專利名稱：評價圖案的制作方法以及計算機程序產品的制作方法
技術領域：
本發明涉及在光學鄰近效應修正(OPCOptical ProximityCorrection)的檢驗中使用的評價圖案的制作方法以及計算機程序產品。
背景技術：
近年來的半導體制造技術的進步非常顯著，最小加工尺寸70nm大小的半導體器件已批量生產。半導體器件的微細化，已因掩膜工藝技術、光刻技術以及蝕刻技術等微細圖案形成技術的飛躍性進步而得以實現。
在圖案尺寸相當大的年代，通過直接描繪形成在晶片上的集成電路的圖案的平面形狀作為掩膜圖案的設計圖案，制作忠實于其設計圖案的掩膜圖案，并利用投影光學系統將該掩膜圖案轉印到晶片上，并蝕刻基底，而能夠在晶片上形成大致遵照設計圖案的圖案。
但是，隨著半導體器件的微細化的進步、集成電路的高集成化的進步，在各工藝中忠實地形成圖案變得困難起來，會產生最終的完成尺寸與設計圖案不符的問題。
為了解決這樣的問題，一般是實施以在晶片上轉印已形成在光掩膜上的圖案時得到期望圖案的方式改變設計數據的圖案那樣的修正(特開平09-186058號公報)。這種修正稱為光學鄰近效應修正(以下，簡稱為OPC)，此前提出、實施有各種方法。
在使用OPC的情況下，需要評價修正的正確性的技術。作為檢驗OPC的正確性的方法之一，有使用了評價圖案的方法。
用于制作評價圖案的專用的軟件(程序)至今還沒有。因此，評價圖案是使用通用的程序語言制作的。圖案形狀的變化越多，檢驗精度就越高。但是，因為圖案形狀的變化由人來考慮，所以容易地制作豐富的圖案變化這一點處于困難的狀態。
發明內容
根據本發明的一個方面，提供一種評價圖案的制作方法，包括基于包含多種源圖案的源圖案組和單元框，制作多種單元圖案，上述多種單元圖案的每一個包含配置在上述單元框內的、與上述源圖案對應的圖案；以及基于上述多種單元圖案和具有上述單元框的N倍(N是正整數)的尺寸的配置框，制作多種評價圖案，上述多種評價圖案的每一個包含以用上述多種上述單元圖案鋪滿上述配置框內的方式配置在上述配置框內的上述多種評價單元圖案。
根據本發明的另一方面，提供一種計算機程序產品，被配置為存儲程序指令，該程序指令用于在計算機系統上執行使該計算機系統執行以下步驟基于包含多種源圖案的源圖案組和單元框，制作多種單元圖案，上述多種單元圖案的每一個包含配置在上述單元框內的、與上述源圖案對應的圖案；以及基于上述多種單元圖案和具有上述單元框的N倍(N是正整數)的尺寸的配置框，制作多種評價圖案，上述多種評價圖案的每一個包含以用上述多種上述單元圖案鋪滿上述配置框內的方式配置在上述配置框內的上述多種評價單元圖案。
圖1是示出實施例1的評價圖案的制作方法的流程圖；圖2A-2F是示出源圖案組的例子的圖；圖3A-3H是示出另一源圖案組的例子的圖；
圖4是用于說明單元圖案的制作方法的圖；圖5是用于說明評價圖案的制作方法的圖；圖6是示出實施例2的評價圖案的制作方法的流程圖；圖7A～7D是示出以描繪網格為單位制作的單元圖案的圖；圖8是示出實施例3的評價圖案的制作方法的流程圖；圖9是示出適合于設計規則的評價圖案候補的例子的圖；圖10是示出實施例4的評價圖案的制作方法的流程圖；圖11是示出實施例5的評價圖案的制作方法的流程圖；圖12是示出實施例6的評價圖案的制作方法的流程圖；圖13是用于說明實施例6的單元圖案的配置階段的圖；圖14是示出實施例7的評價圖案的制作方法的流程圖；圖15A～15D是用于說明實施例7的單元圖案的制作階段的圖；圖16是示出實施例8的評價圖案的制作方法的流程圖；圖17A～17D是用于說明實施例8的單元圖案的制作階段的圖；圖18是示出實施例9的評價圖案的制作方法的流程圖；圖19是示出實施例10的評價圖案的制作方法的流程圖；圖20是示出實施例11的評價圖案的制作方法的流程圖；圖21是示出實施例12的OPC的檢驗方法的流程圖；圖22是示出比較例的OPC的檢驗方法的流程圖；圖23是示出使用了實施例的OPC程序的OPC處理的流程圖；圖24是使用了比較例的OPC程序的OPC處理的流程圖；圖25是示出比較例的評價圖案的制作方法的流程圖；圖26A～26C是示出基本圖案的一個例子的圖；以及圖27是用于說明實施例的一種計算機程序產品的圖。
