專利名稱：感光性組合物除去液的制作方法
技術領域：
本發明涉及感光性組合物除去液。本發明特別涉及為了除去在玻璃基板、半導體元件等上形成感光性組合物皮膜的工序中，在基板的周圍部分、邊緣部分、或者背面部分的未固化的感光性組合物皮膜，或者除去付著在裝置部件、器具的表面上的未固化的感光性組合物的除去液。
本發明的感光性組合物除去液，特別是在制造用于液晶、有機EL、圖像傳感器中的濾色器時，在基板上形成感光性組合物皮膜的工序中，對除去殘留在基板的周圍部分、邊緣部分、或者背面部分的含有未固化顏料的感光性組合物皮膜，或者對除去在裝置部件、器具的表面上付著的含有未固化顏料的感光性組合物有用。
背景技術：
在液晶、有機EL、等離子顯示器等的平面顯示器或者半導體的制造工序中，通常使用光刻技術來形成感光性組合物的圖案。
在制造用于液晶、有機EL、圖像傳感器等中的濾色器時，作為RGB或者樹脂黑色矩陣的圖案形成方法可以使用顏料分散法、染色法、印刷法、電沉積法等。顏料分散法是使用含有顏料的感光性組合物通過光刻技術進行各種顏色的構圖的方法，由于可以獲得穩定的著色皮膜，所以是制造濾色器的合適方法。根據這種方法在基板上形成感光性組合物皮膜的情況下，包含將含有顏料的感光性組合物在基板上涂布的工序，作為其涂布方法，已知旋涂、窄縫涂、金屬棒涂、輥涂、浸涂、噴涂、或者這些方法的組合等的方法。
在進行旋涂的情況下，為除去感光性組合物涂覆后在基板的周圍部分、邊緣部分的感光性組合物膜的溢部分或在背面上付著的感光性組合物，通常要用感光性組合物除去液進行清洗處理，即所謂邊緣清洗、背面清洗。進一步，在旋涂中要進行除去飛散在杯上的感光性組合物的工序，即在杯清洗時，利用感光性組合物除去液進行感光性組合物除去處理。
另外，在制造濾色器時作為感光性組合物涂布工序，除了上述旋涂方法以外，還可進行利用窄縫涂布方法的感光性組合物涂布和利用金屬棒的涂布、利用錕式涂膠機的涂布，但在這些方法中，在涂布感光性組合物后，也需要分別實施除去付著在窄縫模頭、金屬棒等，涂布裝置的一部分或全部的不需要的感光性組合物。
進一步，除此之外，有需要實施除去付著在用于運送感光性組合物的裝置管道等、涂布裝置部件上的感光性組合物的情況。通常，除去這樣的感光性組合物要使用除去液進行洗凈處理。
在任何這樣的付著在基板及裝置上的感光性組合物的除去工序中，感光性組合物成分的殘留成為問題。用于制造濾色器的含有顏料的感光性組合物，即用于形成RGB的彩色抗蝕劑或用于形成樹脂黑色矩陣的黑色抗蝕劑，顏料成分在基板、裝置的表面上容易殘留，這些即使一點點就會形成異物，有可能造成濾色器制造的不良率增加，或者濾色器的顏色純度變化或分辨率下降。近年來，基板的大畫面化、高精細化、以及低成本化的要求提高，用于彩色顯示器中的濾色器，在這樣的狀況下，避免給濾色器的性能、成品率帶來影響的感光性組合物成分的殘留變得越來越重要。
一直以來，作為感光性組合物除去劑，通常大多使用二醇醚或其酯，或者它們的混合物(例如，參照特公平4-49938號公報)，但是將這些應用于的洗凈除去彩色抗蝕劑時，抗蝕劑除去性不充分，必須使用大量除去液，有發生除去后殘留的問題。
另外，在除去含有顏料的著色組合物時，也有使用在感光性組合物中使用的溶劑成分或者表面活性劑、分散劑等感光性組合物中含有的成分的方法(例如、參照特開2000-273370號公報)，但是僅僅將在感光性組合物中含有的溶劑成分作為清洗劑使用的情況下，顏料容易沉降，不能獲得充分的洗凈性能。另外，在洗滌液組合物中含有表面活性劑、分散劑等的感光性組合物中所含有的成分的情況下，存在如下問題，即該成分容易作為蒸發殘留成分殘留在基板、裝置部件上，需要進一步的清洗工序，或者對于不允許蒸發殘留成分的基板的端面、背面的感光性組合物的除去實際上不能應用。
發明內容
本發明的目的是提供對感光性組合物除去性能優良的感光性組合物除去液。
特別是提供在液晶、有機EL、圖像傳感器等的制造工程中在基板上形成感光性組合物皮膜的工序中，對在基板的周圍部分、邊緣部分或者背面部分殘留的含有顏料的感光性組合物皮膜的除去，或者對在裝置部件、器具的表面上付著的含有顏料的感光性組合物的除去有效的除去液。
另外，在本說明書中，有時將從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類選出的至少一種溶劑作為成分1，將從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類選出的至少一種溶劑作為成分2，將碳數為9以上的芳香族烴類作為成分3。
