壓電噴頭及其加工方法以及包括該噴頭的噴涂設備的制造方法
【專利摘要】本發明公開了一種壓電噴頭及其加工方法以及包括該噴頭的噴涂設備，屬于壓電陶瓷領域，所述壓電噴頭包括至少一個墨水槽，所述墨水槽上覆蓋有柔性隔膜，形成墨水腔，所述墨水腔的一端設置有進墨口，另一端設置有噴嘴，所述柔性隔膜上對應所述墨水腔設置有采用d31面內橫向彎曲變形模式的壓電陶瓷懸臂梁，所述壓電陶瓷懸臂梁的一端靠近所述進墨口并固定，另一端靠近所述噴嘴，所述壓電陶瓷懸臂梁連接有驅動電路。與現有技術相比，本發明的壓電噴頭輸出力高、適用范圍廣，零部件不易磨損、壽命長。
【專利說明】
壓電噴頭及其加工方法以及包括該噴頭的噴涂設備
技術領域
[0001]本發明涉及壓電陶瓷領域，特別是指一種壓電噴頭及其加工方法以及包括該噴頭的噴涂設備。【背景技術】
[0002]噴頭是噴墨打印機或點J3父機最核心、所占成本最尚、技術含量最尚的部件，國內從研發到制造均屬空白，完全依賴于進口，但是，國外的噴頭結構復雜，制備工藝也非常復雜， 對超精密加工設備的依賴性很強，噴頭的價格昂貴；另外，國外的噴頭的輸出位移，輸出力低，噴頭適用范圍有限；而且噴頭的零部件易磨損，壽命短。
[0003]以愛普生壓電噴頭為例，如圖1和圖2所示，愛普生壓電噴頭的噴嘴板、墨腔均是采用MEMS生產工藝制成，結構和加工工藝復雜，加工設備昂貴，噴頭成本高；愛普生壓電噴頭結構中的壓電陶瓷為1微米厚的壓電陶瓷薄膜，壓電陶瓷薄膜受到制備工藝的限制，自身密度比較低，加電變形時不會產生大的輸出位移，使輸出力低，并且愛普生壓電噴頭的材質以半導體娃為主，娃材質剛度大，墨腔變形幅度小，使輸出力進一步降低，由于輸出力的降低，愛普生壓電噴頭只適合家庭和辦公打印，不適合工業上陶瓷噴墨打印或者對于噴射力要求高的點膠打印等；愛普生壓電噴頭的壓電陶瓷薄膜整條與墨腔基體表面粘接到一起，壓電陶瓷薄膜發生變形時，會引起整個墨腔產生變形，使墨腔等零部件易磨損，壽命短。
【發明內容】
[0004]本發明提供一種壓電噴頭及其加工方法以及包括該噴頭的噴涂設備，該壓電噴頭輸出力高、適用范圍廣，零部件不易磨損、壽命長。
[0005]為解決上述技術問題，本發明提供技術方案如下:
[0006]—方面，提供一種壓電噴頭，包括至少一個墨水槽，所述墨水槽上覆蓋有柔性隔膜，形成墨水腔，所述墨水腔的一端設置有進墨口，另一端設置有噴嘴，所述柔性隔膜上對應所述墨水腔設置有采用d31面內橫向彎曲變形模式的壓電陶瓷懸臂梁，所述壓電陶瓷懸臂梁的一端靠近所述進墨口并固定，另一端靠近所述噴嘴，所述壓電陶瓷懸臂梁連接有驅動電路。
[0007]進一步的，所述柔性隔膜上設置有支架，所述壓電陶瓷懸臂梁的靠近所述進墨口的一端固定在所述支架上，另一端設置有觸點，所述觸點的表面粘在所述柔性隔膜上。
[0008]進一步的，所述墨水槽為一端封閉，一端開口的槽體，其中:
[0009]所述柔性隔膜及支架上位于墨水槽封閉的一端開有窗口，形成所述進墨口；
[0010]所述噴嘴設置在噴嘴板上，所述噴嘴板粘在墨水槽開口的一端的端面上。
[0011]進一步的，所述墨水槽為一端封閉，一端開口的槽體，其中:
[0012]墨水槽開口的一端的端面作為進墨口；
