光致抗蝕劑組合物的制作方法

專利名稱：光致抗蝕劑組合物的制作方法
背景技術：
本發明涉及光敏光致抗蝕劑組合物和生產這樣的組合物的方法。特別地，本發明涉及光致抗蝕劑組合物，其包含如下組合物該組合物包含a)用約3-約7wt％萘醌二疊氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆樹脂；b)一種或多種稀釋樹脂；和c)至少一種溶劑。這樣的光致抗蝕劑組合物提供正性光致抗蝕劑，該正性光致抗蝕劑顯示對較厚膜而言的低吸收，良好的感光速度(photospeed)，可調節的對比度，良好的保存期限穩定性，低脫氣潛在可能性，基本無結晶，優異的涂覆性能和寬譜帶敏感性。
光致抗蝕劑組合物用于制備微型化電子組件用的微平板印刷工藝中，如用于計算機芯片和集成電路的制造中。通常，在這些工藝中，首先將光致抗蝕劑組合物的膜的薄涂層施加到襯底材料，如用于制造集成電路的硅晶片上。然后烘烤經涂覆的襯底以蒸發光致抗蝕劑組合物中的任何溶劑和將涂層固定到襯底上。然后將襯底的經烘烤-涂覆的表面進行成像式輻射曝光。
此輻射曝光引起涂覆表面的曝光區域中的化學轉變。可見光、紫外(UV)光、電子束和X射線輻射能是目前通常用于微平板印刷工藝的輻射類型。在此成像式曝光之后，采用顯影劑溶液處理經涂覆的襯底以溶解和除去襯底的涂覆表面的輻射曝光區域(在正性光致抗蝕劑的情況下)或未曝光區域(在負性光致抗蝕劑的情況下)。
存在兩種類型的光致抗蝕劑組合物，負性作用和正性作用的。當將負性作用的光致抗蝕劑組合物對輻射成像式曝光時，對輻射曝光的抗蝕劑組合物的區域變得較不可溶于顯影劑溶液(如發生交聯反應)而光致抗蝕劑涂層的未曝光區域保持相對可溶于這樣的溶液。因此，采用顯影劑對經曝光的負性作用抗蝕劑的處理引起光致抗蝕劑涂層的未曝光區域的脫除和在涂層中形成負像，由此露出在其上沉積光致抗蝕劑組合物的在下方的襯底表面的所需部分。
另一方面，當將正性作用光致抗蝕劑組合物對輻射成像式曝光時，對輻射曝光的光致抗蝕劑組合物的那些區域變得更可溶于顯影劑溶液(如發生重排反應)而未曝光的那些區域保持相對不可溶于顯影劑溶液。因此，采用顯影劑對經曝光的正性作用光致抗蝕劑的處理引起涂層曝光區域的脫除和在光致抗蝕劑涂層中形成正像。再次，露出在下方的襯底表面的所需部分。
在此顯影操作之后，可以將這時部分地未保護的襯底采用襯底-蝕刻劑溶液或等離子體氣體等進行處理。蝕刻劑溶液或等離子體氣體蝕刻其中在顯影期間除去了光致抗蝕劑涂層處的襯底部分。其中光致抗蝕劑涂層仍然保留的襯底區域被保護和因此，在襯底材料中形成對應于用于輻射成像式曝光的光掩模的蝕刻的圖案。后續，可以在剝離期間除去光致抗蝕劑涂層的剩余區域，留下清潔的經蝕刻的襯底表面。在一些情況下，期望在顯影步驟之后和在蝕刻步驟之前熱處理剩余的光致抗蝕劑層，以增加它對在下方的襯底的粘合作用和它的抗蝕刻溶液的性能。
正性作用光致抗蝕劑組合物目前相對于負性作用抗蝕劑是有利的，這是由于前者通常具有更好的分辨能力和圖案轉印特性。光致抗蝕劑分辨率定義為在曝光和顯影之后抗蝕劑組合物可以高圖像邊緣銳度從光掩模轉印到襯底的最小特征。在目前的許多制造應用中，約小于一微米的抗蝕劑分辨率是相當常見的。此外，幾乎總是期望顯影的光致抗蝕劑壁輪廓相對于襯底是幾乎垂直的。在抗蝕劑涂層的顯影和未顯影區域之間的這樣劃界轉變成掩模圖像向襯底上的精確圖案轉印。
先前已進行努力以將DNQ基團連接到酚醛清漆樹脂上。然而，這些努力一直針對提供用作成膜組分和光敏劑兩者的樹脂。由于不必加入單獨的光活性組分以光敏化光致抗蝕劑組合物，這使得能夠生產單一組分光致抗蝕劑。涉及此技術的最初專利之一是U.S.專利3,046,120。將鄰甲酚/甲醛酚醛清漆樹脂用萘醌-(1，2)-二疊氮化物-(2)-5-磺酰氯進行酯化以提供可用于生產印刷線路板的單一組分光敏組合物。涉及將光敏化合物與酚醛樹脂結合的這些嘗試的其它專利是U.S.專利3,635,709、4,123,279和4,306,011。
U.S.專利5,178,986涉及可用作正性作用光致抗蝕劑的光敏混合物。該混合物包含一種化合物，該化合物包含由DNQ和低聚酚生成的反應產物。用于提供包含酚醛樹脂和DNQ生成的酯化產物的光致抗蝕劑組合物的更近期嘗試描述于U.S.專利5,279,918。將鄰醌二疊氮化物磺酰氯與相對低分子量的酚醛清漆樹脂縮合，其中將40％-90％酚羥基與DNQ基團縮合。這在酚醛清漆樹脂主鏈上提供高濃度DNQ部分。
在U.S.專利5,422,221中公開了一種光致抗蝕劑組合物，其中酚醛清漆樹脂用作組合物的堿溶性成膜樹脂和光敏組分兩者。這由如下方式完成將酚醛清漆樹脂中羥基的氫原子采用DNQ基團以0.03-0.27mol/氫原子的比例替代(據信等同于3-27％酯化度)。公開了，大于0.27mol％[sic]取代度導致得到較不可溶于光致抗蝕劑溶劑中的酚醛清漆樹脂，和小于0.03mol％[sic]取代度提供在膜保持力方面太低的酚醛清漆樹脂，使得獲得的光致抗蝕劑組合物不能形成圖案和因此是無用的。
U.S.專利5,529,880公開了包含如下物質的光致抗蝕劑組合物1)由DNQ和含有側向酚羥基的酚醛清漆樹脂生成的酯化產物和2)含有2-5個苯環和至少4個酚羥基的酚采用DNQ的酯化產物，其中至少50％的它的酚羥基用DNQ酯化。控制用于生產酯化產物1)的酯化反應，使得將最大20％的酚羥基酯化。
U.S.專利5,723,254公開了包含光活性組分混合物的正性作用光致抗蝕劑組合物。該混合物的一種組分是由DNQ與低分子量酚醛樹脂生成的酯化產物。另一種組分是由DNQ與含有1-3個芳基環和1-3個羥基的低分子量酚生成的酯化產物。可以存在的第三光活性組分是由DNQ與相對高分子量多元多核酚生成的酯化產物。
發明概述本發明涉及一種光致抗蝕劑組合物，其包含如下組合物，該組合物包含a)用約3-約7wt％萘醌二疊氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆樹脂；b)一種或多種稀釋樹脂；和c)至少一種溶劑。
