專利名稱：微鏡設備及其陣列的制作方法
技術領域：
本申請涉及微鏡設備及其陣列。
背景技術：
隨著近來光學設備的發展，使用光作為輸入和輸出大量信息和用于信息傳輸的介質的多種技術正在發展。在這些技術中，有一種掃描從比如條形碼掃描儀或掃描激光顯示器的光源發出的光束的方法。
根據其應用，要求光束掃描技術在掃描速度和范圍上變化。在現有光束掃描技術中，主要通過控制光束關于操作鏡，比如電流鏡或旋轉多角鏡的反射面的入射角度來實現多種掃描速度和范圍。
事實上，電鍍鏡適于需要幾十赫茲(Hz)的掃描速度的應用，而多角鏡能夠實現幾千赫茲(kHz)的掃描速度。
根據現有技術的發展，做出更多努力來應用光束掃描技術到新的設備和改進現有的具有應用了光束掃描技術的設備的性能。其代表性實例是投影顯示系統，HMD(頭部安裝顯示器)和激光打印機。
在其中采用這種高空間分辨率的光束掃描技術的系統中，通常提供掃描鏡用于允許高的掃描速度和大的角位移或傾角。
參考圖1，示意性地示出采用多角鏡的現有掃描設備。在掃描設備中，如圖1所示，從光源10發出的光束通過包括多種透鏡的光學單元11，且由多角鏡12反射。當由在多角鏡12下形成的驅動馬達13轉動多角鏡12時，以由多角鏡12的轉動方向(A)定義的方向掃描入射光束。
總的來說，通常將多角鏡12安裝在以高速轉動的旋轉馬達13上，使得掃描速度取決于多角鏡12的角速度，或和其成正比。
因為掃描速度取決于多角鏡12的旋轉角速度，或和其成正比，馬達的有限的旋轉速度造成多角鏡12的掃描速度的增加受限，造成高分辨率顯示的困難或不足。
另外，因為具有摩擦噪聲的基本問題的驅動馬達，難以減少系統的總尺寸和功耗，且因為其復雜的結構造成生產成本增加。作為解決這些問題的嘗試之一，提出了微鏡。
參考圖2，示意性地示出采用微鏡的現有掃描設備。在掃描設備中，如圖2所示，從光源20發出的光束通過包括多種透鏡的光學單元21，且由微鏡22反射。
換句話說，微鏡22關于作為在微鏡22的兩側形成的軸的轉矩光束23轉動，使得能夠以由微鏡22的旋轉方向(B)定義的方向掃描在微鏡22上入射的光束。
對于微鏡22，其允許掃描設備雙向和以幾十KHz的高速掃描，使得其適于高分辨率顯示。但是，如果在困難條件下以高掃描速度驅動微鏡，如圖3所示，微鏡22產生動態偏移，從而扭曲反射面，造成反射光束惡化。
可以根據任意特定應用以多種形狀制造微鏡22，且通常以方形、三角形、圓形、橢圓形和菱形制造和使用微鏡22。微鏡22根據其形狀顯示出多種動態偏移。
圖5是說明了圖4的圓形微鏡的動態偏移的仿真的視圖，其中圖4的圓形微鏡關于由轉矩光束28定義的軸轉動到兩個方向，以產生如圖5所示的動態偏移。
發明內容
因此，做出本發明以解決上述問題，且本發明的目的是提供一種微鏡設備及其陣列，配置其以在遠離鏡板的位置形成外框架，由此減少鏡板的動態偏移和防止從鏡板反射的光束的惡化。
在本發明的方面中，微鏡設備包括鏡板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架，其在遠離鏡板的周界的位置形成；多個連接件，其連接鏡板到外框架；和一對彈性柔性結構，其基于鏡板對稱地形成，且連接到外框架和用于從下面浮動鏡板和外框架的一對支撐件。
在本發明的另一方面中，微鏡設備包括鏡板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架，其在遠離鏡板的周界的位置形成；多個連接件，其連接鏡板到外框架；萬向節，其在遠離外框架的周界的位置形成；一對內部彈性柔性結構，其連接萬向節和外框架且基于鏡板對稱地形成；和一對外部彈性柔性結構，其基于鏡板對稱地形成，且連接到萬向節和用于從下面浮動鏡板、外框架和萬向節的一對支撐件。