具體實施例方式
以下，參照
本發明的實施例。
(實施例1)
圖1是示出實施例1的評價圖案的制作方法的流程圖。
首先，將包含多種源(種子)圖案的源圖案組D1以及單元框D2用于輸入數據而制作多種單元圖案D3(輸出數據)(步驟S1)。
在圖2A～2F中示出源圖案組D1的例子。
在圖2A～2F中，SP表示源圖案，SF表示源圖案框。源圖案框SF是源圖案SP的框。源圖案框SF內的白色區域表示空白(間隔)，斜線的區域表示圖案。在此，源圖案框SF的形狀是正方形。
在圖2A中，示出源圖案框SF內的全體是空白的源圖案SP。在圖2B中，示出只在分割成四塊的源圖案框SF內的左上方的矩形區域有圖案的源圖案SP。在圖2C中，示出只在源圖案框SF內的左半部分的區域有圖案的源圖案SP。在圖2D中，示出只在分割成四塊的源圖案框SF內的右上方的區域有空白的源圖案SP。在圖2E中，示出源圖案框SF內全部是圖案的源圖案SP。此外，在圖2F中，示出在源圖案框SF內的兩側有圖案的源圖案SP。
在圖3A～3H中，示出另一源圖案組D1的例子。與圖2A～2F同樣，在圖3A～3H中，源圖案框SF也是正方形的，源圖案框SF內的白色區域也表示空白，斜線的區域也表示圖案。
如圖2A～2F以及圖3A～3H所示，在源圖案SP中選擇具有簡單形狀的圖案。因而，源圖案SP的制作是容易的。源圖案SP的制作當然也可以由軟件(程序)以及人的任意一方進行。
圖4示出基于源圖案組D1以及單元框D2制作多種單元圖案D3的方法。
單元框D2的縱邊以及橫邊的長度(單元框尺寸)L1是將源圖案框SF的縱邊以及橫邊分別放大相等倍數后的長度。單元框D2的形狀是正方形。隨著源圖案框SF的縱邊以及橫邊的放大，源圖案SP也同樣放大。該放大后的圖案是單元圖案D3。
因而，通過將指定了源圖案SP的源圖案框SF的一邊的長度放大(改變)與單元框尺寸L1對應的量，來得到單元圖案D3。例如，在源圖案框SF的一邊的長度是L1/4的情況下，通過將已指定了源圖案SP的源圖案框SF的一邊的長度L1/4變為L(規定尺寸)，來得到單元圖案D3。由此，多種單元圖案D3是通過指定規定尺寸L，并將指定了各源圖案SP的源圖案框S的一邊的長度L1/4變為L來得到的。
接著，將多種單元圖案D3以及配置框D4用于輸入數據而進行單元圖案的配置(步驟S2)，從而制作多種評價圖案D5。
圖5示出基于單元圖案D3以及配置框D4制作評價圖案D5的方法。圖5的兩種評價圖案D5是布線圖案用的評價圖案。配置框D4的形狀是正方形。在圖5中，將配置框D4的一邊的長度L2設置成OPC的光學半徑的二倍，使用在圖2A～2F中所示的6種單元圖案D3。
如圖5所示，各評價圖案D5是以用多種單元圖案D3鋪滿(平鋪)配置框D4內的方式將多種單元圖案D3配置在配置框D4內而成的圖案。
通過改變多個單元圖案D3的配置，能夠得到所需數量的評價圖案D5。在此，制作全部的配置變化。
單元圖案D3的種類的總數M比構成評價圖案D5所需的單元圖案D3的數量(N)要少(M＜N)。因此，在構成評價圖案D5的N個單元圖案D3中，存在同種類的單元圖案D3。
單元圖案D3的種類的總數M，在比構成評價圖案D5所需的單元圖案D3還多的情況下或者是相同的情況下(M≥N)，還存在不使用的單元圖案D3的情況。
圖25示出比較例的評價圖案的制作方法的流程圖。
首先，將表現基本圖案的坐標點D101用于輸入數據而制作基本圖案(步驟S101)，來制成基本單元D102(輸出數據)。
圖26A示出基本圖案的一個例子。基本圖案是需要能夠一筆繪成的圖案。這是因為在比較例的評價圖案的制作方法中使用的程序語言是這種規則(一筆繪成)的緣故。圖26B示出表現基本圖案的坐標點(黑點)。
接著，將要變動(縮放)基本圖案中的值(尺寸)的位置(變動位置)及該值(變動值)D103用于輸入數據而進行基本圖案的值變動(步驟S102)，來制作評價圖案D104。