用于該要求保護的組合物的經部分酯化的酚醛清漆是優選具有重均分子量為約1,000-30,000，優選約1,500-10,000的水不溶性、堿溶性成膜酚醛樹脂。用于酚醛清漆樹脂的部分酯化的DNQ包含替代在酚醛清漆樹脂中的羥基的氫原子的醌二疊氮化物磺酰基。所述一種或多種稀釋樹脂稀釋組合物中經部分酯化的酚醛清漆樹脂的數量以允許得到更好的溶液，粘度，和在組合物和獲得的光致抗蝕劑方面其它的物理和化學益處。適用于本發明中的溶劑可以是本領域技術人員公知的任何溶劑，但優選是可以選自如下的溶劑或溶劑摻混物單獨或與苯甲醚結合的2-庚酮、單獨或與乙酸正丁酯或丙二醇甲基醚結合的乳酸乙酯，或單獨或與3-乙氧基丙酸乙酯結合的丙二醇甲基醚。
本發明進一步包括在襯底上形成圖像的方法。將襯底采用本發明的光致抗蝕劑組合物的膜涂覆。將該光致抗蝕劑膜通過掩模用紫外輻射成像式曝光并根據本領域技術人員已知的那些步驟進行加工。
發明詳述本發明涉及一種光致抗蝕劑組合物，其包含如下組合物，該組合物包含a)用約3-約7wt％萘醌二疊氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆樹脂；b)一種或多種稀釋樹脂；和c)至少一種溶劑。
用于該要求保護的組合物的部分酯化的酚醛清漆是優選具有重均分子量為約1,000-30,000，優選約1,500-10,000的水不溶性、堿溶性成膜酚醛樹脂。用于酚醛清漆樹脂的部分酯化的DNQ包含替代在酚醛清漆樹脂中的羥基的氫原子的醌二疊氮化物磺酰基。所述一種或多種稀釋樹脂稀釋組合物中經部分酯化的酚醛清漆樹脂的數量以允許得到更好的溶液，粘度，和在組合物和獲得的光致抗蝕劑方面其它的物理和化學益處。適用于本發明中的溶劑可以是本領域技術人員公知的任何溶劑，但優選是可以選自如下的溶劑或溶劑摻混物單獨或與苯甲醚結合的2-庚酮，單獨或與乙酸正丁酯或丙二醇甲基醚結合的乳酸乙酯，或單獨或與3-乙氧基丙酸乙酯結合的丙二醇甲基醚。
本發明進一步包括在襯底上形成圖像的方法。將襯底采用本發明的光致抗蝕劑組合物的膜涂覆。將光致抗蝕劑膜通過掩模用紫外輻射成像式曝光并根據本領域技術人員已知的那些步驟進行加工。
包含要求保護的組合物中用DNQ部分酯化的成膜酚醛清漆樹脂的溶液是極粘性的和難以在配制光致抗蝕劑組合物過程中處理。已經發現通過將稀釋樹脂加入到包含該部分酯化的酚醛清漆樹脂的溶液中，組合物的粘度和其它物理和化學性能得到改進和組合物變得非常適用于形成光致抗蝕劑。
根據本發明部分酯化的酚醛清漆樹脂由如下方式制備在酸或二價金屬鹽催化劑存在下，在合適的反應溶劑中，將酚或取代酚進行酚或取代酚(或其結合物)與醛或酮(或其結合物)的加成縮合反應，所述醛包括甲醛產生源，，如光致抗蝕劑領域技術人員公知的那樣。合適的酚包括，但不限于苯酚、氯苯酚、氟苯酚、間甲酚、鄰甲酚、對甲酚、間乙基苯酚、鄰乙基苯酚、對乙基苯酚、間丁基苯酚、鄰丁基苯酚、對丁基苯酚、三甲基甲硅烷基苯酚、氯甲基苯酚、2，3-二甲苯酚、2，4-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、2，6-二甲苯酚、3，4-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、3，6-二甲苯酚、鄰苯基苯酚、間苯基苯酚、對苯基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、2，3，5-三乙基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚、4-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、2-叔丁基苯酚、2-叔丁基-4-甲基苯酚、2-叔丁基-5-甲基苯酚和其它烷基取代的苯酚；對甲氧基苯酚、間甲氧基苯酚、鄰甲氧基苯酚、對乙氧基苯酚、間乙氧基苯酚、鄰乙氧基苯酚、鄰丙氧基苯酚、對丙氧基苯酚、間丙氧基苯酚和其它烷氧基取代的苯酚；鄰異丙烯基苯酚、對異丙烯基苯酚、2-甲基-4-異丙烯基苯酚、2-乙基-4-異丙烯基苯酚和其它異丙烯基取代的苯酚；苯基苯酚和其它芳基取代的苯酚；4，4′-二羥基聯苯、雙酚A、對苯二酚、間苯二酚、2-甲基間苯二酚、5-甲基間苯二酚、連苯三酚、兒茶酚，和光致抗蝕劑領域技術人員公知的其它物質。依賴于所需的溶解速率，這些酚可以單獨或以兩種或更多種物質的摻混物形式使用。
至于醛的例子，可以單獨或結合使用如下那些，如甲醛、低聚甲醛、乙醛，苯甲醛、糠醛、三噁烷、丙醛、丁醛、三甲基乙醛、丙烯醛、巴豆醛、環己醛、呋喃基丙烯醛、對苯二甲醛、苯基乙醛、α-苯基丙醛、β-苯基丙醛、鄰羥基苯甲醛、間羥基苯甲醛、對羥基苯甲醛、鄰甲基苯甲醛、間甲基苯甲醛、對甲基苯甲醛、鄰氯苯甲醛、間氯苯甲醛、對氯苯甲醛、肉桂醛、水楊醛、2-氯苯甲醛、3-氯苯甲醛、4-氯苯甲醛、2-羥基苯甲醛、3-羥基苯甲醛、4-羥基苯甲醛、2-甲氧基苯甲醛、3-甲氧基苯甲醛、4-甲氧基苯甲醛、2-硝基苯甲醛、3-硝基苯甲醛、4-硝基苯甲醛、丙醛、苯基乙醛、α-苯基丙醛、β-苯基丙醛、鄰甲基苯甲醛、間甲基苯甲醛、對甲基苯甲醛、對乙基苯甲醛、對正丁基苯甲醛和類似物及其混合物。作為甲醛產生源，使用甲醛溶液、三噁烷、低聚甲醛，和半縮甲醛如甲基半縮甲醛、乙基半縮甲醛、丙基半縮甲醛、丁基半縮甲醛和苯基半縮甲醛。
酮的例子包括丙酮、甲乙酮、二乙基酮和二苯基酮。這些酮中的每種都可以單獨或結合使用。此外，可以采用任何醛和任何酮的非必要組合。
作為酸催化劑，可以采用無機酸如鹽酸、硝酸、硫酸等，有機酸如甲酸、草酸、馬來酸等，和銅、鈷、鎂、錳、鎳、鋅等的二價無機金屬鹽。反應溶劑通常是親水性溶劑，如甲醇或二噁烷。優選的堿溶性、成膜酚醛清漆樹脂包括苯酚-甲醛酚醛清漆、甲酚-甲醛酚醛清漆和苯酚改性的二甲苯酚-甲醛酚醛清漆。