在本發明的又一方面中，微鏡設備陣列包括基底；和在基底的上表面上以行和列的陣列形成的微鏡設備，其中微鏡設備包括鏡板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架，其在遠離鏡板的周界的位置形成；多個連接件，其連接鏡板到外框架；和彈性柔性結構，其基于鏡板對稱地形成，且連接到外框架和用于從下面浮動鏡板和外框架的一對支撐件。
圖1是采用現有多角鏡的光束掃描設備的示意性透視圖；圖2是采用微鏡設備的現有光束掃描設備的示意性透視圖；圖3是說明了微鏡設備的動態偏移的示意圖；圖4是說明了根據現有技術的圓形微鏡的示意性透視圖；圖5是說明了圖4的圓形微鏡設備的動態偏移的仿真的視圖；圖6是說明了根據本發明的微鏡設備的示例性實施例的透視圖；圖7是說明了根據本發明的微鏡設備的連接件的示意性概念圖；圖8是說明了根據本發明的微鏡設備的動態偏移的仿真的視圖；圖9是說明了根據本發明的微鏡設備的另一示例性實施例的透視圖；圖10是說明了根據本發明的圖9的微鏡設備的連接件的示意性概念圖；圖11是說明了根據本發明的微鏡設備的連接件的形狀的透視圖；圖12是說明了根據本發明的鏡板的框架形狀的透視圖；圖13是說明了根據本發明另一實施例的鏡板的框架形狀的透視圖；圖14是說明了根據本發明又一實施例的鏡板的框架形狀的透視圖；圖15是說明了根據本發明的電磁力驅動類型的微鏡設備的示意圖；圖16是說明了根據本發明的由電磁力驅動到X軸方向的微鏡設備的示意圖；圖17是說明了根據本發明的由電磁力驅動到Y軸方向的微鏡設備的示意圖；圖18是說明了根據本發明的由靜電力驅動的微鏡設備的示意圖；
圖19是說明了圖18的微鏡設備的梳齒類型電極之間產生的靜電力的示意圖。
具體實施例方式
下面詳細參考本發明的優選實施例，在附圖中示出了其實例。在任何可能的地方，在所有附圖中使用相同的參考數字表示相同或類似的部分。這些實施例不僅提供本發明的示例性教導，而且以充分的細節描述以使得本領域普通技術人員能夠實現本發明。因此，在適于避免模糊本發明的地方，省略本領域普通技術人員熟知的某些信息的描述。
圖6是說明了根據本發明的微鏡設備的示例性實施例的透視圖。參考圖6，微鏡設備包括鏡板(51)，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架(52)，其在遠離鏡板(51)的周界的位置形成；多個連接件(53A、53B、54)，其連接鏡板(51)到外框架(52)；和一對彈性柔性結構(55)，其關于鏡板(51)對稱地形成，且連接到外框架(52)和用于從下面浮動(float)鏡板(51)和外框架(52)的一對支撐件(75)。
在鏡板(51)的周界，設置了和鏡板(51)同心形成的外框架(52)以分散鏡板(51)的動態變型，且鏡板(51)和外框架(52)關于作為軸的彈性柔性結構(55)同步轉動，以反射入射光束到預定方向。
參考圖7，外框架(52)遠離鏡板(51)，且在連接一對彈性柔性結構(55)的第一線(P1)上形成連接外框架(52)到鏡板(51)的多個連接件(53A、53B、54)，且其包括關于鏡板(51)對稱地形成的第一連接件(54)，和在垂直于第一線(P1)的第二線(P2)上形成，且關于鏡板(51)對稱地形成的第二連接件。
優選地，在垂直于第一線(P1)的第二線(P2)上形成第二連接件，且其包括關于鏡板(51)對稱地形成的連接件(53A-1，53A-2，53B-1，53B-2)，以最小化微鏡的動態偏移。
