的一溶劑。 前述的一種更換過濾系統的光阻過濾器的裝置，其中所述的第 一連接裝置和第二連接裝置至少包括一開關機構，該開關機構的一位置是利用手動或軟件來控制。根據本發明的實施例，提供一種用以實施光阻過濾器更換技術的系統。 此實施光阻過濾器更換技術的系統至少包括連接至分配器的過濾器及連接 至此過濾器的開關，另此開關則可用以選擇性連接此過濾系統以輸通 (Throughput)第一化學溶液與第二化學溶液的其中之一。根據本發明的又一實施例，提供一種用以更換連接至分配器的過濾系 統的光阻過濾器的方法。此方法至少包括更換光阻過濾器與連接過濾系統， 以輸通第一化學溶液來清洗與預濕此光阻過濾器，以及在連接過濾系統以 輸通第一化學溶液的步驟后，連接分配器以接收第二化學溶液。根據本發明的又一實施例，提供一種有助于更換連接至分配器的過濾 系統的光阻過濾器的裝置。此裝置至少包括第一連接元件，用以連接過濾 系統以在更換過濾器的同時輸通第 一化學溶液，其中此第 一化學溶液是用 以清洗和預濕光阻過濾器；以及第二連接元件，用以在連接過濾系統以輸 通第一化學溶液后，連接分配器以接收第二化學溶液。因此，應用本發明的實施例，當過濾器在過濾系統的原位置時，可以 使用較便宜的溶液或有機溶劑以沖洗來自于更換過濾器與系統的管路的污 染物，從而降低由于過度操作所造成的過濾器污染的可能性。上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的 技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本發明的上述和 其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附 圖，詳細i^明如下。
根據一實施例的減少光阻過濾器所誘致的晶圓缺陷的系統與方法的特 征與優點可從以上的敘述與所附圖式，獲得更清楚的理解，其中同樣的參 考編號指定給類似或對應的元件、區域和部位，其中圖1是繪示根據一實施例的一種實施光阻過濾器的更換技術的系統示意圖。圖2是繪示根據本發明的一實施例的一種在例如圖1的系統上實施光 阻過濾器的更換技術的流程圖。102:供給泵 105:閥 108:過濾系統 110:排放閥 112:分配泵 113b:阻隔閥 116: 120 124 202 206100:系統104:第一供給106:雙入口隔離閥109:過濾器111:涂布器部分113a:輸送管114輸出閥118再循環閥122第二供給200步驟204步驟具體實施方式
為更進一步闡述本發明為達成預定發明目的所采取的技術手段及功 效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的更換光阻過濾器的系 統與方法其具體實施方式
、結構、特征及其功效，詳細說明如后。圖1是繪示根據一實施例的一種實施光阻過濾器的更換技術的系統100。如圖1所示，此系統100至少包括供給泵102，其中供給泵102借由 閥105而連接至第一供給104。在系統100的正常操作期間，此供給泵102 自第一供給104汲取第一化學溶液，其中第一化學溶液是經由閥105而送 入至供給泵102內。在一實施例中，來自第一供給104的第一化學溶液至 少包括光阻。供給泵102進一步將光阻經由雙入口隔離閥106注入過濾系 統108內，其中此過濾系統108至少包括可更換的過濾器109與排放閥110。 然后，將過濾后的光阻經由輸送管113a與阻隔閥113b而供應給系統的涂布 器部分(CoaterPortion)lll,其中此涂布器部分111至少包括分配泵112。在 傳統方式中，此分配泵112借由輸出閥114分配已過濾后的光阻，以將光 阻涂布于下方的晶圓116。而未使用的光阻則從分配泵112，經由再循環閥 118與輸送管120再循環回到供給泵102中。