根據本發明，通過采用包含萘醌二疊氮基磺酰基(DNQ)的化合物替代酚醛清漆樹脂的羥基的約3-約7％的氫原子而部分酯化該酚醛清漆樹脂。合適DNQ基團的例子包括1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、1，2-萘醌二疊氮化物-5-磺酰基、7-甲基-1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-6-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-7-磺酰基和2，1-萘醌二疊氮化物-8-磺酰基。這些DNQ基團可以單獨或結合采用，但特別優選是1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基和1，2-萘醌二疊氮化物-5-磺酰基。
將一種或多種稀釋樹脂加入到本發明的組合物中。稀釋樹脂包括，例如以上在a)中描述的相同的酚醛清漆樹脂，區別在于它們不用DNQ加以部分酯化。這些酚醛清漆樹脂中的一些尤其包括在三甲基苯酚和甲醛之間的縮合產物和在丙酮和連苯三酚之間的縮合產物。
其它稀釋樹脂包括多羥基酚化合物，例如1，1-雙(4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-2-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-2-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥苯基)-1-[4-(1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基)苯基]乙烷、4，4′，4″，4-(1，4-亞苯基二次甲基)四苯酚、4，4′-[(3-羥苯基)亞甲基]雙[2-甲基乙基苯酚]、2，2′-[(3-羥苯基)亞甲基]雙[3，5，6-三甲基苯酚]、2，2′-[(2-羥基-3-甲氧基苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羥基-3-甲氧基苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、4-[雙(4-羥苯基)甲基]-2-乙氧基苯酚、4-[雙(4-羥苯基)甲基]-2-甲氧基苯酚、2，4，6-三(4-羥苯基甲基)-1，3-苯二醇、4，4′-[1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]雙苯酚、4-(2，3，5-三甲基-4-羥苯基)甲基-1，3-苯二醇、6，6′-亞甲基雙[4-(4-羥基-3，5-二甲基苯基甲基)-1，2，3-苯三醇]、2，6-雙[(2，4-二羥苯基)甲基]-4-乙基苯酚、2，4-雙[(2，4-二羥苯基)甲基]-6-環己基苯酚、2，6-雙[[2，3-二羥基-5-(1，1-二甲基乙基)苯基]甲基]-4-甲基苯酚、4，4′-[(3，4-二羥苯基)亞甲基]雙[2-(甲基乙基)苯酚]、2，2′-[(3，4-二羥苯基)亞甲基]雙[3，5，6-三甲基苯酚]、2，2′-[(3-羥基-4-甲氧基苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、2，4′，4″-次甲基三苯酚、4，4′-[(2-羥苯基)亞甲基]雙[3-甲基苯酚]、4，4′，4″-(3-甲基-1-丙烷基-3-叉基)三苯酚、2，2′-[(3-羥苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]，4，4′，4″，4″′-(1，2-乙烷二叉基)四苯酚、4，6-雙[(4-羥苯基)甲基]-1，3-苯二醇、4，4′-[(3，4-二羥苯基)亞甲基]雙[2-甲基苯酚]、2，2′-[(2-羥苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羥苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、(2，4-二羥苯基)(4-羥苯基)甲烷、4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]-1，3-苯二醇、4-[(3，5-二甲基-4-羥苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-[1，4-亞苯基雙(1-甲基乙叉基)]雙[苯-1，2-二醇]、5，5′-[1，4-亞苯基雙(1-甲基乙叉基)]雙[苯-1，2，3-三醇]、4-[(2，3，5-三甲基-4-羥苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-亞甲基雙[6-甲基羰基-1，3-苯二醇]、6，6′-亞甲基雙[4-(4-羥基苯基甲基)-1，2，3-苯三醇]、6，6′-乙叉基雙[4-(4-羥苯基羧基)-1，2，3-苯三醇]、4，4′，4″-次甲基三[2，6-雙[(羥苯基)甲基]苯酚]、4，4′，4″-乙叉基三[2，6-雙[(羥苯基)甲基]苯酚]、2，2′-雙[(3，4-二羥苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、4-[(4-羥苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇和4，4′-[1，4-亞苯基雙(1-甲基乙叉基)]雙[苯-1，2，3-三醇]。
多羥基酚的另外例子可以參見美國專利4,863,828、5,087,548、5,110,706、5,238,775、5,290,658、5,318,875、5,380,618、5,397,679、5,407,778、5,413,896、5,429,904、5,429,905和5,556,995和參見歐洲公開申請0 554 101，每篇文獻在此引入作為根據本發明的合適多羥基酚的公開內容的參考。一些多羥基酚由如下通式例示