因為第二連接件包括關于鏡板(51)對稱地形成、且每個在垂直于第一線(P1)的第二線(P2)上形成的連接件(53A-1，53A-2，53B-1，53B-2)，在鏡板(51)和外框架(52)之間由連接件(53A-1，53A-2，53B-1，53B-2)形成空間(91，92)，由此允許由外框架(52)吸收鏡板(51)的動態偏移。
沒有第二連接件，鏡板(51)和外框架(52)將直接連接，且如果鏡板和外框架直接連接而沒有第二連接件，外框架(52)不能吸收動態偏移，且僅像鏡板(51)一樣抖動。
同時，可不在連接一對彈性柔性結構(55)的第一線(P1)上形成第一連接件(54)，但是必須在垂直于第一線(P1)的第二線(P2)上形成第二連接件。
彈性柔性結構(55)用于連接外框架(52)到一對支撐件(75)以從下面浮動鏡板(51)和外框架(52)，且在驅動微鏡設備時用作旋轉軸以提供恢復扭矩。在這時，示意性地示出支撐件(75)的一部分。如上所述，在鏡板(51)的周界形成外框架(52)且其關于由彈性柔性結構(55)定義的軸旋轉的情況中，鏡板(51)的動態偏移能夠由外框架(52)吸收，以使得能夠保持鏡板(51)的平衡。
圖8是說明了根據本發明的微鏡設備的動態變型的仿真的視圖，其中注意到相比根據現有技術的圖5所示的情況微鏡的動態變形顯著減少。
圖9是說明了根據本發明的微鏡設備的另一示例性實施例的透視圖。微鏡設備包括鏡板(51)，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架(52)，其在遠離鏡板(51)的周界的位置形成；多個連接件(53A，53B，54)，其連接鏡板(51)到外框架(52)；萬向節(56)，其在遠離外框架(52)的周界的位置形成；一對內部彈性柔性結構(57)，其連接萬向節(56)和外框架(52)且關于鏡板(51)對稱地形成；和一對外部彈性柔性結構(58)，其關于鏡板(51)對稱地形成，且連接到萬向節(56)和用于從下面浮動鏡板(51)、外框架(52)和萬向節(56)的一對支撐件(75)。
在鏡板(51)的周界，設置了和鏡板(51)同心形成且遠離鏡板(51)的外框架(52)，且在外框架(52)的周界，形成了和鏡板(51)同心形成并遠離外框架(52)的萬向節(56)。
參考圖10，在連接一對彈性柔性結構(55)的第一線(P1)上形成連接外框架(52)到鏡板(51)的多個連接件(53A，53B，54)，且該多個連接件(53A，53B，54)包括關于鏡板(51)對稱地形成并在垂直于第一線(P1)的第二線(P2)上形成的第一連接件(54)，和在連接一對彈性柔性結構(55)的第一線(P1)上形成，且關于鏡板(51)對稱地形成的第二連接件。
萬向節(56)由內部彈性柔性結構(57)連接外框架(52)，且其由在垂直于內部彈性柔性結構(57)的線上對稱地形成的外部彈性柔性結構(58)連接到支撐件(75)。
外部彈性柔性結構(58)通過連接萬向節(56)到支撐件(75)，來從下面浮動鏡板(51)、外框架(52)和萬向節(56)。在這時示意性示出支撐件(75)的一部分。
內部和外部彈性柔性結構(57，58)在驅動微鏡設備時提供恢復扭矩且用作旋轉軸。
換句話說，關于由內部彈性柔性結構(57)定義的軸(如圖9所示連接X到X’的軸，且在下文中稱為X軸)轉動外框架(52)，且萬向節(56)關于由外部彈性柔性結構(58)定義的軸(如圖9所示連接Y到Y’的軸，且在下文中稱為Y軸)旋轉。
這種結構的微鏡設備能夠提供關于兩個軸的自由的旋轉移動。換句話說，關于由內部彈性柔性結構(57)定義的X軸的旋轉移動和關于由外部彈性柔性結構(58)定義的Y軸的旋轉移動都是可能的，且移動到每個軸方向不受萬向節(56)結構影響，使得能夠進行獨立控制，從而能夠具體實現在二維平面內具有任意角度的微鏡設備。