本發明者們為了解決上述課題反復進行了深入的研究，結果發現，通過使用由特定組成構成的除去液可以提高對含有顏料的感光性組合物的洗凈除去性，從而完成了本發明。
即，本發明，例如，包含以下事項。
1.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的有色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)99～70質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑，以及(2)1～30質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑。
2.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的有色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有
(1)98～40質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑、(2)1～30質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑，以及(3)50質量％以下的碳原子數為9以上的芳香族烴類。
3.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的紅色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)99～80質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑，以及(2)1～20質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑。
4.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的紅色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)98～50質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑、(2)1～20質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑溶劑，以及(3)30質量％以下的碳原子數為9以上的芳香族烴類。
5.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的綠色、藍色或者黑色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)95～70質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑，以及(2)5～30質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑。
6.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的綠色、藍色或者黑色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)94～40質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑、
(2)5～30質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑，以及(3)30質量％以下的碳原子數為9以上的芳香族烴類。
7.上述2、4或者6中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，碳原子數為9以上的芳香族烴類是沸點為150～250℃的烷基苯類。
8.上述1～7的任一項中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑是從N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亞砜、γ-丁內酯組成的組中選出的至少一種。
9.上述1～8的任一項中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類是從丙二醇單甲醚乙酸酯及乙酸3-甲氧基丁基酯組成的組中選出的至少一種。