其中R8，R9，R10，R11，R12，R13和R26每個獨立地是氫、未取代或取代的C1-6烷基、未取代或取代的C6-10芳基或羥基；a，b，c和d每個獨立地是0-5的整數。
取代或未取代的烷基包括，例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、叔丁基、環己基、羥基甲基、氯甲基、溴甲基、2-氯甲基、三甲基甲硅烷基甲基等。取代或未取代的芳基包括，例如苯基、芐基、枯基、1-萘基、2-萘基、4-羥苯基、4-三甲基甲硅烷氧基苯基、4-甲氧基苯基和4-乙酰基苯基等。
鍵合到各自苯環上的基團R8-R11可以相同或不同且R8-R11中每個可包含兩個或多個不同的基團，和基團R8，R9和R11中至少一個包含至少一個羥基。
其中R12至R17是H、鹵素、C1-6烷基、烯基或OH，R18和R19是H、鹵素或C1-6烷基，和R20至R25是H或C1-6烷基。
其中Y選自-C-、-C(CH3)2-或-O-；Z選自-C-或-C(CH3)2-；和j，k和q中每個獨立地是0-3的整數(條件是j，k和q不能都是0)，和m，o和r中每個獨立地是0-3的整數(條件是(j+m)，(k+o)和(q+r)都不超過4)。
用于本發明組合物中的溶劑包括，例如溶劑如二醇醚衍生物如乙基溶纖劑、甲基溶纖劑、丙二醇單甲基醚、二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚、二丙二醇二甲基醚、丙二醇正丙基醚或二甘醇二甲基醚；二醇醚酯衍生物如乙基溶纖劑乙酸酯、甲基溶纖劑乙酸酯或丙二醇單甲基醚乙酸酯；羧酸酯如乙酸乙酯、乙酸正丁酯和乙酸戊酯；二元酸的羧酸酯如草酸二乙酯和丙二酸二乙酯；二醇的二羧酸酯如乙二醇二乙酸酯和丙二醇二乙酸酯；和羥基羧酸酯如乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙醇酸乙酯和3-羥基丙酸乙酯；酮酯如丙酮酸甲酯或丙酮酸乙酯；烷氧基羧酸酯如3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯或乙氧基丙酸甲酯；酮衍生物如甲乙酮、乙酰丙酮、環戊酮、環己酮或2-庚酮；酮醚衍生物如雙丙酮醇甲基醚；酮醇衍生物如丙酮醇或雙丙酮醇；內酯如丁內酯；酰胺衍生物如二甲基乙酰胺或二甲基甲酰胺、苯甲醚，及其混合物。優選的溶劑或溶劑摻混物可以選自單獨或與苯甲醚結合的2-庚酮，單獨或與乙酸正丁酯或丙二醇甲基醚結合的乳酸乙酯，或單獨或與3-乙氧基丙酸乙酯結合的丙二醇甲基醚。當結合使用時，混合重量比通常為約10∶0-約0∶10，更優選約9∶1-約7∶3。優選的溶劑是可以選自丙二醇甲基醚和3-乙氧基丙酸乙酯，2-庚酮和苯甲醚，或乳酸乙酯和乙酸正丁酯的溶劑組合。
根據本發明，酚醛清漆樹脂經部分地用約3-約7wt％DNQ基團酯化。酯化的酚醛清漆樹脂用作光致抗蝕劑組合物中的成膜樹脂。由稀釋樹脂的加入，DNQ的酯化度范圍通常降低最高至約20％。
此外，在本發明的更優選實施方案中，最優選光致抗蝕劑溶劑混合物的使用提供了能夠在襯底上以在光致抗蝕劑組合物中更低得多的固體水平形成所需厚度的膜的光致抗蝕劑組合物。固體水平包括所述部分酯化的酚醛清漆樹脂，所述一種或多種稀釋樹脂和非必要的固體添加劑。
光致抗蝕劑組合物也可包含本領域技術人員公知的各種成分，如著色劑、染料、光活性化合物、抗條紋劑、流平劑、增塑劑、粘合促進劑、速度增強劑、溶劑，和表面活性劑如非離子表面活性劑，它們可以在將組合物涂覆到襯底上之前加入到本發明的組合物中。可以與本發明光致抗蝕劑組合物一起使用的染料添加劑的例子包括甲基紫2B(C.I.No.42535)、結晶紫(C.I.42555)、孔雀石綠(C.I.No.42000)、維多利亞藍B(C.I.No.44045)和中性紅(C.I.No.50040)。光活性化合物的例子包括，例如一種或多種如下物質(1)在萘醌二疊氮化物磺酰鹵(例如，1，2-萘醌二疊氮化物-5-磺酰鹵、7-甲基-1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰鹵、2，1-萘醌二疊氮化物-4-磺酰鹵、2，1-萘醌二疊氮化物-6-磺酰鹵、2，1-萘醌二疊氮化物-7-磺酰基和2，1-萘醌二疊氮化物-8-磺酰鹵)或苯醌二疊氮化物磺酰鹵與低分子量或高分子量化合物之間的反應產物，所述化合物含有至少一個能夠與這些磺酰鹵進行縮合反應的官能團。可以與磺酰鹵縮合的官能團包括羥基、氨基等。其中，特別優選是羥基和更優選是兩個羥基。包含羥基的化合物包括，例如對苯二酚、間苯二酚、苯酚、對甲氧基苯酚、二甲基苯酚、雙酚A、萘酚、焦兒茶酚、連苯三酚單甲基醚、連苯三酚-1，3-二甲基醚、沒食子酸、部分酯化或部分醚化的沒食子酸和其它酚；2，4-二羥基二苯甲酮、2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，4，6-三羥基二苯甲酮、2，4，4′-三羥基二苯甲酮、2，3，4，4′-四羥基二苯甲酮、2，2′，4，4′-四羥基二苯甲酮和2，2′，3，4，6′-五羥基二苯甲酮、2，3′，4，4′，6-五羥基二苯甲酮、2，2′，3，4，4′-五羥基二苯甲酮和2，2′，3，4，5′-五羥基二苯甲酮、2，3′，4，5，5′-五羥基二苯甲酮、2，3，3′，4，4′，5′-六羥基二苯甲酮和其它多羥基二苯甲酮；羥苯基烷烴如雙(2，4-二羥苯基)甲烷、雙(2，3，4-三羥苯基)甲烷和雙(2，4-二羥苯基)丙烷；羥基三苯基甲烷如4，4′，3″，4″-四羥基-3，5，3′，5′-四甲基苯基甲烷和4，4′，2″，3″，4″-五羥基-3，5，3′，5′-四甲基三苯基甲烷；雙[3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-乙基