[0013]墨水槽封閉的一端的端面或底面上開有小孔，作為噴嘴。
[0014]進一步的，所述墨水槽為兩端封閉的槽體，其中:
[0015]所述柔性隔膜及支架上位于所述墨水槽的一端開有窗口，形成所述進墨口；或者， 所述墨水槽的一端的底部開有通孔，形成所述進墨口；
[0016]所述墨水槽的另一端的端面或底面上開有小孔，作為噴嘴。
[0017]進一步的，所述墨水槽為兩端開口的槽體，其中:
[0018]所述墨水槽的一端的端面作為進墨口；
[0019]所述噴嘴設置在噴嘴板上，所述噴嘴板粘在所述墨水槽的另一端。
[0020]進一步的，所述壓電陶瓷懸臂梁為壓電雙晶片結構，包括內電極，所述內電極的兩個表面均設置有壓電陶瓷片，每個壓電陶瓷片的外表面均設置有外電極。
[0021]進一步的，所述柔性隔膜的材質為有機薄膜，包括聚乙烯或聚酰亞胺；所述支架的材質為結構陶瓷，所述墨水槽的材質為結構陶瓷或硅材料，所述噴嘴板的材質為結構陶瓷、 鎳鐵合金、有機玻璃、工程塑料、特氟龍或半導體硅材料，所述結構陶瓷包括氧化鋁、氧化鋯、氮化硅或氮化鋁；所述壓電陶瓷片的材質為鋯鈦酸鉛；所述內電極的材質為銀鈀合金、 銅或銀；所述外電極的材質錯、銀、鎳或金。
[0022]另一方面，本發明提供一種上述壓電噴頭的加工方法，包括:
[0023]步驟1:在塊體材料上進行精密切槽加工，形成一端封閉，一端開口的墨水槽，其中，所述塊體材料為結構陶瓷或硅材料；
[0024]步驟2:將柔性隔膜覆蓋并粘在所述墨水槽上，形成墨水腔，其中所述柔性隔膜上位于墨水槽封閉的一端開有用于進墨的第一窗口；
[0025]步驟3:將支撐板覆蓋并粘在所述柔性隔膜上，其中，所述支撐板上位于墨水槽封閉的一端開有與所述第一窗口對應的第二窗口，所述支撐板上位于墨水槽開口的一端開有用作為壓電陶瓷懸臂梁動作空間的第三窗口；
[0026]步驟4:將壓電陶瓷板覆蓋并粘在所述支撐板上；
[0027]步驟5:將所述壓電陶瓷板以及所述支撐板靠近所述噴嘴的一端進行切割，形成帶有觸點的壓電陶瓷懸臂梁，其中所述觸點由切割所述支撐板靠近所述噴嘴的一端而得到；
[0028]步驟6:將噴嘴板粘在墨水槽開口的一端的端面上。
[0029]再一方面，本發明提供一種噴涂設備，包括上述壓電噴頭，所述噴涂設備包括打印機、點膠機、釉料噴涂設備或電極漿料噴涂設備。
[0030]本發明具有以下有益效果:
[0031]與現有技術相比，本發明的壓電噴頭在工作時，墨水從進墨口流入墨水腔，通過驅動電路對壓電陶瓷懸臂梁加電信號，壓電陶瓷懸臂梁會發生向柔性隔膜方向的變形，擠壓柔性隔膜，使柔性隔膜向墨水腔內凹陷，將墨水從噴嘴擠出。本發明的壓電噴頭使用壓電陶瓷懸臂梁作為驅動部件，其采用d31面內橫向彎曲變形，加電時變形量大，輸出力高，可以對墨水槽中的墨水產生較大的變形壓力，有利于增加墨滴噴射初始速度，提高噴墨打印頭的工作效率，并且柔性隔膜代替了剛度大的硅材料，保證了墨水腔的變形量大，對墨水的壓力高；另外壓電陶瓷懸臂梁的最大位移發生在靠近噴嘴的一側，可以在的墨水槽靠近噴嘴的位置，形成最大的墨水壓力變化；由于輸出量大，本發明的壓電噴頭不僅適用于家庭和辦公打印，還適用于工業上陶瓷噴墨打印或者對于噴射力要求高的點膠打印，以及噴涂釉料或電極漿料等，適用范圍廣；本發明的壓電陶瓷懸臂梁變形時，只會使柔性隔膜變形，墨水腔的其他部分不變形，使墨水腔不易磨損，壽命長。故本發明的壓電噴頭輸出力高、零部件不易磨損、壽命長。【附圖說明】