10.上述1～8的任一項中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，烷氧基羧酸酯類是從3-甲氧基丙酸甲酯及3-乙氧基丙酸乙酯組成的組中選出的至少一種。
11.上述1～8的任一項中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，脂環狀酮類是從環己酮、環戊酮、及甲基環己酮組成的組中選出的至少一種。
12.上述1～11的任一項中所述的感光性組合物除去液，用于除去含有有色顏料的丙烯酸類感光性組合物。
13.上述1～12的任一項中所述的感光性組合物除去液，用于除去感光前的含有顏料的感光性組合物。
14.一種裝置，是利用上述1～13的任一項中所述的感光性組合物除去液除去含有有色顏料的感光性組合物的裝置。
15.一種通過上述14中所述的裝置得到的濾色器。
16.一種配備有上述15中所述的濾色器的裝置。
17.一種基板，是利用上述1～13的任一項中所述的感光性組合物除去液除去處理含有有色顏料的感光性組合物后的基板。
本發明的感光性組合物除去液，可以有效的應用于，在制造液晶、有機EL、圖像傳感器時，在基板上形成感光性組合物皮膜的工序中，對殘留在基板的周圍部分、邊緣部分、或者背面部分的含有顏料的感光性組合物皮膜的除去，或者對在裝置部件、器具的表面上付著的含有顏料的感光性組合物的除去。
具體實施例方式
在下面，對本發明的感光性組合物除去液的優選樣態予以說明。
本發明的感光性組合物除去液(以下有時簡稱“除去液”)是用于除去含有顏料的有色感光性組合物的除去液，并且含有從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑(成分1)，及從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑溶劑(成分2)。
用于本發明的烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類(成分1)，由于對感光性組合物中含有的樹脂成分溶解性高，因而適合作為感光性組合物除去液的主要成分被使用。作為成分1的具體例子，作為烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類可以列舉，乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、二甘醇單甲醚乙酸酯、二甘醇單乙醚乙酸酯、二甘醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、雙丙甘醇單甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯等，作為烷氧基羧酸酯類可以列舉，2-甲氧基乙酸甲酯、2-乙氧基乙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、β-甲氧基異丁酸甲酯等，作為脂環狀酮類可以列舉，環己酮、環戊酮、甲基環己酮等，但本發明不僅僅限于這些例子。
從感光性組合物的除去性、獲得的容易程度、安全性的觀點出發，這其中優選丙二醇單甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、環己酮、環戊酮。本發明的除去液中含有的烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類，可以單獨使用，也可兩種以上組合應用。
從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑(成分2)，在可進一步提高感光性組合物除去液的除去性能、即提高樹脂成分的溶解性及顏料的除去性能這一點上是有效的。作為具體的例子，鏈狀酰胺類可以列舉甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺，N，N-二甲基乙酰胺，四甲基脲等，環狀酰胺可以列舉N-甲基-2-吡咯烷酮、N-甲基咪唑啉二酮等，含硫化合物可以列舉二甲亞砜、環丁砜等，環狀酯類可以列舉γ-丁內酯等。但本發明不僅僅限于這些例子。
這其中，從提高感光性組合物的溶解除去性這一點上，優選N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲亞砜、及γ-丁內酯。本發明的除去液中含有的成分2可以單獨使用，也可以兩種以上組合用。