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二乙基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二乙基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-乙基苯基]甲烷和其它末端二甲苯酚線性四核化合物；2，4-雙[2-羥基-3-(4-羥基芐基)-5-甲基芐基]-6-環己基苯酚、2，4-雙[4-羥基-3-(4-羥基芐基)-5-甲基芐基]-6-環己基苯酚和其它線性五核化合物和其它線性多酚化合物；雙[2-羥基-3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2-羥基-3-(2-羥基-5-甲基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[4-羥基-3-(2-羥基-5-甲基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(4-羥基-5-甲基芐基)-4-羥苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(4-羥基芐基)-4-羥苯基]甲烷、雙(2，5-二甲基-3-(2-羥基芐基)-4-羥苯基)甲烷和其它線性四核化合物；1，1-雙(4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-2-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-2-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥基苯基)-1-[4-(1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基)苯基]乙烷和其它非線性四核化合物；雙(4-羥基-2，3，5-三甲基苯基)-2-羥苯基甲烷、1，4-雙[1-(3，5-二甲基-4-羥苯基)異丙基]苯、2，4-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基甲基)-6-甲基苯酚、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-2-羥苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5-二甲基苯基)-2-羥苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-3，4-二羥苯基甲烷、1-[1-(4-羥苯基)異丙基]-4-[1，1-雙(4-羥苯基)乙基]苯、1-[1-(3-甲基-4-羥苯基)異丙基]-4-[1，1-雙(3-甲基-4-羥苯基)乙基]苯、2，6-雙[1-(2，4-二羥苯基)異丙基]-4-甲基苯酚、4，6-雙[1-(4-羥苯基)異丙基]間苯二酚、4，6-雙(3，5-二甲氧基-4-羥苯基甲基)連苯三酚、4，6-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基甲基)連苯三酚、2，6-雙(3-甲基-4，6-二羥苯基甲基)-4-甲基苯酚、2，6-雙(2，3，4-三羥苯基甲基)-4-甲基苯酚、1，1-雙(4-羥苯基)環己烷和其它羥基芳基化物。
另一個例子包括(2)以下通式(I)和(II)中顯示的化合物
其中R3，R4和R5獨立地選自氫原子、1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、1，2萘醌二疊氮化物-5-磺酰基、7-甲基-1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-6-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-7-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-8-磺酰基及其混合物，和R3，R4和R5不能同時是氫原子，R6a，R6b，R6c，R7a，R7b，R7c，和R7d獨立地選自氫原子或C1-4烷基，和n表示1或2。
通式(II)的化合物的例子包括
其中R3和R5不是氫。
制備的組合物可以通過用于光致抗蝕劑領域中的任何常規方法施用到襯底上，該常規方法包括浸漬、噴涂、旋渦涂布和旋轉涂布。例如當旋轉涂布時，給定采用的旋轉設備的類型和旋轉工藝允許的時間量，可以關于固體含量百分比調節光致抗蝕劑溶液，以提供所需厚度的涂層。
合適的襯底包括硅、鋁、聚合物樹脂、二氧化硅、摻雜的二氧化硅、氮化硅、鉭、銅、多晶硅、陶瓷、鋁/銅混合物；砷化鎵和其它這樣的第IIIN族的化合物。由上述操作過程生產的光致抗蝕劑涂層特別適合施用于熱生長的硅/二氧化硅涂覆的晶片，該晶片如用于生產微處理器和其它微型化集成電路組件。也可以使用氧/氧化鋁晶片。襯底也可包括各種聚合物樹脂，特別地透明聚合物如聚酯。襯底可具有合適組合物如包含六烷基二硅氮烷的組合物構成的粘合促進層。
然后將光致抗蝕劑組合物溶液涂覆到襯底上，和將襯底在約80℃-約110℃的溫度下在熱板上熱處理約30秒-約180秒，或在對流爐中熱處理約15-約40分鐘。選擇此熱處理以降低光致抗蝕劑中殘余溶劑的濃度，同時不引起組合物組分的顯著熱降解。通常人們希望將溶劑的濃度最小化和因此進行此第一熱處理直到蒸發掉基本上所有的溶劑和厚度為約一微米的光致抗蝕劑組合物的薄涂層保留在襯底上。在優選的實施方案中溫度為約85℃-約95℃。進行此處理直到溶劑脫除的變化速度變得相對不顯著。溫度和時間選擇依賴于用戶所需的光致抗蝕劑性能以及使用的設備和商業所需的涂覆時間。然后可以任何所需的圖案將涂覆的襯底曝露于光化輻射，特別地紫外輻射，其在約150nm-約450nm的波長下，x射線、電子束、離子束或激光輻射，所述圖案通過使用合適的掩模、底片、模版、模板等產生。
