專利名稱：電磁線性光學定位器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種尤其被研制用于光學開關的微線性定位器，以及涉及這種微線性定位器和/或光學開關的制造方法。在設備中的兩個鎖定位置之間移動磁體的電磁線圈控制定位器的開關路徑。
背景技術：
許多現(xiàn)代光學系統(tǒng)使用通常由激光所產(chǎn)生的光束來攜帶各種類型的信息。在光學系統(tǒng)內(nèi)，光束可在自由空間中傳播以及/或在光纖或另一光學導體中傳播之間進行交替。在許多其它應用當中，技術可以被用于例如將計算機與機械設備如傳感器、閥、齒輪、鏡及致動器(actuator)等進行組合。許多光學系統(tǒng)，如例如在利用光纖的電信系統(tǒng)等中的光纖微機械設備，需要使用光學開關用于選擇性地將信號源耦合到一個或更多個目的地。在微技術領域，在單晶硅晶片基片上所形成的微電機械系統(tǒng)(MEMS)開關被用于耦合信號。這些光學開關通常由被埋置在硅晶片基片內(nèi)的熱、壓電、或靜電裝置來致動。然而，許多光纖微機械設備并不適合那么小的數(shù)量級，需要較大尺寸的微機械光學開關，這里熱或壓電致動器不能再使用。因此在光纖通信領域，存在由電機械微致動的光學開關的需求。開關的功能是在最大10ms的時間內(nèi)將激光束從一個信道導引/改到另一信道。這些開關典型地是電機械的并且通過移動鏡或濾光器來操作使激光束光路通過或偏離門。開關在兩個鎖定位置之間反復(toggle)以作為二進制開關來操作。通過將開關放置在由光纖準直器所耦合的矩陣或陣列中，有可能控制信息通過矩陣的通路，該光纖準直器可使發(fā)散或會聚的光線變得更接近平行。在平面光學部件中，通過對開關定位，這樣的矩陣可以被實現(xiàn)，其中每個開關具有在對角線插槽中的鏡或濾光器，所述對角線插槽被形成在交叉光路的交點上，交叉光路有端口對著該插槽。所述鏡被橫向移動以將來自一個纖的入射光反射到與插槽進行通信的相鄰纖，用以執(zhí)行開關功能。如果矩陣在輸入和輸出插槽中是對稱的，那么用于例如4×4輸入/輸出開關模塊的這種設備需要16個開關的矩陣，即所需要的開關數(shù)量與輸入和輸出插槽的平方相配。在4×1或2×1輸入/輸出開關模塊的情況下，所需要的開關數(shù)量是輸入×輸出。
如上所述，在光學系統(tǒng)中，光束可在自由空間中傳播以及在纖中傳播之間進行交替。這個自由空間到纖的耦合經(jīng)常發(fā)生在光學開關的環(huán)境中。對于開關自由空間到纖的耦合要高效以避免不必要的光損耗，這是重要的。在將光束通過一個被準直纖發(fā)送到另一被準直纖的光學系統(tǒng)中耦合效率特別地重要。如果自由空間到纖的耦合不是高效的，則通過纖被耦合的光量對于所預期的目標是不夠的。由于激光束在兩個準直器之間的自由空間中傳播的距離有限，因此為了使被耦合到纖中的光量最大化，需要使開關盡可能地小。此外較小的開關設計允許配置更多的開關設備以形成開關的單矩陣或陣列。開關矩陣反過來還可以處理更多的開關，由此允許更復雜門的設計。
然而，目前的微定位器設計對開關尺寸的減少產(chǎn)生了限制。產(chǎn)生線性運動的目前微定位器典型地具有行程為2mm的長度為11mm的外殼大小。永磁體通常被設置在線圈的相對端以便當設備未被通電時將移動元件固定在位(鎖定位置)。這需要空間以防止由兩個永磁體所產(chǎn)生的兩個不同磁場之間的干擾。這一分開的需求有效地對具有兩個永磁體的微定位器產(chǎn)生較小的尺寸限制。此外，因為所需要的矩陣中開關的數(shù)量分別與輸入和輸出插槽的平方相配，所以開關的尺寸可以是實現(xiàn)平面光學部件(例如16×16輸入/輸出開關模塊已經(jīng)需要256個開關)的重要特點。