在圖6和9中，以比如圓形形狀，或橢圓形形狀或三角形形狀的多種形狀之一制造鏡板。根據鏡板(51)的形狀以多種形狀制造外框架(52)和萬向節(56)。在這時，以菱形或鉆石形狀形成鏡板(51)。
但是，優選地以圓形或橢圓形制造鏡板(51)以最小化鏡板(51)的動態變型，且優選地以環形形狀制造外框架(52)和萬向節(56)。
另外，可以以不同位置、形狀和數目制造連接外框架(52)到鏡板(51)第一和第二連接件，且如果第一和第二連接件的位置和形狀改變，微鏡設備的動態變形的形狀也改變。但是，如果外框架(52)由鏡板(51)和單一連接件連接，不能由外框架(52)吸收動態變型，且如果第一和第二連接件太寬，動態變形顯著增加，這應該在制造中考慮。
可以根據微鏡設備的驅動方向和驅動方法，以比如轉矩光束類型、V形光束類型和彎曲類型形狀的多種形狀形成連接微鏡到支撐件(75)的彈性柔性結構，且其組合也是可能的。
圖11是說明了具有和圖6不同形狀的連接件的示例性實施例的透視圖，其中垂直于第一連接件(54)的第二連接件在兩個區域包括多個(兩個)連接件，而且在圖11的每個(兩個)區域形成單一連接件(61)。
如圖11所示，如果單獨地形成第二連接件，其容易制造，且這種結構可應用于具有兩個旋轉軸的微鏡設備。
微鏡設備的鏡板包括具有用于反射入射光束的反射面的光圈，和用于支撐光圈并防止鏡板在掃描期間動態變型的支撐框架。反射面優選地由金屬膜，介質膜和由兩個元素分層的膜之一制成。
另外，支撐框架可具有和光圈相同的形狀，但是其它形狀可包括，例如，鉆石或五星形狀的單一結構，或以確定形狀排列的結構。
圖12是說明了根據本發明的鏡板的框架的示例性形狀的透視圖，其中支撐框架(59)具有鋸齒性陣列的形狀，其一部分被對稱地V切割。
如果以圓形光圈(60)上的鋸齒形陣列的支撐框架(59)形成鏡板，而不是圓形光圈(60)上的圓形支撐框架，支撐框架的質量和慣性部分降低，由此使得能夠限制微鏡設備的動態變形。
換句話說，由從旋轉軸到鏡板的遠端的長度(也就是，鏡板的形狀)和鏡板的厚度確定微鏡設備的動態變形的總變型，其中，當支撐框架的厚度具有比光圈大的值時，驅動微鏡設備時由支撐框架確定動態變形的大小。
因此，如果部分移開支撐框架(59)以獲得陣列的鋸齒形形狀，支撐框架的質量和慣性部分降低，由此使得能夠限制微鏡設備的動態變形。
另外，如果以陣列的鋸齒形形狀形成支撐框架，如圖12所示，而不是以預定形狀的單一結構，優點在于隨著動態變形的效果減小，鏡板的光圈的總強度增強。
當驅動微鏡設備時，如果質量從鏡板的中心到其周界逐漸減少，動態變形減小。類似的，能夠通過采用占據鏡板的質量的很大一部分的任意類型的支撐框架減少動態變形，制造支撐框架從而從鏡板的中心到其周界質量減少。
例如，如圖13所示，如果使用具有鋸齒形形狀的陣列且具有從鏡板的中心到其周界逐漸減小的厚度的支撐框架(59)，能夠充分減少支撐框架的質量和慣性，以很大程度地限定動態變形。
參考圖14，如果在支撐框架(59)的鋸齒形陣列上形成多個溝槽(59-1)，優點在于進一步降低質量和慣性。溝槽(59-1)的形狀可改變，但是在本發明中，溝槽的每個形狀是類似蜂巢的六邊形。如上所述，如果以溝槽形成具有多種形狀的支撐框架結構，或者根據支撐框架的位置不同地調整厚度，能夠減少微鏡設備的動態變形。
同時，微鏡設備另外需要驅動單元以應用驅動扭矩或驅動力作為實現掃描功能的方式，且可以采用靜電方法、電磁方法、熱方法或壓電方法驅動微鏡設備。