成分1及成分2的優選比例，成分1為99％～70％，成分2為1～30％。
成分2以進一步提高成分1的感光性組合物的除去性能作為目的，而含在本發明的感光性組合物除去液中，但在含有蒽醌類顏料，例如，C.I.(Color Index，美國顏料索引)顏料紅177、二酮基吡咯并吡咯類顏料，例如，C.I.顏料紅254等顏料的紅色感光性組合物的情況下，本發明的感光性組合物除去液中含有的成分2如果含量在1％以上，則可發揮提高除去性能的效果。在含有顏料的紅色感光性組合物的情況下，作為除去液組合物，特別優選含有成分1為99～80％，成分2為1～20％的范圍。如果在這個范圍，由于對于紅色感光性組合物，本發明的感光性組合物除去液的洗凈性能高，并且不容易發生紅色顏料的凝集沉降，所以更加優選。
在含有如酞菁類顏料，例如，C.I.顏料藍-15，15:1，15:4，15:6，C.I.顏料綠36，炭黑等顏料的綠色、藍色、黑色感光性組合物的情況下，本發明的感光性組合物中含有的成分2的含量為5％以上時，可發揮進一步提高除去性能的效果。在綠色、藍色、黑色的感光性組合物的情況下，在成分1為95％～70％、成分2為5％～30％的范圍，本發明的感光性組合物除去液效果變得特別高，顏料難以發生凝集沉淀，所以更加優選。
本發明的除去液，除了從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑(成分1)，及從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑(成分2)以外，通過含有50質量％以下量的碳原子數為9以上的芳香族烴類(成分3)可進一步提高感光性組合物中所含的顏料的除去性。
本發明中所含的碳原子數為9以上的芳香族烴(成分3)，優選被烷基取代的芳香族烴，可以列舉烷基苯類、烷基萘類等。烷基，可以是直鏈狀的，也可是支鏈狀的，也可以是2個以上的取代基連接起來成為環狀。芳香族烴的碳原子數雖然為9以上，但優選12以下。作為成分3的具體例子，可以列舉1，2，3-三甲基苯、1，2，4-三甲基苯、1，3，5-三甲基苯、1-乙基-2-甲基苯、1-乙基-3-甲基苯、1-乙基-4-甲基苯、正丙基苯、異丙基苯、正丁基苯、仲丁基苯、異丁基苯、1，2，3，4-四甲基苯、1，2，3，5-四甲基苯、1，2，4，5-四甲基苯、1，2-二甲基-3-乙基苯、1，2-二甲基-4-乙基苯、1，3-二甲基-2-乙基苯、1，3-二甲基-4-乙基苯、1，3-二甲基-5-乙基苯、1，4-二甲基-2-乙基苯、1-甲基-2-丙基苯、1-甲基-3-丙基苯、1-甲基-4-丙基苯、1-甲基-2-異丙基苯、1-甲基-3-異丙基苯、1-甲基-4-異丙基苯、1，2-二乙基苯、1，3-二乙基苯、1，4-二乙基苯、戊基苯、甲基丁基苯、乙基丙基苯、二甲基丙基苯、甲基二乙基苯、三甲基乙基苯、五甲基苯、己基苯、甲基戊基苯、乙基丁基苯、二甲基丁基苯、二丙基苯、甲基乙基丙基苯、三甲基丙基苯、三乙基苯、二甲基二乙基苯、四甲基乙基苯、六甲基苯、1，2-二氫化茚、四氫化萘等的烷基苯類，甲基萘、二甲基萘等的烷基萘類，但本發明不僅局限于這些例子。
這些芳香族烴在感光性組合物除去液中可以單獨含有，也可作為兩種以上的組合含有。
這其中，沸點在150～250℃的烷基苯類由于感光性組合物的除去性能，特別是含有顏料的感光性組合物的除去性能高，進一步具有適合感光性組合物除去的干燥性，所以優選。
這其中特別優選的烷基苯類，是碳原子數為9或10的烷基苯，作為具體例子可以列舉，1，2，3-三甲基苯、1，2，4-三甲基苯、1，3，5-三甲基苯、1-乙基-2-甲基苯、1-乙基-3-甲基苯、1-乙基-4-甲基苯、正丙基苯、異丙基苯、正丁基苯、仲丁基苯、異丁基苯、1，2，3，4-四甲基苯、1，2，3，5-四甲基苯、1，2，4，5-四甲基苯、1，2-二甲基-3-乙基苯、1，2-二甲基-4-乙基苯、1，3-二甲基-2-乙基苯、1，3-二甲基-4-乙基苯、1，3-二甲基-5-乙基苯、1，4-二甲基-2-乙基苯、1-甲基-2-丙基苯、1-甲基-3-丙基苯、1-甲基-4-丙基苯、1-甲基-2-異丙基苯、1-甲基-3-異丙基苯、1-甲基-4-異丙基苯、1，2-二乙基苯、1，3-二乙基苯、1，4-二乙基苯等。