因此，雖然基于目前微定位器的現(xiàn)有技術設備提供了開關功能，但是它們難以制造且在引起上述問題的其尺寸減少上受到限制。此外，目前的微定位器還會受溫度和環(huán)境波動的影響，尤其因為它們采用因溫度波動可以膨脹和收縮的材料。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種不呈現(xiàn)上述缺陷的較小微定位器。尤其是，該定位器盡管具有較小的尺寸，但是維持性能和保持可靠性應該是可能的。本發(fā)明的另一目的是允許微定位器被適當?shù)匕幢壤郎p小，將光通過具有開關矩陣的光學部件的傳輸效率最大化，將開關時間減少到最大5ms，并作為最終目的，還要通過選擇低摩擦及低熱膨脹的材料來增強可靠性。
根據(jù)本發(fā)明，特別地通過獨立權利要求的要素，這個目的得到實現(xiàn)。此外，其它的優(yōu)勢實施例遵照從屬權利要求和說明書。
本發(fā)明的目的還得到實現(xiàn)，尤其在于電磁定位器或致動器包括活塞，所述活塞在第一和第二預定位置之間是可移動的并且所述活塞由活塞導向所支撐，所述可移動活塞包括垂直于移動方向被導引的永磁體，所述活塞包括在活塞移動方向上能夠極性顛倒的電磁線圈，借助于所述線圈，根據(jù)其磁化，活塞從一個預定位置可移動進入另一預定位置。且能夠極性顛倒的線圈芯(coil core)擁有剩磁，借此剩磁當線圈被關斷，即未被通電時，可移動活塞在兩個預定位置之一是固定的?；钊梢允蔷哂袌A柱形活塞導向的圓柱形設計。它還可以具有不同的形狀，如矩形。永磁體可以被放置在例如末端的活塞上，還可以想象出它被集成在不同位置處的活塞內(nèi)。如果所述永磁體和/或所述電磁線圈在所述活塞運動的方向上被軸向磁化，則這可以是有利的。這格外地具有優(yōu)點，即借助于磁體力的施加可以被最大化?；钊挠来朋w可以具有例如1.2-1.6T的電感(B)以及940 000-1 000 000A/m的矯頑磁場。這具有如此優(yōu)點，即對于微線性定位器的典型尺寸，它可以對應于所要求的信號強度。能夠極性顛倒的磁芯可以包括例如至少部分半硬磁性材料?；钊熬哂写判镜拇朋w線圈可以在活塞中例如通過隔離物被分開，其被安裝在活塞導向和具有線圈芯的磁體線圈之間。這具有格外的優(yōu)點，即在將活塞定位在第一位置期間，具有線圈芯的磁體線圈并未受損并且在線圈芯和永磁體之間保持預定的間隔。在所優(yōu)選的實施例中，借助于活塞的外罩實現(xiàn)活塞導向。由于對照于現(xiàn)有技術的狀態(tài)，能夠極性顛倒具有剩磁的磁芯被使用，取代兩個磁體，以將活塞帶入兩個位置之一，活塞可以是更小的結構且更緊湊，對于活塞這還意味著更短的反應時間。還可以由此制造更小且更經(jīng)濟的光學開關。
在一個實施例中，這些目的通過本發(fā)明得到實現(xiàn)，這在于電磁設備被使用，其包括永磁體和被安裝在特殊半硬磁芯上的電磁線圈。當我們顛倒線圈和特殊磁芯的極性，磁體或者被吸引到磁芯，或者被磁芯排斥。這導致在兩個方向上的鎖定位置。陶瓷圓柱體和活塞被附著到線圈芯支架上。具有被附著到其上的磁體的活塞或者被吸引到磁芯，或者被磁芯排斥。因此，作為致動器磁體的定位的功能，活塞被從一個位置移動到另一位置。在這個微定位器的一個應用中活塞移動鏡或濾光器。活塞通過陶瓷圓柱體的一端突出來。該圓柱體對活塞的往復運動進行導向，其最高的位置靠著陶瓷楔，其最低的位置靠著陶瓷環(huán)。給電磁線圈通電來操作該微致動器。致動器磁體位于活塞上，并且處于兩個端頭位置之一，由磁芯所保持或排斥。給線圈通電將吸引或者排斥致動器磁體，這取決于電的極性。線圈可隨后在相反電極性上被通電，以使在相反方向上移動磁體和活塞。這個實施例變型具有與前述實施例相同的優(yōu)點。
