專利名稱：豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種帶有用于夾持需要曝光物體的校正工作臺(tái)的豎直校正機(jī)構(gòu)，例如用于夾持以豎直狀態(tài)被支承的用于形成印刷線路板的面板或曝光板。
在印刷線路板加工過程的蝕刻校樣處理中，通過具有與所須的導(dǎo)體圖形相應(yīng)的暴光圖形的曝光板將導(dǎo)電片的預(yù)先涂覆的抗腐蝕膜曝光。在將預(yù)先涂覆的抗腐蝕膜曝光之前要將該涂覆有該膜的面板與曝光板校正對(duì)齊。一般地，印刷線路板的面板或曝光板由校正工作臺(tái)來夾持，該校正工作臺(tái)可以在與面板和曝光板排列方向垂直的平面上移動(dòng)而進(jìn)行位置調(diào)整，并且可以移動(dòng)校正工作臺(tái)以使面板和曝光板相互校正。
已經(jīng)提出了多種用于將面板和曝光板校正的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)?；旧?，校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)設(shè)置有XYθ工作臺(tái)，當(dāng)借助攝像機(jī)或其他裝置檢測到形成于面板和曝光板上的校正標(biāo)記在重疊時(shí)具有偏差時(shí)，通過移動(dòng)校正工作臺(tái)來使得面板和曝光板校正。
參照?qǐng)D5，示出了普遍使用的現(xiàn)有的水平的校正工作臺(tái)的例子，其中有水平基板3和用于夾持曝光板之類的校正工作臺(tái)5。校正工作臺(tái)5呈矩形扁平板形狀，其上設(shè)有允許光線通過的較大的窗口5a，該窗口由邊緣部分環(huán)繞而成。校正工作臺(tái)5被支承連接于基板3的上表面，可以進(jìn)行自由的水平移動(dòng)?；?的前側(cè)安裝有第一和第二致動(dòng)器9，它們的軸線向后延伸?；?的右側(cè)安裝有第三致動(dòng)器9，其軸線指向左側(cè)。第一、第二和第三致動(dòng)器9是電動(dòng)致動(dòng)器，分別設(shè)有線性移動(dòng)致動(dòng)桿9a。
校正工作臺(tái)的前側(cè)安裝有第一和第二導(dǎo)軌11，校正工作臺(tái)右側(cè)安裝有第三導(dǎo)軌11。每個(gè)導(dǎo)軌11上安裝有滑座13。致動(dòng)桿9a的自由端借助通用的連接件15連接到相應(yīng)的滑座13上。啟動(dòng)第三致動(dòng)器9可以向左或向右移動(dòng)校正工作臺(tái)5。啟動(dòng)第一和第二致動(dòng)器9可以向前或向后移動(dòng)校正工作臺(tái)。啟動(dòng)第一致動(dòng)器，或者啟動(dòng)第二致動(dòng)器可以使校正工作臺(tái)在水平面上轉(zhuǎn)動(dòng)。
由于致動(dòng)器9從校正工作臺(tái)5的周邊向外伸出較多，使得現(xiàn)有的校正工作臺(tái)。機(jī)構(gòu)1的整體尺寸較大。如果一定用致動(dòng)器9移動(dòng)校正工作臺(tái)5來完成工作臺(tái)5的微米級(jí)的精確定位，致動(dòng)器9和校正工作臺(tái)5之間的連接竄動(dòng)，包括導(dǎo)軌11和滑槽13之間的連接竄動(dòng)必須無限逼近于零，同時(shí)，要求致動(dòng)器9機(jī)構(gòu)精密，不允許有任何間隙偏差。
雖然圖5中沒有示出，但實(shí)際上致動(dòng)器9是一種高精密設(shè)備，其包括作為驅(qū)動(dòng)裝置的脈沖馬達(dá)、滾珠絲杠、聯(lián)軸器和支承這些元件的復(fù)雜的精密軸承。因此，致動(dòng)器9和將致動(dòng)器9連接到校正工作臺(tái)5上的連接件是十分昂貴的。
當(dāng)曝光設(shè)備，如曝光板以豎直狀態(tài)使用來避免不利的灰塵影響時(shí)，必須采用如圖6所示的豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)1。豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)1需要一夾持機(jī)構(gòu)17來支承校正工作臺(tái)，例如，與校正工作臺(tái)5的兩側(cè)主要表面接觸的滑動(dòng)軸承組。