根據一實施例的特征，提供第二供給122,其中第二供給122包含第二 化學溶液，此溶液的價格較佳是比在第一供給104中的第一化學溶液來得 便宜。在一實施例中，第二化學溶液為一種可溶解第一化學溶液的有機溶 劑。此第二供給122是經由輸送管124連接至雙入口隔離閥106的第二入 口 ，其設置的目的將更詳細地敘述于下。可確認的一點是此雙入口隔離閥7管管圓送送驟驟晶輸輸步步106的作用如同一種開關機構，以控制將來自第一供給104或第二供給122 的任一種溶液注入而通過過濾系統108。亦可確認的一點是實施此雙入口隔 離閥106時，可使用能執行在此所述的開關功能的任何元件。如前面的敘述，在傳統方式中，于正常操作期間，將第一供給104連 接至過濾系統108,借以從第一供給104中汲取光阻，再經由過濾系統108 來過濾光阻，然后將光阻供應至分配泵112來涂布晶圓，例如晶圓116。根 據一實施例的特征，當過濾系統108的過濾器109需要更換，而非預濕未 上線的替換過濾器時，將此替換過濾器直接地安裝在過濾系統108上，而 此時將雙入口隔離閥106定位，借以使第二供給122連接至過濾系統108。 在這種情況下，利用來自于第二供給122的溶劑而非來自于第一供給104 的光阻來清洗與預濕過濾器109,并沖洗包含有輸送管113a、輸送管120、 輸送管124、過濾系統108與分配泵112的系統100。通常，完成此沖洗制 程需要超過兩公升的流體。在已經使用溶劑沖洗系統100之后，才從第一 供給104中汲取光阻，并使用光阻來將溶劑從系統100中清除，且將光阻 填充于輸送管113a與輸送管120中。
在這種情況下，當過濾器109位在過濾系統108中的原處時，可使用 價格便宜的溶液，例如有機溶劑，來沖洗來自于替換過濾器與系統管路的 污染物，借以降低因過度操作而造成過濾器污染的可能性。圖2是繪示根據本發明的一實施例的一種在例如圖1的系統上實施光 阻過濾器的更換技術的流程圖。假定于正要更換光阻過濾器之前，此系統 的分配器部分是在正常操作的模式下運作；例如，即將使用光阻來涂布晶 圓。為回應過濾器需要更換的決定，故在步驟200中，使用新過濾器來替 換舊過濾器。步驟202實質上應該與步驟200同時發生，在步驟202中， 將雙入口隔離閥106從第一個"正常，，的位置移動至第二個"更換過濾器，， 的位置，其中第一個"正常，，的位置可進行正常操作，而在正常操作期間 將光阻供應至分配泵112，而在第二個"更換過濾器"的位置時使溶劑通過 并沖洗輸送管和過濾系統，來預濕和清洗替換的過濾器，以供備用。 一旦 過濾器已經充分地預濕與清洗(步驟204)，將雙入口隔離閥106調回"正常" 的位置(步驟206)，借以使光阻溶液流經此系統與分配器以恢復正常操作。 可確認的是可利用手動或自動方式，例如在軟件控制的下，來進行閥門位 置的控制。一實施例是一種實施光阻過濾器更換技術的系統。此實施光阻過濾器 更換技術的系統至少包括連接至分配器的過濾器；及連接至此過濾器的開 關，此開關是用以選擇性連接此過濾系統，以輸通第一化學溶液與第二化 學溶液的其中之一。另 一 實施例是一種用以更換連接至分配器的過濾系統的光阻過濾器的方法。此方法至少包括換上光阻過濾器；連接過濾系統以輸通第一化學溶液來清洗與預濕此光阻過濾器；以及在連接過濾系統以輸通第一化學溶液 后，連接分配器以接收第二化學溶液。又一實施例是一種有助于更換連接至分配器的過濾系統的光阻過濾器 的裝置，此裝置至少包括第一連接元件，用以連接過濾系統以在更換過濾 器的同時輸通第 一化學溶液，其中此第 一化學溶液是用以清洗和預濕光阻 過濾器；以及第二連接元件，用以在連接過濾系統以輸通第一化學溶液后， 連接分配器以接收第二化學溶液。