在一個實施例中，所述活塞在致動器或所述電磁定位器的所述外罩以外軸向可延伸。除了別的以外，這個實施例變型具有如此優(yōu)點，即定位器適合于用在光學開關模塊、光學元件如鏡或濾光器中，其被安裝在延伸超出活塞外罩的部分上。因此，在另一實施例變型中，突出活塞外罩以外的部分包括光學元件。光學元件可以包括例如鏡和/或濾光器元件。這格外地具有已經(jīng)提到的優(yōu)點。在從前的實施例變型情況下，突出的部分當然可以服務于完全不同的目標，如例如過程的激活等。
在另一實施例變型中，活塞和/或活塞外罩至少部分地由陶瓷制成。除了別的以外，這具有如此優(yōu)點，即在定位器中的摩擦阻力可以被極大地降低并且部件具有相當小的熱膨脹系數(shù)。另一方面，這擴大了定位器可能的應用領域。另一方面，在定位器內(nèi)的磨損和破裂也被降低。
在另一實施例變型中，活塞包括橫向凹槽并且活塞外罩具有止動元件，借助于此活塞的第二預定位置可以被設定，所述止動元件在凹槽處與活塞鄰接。除了別的以外，這具有如此優(yōu)點，即定位器容易被實現(xiàn)且生產(chǎn)。除了別的以外，這還帶來制造成本的降低。
在一實施例變型中，止動元件具有磁特性，其有助于將活塞固定在第二位置。這格外地具有如此優(yōu)點，即通過將活塞止動在第二位置而發(fā)生的可能反沖動量可以得到補償。
在一實施例變型中，具有磁性線圈芯的磁體線圈具有長于將活塞從一個位置移動進入另一位置所必需時間2至3倍的脈沖時間。除了別的以外，這具有如此優(yōu)點，即當撞擊到隔離物或止動元件上時，活塞的可能反沖動量可以得到補償。
在這點上，應該指出的是，除了根據(jù)本發(fā)明的微線性定位器以及基于微線性定位器的光學開關以外，本發(fā)明還涉及這種微線性定位器和/或光學開關以及/或光學開關模塊的制造方法。
根據(jù)參考所附附圖對本發(fā)明的下述說明，本發(fā)明的其它特點和優(yōu)點將變得更加顯而易見，即借助于實例，下面對本發(fā)明的兩個實施例加以說明。通過下述所附的圖實施例的實例被示例
圖1是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例所構建的微致動器或定位器的縱向橫斷面視圖，其示出被鎖定在其兩個位置之一的執(zhí)行致動器的活塞。
圖2是圖1中的微致動器或定位器的橫斷面視圖，其示出在其兩個位置中另一位置中的致動器的活塞；圖3是圖1中微致動器或定位器的被部分分解的透視圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例而構建的微致動器或定位器的另一實施例的縱向橫斷面視圖，其示出被鎖定在其兩個位置之一的致動器的活塞；圖5是圖4中的微致動器或定位器的橫斷面視圖，其示出在其兩個位置中另一位置的致動器的活塞；圖6是圖4中微致動器或定位器被部分分解的透視圖；圖7是示出光學開關模塊21的示意圖，體現(xiàn)本發(fā)明多個光學開關的所述模塊具有在X/Y平面的纖陣列或矩陣；圖8是示出光學開關模塊21的示意圖，體現(xiàn)本發(fā)明多個光學開關的所述模塊具有兩個平面P1/P2的多個輸入和輸出線耦合；圖9是示出光學開關模塊21的示意圖，體現(xiàn)本發(fā)明多個光學開關的所述模塊具有三個平面P1/P2/P3的多個輸入和輸出線耦合；圖10示出光學開關模塊21的示意圖，體現(xiàn)本發(fā)明多個光學開關的所述模塊具有四個平面P1/P2/P3/P4的多個輸入和輸出線耦合；圖11和12每個均是圖7的放大視圖，其以概括表示示出路徑33和A交叉的細節(jié)。
具體實施例方式