然后將光致抗蝕劑在顯影之前或之后非必要地進行曝光后第二次烘烤或熱處理。加熱溫度可以為約90℃-約150℃，更優選約110℃-約150℃。加熱可以在熱板上進行約10秒-約30分鐘，更優選約45秒-約90秒，或由對流爐進行約10-約30分鐘。
將曝光的光致抗蝕劑涂覆的襯底顯影以由噴淋顯影使用堿性顯影溶液除去成像式曝光的非圖像區域。優選將溶液由例如氮氣鼓泡攪動而攪動。讓襯底保留在顯影劑中直到所有或基本上所有的光致抗蝕劑涂層從曝光區域溶解下來。顯影劑可包括氫氧化銨或堿金屬氫氧化物的水溶液。一種優選的氫氧化物是氫氧化四甲基銨。合適的顯影劑是可購自Clariant Corporation(Somerville，新澤西)的AZ 300 MIF顯影劑。在將涂覆晶片從顯影溶液中取出之后，可進行非必要的顯影后熱處理或烘烤以增加涂層的粘合作用和對蝕刻溶液和其它物質的化學光抗性。顯影后熱處理可包括涂層和襯底在涂層軟化點以下的爐烘烤。工業應用，特別地在硅/二氧化硅類型襯底上微電路單元的制造中，可以采用經緩沖的，氫氟酸堿蝕刻溶液處理經顯影的襯底。本發明的光致抗蝕劑組合物耐酸-堿蝕刻溶液和提供對襯底的未曝光光致抗蝕劑涂覆區域的有效保護。
作為說明和非限制性方式，以下給出本發明的實施例。除非另外說明，所有的份數和百分比在此按重量計；分子量是重均分子量，所有的溫度是攝氏度。
實施例1將間甲酚/對甲酚酚醛清漆樹脂與足夠數量的1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰氯在適當的反應條件下反應，以形成以4.5％由1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆樹脂。將此樹脂以在丙二醇甲基醚和3-乙氧基丙酸乙酯(以8∶2的比例)的溶劑摻混物中以35％活性固體分的溶液提供。然后將57.14克該部分酯化的酚醛清漆樹脂與4.97克稀釋樹脂(1∶1比例的4，4′-[1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]雙酚(TPPA)和間甲酚∶對甲酚∶三甲基苯酚(3∶5∶2份)/甲醛樹脂；在丙二醇甲基醚和3-乙氧基丙酸乙酯(以8∶2的比例)的溶劑摻混物中35％活性固體分)和大約0.8克(5％活性固體分)二甲基硅氧烷甲基聚氧乙烯硅氧烷共聚物混合。這導致得到基于總樹脂固體分含有如下物質的組合物約4％TPPA，約4％間甲酚∶對甲酚∶三甲基苯酚(3∶5∶2份)/甲醛樹脂，和約92％部分酯化的酚醛清漆樹脂。
將實施例1的組合物在4,000rpm下施用到硅晶片上和然后在鄰近熱板爐上在90℃下軟烘烤約90秒以形成3.0μm的膜厚度。使用ASMLi-250步進式曝光機通過包含分辨率測試圖案的玻璃光掩模施加光化曝光。將涂覆的晶片在210mJ/cm2-260mJ/cm2的變化劑量下曝光，其中對于1μm的公稱曝光是230mJ/cm2。
在曝光之后，將晶片在鄰近熱板上在110℃下曝光后烘烤約90秒。
然后將晶片采用AZ 300 MIF顯影劑使用單一膠泥在23℃下顯影約60秒。
以上的配制劑導致得到良好的平版印刷性能與改進的分辨率和輪廓。
盡管按照本發明優選的實施方案進行了描述，但應理解本發明的公開內容應解釋為作為說明的方式，而不是作為限制的方式，且可以進行對本領域技術人員顯而易見的各種改進和變換而不背離本發明的范圍和主旨。
權利要求
1.一種組合物，其包含a)用約3-約7wt％萘醌二疊氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆樹脂；b)一種或多種稀釋樹脂；和c)至少一種溶劑。
2.權利要求1的組合物，其中對于a)，萘醌二疊氮基磺酰基選自1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、1，2-萘醌二疊氮化物-5-磺酰基、7-甲基-1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-6-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-7-磺酰基和2，1-萘醌二疊氮化物-8-磺酰基。
3.權利要求2的組合物，其中對于a)，萘醌二疊氮基磺酰基是1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基或1，2-萘醌二疊氮化物-5-磺酰基。
4.權利要求1的組合物，其中b)一種或多種稀釋樹脂選自非酯化的酚醛清漆樹脂、多羥基酚及其混合物。
5.權利要求4的組合物，其中b)一種或多種稀釋樹脂是由非酯化的酚醛清漆樹脂和多羥基酚形成的混合物。
6.權利要求5的組合物，其中b)部分酯化的酚醛清漆樹脂選自由三甲基苯酚和甲醛之間的縮合反應形成的樹脂、由在丙酮和連苯三酚之間的縮合反應形成的樹脂、由在間甲酚、對甲酚、三甲基苯酚和甲醛之間的縮合反應形成的樹脂或其混合物。