在實際使用本發明的除去液時，雖然上述芳香族烴可以通過任何方法來調制，但芳香族成分比例高的溶劑石油腦的使用是有效的，在本發明的除去液中可以適當使用芳香族烴的混合物，例如，以碳原子數9為中心的烷基苯類混合溶劑商品名為シエリソルA(商標シエル化學社制，初餾點160℃，干點182℃)、ソルベツソ100(商標エクソン化學社制，初餾點164℃，干點176℃)、スワゾ一ル1000(商標丸善石油化學社制，初餾點161℃，干點179℃)、イプゾ一ル100(商標出光石油化學社制，初餾點162℃，干點179℃)、ハイゾ一ル100(商標日本石油化學社制，初餾點155℃，干點180℃)、ソルフアインTM(商標昭和電工社制，初餾點160℃，干點180℃)；以碳原子數10為中心的烷基苯類混合溶劑商品名シエルソルAB(商標シエル化學社制，初餾點187℃，干點213℃)、ソルベツソ150(商標エクソン化學社制，初餾點188℃，干點209℃)、スワゾ一ル1500(商標丸善石油化學社制，初餾點180.5℃，干點208.5℃)、イプゾ一ル150(商標出光石油化學社制，初餾點186℃，干點205℃)、ハイゾ一ル150(商標日本石油化學社制，初餾點182℃，干點216℃)、ソルフアインWZ(商標昭和電工社制，初餾點195℃，干點250℃)；以碳原子數10以上為中心的烷基苯類-烷基萘類混合溶劑商品名スワゾ一ル1800(商標丸善石油化學社制，初餾點195.5℃，干點245℃)等。
成分3是以維持顏料的分散、進一步提高感光性組合物的除去性能為目的，在本發明的感光性組合物除去液的成分1及成分2中追加含有的。
在本發明的感光性組合物除去液含有成分1、成分2及成分3的情況下，成分1、成分2及成分3的優選比例為，成分1為98～40％，成分2為1～30％，成分3為30％以下。
如果含有成分3為30％以下，不會使感光性組合物中所含有的樹脂成分的溶解性能降低，可以進一步提高感光性組合物中所含顏料的除去性能，所以是合適的。
含有成分1、成分2及成分3的本發明的感光性組合物除去液，在用于除去含有蒽醌類顏料，例如，C.I.顏料紅177、二酮基吡咯并吡咯類顏料，例如，C.I.顏料紅254等顏料的紅色感光性組合物的情況下，如果本發明的感光性組合物除去液中所含的成分2的含量為1％以上，成分3的含量為30％以下，可發揮除去性能提高的效果。即，在含有顏料的紅色感光性組合物的情況下，作為除去液組合物更加優選含有成分1為99～50％，成分2為1～20％，成分3為30％以下的范圍。如果在這個范圍，本發明的感光性組合物除去液對于紅色感光性組合物的洗凈性能高，并且難以發生紅色顏料的凝集沉降。
含有成分1、成分2及成分3的本發明的感光性組合物除去液，在用于除去含有如酞菁類顏料，例如，C.I.顏料藍-15，15:1，15:4，15:6，C.I.顏料綠36，炭黑等顏料的綠色、藍色、黑色感光性組合物的情況下，通過使本發明的感光性組合物除去液中所含的成分2的含有量為5％以上，成分3的含有量為30％以下，可發揮提高除去性能的效果。即，在用于除去綠色、藍色、黑色感光性組合物的情況下，在成分1為95～40％，成分2為5～30％，成分3為30％以下的范圍，本發明的感光性組合物除去液效果特別高，并且難以發生顏料的凝集沉降，所以優選。
以下，對適用本發明除去液的有色感光性樹脂組合物予以詳細說明。
本發明的除去液可適用的有色感光性組合物，通常是用于液晶、有機EL、圖像傳感器等的濾色器的形成工序中的含有顏料的有色感光性組合物。這里的有色感光性組合物是通過含有顏料而著色了的感光性組合物，一般含有用堿可顯影的皮膜形成物質、感光性物質及顏料等。
作為有色感光性組合物中含有的皮膜形成物質，可以列舉丙烯酸類樹脂、酚醛清漆樹脂、聚酰亞胺類樹脂、聚乙烯基酚類樹脂等，本發明可特別適合用于將丙烯酸類樹脂作為皮膜形成物質而含有的有色感光性組合物的除去。作為皮膜形成物質使用的丙烯酸類樹脂，是堿可溶性的、分子量為1,000～500,000程度的高分子聚合物或者共聚物，適合使用含有羧基的烯屬不飽和單體及其它的烯屬不飽和單體的共聚物。
作為有色感光性組合物中所含有的感光性物質，在丙烯酸類樹脂作為皮膜形成物質的情況下，可以列舉出，六芳基雙咪唑類化合物、三嗪類化合物、氨基苯乙酮類化合物、增敏色素與有機硼鹽類化合物的組合、二茂鈦類化合物、二唑類化合物等。
作為有色感光性組合物中可含有的顏料，只要是用于制造通常濾色器的顏料就可以沒問題的使用，可以單獨使用或任意使用黑色、黃色、紅色、藍色、綠色等的有機、無機顏料的混合物。作為顏料的具體例，可以列舉炭黑、乙炔黑、燈黑、碳納米管、石墨、黑銻粉、氧化鐵類黑色顏料、苯胺黑、花青黑、鈦黑、C.I.顏料黃20、24、83、86、93、109、110、117、125、137、138、139、147、148、153、154、166、C.I.顏料橙36、43、51、55、59、61、C.I.顏料紅9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254、C.I.顏料紫19、23、29、30、37、40、50、C.I.顏料藍15、15:4、15:6、22、27、60、64、C.I.顏料綠7、10、36、37、C.I.顏料棕23、25、26等。