圖26C示出在圖26A中所示的基本圖案中的變動位置10的例子。
在比較例的情況下，通過制作基本圖案，進而改變其變動位置10以及變動值，來得到需要數量的評價圖案。
在上述的比較例中，存在三個問題。
首先，第1個問題是人們必須考慮圖案形狀的變化(基本圖案的形狀、變動位置、變動值)。因此，實現豐富的圖案變化變得很困難。
第2個問題是基本圖案只能處置能夠以一筆繪成實現的圖案而不能處置其他圖案。這也難以實現豐富的變化。
第3個問題是生成需要數量的評價圖案費功夫。即，每次制作基本圖案，必須輸入坐標點，從而花費很大功夫。
與此相對，在本實施例的情況下，由于只需要用軟件(程序)或者由人制作具有簡單形狀的源圖案組D1以及單元框D2即可，所以第一個問題得到解決。
對于第2個問題，在本實施例的情況下，由于不使用在比較例中制作的那樣的基本圖案，所以第2個問題也得到解決。另外，如果采用本實施例，則如圖5所示，所制作的是并非以一筆繪成實現的評價圖案D5。
在本實施例的情況下，由于能夠通過利用計算機等信息處理裝置執行步驟S1、S2，來容易地制作多種評價圖案，所以第3個問題也得到解決。
因而，如果采用本實施例，則能夠容易地制作豐富的圖案變化。
(實施例2)圖6是示出實施例2的評價圖案的制作方法的流程圖。此外，在以下的圖中，對于與已有的圖對應的部分標注與已有的圖相同的符號，并省略詳細說明。
本實施例與實施例1的不同之處在于除了源圖案組D1以及單元框D2之外，還將描繪網格(設計網格)Dg用于輸入數據，來進行單元圖案的制作。
因而，單元圖案D3，如圖7A～7D所示，是以描繪網格Dg為單位制成的。通過將描繪網格Dg選作為單元圖案D3的單位，來增加圖案變化。
在本實施例中也可以得到與實施例1同樣的效果。進而，如果采用本實施例，則能夠制作網羅了在OPC的檢驗中需要的全部變化的評價圖案，其結果是，能夠完全省略由比較例的OPC的檢驗方法實現的中規模·大規模數據檢驗。有關該OPC的檢驗方法，在實施例12中進一步詳細說明。
(實施例3)圖8是示出實施例3的評價圖案的制作方法的流程圖。
在本實施例中，將在單元圖案的配置階段(步驟S2)中制作的多個評價圖案分別作為評價圖案候補D5c。利用使用了設計規則DR的設計規則檢驗來檢驗這些評價圖案候補D5c，并抽取出適合于設計規則的圖案(步驟S3)。將抽取出的評價圖案候補D5c作為評價圖案D5。在圖9中示出經設計規則檢驗的檢驗、適合于設計規則的評價圖案候補D5c，即，評價圖案的一個例子。
如果采用本實施例，則除了與實施例1同樣的效果之外，還可以得到能夠抑制存在龐大化的可能性的評價圖案數量的效果。
(實施例4)圖10是示出實施例4的評價圖案的制作方法的流程圖。
本實施例與實施例1的不同之處在于在單元圖案的配置階段(步驟S2)中，并不制作全部的配置變化，而是隨機地配置單元圖案D3。作為隨機地配置單元圖案D3的方法，例如可以列舉出使用了蒙特卡洛法的方法。
如果采用本實施例，則除了與實施例1同樣的效果之外，還可以得到將存在龐大化的可能性的評價圖案數量抑制在可以實際操作的數量的效果。
此外，代替使用蒙特卡洛法而隨機地配置單元圖案D3，也可以改變單元圖案D3的發生概率，來配置單元圖案D3。
在使用蒙特卡洛法的情況下，與圖2A～2F的源圖案組D1對應的單元圖案D3的發生概率全部是1/6，但是，例如也可以將與圖2A的源圖案組D1對應的單元圖案D3的發生概率設為1/2，而將其他的發生概率設為1/12。
這種配置方法，在使用了蒙特卡洛法的方法中，可以通過以使某一單元圖案D3的發生概率與其他的單元圖案D3的發生概率不同的方式增加修正來實現。
(實施例5)圖11是示出實施例5的評價圖案的制作方法的流程圖。
本實施例與實施例1的不同之處在于在單元圖案的配置階段(步驟S2)中，以在連接的單元圖案D3彼此之間不會產生以點連接的位置的方式制作配置變化。