[0032]圖1為現有技術中愛普生打印機噴頭的結構示意圖；
[0033]圖2為現有技術中愛普生打印機噴頭的剖視圖；
[0034]圖3為本發明的壓電噴頭的結構示意圖；
[0035]圖4為本發明的壓電噴頭的墨水槽示意圖；
[0036]圖5為圖3的俯視圖；
[0037]圖6為圖5的A-A向剖視圖；
[0038]圖7為圖5的B-B向剖視圖；
[0039]圖8為本發明的壓電噴頭的工作過程示意圖；
[0040]圖9為本發明中的壓電陶瓷懸臂梁的結構示意圖；
[0041]圖10為本發明的壓電噴頭的加工過程示意圖。【具體實施方式】
[0042] 為使本發明要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0043] —方面，本發明提供一種壓電噴頭，如圖3至圖8所示，包括至少一個墨水槽1，墨水槽1上覆蓋有柔性隔膜2,形成墨水腔，墨水腔的一端設置有進墨口 6,另一端設置有噴嘴 7,柔性隔膜2上對應墨水腔設置有采用d31面內橫向彎曲變形模式的壓電陶瓷懸臂梁4,壓電陶瓷懸臂梁4的一端靠近進墨口 6并固定，另一端靠近噴嘴7,壓電陶瓷懸臂梁4連接有驅動電路。
[0044]本發明中，墨水槽可以有多種結構形式，對應著有多種加工方式，例如可以是在塊體材料上開槽加工，形成墨水槽，也可以是加工好矩形的墨水槽側壁，然后間隔一定距離粘在地板上，形成墨水槽；柔性隔膜覆蓋到墨水槽，需要密封，可以采用壓緊方式密封，也可以用粘貼的方式密封；在墨水腔上需要有供墨水流入的進墨口，以及將墨水噴出的噴嘴，這里所說的墨水只是為了敘述方便而為，也可以不是墨水，而是點膠水、釉料或電極漿料等黏度較大的流體等；壓電陶瓷懸臂梁采用d31面內橫向彎曲變形，其一端可以直接固定到墨水腔上，也可以通過增加其他機構來固定，另一端靠近噴嘴，在加電時，壓電陶瓷懸臂梁變形會將噴嘴附近的墨水擠壓出噴嘴。
[0045] 與現有技術相比，本發明的壓電噴頭在工作時，墨水從進墨口流入墨水腔，通過驅動電路對壓電陶瓷懸臂梁加電信號，壓電陶瓷懸臂梁會發生向柔性隔膜方向的變形，擠壓柔性隔膜，使柔性隔膜向墨水腔內凹陷，將墨水從噴嘴擠出。本發明的壓電噴頭使用壓電陶瓷懸臂梁作為驅動部件，其采用d31面內橫向彎曲變形，加電時變形量大，輸出力高，可以對墨水槽中的墨水產生較大的變形壓力，有利于增加墨滴噴射初始速度，提高噴墨打印頭的工作效率，并且柔性隔膜代替了剛度大的硅材料，保證了墨水腔的變形量大，對墨水的壓力高；另外壓電陶瓷懸臂梁的最大位移發生在靠近噴嘴的一側，可以在的墨水槽靠近噴嘴的位置，形成最大的墨水壓力變化；由于輸出量大，本發明的壓電噴頭不僅適用于家庭和辦公打印，還適用于工業上陶瓷噴墨打印或者對于噴射力要求高的點膠打印，以及噴涂釉料或電極漿料等，適用范圍廣；本發明的壓電陶瓷懸臂梁變形時，只會使柔性隔膜變形，墨水腔的其他部分不變形，使墨水腔不易磨損，壽命長。故本發明的壓電噴頭輸出力高、零部件不易磨損、壽命長。