有色感光性組合物中除了上述的皮膜形成物質、感光性物質及顏料以外，可以進一步配合烯屬不飽和單體。烯屬不飽和單體是在活性光線照射下，用光聚合引發劑產生的自由基可聚合的化合物。
在適用本發明的除去液的有色感光性組合物中，除了上述成分以外，還可以適當配合有機溶劑、顏料分散劑、粘付提高劑、均化劑、顯影改良劑、抗氧化劑、熱聚合禁止劑等。
本發明的感光性組合物除去液，可適用于除去在被洗凈物上涂布或者付著狀態的有色感光性組合物，特別是可適合用于除去感光前的有色感光性組合物。有色感光性組合物可以是含有溶劑的狀態，也可是溶劑揮發后的狀態。
作為除去有色感光性組合物的除去方法，可以列舉，將本洗凈液從噴嘴等以棒狀、液滴狀或者霧狀吹向涂布了或者付著了有色感光性組合物的被洗凈物從而除去的方法；將付著了有色感光性組合物的被洗凈物浸漬在本發明的除去液中的方法等。為了有效地進行除去，可以并用利用超聲波輻射、刷子等的物理性洗凈。
本發明的除去液，可以適合用于除去在用于液晶、有機EL、圖像傳感器等的濾色器的制造的有色感光性組合物的涂布工序中，在基板的周圍部分、邊緣部分、或者背面部分付著的、不需要的未固化的有色感光性組合物，或者付著在涂布裝置的一部分或者全部的不需要的未固化的有色感光性組合物。
本發明的除去液，也可以適合地用于除去在基板上用旋涂法涂布有色感光性組合物時，基板周圍部分、邊緣部分、或者背面部分的未固化的有色感光性組合物，即作為所謂的邊緣清洗、背部清洗的清洗劑，或者洗凈除去旋涂時杯上飛散的有色感光性組合物，即所謂的杯清洗。
作為旋涂以外的在基板上涂布有色感光性組合物的涂布方法，已知窄縫法、金屬棒法、或者輥涂法等，在除去付著在窄縫模頭和金屬棒、印刷板等，涂布裝置的部件和器具的表面的未固化的有色感光性組合物時，本發明的除去液也可以被適當使用。
另外，本發明的另一樣態，是使用上述除去液通過上述方法被除去未固化的感光性組合物后的基板、或者液晶、有機EL、及圖像傳感器等的制造用裝置、以及通過該裝置而得到的濾色器。
以下舉出實施例來進一步說明本發明，當然本發明不受這些實施例的任何限定。
另外，洗凈性，是在除去液中浸漬3分鐘后，通過目視觀察感光性著色組合物的溶解狀況用下面3個級別來評價的。
○...完全除去△...部分溶解×...幾乎未溶解制備例1丙烯酸類共聚物的制備向配有滴液漏斗、溫度計、冷凝管、攪拌器的四口燒瓶中加入12.0質量份甲基丙烯酸(MA)、14.0質量份甲基丙烯酸甲酯(MMA)、43.0質量份甲基丙烯酸正丁基酯(BMA)、6.0質量份丙烯酸2-羥乙基酯(HEMA)和225.0質量份乙酸乙基溶纖劑(EGA)，用氮氣置換四口燒瓶內部1小時。進一步，油浴加熱到90℃之后，利用1小時滴加12.0質量份MA、14.0質量份MMA、43.0質量份BMA、6.0質量份HEMA、225.0質量份EGA、及3.2質量份2，2’-偶氮二異丁腈(AIBN)的混合液。聚合3小時后，加入1.0質量份AIBN和15.0質量份EGA的混合液，進一步升溫至100℃，聚合1.5小時后冷卻。如此得到的丙烯酸類共聚物的固體濃度為22.1質量％，酸價為92mgKOH/g，通過GPC測定的經聚苯乙烯換算的質量平均分子量為22,000。
制備例2感光性著色組合物A黑色感光性著色組合物的制備將從制備例1中得到的30.0質量份(固體6.6質量份)丙烯酸類共聚物、5.0質量份EGA，3.3質量份フロ一レンDOPA-33(商標共榮社化學株式會社制，分散劑，固體濃度30質量％)、6.6質量份Special Black 4(デグサ社制炭黑)混合后，放置一夜。進一步攪拌1小時后，在三輥軋機(株式會社小平制作所制，型號RIII-1RM-2)中通過4次。通過向得到的黑色墨中加入EGA調整濃度，得到固體濃度為18.0質量％的黑色著色組合物。
向如此得到的100質量份黑色著色組合物中進一步添加4.4質量份二季戊四醇六丙烯酸酯，2.2質量份2-(4-甲氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪以及25質量份EGA，充分攪拌后得到感光性著色組合物A.
