兩用型打點機構的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種對不合格晶元進行點墨標識的兩用型打點機構,包括固定板、基座、保持架、固定座、第一氣缸、第二氣缸、復位彈簧、給墨頭與連接頭;在固定板上固定有基座,在基座上滑動安裝有保持架,在保持架與基座之間設有復位彈簧,在保持架上固定有固定座,在固定座與保持架上安裝有給墨頭;在基座上固定有第一氣缸與第二氣缸,第一氣缸平行設置在第二氣缸的上方,第一氣缸的活塞桿與保持架相抵,在第二氣缸的活塞桿端部安裝有連接頭。本實用新型可以根據工作需要自由調換氣動給墨頭或者電動給墨頭,不僅使用方便、功能齊全而且結構簡單、可靠。
【專利說明】
兩用型打點機構
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種對不合格晶元進行點墨標識的打點機構,本實用新型尤其是涉及一種兩用型打點機構。
【背景技術】
[0002]在半導體晶元檢查時,需要對于不合格晶元進行點墨標識,一般通過裝載在工業顯微鏡上的打點器實現。一般打點器分為氣動給墨式打點器和電動給墨式打點器,實際運用中根據需要裝載。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足,提供一種可以按照需要自由調換給墨方式、使用方便的兩用型打點機構。
[0004]按照本實用新型提供的技術方案,所述兩用型打點機構,包括固定板、基座、保持架、固定座、第一氣缸、第二氣缸、復位彈簧、給墨頭與連接頭;在固定板上固定有基座,在基座上滑動安裝有保持架,在保持架與基座之間設有復位彈簧,在保持架上固定有固定座,在固定座與保持架上安裝有給墨頭;在基座上固定有第一氣缸與第二氣缸,第一氣缸平行設置在第二氣缸的上方,第一氣缸的活塞桿與保持架相抵,在第二氣缸的活塞桿端部安裝有連接頭。
[0005]所述打點器為氣動給墨頭或者電動給墨頭。
[0006]在基座上固定有定位套,在定位套內設有推桿,推桿的一端與第一氣缸的活塞桿相抵,推桿的另一端與保持架相抵。
[0007]本實用新型可以根據工作需要自由調換氣動給墨頭或者電動給墨頭,不僅使用方便、功能齊全而且結構簡單、可靠。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型實施例1的結構示意圖。
[0009]圖2是本實用新型實施例2的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0010]下面結合具體實施例對本實用新型作進一步說明。
[0011]實施例1
[0012]本實用新型包括固定板1、基座2、保持架3、固定座4、第一氣缸5、第二氣缸6、復位彈簧7、給墨頭與連接頭9;在固定板I上固定有基座2,在基座2上滑動安裝有保持架3,在保持架3與基座2之間設有復位彈簧7,在保持架3上固定有固定座4,在固定座4與保持架3上安裝有給墨頭;在基座2上固定有第一氣缸5與第二氣缸6,第一氣缸5平行設置在第二氣缸6的上方,第一氣缸5的活塞桿與保持架3相抵,在第二氣缸6的活塞桿端部安裝有連接頭9。
[0013]所述給墨頭為氣動給墨頭8.1。
[0014]在基座2上固定有定位套10,在定位套10內設有推桿11,推桿11的一端與第一氣缸5的活塞桿相抵,推桿11的另一端與保持架3相抵。
[0015]工作時,第二氣缸6不參與工作,第一氣缸5通過推桿11推動保持架3,將固定在保持架3上的氣動給墨頭8.1送至給墨位置,再通過氣管接頭12引入驅動氣源進行打點,打點完畢,再通過復位彈簧7回復至原位。
[0016]實施例2
[0017]本實用新型包括固定板1、基座2、保持架3、固定座4、第一氣缸5、第二氣缸6、復位彈簧7、給墨頭與連接頭9;在固定板I上固定有基座2,在基座2上滑動安裝有保持架3,在保持架3與基座2之間設有復位彈簧7,在保持架3上固定有固定座4,在固定座4與保持架3上安裝有給墨頭;在基座2上固定有第一氣缸5與第二氣缸6,第一氣缸5平行設置在第二氣缸6的上方,第一氣缸5的活塞桿與保持架3相抵,在第二氣缸6的活塞桿端部安裝有連接頭9,連接頭9指向所述給墨頭的后端部中心位置。
[0018]所述給墨頭為電動給墨頭8.2。
[0019]在基座2上固定有定位套10,在定位套10內設有推桿11,推桿11的一端與第一氣缸5的活塞桿相抵,推桿11的另一端與保持架3相抵。
[0020]工作時,第一氣缸5通過推桿11推動保持架3,將固定在保持架3上的電動給墨頭
8.2送至給墨位置,第二氣缸6通過連接頭9和電動給墨頭8.2連接,通過第二氣缸6的推拉動作實現打點。
【主權項】
1.一種兩用型打點機構,包括固定板(I)、基座(2)、保持架(3)、固定座(4)、第一氣缸(5)、第二氣缸(6)、復位彈簧(7)、給墨頭與連接頭(9);其特征是:在固定板(I)上固定有基座(2),在基座(2)上滑動安裝有保持架(3),在保持架(3)與基座(2)之間設有復位彈簧(7),在保持架(3)上固定有固定座(4),在固定座(4)與保持架(3)上安裝有給墨頭;在基座(2)上固定有第一氣缸(5)與第二氣缸(6),第一氣缸(5)平行設置在第二氣缸(6)的上方,第一氣缸(5)的活塞桿與保持架(3)相抵,在第二氣缸(6)的活塞桿端部安裝有連接頭(9)。2.如權利要求1所述的兩用型打點機構,其特征是:所述給墨頭為氣動給墨頭(8.1)或者電動給墨頭(8.2)。3.如權利要求1所述的兩用型打點機構,其特征是:在基座(2)上固定有定位套(10),在定位套(1 )內設有推桿(11 ),推桿(11)的一端與第一氣缸(5 )的活塞桿相抵,推桿(11)的另一端與保持架(3)相抵。
【文檔編號】G09F3/02GK205645084SQ201620460525
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月19日
【發明人】沈震, 祁云峰, 陳宏成
【申請人】無錫聯發易創科技有限公司