當(dāng)采用夾持機(jī)構(gòu)17時(shí)，豎直校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)1具有大的高度，為了與夾持機(jī)構(gòu)17配合，必然增大校正工作臺(tái)5的外部尺寸。所以增加了豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)1的尺寸。一般地，夾持于夾持機(jī)構(gòu)17的校正工作臺(tái)5不能隨意移動(dòng)，且很難消除夾持機(jī)構(gòu)17的偏差。在校正工作臺(tái)5前側(cè)的夾持機(jī)構(gòu)17的伸出部分阻礙了校正工作臺(tái)5相對(duì)于位置調(diào)整目標(biāo)的移動(dòng)，對(duì)于校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)1和周邊機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)自由度也產(chǎn)生了限制。
本發(fā)明是基于上述問題提出的，因而本發(fā)明的目的是提供一種成本低、結(jié)構(gòu)緊湊并可以獲得精確定位的豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明，豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)包括一豎直的支承壁；一與該豎直支承壁的前表面相對(duì)的豎直設(shè)置的校正工作臺(tái)，該校正工作臺(tái)還具有環(huán)繞邊緣部分設(shè)置的曝光裝置支承區(qū)域；多個(gè)工作臺(tái)支承部件，用于支承著工作臺(tái)在豎直平面上移動(dòng)；多個(gè)工作臺(tái)移動(dòng)部件，用于沿著平行于兩個(gè)相互垂直的校正方向的方向移動(dòng)校正工作臺(tái)；其特征在于每一工作臺(tái)支承部件包括一彈性元件，用于持續(xù)地將校正工作臺(tái)拉向支承壁，而在支承壁和校正工作臺(tái)之間設(shè)置的滾動(dòng)元件允許校正工作臺(tái)沿上述方向移動(dòng)。
在該校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)中，校正工作臺(tái)總是被彈性元件拉靠在支承壁上并通過滾動(dòng)元件實(shí)現(xiàn)移動(dòng)。因此，在校正工作臺(tái)和支承壁之間垂直于豎直壁的方向上根本沒有竄動(dòng)。
由于工作臺(tái)支承部件的彈性元件和滾動(dòng)元件沒有從支承曝光機(jī)構(gòu)的校正工作臺(tái)的前表面伸出，所以校正工作臺(tái)相對(duì)于其位置校正目標(biāo)的移動(dòng)就不會(huì)受到阻礙，因而校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)及其相關(guān)機(jī)構(gòu)在設(shè)計(jì)上的自由度得到大的提高。
在本發(fā)明的豎直的校正工作臺(tái)中，每一工作臺(tái)移動(dòng)部件可以包括一對(duì)分別安裝于支承壁和校正工作臺(tái)上的用于相互接觸的接觸元件，一彈性元件，用于迫使彈性元件相互接觸，一致動(dòng)器，用于使一個(gè)彈性元件向另一個(gè)彈性元件移動(dòng)或使一個(gè)彈性元件向遠(yuǎn)離另一個(gè)彈性元件的方向移動(dòng)。
這樣，因?yàn)榻佑|元件總是彼此相壓接觸的，所以校正工作臺(tái)不僅在豎直平面內(nèi)，而且相對(duì)于校正方向根本沒有任何游隙。因此，即使在致動(dòng)器移動(dòng)一個(gè)接觸元件而朝向或遠(yuǎn)離另一個(gè)接觸元件的狀態(tài)下，后一個(gè)接觸元件跟隨前一個(gè)接觸元件的運(yùn)動(dòng)，從而可靠地保持校正工作臺(tái)，保證高精度的校正操作。
由于迫使校正工作臺(tái)一側(cè)的接觸元件和支承壁一側(cè)的接觸元件相互接觸的彈性力作為作用于致動(dòng)器致動(dòng)桿上的預(yù)先加載力，致動(dòng)器就可以不必是那種帶有可消除元件之間竄動(dòng)偏差的復(fù)雜機(jī)構(gòu)的昂貴的致動(dòng)器，因而就可以降低該豎直的校正工作臺(tái)的加工成本。
在本發(fā)明的這種豎直的校正工作臺(tái)中，工作臺(tái)支承部件和工作臺(tái)移動(dòng)部件可以設(shè)置在校正工作臺(tái)的曝光機(jī)構(gòu)支承區(qū)域的外側(cè)。