制備例3感光性著色組合物B綠色感光性著色組合物的制備將從制備例1中得到的30.0質量份(固體6.6質量份)丙烯酸類共聚物、5.0質量份EGA，3.3質量份フロ一レンDOPA-33(商標共榮社化學株式會社制，分散劑，固體濃度30質量％)、6.6質量份顏料綠-36混合后，放置一夜。進一步攪拌1小時后，在三輥軋機(株式會社小平制作所制，型號RIII-1RM-2)中通過4次。通過向得到的綠色墨中加入EGA調整濃度，得到固體濃度為18.0質量％的綠色著色組合物。
向如此得到的100質量份綠色著色組合物中進一步添加4.4質量份二季戊四醇六丙烯酸酯，0.7質量份的4，4’-雙(N，N-二乙基氨基)二苯甲酮，2.3質量份2，2’-雙(鄰氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-雙咪唑，3.8質量份三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯以及42質量份EGA，充分攪拌后得到感光性著色組合物B.
制備例4感光性著色組合物C紅色感光性著色組合物的制備將從制備例1中得到的30.0質量份(固體6.6質量份)丙烯酸類共聚物、5.0質量份EGA，3.3質量份フロ一レンDOPA-33(商標共榮社化學株式會社制，分散劑，固體濃度30質量％)、6.6質量份顏料紅-177混合后，放置一夜。進一步攪拌1小時后，在三輥軋機(株式會社小平制作所制，型號RIII-1RM-2)中通過4次。通過向得到的紅色墨中加入EGA調整濃度，得到18.0質量％固體濃度的紅色著色組合物。向100質量份該紅色組合物中進一步添加4.4質量份二季戊四醇六丙烯酸酯，3.0質量份イルガキユア369(チバスペシヤリテイケミカルズ社制)，3.8質量份三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯以及42質量份EGA，充分攪拌后得到感光性著色組合物C。
實施例1將在制備例2～4中制備的感光性著色組合物A～C滴加一滴到玻璃板上(28mm×76mm)，在室溫干燥24小時。
將其在80g丙二醇單甲醚乙酸酯與20g N，N-二甲基乙酰胺的混合除去液中浸漬3分鐘，靜置，洗凈除去表面上涂布的感光性著色組合物。其結果示于表1。
實施例2～9，比較例1～6使用表1中所示組成的除去液，與實施例1同樣進行感光性著色組合物的除去。其結果示于表1。
表1
縮寫符號的說明PMA 丙二醇單甲醚乙酸酯DMF N，N-二甲基甲酰胺MBA 乙酸3-甲氧基丁基酯DMAC N，N-二甲基乙酰胺MMP 3-甲氧基丙酸甲酯 NMP N-甲基吡咯烷酮EEP 3-乙氧基丙酸乙酯 TMB 1，2，4-三甲基苯CYA 環己烷CUM 異丙基苯S-TM ソルフアイン-TM(昭和電工(株)制)
產業上的可利用性本發明提供在液晶和有機EL、圖像傳感器等的制造中在基板上形成感光性組合物皮膜的工序中，對在基板的周圍部分、邊緣部分或者背面部分殘留的含有顏料的感光性組合物皮膜的除去，或者對在裝置部件、器具的表面付著的含有顏料的感光性組合物的除去有用的感光性組合物除去液。
權利要求
1.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的有色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)99～70質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑，以及(2)1～30質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑。
2.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的有色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)98～40質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑、(2)1～30質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑，以及(3)50質量％以下的碳原子數為9以上的芳香族烴類。