7.權利要求6的組合物，其中多羥基酚選自1，1-雙(4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-2-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-2-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥苯基)-1-[4-(1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基)苯基]乙烷、4，4′，4″，4-(1，4-亞苯基二次甲基)四苯酚、4，4′-[(3-羥苯基)亞甲基]雙[2-甲基乙基苯酚]、2，2′-[(3-羥苯基)亞甲基]雙[3，5，6-三甲基苯酚]、2，2′-[(2-羥基-3-甲氧基苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羥基-3-甲氧基苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、4-[雙(4-羥苯基)甲基]-2-乙氧基苯酚、4-[雙(4-羥苯基)甲基]-2-甲氧基苯酚、2，4，6-三(4-羥苯基甲基)-1，3-苯二醇、4，4′-[1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]雙酚、4-(2，3，5-三甲基-4-羥苯基)甲基-1，3-苯二醇、6，6′-亞甲基雙[4-(4-羥基-3，5-二甲基苯基甲基)-1，2，3-苯三醇]、2，6-雙[(2，4-二羥苯基)甲基]-4-乙基苯酚、2，4-雙[(2，4-二羥苯基)甲基]-6-環己基苯酚、2，6-雙[[2，3-二羥基-5-(1，1-二甲基乙基)苯基]甲基]-4-甲基苯酚、4，4′-[(3，4-二羥苯基)亞甲基]雙[2-(甲基乙基)苯酚]、2，2′-[(3，4-二羥苯基)亞甲基]雙[3，5，6-三甲基苯酚]、2，2′-[(3-羥基-4-甲氧基苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、2，4′，4″-次甲基三苯酚、4，4′-[(2-羥苯基)亞甲基]雙[3-甲基苯酚]、4，4′，4″-(3-甲基-1-丙烷基-3-叉基)三苯酚、2，2′-[(3-羥苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]，4，4′，4″，4-(1，2-乙烷二叉基)四苯酚、4，6-雙[(4-羥苯基)甲基]-1，3-苯二醇、4，4′-[(3，4-二羥苯基)亞甲基]雙[2-甲基苯酚]、2，2′-[(2-羥苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羥苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、(2，4-二羥苯基)(4-羥苯基)甲烷、4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]-1，3-苯二醇、4-[(3，5-二甲基-4-羥苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-[1，4-亞苯基雙(1-甲基乙叉基)]雙[苯-1，2-二醇]、5，5′-[1，4-亞苯基雙(1-甲基乙叉基)]雙[苯-1，2，3-三醇]、4-[(2，3，5-三甲基-4-羥苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-亞甲基雙[6-甲基羰基-1，3-苯二醇]、6，6′-亞甲基雙[4-(4-羥基苯基甲基)-1，2，3-苯三醇]、6，6′-乙叉基雙[4-(4-羥苯基羧基)-1，2，3-苯三醇]、4，4′，4″-次甲基三[2，6-雙[(羥苯基)甲基]苯酚]、4，4′，4″-乙叉基三[2，6-雙[(羥苯基)甲基]苯酚]、2，2′-雙[(3，4-二羥苯基)亞甲基]雙[3，5-二甲基苯酚]、4-[(4-羥苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇和4，4′-[1，4-亞苯基雙(1-甲基乙叉基)]雙[苯-1，2，3-三醇]。
8.權利要求7的組合物，其中b)是由三甲基苯酚和甲醛之間的縮合反應形成的樹脂與4，4′-[1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]雙酚形成的混合物。
9.權利要求7的組合物，其中b)是由間甲酚、對甲酚、三甲基苯酚和甲醛之間的縮合反應形成的樹脂與4，4′-[1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]雙酚形成的混合物。
10.權利要求4的組合物，其中b)是非酯化的酚醛清漆樹脂的混合物。
11.權利要求10的組合物，其中b)是由任何兩種如下樹脂形成的混合物由三甲基苯酚和甲醛之間的縮合反應形成的樹脂、由在丙酮和連苯三酚之間的縮合反應形成的樹脂、或由在間甲酚、對甲酚、三甲基苯酚和甲醛之間的縮合反應形成的樹脂。
12.權利要求1的組合物，其中c)至少一種溶劑選自2-庚酮、苯甲醚、乳酸乙酯、乙酸正丁酯、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚、3-乙氧基丙酸乙酯及其混合物。
13.權利要求12的組合物，其中c)至少一種溶劑是2-庚酮和苯甲醚的混合物。
14.權利要求12的組合物，其中c)至少一種溶劑是乳酸乙酯與乙酸正丁酯的混合物。
15.權利要求12的組合物，其中c)至少一種溶劑是乳酸乙酯和丙二醇甲基醚的混合物。
16.權利要求12的組合物，其中c)至少一種溶劑是丙二醇甲基醚和3-乙氧基丙酸乙酯的混合物。
17.權利要求1的組合物，其進一步包含光敏化合物。