由于工作臺(tái)支承部件和工作臺(tái)移動(dòng)部件的任何部位不或幾乎不伸出校正工作臺(tái)，豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)可以作成結(jié)構(gòu)緊湊，其尺寸只是校正工作臺(tái)所必要的尺寸；即，工作臺(tái)支承部件和工作臺(tái)移動(dòng)部件不需要大的安裝空間，而曝光機(jī)構(gòu)支承區(qū)域，如窗口，相對(duì)于校正工作臺(tái)的尺寸可以作成較大的尺寸。
由致動(dòng)器的移動(dòng)來驅(qū)動(dòng)的接觸元件可以安裝于致動(dòng)器致動(dòng)桿的自由端或通過中間元件連接到致動(dòng)器致動(dòng)桿的自由端。當(dāng)接觸元件被直接安裝于致動(dòng)桿的自由端，工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以作成緊湊的結(jié)構(gòu)。
圖1是采用了本發(fā)明較佳實(shí)施例的豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的印刷線路板曝光裝置必要部件的立體圖；圖2是沿圖3的Ⅱ-Ⅱ線的放大的截面圖，示出了圖1所示的豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)；圖3是沿圖2的Ⅲ-Ⅲ線的放大的截面圖，示出了圖1所示的豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)；圖4是圖1所示豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)必要部件的放大立體圖；圖5是現(xiàn)有的水平的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)；圖6是圖5所示的水平的校正工作臺(tái)的變型的現(xiàn)有的校正工作臺(tái)的截面圖。
本發(fā)明較佳實(shí)施例的豎直校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)是一種用于夾持由玻璃制成的曝光板23的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)21，所述曝光板插入用于形成印刷線路板的曝光裝置中。曝光板23具有所須的透明圖形。曝光板23上設(shè)有校正標(biāo)志23a。該曝光板23由曝光板校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)21的校正工作臺(tái)33夾持。形成印刷線路模板的面板25通過曝光板23曝光。面板25具有涂覆有可處理的抗紫外線膜的表面，還設(shè)有參照孔25a，用于將面板25和曝光板23對(duì)齊校正。
面板夾持基座27用于以豎直狀態(tài)夾持面板25。面板夾持基座27具有豎直的抽吸表面27a，靠吸力將面板25固定于其上。面板夾持基座27可以在傳送位置和曝光位置之間移動(dòng)，其中在傳送位置，面板被從輸送帶傳送到面板夾持基座，反之亦然，而在曝光位置，面板設(shè)置于曝光板23的對(duì)面進(jìn)行曝光。
校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)21包括基板結(jié)構(gòu)31，該結(jié)構(gòu)被支承著以便沿著導(dǎo)軌29移動(dòng)；校正工作臺(tái)33，該工作臺(tái)以豎直狀態(tài)支承于基板結(jié)構(gòu)31上；四個(gè)工作臺(tái)支承部件，它們在基板結(jié)構(gòu)31上支承著校正工作臺(tái)33；三個(gè)工作臺(tái)移動(dòng)部件，用于調(diào)整校正工作臺(tái)33的位置；攝影機(jī)39，用于檢測校正工作臺(tái)33的位置錯(cuò)誤。具有所須的曝光圖形的曝光板23被可拆卸地夾持于校正工作臺(tái)33上。
基座結(jié)構(gòu)31具有基座元件41，該元件41支承在導(dǎo)軌29上，并可以在其上移動(dòng)，在基座元件41的前端，即圖1所示的左下手端豎立一較薄的扁平支承壁43，從該支承壁43的左側(cè)和右側(cè)的中間部分分別向后伸出一攝像機(jī)托架45，在該支承壁43的靠近四個(gè)角的位置各自向后伸出一彈簧連接件47。如圖2所示，支承壁43設(shè)有一窗口43a，其形狀類似于支承壁43，只是尺寸略小。
校正工作臺(tái)33呈矩形框形狀，其是由尺寸小于支承壁43的扁平板加工而成。如圖3所示，校正工作臺(tái)33設(shè)有窗口33a，尺寸基本與窗口43a相同或略小。因此支承壁43和校正工作臺(tái)33都是矩形框形狀。