如果采用本實施例，則能夠得到與實施例1同樣的效果。進而，如果采用本實施例，則通過禁止點接來配置單元圖案D3，可以得到將存在龐大化的可能性的評價圖案數量抑制在實際的數量的效果。進而，因為點接的位置不會在晶片上實現的可能性較高，所以不會制成無用的評價圖案。
(實施例6)圖12是示出實施例6的評價圖案的制作方法的流程圖。
本實施例與實施例1的不同之處在于在單元圖案的配置階段(步驟S2)中，包括在配置了單元圖案D3之后，如圖13所示，通過使空白與圖案的邊界線(水平線)Lh向上或者向下移動，或者使空白與圖案的邊界線(垂直線)Lv向右或者向左移動，來變動空白的幅度或者線的幅度的值的階段；以及將變動空白的幅度或者線的幅度的值而得到的圖案添加到評價圖案D5中的階段。
如果采用本實施例，則可以得到與實施例1同樣的效果。進而，如果采用本實施例，則通過將分配空白的幅度或者線的幅度的值而得到的圖案也作為評價圖案D5來利用，可以使評價圖案的變化更加豐富。
(實施例7)圖14是示出實施例7的評價圖案的制作方法的流程圖。
本實施例與實施例1的不同之處在于在單元圖案的制作階段(步驟S1)中，包括在制作單元圖案D3之后，如圖15A～15D所示，使制作的單元圖案D3(旋轉角度θ＝0度)旋轉(θ＝90度，180度，270度)的階段；以及將使單元圖案D3旋轉而得到的圖案添加到單元圖案D3中的階段。
如果采用本實施例，則可以得到與實施例1同樣的效果。進而，如果采用本實施例，則通過將使單元圖案D3旋轉而得到的圖案也作為單元圖案D3來利用，而可以高效率地增加評價圖案的變化。
(實施例8)圖16是示出實施例8的評價圖案的制作方法的流程圖。
本實施例與實施例2的不同之處在于在單元圖案的制作階段(步驟S1)中，包括在制作單元圖案D3之后，如圖17A～17D所示，將制作的單元圖案D3僅在一個方向上放大或者縮小的階段；以及將通過僅在一個方向上放大或者縮小該單元圖案D3而得到的圖案添加到單元圖案D3中的階段。
如果采用本實施例，則可以得到與實施例2同樣的效果。進而，如果采用本實施例，則通過只將僅在一個方向上使單元圖案D3放大或者縮小而得到的圖案作為添加的單元圖案D3來利用，而能夠有效地抑制龐大化的評價圖案數量。
(實施例9)圖18是示出實施例9的評價圖案的制作方法的流程圖。
本實施例與實施例1的不同之處在于在單元圖案的制作階段(步驟S1)中，包括在制作單元圖案D3之后，使制作的單元圖案D3縮小的階段；以及將該縮小后的單元圖案D3添加到單元圖案D3中的階段。所謂上述縮小，指按照縮放規則將某一代的圖案變換為更微細的一代的圖案。
如果采用本實施例，則可以得到與實施例1同樣的效果。進而，如果采用本實施例，因為通過將縮小單元圖案D3而得到的圖案也作為單元圖案D3來利用，還可以得到不同代的評價圖案，所以可以使評價圖案的變化更加豐富。
(實施例10)
圖19是示出實施例10的評價圖案的制作方法的流程圖。
本實施例與實施例1的不同之處在于作為單元框D2，使用預先準備的單元框(圖1的單元框D2)的尺寸(單元框尺寸L)被調整后的框。
如果采用本實施例，則可以得到與實施例1同樣的效果。進而，如果采用本實施例，則通過使用以尺寸變大的方式被調整后的單元框，而可以抑制龐大化的評價圖案數量，相反，通過使用以尺寸減小的方式被調整后的單元框，而能夠增加評價圖案的變化。
此外，如果添加調整預先準備的單元框(圖1的單元框D2)的尺寸的步驟，則不需要預先準備調整過尺寸的單元框。
(實施例11)圖20示出實施例11的評價圖案的制作方法的流程圖。
本實施例與實施例2的不同之處在于通過加粗描繪網格Dg，來抑制龐大化的評價圖案數量。
(實施例12)圖21是示出實施例12的OPC的檢驗方法的流程圖。
首先，將用實施例1-11中的任一方法制作的評價圖案(小規模數據)D5和作為檢驗對象的OPC程序D11用于輸入數據，利用用于檢驗OPC程序的檢驗程序，進行OPC程序的第1檢驗(步驟S11)。第1檢驗(步驟S11)與后面說明的比較例的小規模數據檢驗對應。
接著，根據第1檢驗的結果，判斷在OPC程序中是否有錯誤(步驟S12)。