圖15是說明了根據本發明的電磁力驅動類型的微鏡設備的示意圖。微鏡設備包括一對第一電極(73a，73b)，其在一對支撐件(75a，75b)之中的一個支撐件(75a)上形成；一對第二電極(73c，73d)，其在一對支撐件(75a，75b)之中的另一支撐件(75b)上形成；和一對導體(70-1，70-2)，其從第一電極(73a，73b)連接第二電極(73c，73d)。
如上所述，在彈性柔性結構(55)和外框架(52)的上半球上形成第一導體(70-1)，且在彈性柔性結構(55)和外框架(52)的下半球上形成第二導體(70-2)。第一和第二導體(70-1，70-2)電氣連接在支撐件(75a，75b)上形成的電極(73a，73b，73c，73d)。
如果電流在第一和第二導體(70-1，70-2)上流動，根據Fleming的左手規則，外框架(52)的上半球以-z的方向接收力，而且外框架(52)的下半球以+z方向接收力，如圖15所示，使得鏡板(51)關于由彈性柔性結構(55)定義的軸旋轉。
可以在一個單一導體中形成第一和第二導體(70-1，70-2)。換句話說，以被設置在對稱形成的彈性柔性結構的一側，伸出到外框架(52)上且在彈性柔性結構(55)的另一側上再次接合的方式形成單一導體。
圖16是說明了根據本發明由電磁力驅動到X軸方向的微鏡設備的示意圖，其中第一X軸驅動電極(32-1，32-2)在支撐件(75)的預定區域上形成，且電氣連接第一X軸驅動電極(32-1，32-2)的第一導體(40)是在彈性柔性結構(58)、萬向節(56)，內部彈性柔性結構(57)，鏡板(51)和外框架(52)上連續形成的。
另外，在支撐件(75)的其它區域上形成第二X軸驅動電極(33-1，33-2)，且電氣連接第二X軸驅動電極(33-1，33-2)的第二導體(41)是在彈性柔性結構(58)、萬向節(56)，內部彈性柔性結構(57)，鏡板(51)和外框架(52)上和第一導體(40)對稱形成的。
如果應用電壓到第一X軸驅動電極(32-1，32-2)和第二X軸驅動電極(33-1，33-2)，以允許電流(I22，I23)在第一和第二導體(40，41)中流動，鏡板(51)關于X軸旋轉到預定程度。
圖17是根據本發明的由電磁力驅動到Y軸方向的微鏡設備的示意圖，其中電氣連接在一對支撐件(75a，75b)上形成的第一Y軸驅動電極(31-1，31-2)的第一導體(42)是在外部彈性柔性結構(58)和萬向節(56)上形成的。電氣連接第二Y軸驅動電極(34-1，34-2)的第二導體(43)是在外部彈性柔性結構(58)和萬向節(56)上形成的。因此，對稱形成第一和第二導體(42，43)。
如果應用電壓到第一Y軸驅動電極(31-1，31-2)和第二Y軸驅動電極(34-1，34-2)以允許電流在第一和第二導體(42，43)中流動，萬向節(56)關于Y軸旋轉到預定程度。
如圖16和17所示，微鏡設備能夠關于由內部彈性柔性結構(57)定義的X軸旋轉，還可關于由外部彈性柔性結構(58)定義的Y軸旋轉，且移動到每個軸方向不由使得能夠進行獨立控制的萬向節(56)結構影響，這樣能夠具體實現在2-D平面內具有隨機角度的微鏡設備。
圖18是根據本發明的由靜電力驅動的微鏡設備的示意圖。
參考和圖7相關的圖18，基于連接一對彈性柔性結構(55)的第一線(P1)關于外框架(52)的一部分對稱形成第一梳狀電極(71)。換句話說，關于垂直于彈性柔性結構(55)形成的外框架(52)的一部分對稱形成第一梳狀電極(71)用于靜電驅動。在這時，在和第一梳狀電極(71)接合的下部形成第二梳狀電極(沒有示出)，其遠離第一梳狀電極(71)的下部。
如果應用電壓到第一梳狀電極(71)和第二梳狀電極，在第一和第二梳狀電極之間產生靜電力，且產生互拉力由此驅動微鏡設備。