四個(gè)工作臺(tái)支承部件的每一個(gè)都設(shè)有固定于支承壁43的球狀腳輪51，和固定于校正工作臺(tái)33上的的接觸塊53，以及拉伸彈簧55，即彈性元件。球狀腳輪51包括殼體51b和通過未示出的多個(gè)小球體旋轉(zhuǎn)支承于殼體51b內(nèi)的球體51a。球狀腳輪51安裝于支承壁43的前表面，其位置各自靠近窗口43a上下邊緣的左右端。球體51a的一部分從殼體51b內(nèi)向前伸出。接觸塊53位于校正工作臺(tái)33的后表面，其位置各自靠近窗口33a上下邊緣的左右端。小的彈簧連接銷57(圖3)安裝在校正工作臺(tái)33上，其位置各自處于上接觸塊53的上側(cè)和下接觸塊53的下側(cè)。
允許拉伸彈簧55穿過的通孔59設(shè)置于支承壁43上，其位置靠近球狀腳輪51并各自對(duì)應(yīng)于彈簧腔47。彈簧拉伸桿61從每一彈簧腔47的后壁向前伸出。安裝在校正工作臺(tái)33上的接觸塊53設(shè)置成與球狀腳輪51的球體51a接觸，且每一拉伸彈簧55通過通孔59連接于彈簧連接銷57和彈簧拉伸桿61的前端部之間，用于將校正工作臺(tái)33拉向支承壁43，并保持接觸塊53與球狀腳輪51的球體51a的接觸。
校正工作臺(tái)33以豎直狀態(tài)支承在支承壁43的前表面上，并可借助球狀腳輪51的球體51a在豎直表面上移動(dòng)。校正工作臺(tái)33在垂直于豎直表面的方向上根本沒有竄動(dòng)，不能向前移動(dòng)，除非向前的力超過了拉伸彈簧55作用其上的彈力。
三個(gè)工作臺(tái)移動(dòng)部件37位于支承壁43和校正工作臺(tái)33之間的空間。下面的工作臺(tái)移動(dòng)部件37位于窗口33a和43a的下側(cè)，而左右的工作臺(tái)移動(dòng)部件37分別位于窗口33a和43a的左右兩側(cè)。下面的工作臺(tái)移動(dòng)部件37水平移動(dòng)校正工作臺(tái)33，用于水平校正，而左右的工作臺(tái)移動(dòng)部件37豎直地移動(dòng)校正工作臺(tái)33，用于豎直校正。工作臺(tái)支承部件35和工作臺(tái)移動(dòng)部件37位于對(duì)應(yīng)于窗口33a所在空間的外側(cè)。
三個(gè)工作臺(tái)移動(dòng)部件37的結(jié)構(gòu)相同。如圖4清楚地示出，每一工作臺(tái)移動(dòng)部件37設(shè)有馬達(dá)座65，軸承箱67和設(shè)置于支承壁43前表面校正方向上的導(dǎo)軌69，借助該導(dǎo)軌，工作臺(tái)移動(dòng)部件37移動(dòng)校正工作臺(tái)33。下面的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的校正方向是水平方向，而自由端工作臺(tái)移動(dòng)部件37的校正方向是豎直方向。脈沖馬達(dá)71安裝在馬達(dá)座65上。軸承73支承在軸承箱67上。螺線桿75的一端與脈沖馬達(dá)71的輸出軸相連。
滑板77沿著校正方向在導(dǎo)軌69上導(dǎo)向移動(dòng)?；?7的一端安裝有螺母79，而滑板77的另一端安裝有輥輪支承軸81，該軸垂直于支承壁43的表面。螺桿75在螺母79內(nèi)旋轉(zhuǎn)，隨動(dòng)的輥輪83，即接觸元件，旋轉(zhuǎn)支承在輥輪支承軸81上。當(dāng)啟動(dòng)脈沖馬達(dá)時(shí)，螺母沿著脈沖馬達(dá)71的輸出軸的旋轉(zhuǎn)方向的對(duì)應(yīng)方向移動(dòng)，而隨動(dòng)輥輪83沿著相同的方向移動(dòng)。
三個(gè)接觸塊85，即接觸元件，具有矩形的平行六面體形狀，它們固定在校正工作臺(tái)33的后表面上。下面的接觸塊85的右端面從左側(cè)與下面的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的隨動(dòng)輥輪83相面對(duì)。