現(xiàn)在參考附圖，其中同樣的數(shù)字指示同樣的元件，圖1直至6示出根據(jù)本發(fā)明的微定位器或致動器的兩個不同實施例。微致動器或定位器的該優(yōu)選實施例可用在光學開關模塊21中以控制在兩個準直器(未被示出)之間的激光束方向。然而，其用途不止于此。它可以被用在需要鎖定運動的任何環(huán)境中，特別是需要小尺寸及快速開關時間的線性致動器或定位器的環(huán)境中。
圖7是在X/Y平面內(nèi)帶有纖陣列或矩陣的這種光學開關模塊21的示意圖，在所示圖中這樣的纖A、B、C和D水平延伸，相交纖31、32、33和34垂直延伸。在光纖的每個交點上有一插槽22，也正如圖11和12的放大視圖所示，其限定了纖A的面對端口42和43以及纖33的40和41。在開關模塊21的每個插槽22內(nèi)被可移動放置的用于在垂直方向運動(即，進入和離開圖7、11和12的平面)的是微致動器或定位器20，即體現(xiàn)本發(fā)明的光學開關。圖11和12還示出在矩陣另一側上的附加連接，其在圖7中未被示出。因此，每個纖交點，在圖1至6的開關21中所示，將包括具有微鏡的微致動器20，當未被致動時，允許例如纖A上的光學輸入信號從端口42被傳遞到端口43以沿著纖A將信號從其輸入傳導到其輸出。如果充當光學開關的根據(jù)本發(fā)明的微定位器或致動器20被致動，則在端口42來自纖A的輸入信號被微定位器20的鏡反射到纖33的端口41上以將信號從輸入A切換到輸出33。
作為另外選擇地，微致動器20，而不包括微鏡，可包括濾光器或衍射光柵，以選擇性地阻擋/通過提供“on/off”功能的單纖上的某些波長。然而，更典型地，開關網(wǎng)絡被如此提供，以便于多輸入線可被選擇性地耦合到多輸出線。包括光學開關20，即根據(jù)本發(fā)明的微致動器的光學開關模塊21的不同實施例被示于圖7、8、9和10中。圖8示出多個輸入和輸出線或兩個平面的纖23的耦合，這兩個平面分別是平面P1和P2，其中參考數(shù)字24/25指示被導向的光或激光束。圖9示出三個平面的多個輸入和輸出線23的耦合，這三個平面分別為平面P1、P2和P3。圖10示出四個平面的多個輸入和輸出線23的耦合，這四個平面分別為平面P1、P2、P3和P4。
被示于圖1-6的本發(fā)明微定位器包括沿著外罩的軸被放置的圓柱芯支架4、線圈芯1以及電磁線圈2。電磁線圈2被安放在由半硬磁性材料制成的線圈芯1上面。半硬材料可以基于例如FeCrCo合金、CoFeV合金、CoFeNi合金或FeCrCoNiMo合金或另一種半硬或二分之一硬材料。電磁線圈2被通過電連接10的電源設備(未被示出)所提供的電流控制且被供應此電流。永磁體9被放置在隔離物3和活塞8之間。永磁體9、電磁線圈2和線圈芯1共同作用以將活塞8在兩個鎖定位置之間反復，一個到圓柱體5中通路底端(在圖2中被示出)，且一個到圓柱體5中通路頂端(在圖1中被示出)。為了固定第二預定位置，活塞8可以包括例如側向凹槽并且活塞外罩5可以包括止動元件7，活塞8在第二位置與凹槽止動元件7鄰接。圖1、2和3中的實施例變型尤其具有超出圖4、5和6的實施例變型的優(yōu)點在于止動元件7并不是必須利用粘接劑固定。當考慮到圖4、5和6的實施例變型時，此外更清楚地是對于圓柱形止動元件7，用于在止動元件7和活塞5之間施加粘接劑的連接點被極端地加以限制。這可以導致止動元件7的不良粘接。另一方面，對于圖1、2和3的實施例變型，根本沒有必要使用粘接劑，并且止動元件7的安全粘接是可能的，在用于制造和維護微定位器的其它事情當中，其具有很大的優(yōu)點。正如已經(jīng)說明的，止動元件7本身可以具有磁性，來補償活塞8的反沖動量(校核術語)。附有鏡或濾光器6的活塞8通過楔7在通路的頂部被精確定位。利用粘接劑(圖4、5、6)或如圖1、2、3中具有凹槽11的凹槽結構，微定位器的各種元件被安裝在外罩12內(nèi)。