現在參考圖19，第一梳狀電極(71-1)和第二梳狀電極(71-2)每個隔開預定距離，且在和第一梳狀電極(71-1)接合的區域形成第二梳狀電極(71-2)。
如果應用電壓(+)到第一梳狀電極(71-1)且應用電壓(-)到第二梳狀電極(71-2)，在第一和第二梳狀電極(71-1，71-2)之間產生互拉力，以驅動微鏡設備。
如上所述，除了采用電磁力或靜電力的驅動方法，可通過在微鏡的一側形成壓電材料光圈，或通過結構的熱變型驅動根據本發明的微鏡設備。
另外，根據本發明的微鏡設備可具體表現為其中由M行和N列的矩陣結構形成陣列的M×N微鏡陣列。
換句話說，微鏡設備陣列包括基底；和在基底的上表面上以行和列的陣列形成的微鏡設備，其中微鏡設備包括鏡板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架，其在遠離鏡板的周界的位置形成；多個連接件，其連接鏡板到外框架；和一對彈性柔性結構，其關于鏡板對稱地形成，且連接到外框架和用于從下面浮動鏡板和外框架的一對支撐件。
另外，微鏡設備陣列包括基底；和在基底的上表面上以行和列的陣列形成的微鏡設備，其中微鏡設備包括鏡板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架，其在遠離鏡板的周界的位置形成；多個連接件，其連接鏡板到外框架；萬向節，其在遠離外框架的周界的位置形成；一對內部彈性柔性結構，其連接萬向節和外框架且關于鏡板對稱地形成；和一對外部彈性柔性結構，其關于鏡板對稱地形成，且連接到萬向節和用于從下面浮動鏡板、外框架和萬向節的一對支撐件。
因此，根據本發明的微鏡設備能夠具體表現為基底上的M×N微鏡陣列，其中由M個行和N個列的矩陣結構形成陣列。
如前所述，根據本發明的如上所述的微鏡設備及其陣列的優點在于能夠在遠離鏡板的位置形成外框架，由此減少鏡板的動態變形，從而防止從鏡板反射的光束的惡化，且使得能夠維持鏡板的平衡。
另外，另一優點在于支撐鏡板的光圈的框架結構在遠離鏡板的中心軸時變細，由此很大程度地減少鏡板的動態變形并降低設備的重量。
對于本領域普通技術人員來說很明顯在這里描述了新的和有用的微鏡設備及其陣列。考慮本發明的原理應用的很多可能的實施例，但是，應該認可這里關于附圖所述的實施例僅是說明性的，且不應被認為限定本發明的范圍。例如，本領域普通技術人員將任何可在不脫離本發明的精神的情況下，對設置和細節做出多種修改。因此，這里所述的本發明預期這種實施例在下面的權利要求及其等效物的范圍之內。
權利要求
1.一種微鏡設備，其包括鏡板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架，其在遠離鏡板的周界的位置形成；多個連接件，其連接鏡板到外框架；和一對彈性柔性結構，其關于鏡板對稱地形成，且連接到外框架和用于從下面浮動鏡板和外框架的一對支撐件。
2.如權利要求1所述的設備，其中，該鏡板是圓形形狀、橢圓形形狀和三角形形狀之一。
3.如權利要求1所述的設備，其中，該外框架是環形形狀。
4.如權利要求1所述的設備，其中，該對彈性柔性結構的每一個是扭矩光束類型、V形光束類型和彎曲類型形狀，或其組合之一。
5.如權利要求1所述的設備，其中，該反射面由金屬膜、介質膜或由兩個元素分層的膜制成。
6.如權利要求1所述的設備，其中，該連接外框架到鏡板的多個連接件包括第一連接件，其在連接該對彈性柔性結構的第一線上形成，且基于鏡板對稱形成；和第二連接件，其在垂直于第一線的第二線上形成，且基于鏡板對稱形成。
7.如權利要求1所述的設備，其中，該連接外框架到鏡板的多個連接件包括第一連接件，其在連接該對彈性柔性結構的第一線上形成，且基于鏡板對稱形成；和第二連接件，其關于垂直于第一線的第二線對稱形成，且基于鏡板對稱形成。