左右的接觸塊85各自基本上豎直固定在校正工作臺(tái)33的窗口33a的左右兩側(cè)的中間部分。左右的接觸塊85的下端面各自從上側(cè)與左右的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的隨動(dòng)輥輪83相面對(duì)。通過拉伸彈簧87，接觸塊85與各自對(duì)應(yīng)的隨動(dòng)輥輪83保持彈性接觸。每一工作臺(tái)移動(dòng)部件37具有按校正方向沿著窗口33a和43a的邊緣延伸的拉伸彈簧87，它們連接于固定在支承壁43上的彈簧連接銷89和固定在校正工作臺(tái)33上的彈簧連接銷91之間。因此，校正工作臺(tái)33被下面的拉伸彈簧87向右拉，借助下面拉伸彈簧87的拉伸力，下面的接觸塊85總是與下面的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的隨動(dòng)輥輪83保持接觸。校正工作臺(tái)33被左右的拉伸彈簧87向下拉，借助左右拉伸彈簧87的拉伸力，左右的接觸塊85總是與左右的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的隨動(dòng)輥輪83保持接觸。
因此，通過隨動(dòng)輥輪83與相應(yīng)的接觸塊85的彈性接觸，校正工作臺(tái)33被夾持于豎直平面的指定位置。當(dāng)下面的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的脈沖馬達(dá)71啟動(dòng)，其輸出軸沿一定方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，隨動(dòng)輥輪83向左移動(dòng)并推動(dòng)接觸塊85向左移動(dòng)，而校正工作臺(tái)33與接觸塊一起抵抗拉伸彈簧的拉伸力向左移動(dòng)。當(dāng)下面的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的脈沖馬達(dá)71啟動(dòng)，其輸出軸沿相反的方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，隨動(dòng)輥輪83向右移動(dòng)，而接觸塊85也向右移動(dòng)，接觸塊85在拉伸彈簧的拉伸力作用下跟著隨動(dòng)輥輪向右移動(dòng)，從而使校正工作臺(tái)33向右移動(dòng)。當(dāng)校正工作臺(tái)這樣水平移動(dòng)時(shí)，左右的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的隨動(dòng)輥輪83各自沿著對(duì)應(yīng)的接觸塊85的下表面滾動(dòng)。
左右的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的操作也是類似的；當(dāng)左右的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的脈沖馬達(dá)71啟動(dòng)，其輸出軸沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，校正工作臺(tái)33向上移動(dòng)，而當(dāng)相同的脈沖馬達(dá)71啟動(dòng)，其輸出軸沿相反的方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，校正工作臺(tái)33向下移動(dòng)。當(dāng)校正工作臺(tái)這樣豎直移動(dòng)時(shí)，下面的工作臺(tái)移動(dòng)部件37的隨動(dòng)輥輪83沿著相應(yīng)的接觸塊85的右端面滾動(dòng)。
由于校正工作臺(tái)33無論移動(dòng)還是不移動(dòng)，其總是被拉向支承壁43，在校正工作臺(tái)33和支承壁43之間根本沒有竄動(dòng)，而且由于隨動(dòng)輥輪83可以沿著接觸塊85滾動(dòng)以及接觸塊53可以相對(duì)于球體狀腳輪51移動(dòng)，就保證了校正工作臺(tái)33可以相對(duì)于支承壁43的自由移動(dòng)。
在校正工作臺(tái)33的前表面，環(huán)繞窗口33a設(shè)有抽吸槽(未示出)。借助該抽吸槽產(chǎn)生的吸力，曝光板23的周緣部分被吸附在校正工作臺(tái)33的前表面上，從而將曝光板23夾持在校正工作臺(tái)上。
攝影機(jī)39是CCD(計(jì)算機(jī)控制顯示)攝影機(jī)。每一攝影機(jī)安裝于攝影機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未示出)上，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)支承在攝影機(jī)托架45上，并在窗口33a和43a外側(cè)的等待位置和探測位置之間移動(dòng)，其中在探測位置時(shí)，攝影機(jī)透鏡的光軸與曝光板23上的校正標(biāo)志對(duì)齊。