在有錯誤的情況下，進行OPC程序D11的調整(步驟S13)。其后，再次進行第1檢驗。步驟S11-S13的循環例如在達到預先確定的次數時結束，而不會無限循環。
在沒有錯誤的情況下，將實際的產品的設計圖案數據(大規模數據)D12用于輸入數據，利用用于檢驗OPC程序的檢驗程序進行OPC程序的第2檢驗(步驟S14)。第2檢驗(步驟S14)與后面說明的比較例的大規模數據檢驗對應。
設計圖案數據D12的數據量一般比評價圖案D5的數據量要多。在此，在本實施例的情況下，由于評價圖案D5的圖案變化豐富，所以可以省略第2檢驗(步驟S14)。即，還存在評價圖案D5還包含在第2檢驗(步驟S14)中使用的數據的情況。
接著，根據第2檢驗的結果，判斷在OPC程序中是否有錯誤(步驟S15)。
在有錯誤的情況下，進行OPC程序D11的調整(步驟S16)。其后，再次進行第1檢驗處理。步驟S14-S16的循環例如在達到預先確定的次數時結束。
在沒有錯誤的情況下，認定為能夠發布的OPC程序，作為實際的產品(步驟S17)。
在圖22中示出比較例的OPC的檢驗方法的流程圖。
比較例的OPC的檢驗方法具有三個檢驗階段(小規模數據檢驗S21、中規模數據檢驗S23、大規模數據檢驗25)以及三個判斷階段S22、S24、S26。
與此相對，在本實施例的情況下，至多用二個檢驗步驟S11、S14以及二個判斷步驟S12、S15即可。因而，如果采用本實施例，則與比較例相比，可以在短時間內進行OPC的檢驗。
比較例的OPC的檢驗方法，作為小規模數據D21，需要準備標準圖案、過去引起問題的圖案以及自動發生制成的圖案。進而，在比較例的情況下，還需要準備在本實施例中未使用的中規模數據22。因而，比較例在OPC檢驗用的數據的準備中耗費時間。與此相對，在本實施例的情況下，由于不需要中規模數據D22，而且相當于小規模數據D21的評價圖案D5容易制作，所以與比較例相比，在數據的準備中不耗費時間。
圖23示出使用了利用本實施例的OPC的檢驗方法判斷為沒有錯誤的OPC程序的OPC處理的流程圖。
使用OPC程序D11和產品的設計圖案數據D12進行OPC處理(步驟S31)。根據需要，使用檢驗程序D32進行OPC處理的檢驗以及確認(步驟S32、S33)。
本實施例的OPC程序D11是使用圖案變化豐富的評價圖案D5制成的程序。因此，推定為實施例的評價圖案D5包含有在OPC處理中產生的所有圖案(附加圖案、變形圖案)。因而，本實施例的OPC處理基本上不需要檢驗以及確認(步驟S32，S33)。
圖24示出使用利用比較例的OPC的檢驗方法判斷為沒有錯誤的OPC程序的OPC處理的流程圖。
使用OPC程序31和產品的設計圖案數據D12進行OPC處理(步驟S41)。
接著，使用檢驗程序D32進行OPC處理的檢驗(步驟S42)。
檢驗的結果，當在OPC處理中有錯誤時，進行OPC程序的調整以及設計數據的修正，進而，對出現錯誤的圖案(設想外圖案)進行登記，作為小規模檢驗用圖案(步驟S44)。
比較例的OPC程序D31是使用欠缺圖案變化的評價圖案制成的程序。因此，比較例的評價圖案不保證包含有在OPC處理中產生的圖案(附加圖案、變形圖案)。因而，比較例的OPC處理必須進行檢驗。
以上說明的實施例的評價圖案的制作方法，如圖27所示，還可以作為記錄有用于使包含計算機20的系統執行的程序21的計算機程序產品(例如，CD-ROM、DVD)22來實現。
例如，實施例的評價圖案的制作方法的計算機程序產品是用于使計算機執行包含相當于上述實施例的步驟S1、S2或者步驟S1-S3的步驟(instruction，指令)的步驟(instruction，指令)的產品。
上述計算機程序產品中的程序，使用計算機內的CPU以及存儲器(也可以并用外部存儲器)等硬件資源來實現。CPU從存儲器內讀取所需數據，對該數據進行上述步驟。各步驟的結果，根據需要暫時存儲在存儲器內，在其他的步驟中需要時讀出。