永磁體9起到兩個目的。它與線圈2共同作用以當驅動電流被施加到線圈上時，在其第一和第二鎖定的末端位置之間往復地移動活塞8。一旦驅動電流被去除時，磁體9還將活塞8軸向地鎖定在位。參考圖1和2這可以得到理解。當活塞8被鎖定在外罩中通路頂端的位置時，如圖1中所示，此時沒有驅動電流被施加到線圈2上，并且活塞靠由永磁體9所產(chǎn)生的磁場固定在位。為了將活塞8移動到圖2中的第二鎖定位置，適當?shù)尿寗与娏鞅皇┘拥骄€圈2上。電流的極性由活塞8要被移向的方向、線圈被纏繞的方向以及到線圈的電連接極性來加以確定。基于上述考慮，驅動電流被施加到線圈2上以產(chǎn)生磁力，所述磁力與由永磁體9所感應的磁場具有相反的極性。這產(chǎn)生促使活塞8移動的吸引力。這個力快速地將活塞8移動到圖2中所示的靠到外罩內(nèi)通路底端的第二鎖定位置。在活塞8到達圖2中所示的第二鎖定位置之后，驅動電流被從線圈2中除去并且永磁體9將活塞8鎖定在第二鎖定位置。當活塞8即將返回到第一鎖定位置時，向線圈2施加適當?shù)碾娏鳎鲭娏鞯臉O性相反于用于將活塞8從一個鎖定位置移動到另一鎖定位置而施加的那些電流的極性。被連接到線圈的適當控制電路被用來產(chǎn)生線圈的驅動信號并且用來控制這些信號的定時(timings)。在大多數(shù)應用中，微定位器應該具有小于5ms的快速響應時間。
活塞8快速地在其相對的鎖定位置之間移動。當活塞8碰撞到限定活塞通路的相對端的楔7或隔離物3時，由其運動所建立的動量可足以引起活塞8被回彈。為了避免這種回彈以及可能的碰撞損傷，電脈沖將被保持至少開關時間的兩倍，典型地為12ms。如圖3中所示，永磁體9優(yōu)選地由材料如Nd-Fe-B合金(例如，Vacodym 510HR，其具有1.41T的殘余感應率以及980,000A/m的矯頑磁性)或SmCo5/Sm2Co17合金(例如Vacomax)等制成。這個永磁體被軸向磁化且被附著到活塞8的底端。
現(xiàn)在說明根據(jù)本發(fā)明的微定位器實例的尺寸和操作特征。為了與這個發(fā)明建立聯(lián)系，產(chǎn)生線性運動的已知微定位器具有如此外殼，典型地長度處于20mm數(shù)量級以及約6mm的直徑，2mm的行程，典型地10ms的開關時間。
對于根據(jù)本發(fā)明的微定位器，外殼長度可為10mm，具有0.5mm的行程。12mm或13mm的外殼長度是可能的。在任一實例中，外殼具有約2.45mm，且特殊地2.5mm的直徑。因為移動部份可包括陶瓷材料，所以幾乎不存在熱膨脹或收縮。橫向導向具有小于1μm的精確度，例如從-40℃到80℃。
線匝具有45μm線的540匝。線圈具有2.4mm的直徑。在5V直流電(5Vdc)及0.150A的線圈電流下存在750mW的功率耗散。當開關路徑為0.5mm時，供電電壓將為5V直流電。最大電流將為0.150A。方波脈沖時間將為12ms且開關路徑在5ms內(nèi)被取得。沒有任何施加電壓時，在兩端的鎖定力為＞15mN。
借助于實例給出上述參數(shù)，其并不旨在限制本發(fā)明的范圍。
雖然本發(fā)明已經(jīng)就特定的實施例被加以說明，但是對于本領域中的那些技術人員來說許多其它的變化和修改以及其它使用將是顯而易見的。因此，優(yōu)選地本發(fā)明不被在此的具體公開內(nèi)容所限定，而僅由所附的權利要求來加以限定。
參考數(shù)字列表1 線圈芯2 線圈3 隔離物4 芯支架5 圓柱體6 鏡或濾光器7 止動器8 活塞9 磁體10 電連接11 凹槽12 外罩20 具有鏡或濾光器的定位器或微致動器21 光開關模塊22 插槽23 纖24/25 光-或激光束31/32/33/34 纖40/41/42/43 端口
權利要求