8.如權利要求1所述的設備，其中，該支撐框架在其厚度上隨著遠離中心而變細。
9.如權利要求1所述的設備，其中，該支撐框架被部分以鋸齒形狀排列。
10.如權利要求1所述的設備，其進一步包括一對第一電極，其在一對支撐件中的一個支撐件上形成；一對第二電極，其在該對支撐件的另一支撐件上形成；和一對導體，其在該對彈性柔性結構和外框架上形成從而從第一電極連接到第二電極。
11.如權利要求1所述的設備，其進一步包括第一梳狀電極，其基于連接該對彈性柔性結構的第一線在外框架的一部分上對稱形成；和第二梳狀電極，其在和第一梳狀電極接合的下部部分處形成，且遠離第一梳狀電極的下部部分形成。
12.一種微鏡設備，其包括鏡板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和設置在光圈下以支撐光圈的支撐框架；外框架，其在遠離鏡板的周界的位置形成；多個連接件，其連接鏡板到外框架；萬向節，其在遠離外框架的周界的位置形成；一對內部彈性柔性結構，其連接萬向節和外框架且基于鏡板對稱地形成；和一對外部彈性柔性結構，其基于鏡板對稱地形成，且連接到萬向節和用于從下面浮動鏡板、外框架和萬向節的一對支撐件。
13.如權利要求12所述的設備，其中，該鏡板是圓形形狀、橢圓形形狀和三角形形狀之一。
14.如權利要求12所述的設備，其中，該反射面由金屬膜、介質膜或由兩個元素分層的膜之一制成。
15.如權利要求12所述的設備，其中，該連接外框架到鏡板的多個連接件包括連接件，其在連接該對彈性柔性結構的第一線上形成，且基于鏡板對稱形成；和其它連接件，其在垂直于第一線的第二線上形成，且基于鏡板對稱形成。
16.如權利要求12所述的設備，其中，該支撐框架的一部分被以鋸齒形陣列形成。
17.如權利要求12所述的設備，其進一步包括一對第一電極，其在一對支撐件中的一個支撐件上形成；一對第二電極，其在該對支撐件中的另一支撐件處形成；和一對導體，其在該對彈性柔性結構和外框架上形成從而從第一電極連接到第二電極。
18.如權利要求12所述的設備，其進一步包括第一梳狀電極，其基于連接該對彈性柔性結構的第一線在外框架的一部分上對稱形成；和第二梳狀電極，其在和第一梳狀電極接合的下部部分處形成，且遠離第一梳狀電極的下部部分形成。
19.一種微鏡設備陣列，其包括基底；和在基底的上表面上以行和列的陣列形成的微鏡設備，其中微鏡設備包括鏡板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和在光圈下設置以支撐光圈的支撐框架；外框架，其在遠離鏡板的周界的位置形成；多個連接件，其連接鏡板到外框架；和彈性柔性結構，其基于鏡板對稱地形成，且連接到外框架和用于從下面浮動鏡板和外框架的一對支撐件。
20.如權利要求19所述的陣列，其中，該微鏡設備進一步包括萬向節，其在遠離外框架的周界的位置形成，且其中該彈性柔性結構包括一對內部彈性柔性結構，其連接萬向節和外框架且基于鏡板對稱地形成；和一對外部彈性柔性結構，其基于鏡板對稱地形成，且連接到萬向節和用于從下面浮動鏡板、外框架和萬向節的一對支撐件。
全文摘要
公開了一種微鏡設備及其陣列，其中在遠離鏡板的位置形成外框架，由此減少鏡板的動態變形，防止從鏡板反射的光束的惡化，且使得能夠維持鏡板的平衡。使得支撐鏡板的光圈的框架結構隨著遠離鏡板的中心軸變細，由此很大程度地減少鏡板的動態變形，且減輕設備的重量。
文檔編號G02B26/10GK1920613SQ20061012185
公開日2007年2月28日 申請日期2006年8月25日 優先權日2005年8月26日
發明者池昌炫 申請人:Lg電子株式會社