3.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的紅色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)99～80質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑，以及(2)1～20質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑。
4.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的紅色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)98～50質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑、(2)1～20質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑，以及(3)30質量％以下的碳原子數為9以上的芳香族烴類。
5.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的綠色、藍色或者黑色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)95～70質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑，以及(2)5～30質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑。
6.一種感光性組合物除去液，是含有顏料的綠色、藍色或者黑色感光性組合物的除去液，其特征在于，含有(1)94～40質量％的從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑、(2)5～30質量％的從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑，以及(3)30質量％以下的碳原子數為9以上的芳香族烴類。
7.權利要求2、4或者6中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，碳原子數為9以上的芳香族烴類是沸點為150～250℃的烷基苯類。
8.權利要求1～7的任一項中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物及環狀酯類中選出的至少一種溶劑是從N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亞砜、γ-丁內酯組成的組中選出的至少一種。
9.權利要求1～8的任一項中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類是從丙二醇單甲醚乙酸酯及乙酸3-甲氧基丁基酯組成的組中選出的至少一種。
10.權利要求1～8的任一項中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，烷氧基羧酸酯類是從3-甲氧基丙酸甲酯及3-乙氧基丙酸乙酯組成的組中選出的至少一種。
11.權利要求1～8的任一項中所述的感光性組合物除去液，其特征在于，脂環狀酮類是環己酮、環戊酮、及甲基環己酮組成的組中選出的至少一種。
12.權利要求1～11的任一項中所述的感光性組合物除去液，用于除去含有有色顏料的丙烯酸類感光性組合物。
13.權利要求1～12的任一項中所述的感光性組合物除去液，用于除去感光前的含有顏料的感光性組合物。
14.一種裝置，是利用權利要求1～13的任一項中所述的感光性組合物除去液除去含有有色顏料的感光性組合物的裝置。
15.一種通過權利要求14所述的裝置得到的濾色器。
16.一種配備有權利要求15所述的濾色器的裝置。
17.一種基板，是利用權利要求1～13的任一項中所述的感光性組合物除去液，除去處理含有有色顏料的感光性組合物后的基板。
全文摘要
本發明涉及用于除去含有顏料的感光性組合物的感光性組合物除去液，其含有從烷撐二醇單烷基醚羧酸酯類、烷氧基羧酸酯類及脂環狀酮類中選出的至少一種溶劑，和從鏈狀酰胺類、環狀酰胺類、含硫化合物和環狀酯類中選出的至少一種溶劑，以及根據需要含有碳原子數為9以上的芳香族烴類。該感光性組合物除去液對感光性組合物的除去性能優良。
文檔編號G03F7/42GK101044435SQ20068000016
公開日2007年9月26日 申請日期2006年2月9日 優先權日2005年2月9日
發明者金田昌人 申請人:昭和電工株式會社