18.權利要求17的組合物，其中光敏化合物選自在萘醌二疊氮化物磺酰鹵或苯醌二疊氮化物磺酰鹵與選自如下的包含至少一個羥基的化合物之間的反應產物對苯二酚、間苯二酚、苯酚、對甲氧基苯酚、二甲基苯酚、雙酚A、萘酚、焦兒茶酚、連苯三酚單甲基醚、連苯三酚-1，3-二甲基醚、沒食子酸、部分酯化或部分醚化的沒食子酸和其它酚；2，4-二羥基二苯甲酮、2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，4，6-三羥基二苯甲酮、2，4，4′-三羥基二苯甲酮、2，3，4，4′-四羥基二苯甲酮、2，2′，4，4′-四羥基二苯甲酮、2，2′，3，4，6′-五羥基二苯甲酮、2，3′，4，4′，6-五羥基二苯甲酮、2，2′，3，4，4′-五羥基二苯甲酮、2，2′，3，4，5′-五羥基二苯甲酮、2，3′，4，5，5′-五羥基二苯甲酮、2，3，3′，4，4′，5′-六羥基二苯甲酮和其它多羥基二苯甲酮；雙(2，4-二羥苯基)甲烷、雙(2，3，4-三羥苯基)甲烷、雙(2，4-二羥苯基)丙烷和其它羥苯基烷烴；4，4′，3″，4″-四羥基-3，5，3′，5′-四甲基苯基甲烷、4，4′，2″，3″，4″-五羥基-3，5，3′，5′-四甲基三苯基甲烷和其它羥基三苯基甲烷；雙[3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-乙基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二乙基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二乙基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-乙基苯基]甲烷和其它末端二甲苯酚線性四核化合物；2，4-雙[2-羥基-3-(4-羥基芐基)-5-甲基芐基]-6-環己基苯酚、2，4-雙[4-羥基-3-(4-羥基芐基)-5-甲基芐基]-6-環己基苯酚和其它線性五核化合物和其它線性多酚化合物；雙[2-羥基-3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2-羥基-3-(2-羥基-5-甲基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[4-羥基-3-(2-羥基-5-甲基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(4-羥基-5-甲基芐基)-4-羥苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(4-羥基芐基)-4-羥苯基]甲烷；雙(2，5-二甲基-3-(2-羥基芐基)-4-羥苯基)甲烷和其它線性四核化合物；1，1-雙(4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-2-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-2-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥苯基)-1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥基苯基)-1-[4-(1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基)苯基]乙烷和其它非線性四核化合物；雙(4-羥基-2，3，5-三甲基苯基)-2-羥苯基甲烷、1，4-雙[1-(3，5-二甲基-4-羥苯基)異丙基]苯、2，4-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基甲基)-6-甲基苯酚、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-2-羥苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5-二甲基苯基)-2-羥苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-3，4-二羥苯基甲烷、1-[1-(4-羥苯基)異丙基]-4-[1，1-雙(4-羥苯基)乙基]苯、1-[1-(3-甲基-4-羥苯基)異丙基]-4-[1，1-雙(3-甲基-4-羥苯基)乙基]苯、2，6-雙[1-(2，4-二羥苯基)異丙基]-4-甲基苯酚、4，6-雙[1-(4-羥苯基)異丙基]間苯二酚、4，6-雙(3，5-二甲氧基-4-羥苯基甲基)連苯三酚、4，6-雙(3，5-二甲基-4-羥苯基甲基)連苯三酚、2，6-雙(3-甲基-4，6-二羥苯基甲基)-4-甲基苯酚、2，6-雙(2，3，4-三羥苯基甲基)-4-甲基苯酚、1，1-雙(4-羥苯基)環己烷和其它羥基芳基化物，和由通式(I)或(II)表示的化合物 其中R3，R4和R5獨立地選自氫原子、1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、1，2-萘醌二疊氮化物-5-磺酰基、7-甲基-1，2-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-6-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-7-磺酰基、2，1-萘醌二疊氮化物-8-磺酰基，及其混合物，和R3，R4和R5不能同時是氫原子，R6a，R6b，R6c，R7a，R7b，R7c，和R7d獨立地選自氫原子或C1-4烷基，和n表示1或2。
19.一種制備組合物的方法，其包括提供一種組合物的摻混物，該組合物包含a)用約3-約7wt％萘醌二疊氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆樹脂；b)一種或多種稀釋樹脂；和c)至少一種溶劑。
20.一種在襯底上形成圖像的方法，其包括采用根據權利要求1的組合物涂覆襯底；通過掩模用紫外輻射成像式曝光；和采用顯影劑將曝光的光致抗蝕劑組合物顯影。
全文摘要
本發明涉及一種組合物和制備組合物的方法，該組合物包含a)用約3－約7wt％萘醌二疊氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆樹脂；b)一種或多種稀釋樹脂；和c)至少一種溶劑。
文檔編號G03C1/76GK1768302SQ200480008622
公開日2006年5月3日 申請日期2004年3月10日 優先權日2003年4月1日
發明者J·N·艾爾貝克 申請人:Az電子材料美國公司