對于本領域的技術人員來說，將容易地聯想到其他優點和變形。因此，本發明在其更概括的方面，并不限于上面示出和描述的細節以及典型實施例。因此，可以實現各種變形，而不會背離由所附權利要求定義的本發明總體發明構思的精神和范圍。
權利要求
1.一種評價圖案的制作方法，包括基于包含多種源圖案的源圖案組和單元框，制作多種單元圖案，上述多種單元圖案的每一個包含配置在上述單元框內的、與上述源圖案對應的圖案；以及基于上述多種單元圖案和具有上述單元框的N倍(N是正整數)的尺寸的配置框，制作多種評價圖案，上述多種評價圖案的每一個包含以用上述多種上述單元圖案鋪滿上述配置框內的方式配置在上述配置框內的上述多種評價單元圖案。
2.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，其中基于包含上述多種源圖案的上述源圖案組和上述單元框制作上述多種單元圖案包括除了上述源圖案組和上述單元框以外，還使用描繪網格，制作遵循上述描繪網格的多種單元圖案。
3.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，其中基于包含上述多種源圖案的上述源圖案組和上述單元框制作上述多種單元圖案包括除了上述源圖案組和上述單元框以外，還使用設計規則，制作遵循上述設計規則的多種單元圖案。
4.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，其中制作上述多種評價圖案包括利用蒙特卡洛法在上述配置框內隨機地配置上述多種評價單元圖案。
5.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，還包括抽取出上述多種評價圖案之中適合于設計規則的圖案，并將上述抽取出的評價圖案作為評價圖案使用。
6.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，還包括將移動上述評價圖案內的空白與圖案的邊界線而得到的圖案添加到上述多種評價圖案中。
7.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，還包括將旋轉上述單元圖案而得到的圖案添加到上述多種單元圖案中。
8.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，還包括將在一個方向上放大或者縮小上述單元圖案而得到的圖案添加到上述多種單元圖案中。
9.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，還包括將縮小上述單元圖案而得到的圖案添加到上述多種單元圖案中。
10.如權利要求1所述的評價圖案的制作方法，其中上述單元框是調整了預先準備的單元框的尺寸后的框。
11.一種計算機程序產品，被配置為存儲程序指令，該程序指令用于在計算機系統上執行使該計算機系統執行以下步驟基于包含多種源圖案的源圖案組和單元框，制作多種單元圖案，上述多種單元圖案的每一個包含配置在上述單元框內的、與上述源圖案對應的圖案；以及基于上述多種單元圖案和具有上述單元框的N倍(N是正整數)的尺寸的配置框，制作多種評價圖案，上述多種評價圖案的每一個包含以用上述多種上述單元圖案鋪滿上述配置框內的方式配置在上述配置框內的上述多種評價單元圖案。
全文摘要
一種評價圖案的制作方法，包括基于包含多種源圖案的源圖案組和單元框，制作多種單元圖案，上述多種單元圖案的每一個包含配置在上述單元框內的、與上述源圖案對應的圖案；以及基于上述多種單元圖案和具有上述單元框的N倍(N是正整數)的尺寸的配置框，制作多種評價圖案，上述多種評價圖案的每一個包含以用上述多種上述單元圖案鋪滿上述配置框內的方式配置在上述配置框內的上述多種評價單元圖案。
文檔編號G03F1/68GK1877586SQ200610087990
公開日2006年12月13日 申請日期2006年6月9日 優先權日2005年6月9日
發明者前田志門 申請人:株式會社東芝