下面將敘述將曝光板23和面板25校正以及借助曝光板將面板25曝光的操作。當(dāng)夾持著面板25的面板夾持基座27位于曝光位置時(shí)，校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)21向面板夾持基座27推進(jìn)，使曝光板23與面板25接觸。對(duì)應(yīng)于曝光板23的校正標(biāo)記23a的面板25的參照孔25a的位置被攝影機(jī)39檢測到后，計(jì)算出兩者的位置偏差。然后，校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)21略微相對(duì)于曝光板移動(dòng)，即啟動(dòng)步進(jìn)馬達(dá)71在豎直平面上移動(dòng)夾持著曝光板23的校正工作臺(tái)33，使得曝光板23的校正標(biāo)記23a與面板25的參照孔25a對(duì)齊。直到校正標(biāo)記23a與相應(yīng)的面板25的參照孔25a的位置偏差減小到允許范圍內(nèi)的量值時(shí)，才停止校正操作。
然后，校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)21向前推進(jìn)，使曝光板23與面板25接觸，攝影機(jī)39退回到等待位置，打開位于支承壁43后面的曝光燈(未示出)，透過曝光板對(duì)面板25進(jìn)行紫外線輻照。
雖然，本發(fā)明以較佳實(shí)施例的形式描述，但本發(fā)明不限于上述限定的那些實(shí)際的實(shí)施方式。例如，彈性元件可以是除了拉伸彈簧以外的任意合適的元件。工作臺(tái)支承部件35的球體51a也可以旋轉(zhuǎn)支承在校正工作臺(tái)33上，與支承壁43保持彈性接觸。步進(jìn)馬達(dá)71即致動(dòng)器，隨動(dòng)輥輪83即滾動(dòng)件，每一工作臺(tái)移動(dòng)部件37可以不支承在支承壁43上，而支承在校正工作臺(tái)33上。每一工作臺(tái)移動(dòng)部件37的兩個(gè)接觸元件可以都是滾動(dòng)件。本發(fā)明的豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)不僅適用于夾持曝光板，也適用于夾持多種曝光部件，其不必一定設(shè)有窗口。
雖然本發(fā)明所述的較佳實(shí)施例具有一定的特殊性，但顯然可以進(jìn)行多種改變和變型。所以應(yīng)該理解到，本發(fā)明不同于這里的特定的描述，只要不超出其范圍和實(shí)質(zhì)，就是可行的。
權(quán)利要求
1．一豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)，包括一豎直的支承壁(43)；一校正工作臺(tái)(33)，其與支承壁的前表面相面對(duì)著豎直設(shè)置，并具有一被周緣部分環(huán)繞的曝光部件支承區(qū)域(33a)；多個(gè)工作臺(tái)支承部件(35)，用于支承著校正工作臺(tái)(33)在豎直表面上移動(dòng)；多個(gè)工作臺(tái)移動(dòng)部件(37)，用于沿著平行于兩個(gè)相互垂直的校正方向的方向移動(dòng)校正工作臺(tái)；其特征在于每一工作臺(tái)支承部件(35)包括一彈性元件(55)，該元件持續(xù)地將校正工作臺(tái)(33)拉向支承壁(43)，一滾動(dòng)元件(51a)位于支承壁和校正工作臺(tái)之間，允許校正工作臺(tái)沿所述方向移動(dòng)。
2．如權(quán)利要求1所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于所說的滾動(dòng)元件是夾持在球狀腳輪(51)中的球體(51a)，該球狀腳輪固定在支承壁(43)上，所述校正工作臺(tái)(33)具有固定于其上的接觸塊(53)，該接觸塊具有一與球體滾動(dòng)接觸的表面。
3．如權(quán)利要求1所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于所述彈性元件是拉伸彈簧(55)，該拉伸彈簧靠近滾動(dòng)元件(51a)設(shè)置，并使校正工作臺(tái)(33)與支承壁(43)相連接。
4．如權(quán)利要求3所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于支承壁(43)具有彈簧連接元件(47)，該元件從支承壁(43)向遠(yuǎn)離校正工作臺(tái)(33)的方向伸出，拉伸彈簧(55)的一端連接在彈簧連接元件(47)上，而其另一端連接在校正工作臺(tái)(33)上，拉伸彈簧(55)穿過支承壁上的孔(59)。