以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，并非對本發明作任何形式 上的限制，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發 明，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本發明技術方案范圍內，當可利 用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但 凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例 所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發明技術方案的范圍 內。
權利要求
1、一種實施光阻過濾器更換技術的系統，其特征在于其中該實施光阻過濾器更換技術的系統至少包括一過濾系統，連接至一分配器，其中該過濾系統至少包括一過濾器；以及一開關機構，用以選擇性地連接該過濾系統以輸通一第一化學溶液和一第二化學溶液的其中之一。
2. 根據權利要求1所述的實施光阻過濾器更換技術的系統，其特征在 于所述的開關機構的 一 位置是利用手動或軟件來控制。
3. 根據權利要求1所述的實施光阻過濾器更換技術的系統，其特征在于所述的第一化學溶液至少包括光阻，該第二化學溶液至少包括可溶解該 第一化學溶液的一溶劑。
4. 根據權利要求1所述的實施光阻過濾器更換技術的系統，其特征在 于，其中在該分配器用以涂布晶圓的正常操作期間，連接該過濾系統以輸 通該第一化學溶液；及在更換該光阻過濾器時，連接該光阻過濾器，以同 時輸通該第二化學溶液。
5. 一種更換過濾系統的光阻過濾器的方法，其中該過濾系統是連接至 一分配器，該更換過濾系統的光阻過濾器的方法至少包括換上該光阻過濾器；連接該過濾系統以輸通一第一化學溶液，來清洗和預濕該光阻過濾器；以及在該連接該過濾系統以輸通該第一化學溶液的步驟后，連接該分配器 以接收一第二化學溶液。
6. 根據權利要求5所述的更換過濾系統的光阻過濾器的方法，其特征 在于所述的第二化學溶液是一光阻溶液，該第一化學溶液為可溶解該第二 化學溶液的一溶劑。
7. 根據權利要求5所述的更換過濾系統的光阻過濾器的方法，其特征 在于，其中連接該過濾系統以輸通該第一化學溶液的步驟，和連接該分配 器以接收該第二化學溶液的步驟是使用 一開關機構來進行，該開關機構的 一位置是利用手動或軟件來控制。
8. 一種更換過濾系統的光阻過濾器的裝置，借以有助于更換連接至一 分配器的該過濾系統的該光阻過濾器，其中該更換過濾系統的光阻過濾器 的裝置至少包括一第 一連接元件，用以連接該過濾系統以在更換該光阻過濾器的同時 輸通一第 一化學溶液，其中該第 一化學溶液是用以清洗和預濕該光阻過濾器；以及一第二連接元件，用以在連接該過濾系統以輸通該第 一化學溶液后， 連接該分配器以接收一 第二化學溶液。
9、 根據權利要求8所述的更換過濾系統的光阻過濾器的裝置，其特征 在于所述的第二化學溶液是一光阻溶液，該第一化學溶液是可溶解該第二 化學溶液的一溶劑。
10、 根據權利要求9所述的更換過濾系統的光阻過濾器的裝置，其特 征在于所述的第一連接裝置和第二連接裝置至少包括一開關機構，該開關 機構的一位置是利用手動或軟件來控制。
全文摘要
本發明是關于一種用以更換光阻過濾器(Resist Filter)的系統與方法，以此種方式來減少過濾器所誘致(Filter-Induced)的晶圓缺陷。在一實施例中，此實施光阻過濾器更換技術的系統至少包括連接至分配器(Dispenser)的過濾系統，此過濾系統還至少包括有過濾器及連接至過濾器的開關，而此開關是用以選擇性地連接過濾系統以輸通第一化學溶液與第二化學溶液的其中之一。
文檔編號G03F7/16GK101271276SQ200710147980
公開日2008年9月24日 申請日期2007年8月30日 優先權日2007年3月20日
發明者高耀寰, 黃柏昌 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司