1.一種具有活塞(8)的電磁定位器，所述活塞(8)在第一和第二預定位置之間是可移動的并且由活塞導向(5)加以支撐，其特征在于所述可移動活塞(8)包括取向在移動方向上的永磁體(9)，所述定位器包括能夠極性顛倒的電磁線圈(2)，其具有在活塞(8)的移動方向上能夠極性顛倒的芯(1)，借助于所述線圈(2)，根據(jù)其磁化強度，活塞(8)可從一個預定位置移入另一預定位置，所述能夠極性顛倒的芯(1)具有剩磁，借助于此當線圈未被通電時，可移動活塞(8)在兩個預定位置的一個是固定的。
2.根據(jù)權利要求1所述的電磁定位器，其中所述活塞(8)在所述活塞導向(5)的外部是軸向可延伸的。
3.根據(jù)權利要求1所述的電磁定位器，其特征在于所述活塞(8)被設計成在起到活塞導向(5)作用的圓柱形活塞外罩中是圓柱形的。
4.根據(jù)權利要求2所述的電磁定位器，其特征在于所述活塞(8)和/或活塞導向(5)至少部分由陶瓷制成。
5.根據(jù)權利要求3所述的電磁定位器，其特征在于所述活塞(8)和/或外罩(5)至少部分由陶瓷制成。
6.根據(jù)權利要求1所述的電磁定位器，其特征在于所述活塞(8)和/或活塞導向(5)至少部分由陶瓷制成。
7.根據(jù)權利要求1所述的電磁定位器，其特征在于所述永磁體(9)被放置在活塞(8)的末端。
8.根據(jù)權利要求4所述的電磁定位器，其特征在于所述定位器包括被放置在活塞導向(5)和具有線圈芯(1)的線圈(2)之間的隔離物(3)。
9.根據(jù)權利要求4所述的電磁定位器，其特征在于所述活塞(8)包括側向凹槽(11)以及活塞導向(5)包括止動元件(7)，借助于此活塞(8)的第二預定位置是可固定的。
10.根據(jù)權利要求1所述的電磁定位器，其中所述永磁體(9)和/或所述電磁線圈(1)在所述活塞(8)運動的方向上被軸向磁化。
11.根據(jù)權利要求1所述的電磁定位器，其特征在于能夠極性顛倒的芯(1)包括半硬或二分之一硬磁體。
12.根據(jù)權利要求4所述的電磁定位器，其特征在于所述止動元件(7)具有用于將活塞(8)保持在第二位置的磁矩。
13.根據(jù)權利要求2所述的電磁定位器，其特征在于活塞導向(5)外的可延伸部分包括光學元件(6)。
14.根據(jù)權利要求13所述的電磁定位器，其特征在于光學元件(6)包括鏡和/或濾光器。
15.根據(jù)權利要求1所述的電磁定位器，其特征在于活塞(8)的永磁體(9)具有1.2-1.6T的電感(B)及940000-1000000A/m的矯頑磁場。
16.根據(jù)權利要求1所述的電磁定位器，其特征在于具有磁線圈芯(1)用于移動活塞(8)的磁體線圈(2)具有比將活塞(8)從一個位置移動進入另一位置所必需時間長2至3倍的激活時間。
17.一種光學開關模塊(21)，其特征在于為了耦合輸入和輸出端口光學開關模塊(21)包括根據(jù)權利要求1的電磁定位器(20)。
18.一種用于產(chǎn)生光學開關模塊(21)的方法，其特征在于為了耦合輸入和輸出端口，根據(jù)權利要求1的電磁定位器(20)被使用。
全文摘要
一種例如用在纖光學中的電磁微定位器，由安裝在陶瓷圓柱體(5)內(nèi)的陶瓷活塞(8)來操作。活塞(8)由永磁體(9)和電磁電路(1/2)來移動。通過變化線圈(2)的極性，活塞(8)將被吸引或被排斥到其頂端或底端的位置。尤其是能夠極性顛倒的芯(1)具有剩磁，當線圈(2)未被通電時，借此于此可移動活塞(8)在兩個預定位置之一是可固定的。
文檔編號G02B6/35GK1628257SQ02829111
公開日2005年6月15日 申請日期2002年6月12日 優(yōu)先權日2002年6月12日
發(fā)明者庫爾特·胡格, 彼得·瓊斯, 烏爾斯·馬格 申請人:顯微切削設備有限公司