5．如權(quán)利要求1所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于每一工作臺(tái)移動(dòng)部件(37)包括一對(duì)接觸元件(83、85)，它們分別安裝在支承壁(43)和校正工作臺(tái)(33)上，為了相互接觸，彈性元件(87)迫使接觸元件壓靠接觸，而致動(dòng)器(71)用于使其中一個(gè)接觸元件向著另一個(gè)接觸元件或遠(yuǎn)離另一個(gè)接觸元件移動(dòng)。
6．如權(quán)利要求5所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于致動(dòng)器(71)具有致動(dòng)桿，每一工作臺(tái)移動(dòng)部件(37)的一個(gè)接觸元件與該致動(dòng)器致動(dòng)桿的自由端相聯(lián)接。
7．如權(quán)利要求5所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于至少一個(gè)接觸元件是滾動(dòng)元件(83)。
8．如權(quán)利要求5所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于一個(gè)接觸元件是固定在校正工作臺(tái)(33)或支承壁(43)上的接觸塊(85)，而另一個(gè)接觸元件是支承在相應(yīng)的支承壁或校正工作臺(tái)上的輥輪(83)，該輥輪與所述接觸塊(85)的表面滾動(dòng)接觸。
9．如權(quán)利要求5所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于所述致動(dòng)器(71)是一安裝于校正工作臺(tái)(33)或支承壁(43)上的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，該馬達(dá)的輸出軸是螺桿(75)，而相應(yīng)的支承壁或校正工作臺(tái)上固定安裝有螺母(79)，該螺母與所述螺桿之間是螺紋配合。
10．如權(quán)利要求9所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于作用于接觸元件的所述彈性元件是拉伸彈簧(87)，其兩端分別連接校正工作臺(tái)(33)和支承壁(43)。
11．如權(quán)利要求1所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于所述工作臺(tái)支承部件(35)和工作臺(tái)移動(dòng)部件(37)設(shè)置于校正工作臺(tái)(33)的周緣部分。
12．如權(quán)利要求1所述的豎直的校正工作臺(tái)，其特征在于所述工作臺(tái)支承部件(35)和工作臺(tái)移動(dòng)部件(37)位于校正工作臺(tái)的曝光部件支承區(qū)域(33a)的外側(cè)。
全文摘要
一種用于夾持形成印刷線路板的面板25的豎直的校正工作臺(tái)機(jī)構(gòu)21,該機(jī)構(gòu)具有豎直的支承壁43,和與支承壁43前表面相面對(duì)的豎直設(shè)置的校正工作臺(tái)33,該工作臺(tái)的窗口上設(shè)有曝光板23。該校正工作臺(tái)借助多個(gè)工作臺(tái)支承部件35支承在支承壁43上并可在豎直面上移動(dòng)。每一工作臺(tái)支承部件35包括固定于支承壁43上的球狀腳輪51,該腳輪內(nèi)有球體51a,支承部件還包括固定在校正工作臺(tái)33上的接觸塊53。拉伸彈簧55迫使接觸塊53的表面和球體相抵靠。工作臺(tái)移動(dòng)部件37也設(shè)置于支承壁43和校正工作臺(tái)33之間。每一工作臺(tái)移動(dòng)部件37包括校正工作臺(tái)33上的接觸塊85和支承壁43上的隨動(dòng)輥輪83。彈簧87迫使隨動(dòng)輥輪83抵靠在接觸塊85上。脈沖馬達(dá)71產(chǎn)生校正工作臺(tái)33相對(duì)于支承壁35的移動(dòng)。
文檔編號(hào)G03F9/00GK1311626SQ00106519
公開日2001年9月5日 申請(qǐng)日期2000年2月29日 優(yōu)先權(quán)日1998年9月22日
發(fā)明者岡本惇 申請(qǐng)人:豐和工業(yè)株式會(huì)社