[0046]作為本發明的一種改進，如圖3至圖8所示，柔性隔膜上設置有支架31，壓電陶瓷懸臂梁4的靠近進墨口 6的一端固定在支架31上，另一端設置有觸點32,觸點32的表面粘在柔性隔膜2上。
[0047]支架可以方便壓電陶瓷懸臂梁的固定，使用支架固定能夠避免壓電陶瓷懸臂梁變形時對墨水腔產生影響，如應力以及變形等；使用支架固定時，會使壓電陶瓷懸臂梁未固定的一端與柔性隔膜不再接觸，為此，作為補償，在這一端上設置有觸點，使觸點的表面與柔性隔膜接觸，觸點使壓電陶瓷懸臂梁與柔性隔膜充分接觸，使壓電陶瓷懸臂梁的變形量不會浪費；進一步的觸點的表面粘在柔性隔膜上，這樣，給壓電陶瓷懸臂梁加交變電壓，先使壓電陶瓷懸臂梁向墨水腔外變形，使柔性隔膜向墨水腔外擴張，吸入墨水，然后使壓電陶瓷懸臂梁向墨水腔內變形，使柔性隔膜向墨水腔內擠壓，將墨水從噴嘴擠出，這樣既能在壓電陶瓷懸臂梁回程時使柔性隔膜的變形恢復，為下次動作做準備，又能吸入墨水。
[0048]本發明中，墨水槽可以有多種結構，對應的墨水腔也可以有多種結構，具體實施例如下:
[0049]實施例一:
[0050]墨水槽1為一端封閉，一端開口的槽體，其中:
[0051]柔性隔膜2及支架31上位于墨水槽1封閉的一端開有窗口，形成進墨口 6,如圖6 所示，；或者，墨水槽的封閉的一端的底部開有通孔，形成進墨口；
[0052]噴嘴7設置在噴嘴板5上，噴嘴板5粘在墨水槽1開口的一端的端面上；
[0053]噴嘴設置在噴嘴板上，當噴嘴出現故障時，只需要更換噴嘴板即可，不需要更換整個壓電噴頭。
[0054]實施例二:
[0055]墨水槽為一端封閉，一端開口的槽體，其中:
[0056]墨水槽開口的一端的端面作為進墨口；
[0057]以開口的一端作為進墨口，不用額外的設置進墨口，簡單方便；
[0058]墨水槽封閉的一端的端面或底面上開有小孔，作為噴嘴；
[0059]墨水槽封閉的一端的端面或底面上開有小孔，作為噴嘴，不需要額外的噴嘴板。
[0060]實施例三:
[0061]墨水槽為兩端封閉的槽體，其中:
[0062]柔性隔膜及支架上位于墨水槽的一端開有窗口，形成進墨口；或者，墨水槽的一端的底部開有通孔，形成進墨口；
[0063]墨水槽的另一端的端面或底面上開有小孔，作為噴嘴；
[0064]墨水槽另一端的端面或底面上開有小孔，作為噴嘴，不需要額外的噴嘴板。
[0065]實施例四:
[0066]墨水槽為兩端開口的槽體，其中:
[0067]墨水槽的一端的端面作為進墨口；
[0068]以開口的一端作為進墨口，不用額外的設置進墨口，簡單方便；
[0069]噴嘴設置在噴嘴板上，噴嘴板粘在墨水槽的另一端；
[0070]噴嘴設置在噴嘴板上，當噴嘴出現故障時，只需要更換噴嘴板即可，不需要更換整個壓電噴頭。
[0071]作為本發明的另一種改進，如圖9所示，壓電陶瓷懸臂梁4為壓電雙晶片結構，包括內電極42,內電極42的兩個表面均設置有壓電陶瓷片41，每個壓電陶瓷片41的外表面均設置有外電極。
[0072] 壓電雙晶片結構可以為并聯型，即兩片壓電陶瓷片41的極化方向相反，則電極引線61接交流電“ + ”，電極引線62、63接交流電;壓電雙晶片結構可以為串聯型，即兩片壓電陶瓷片的極化方向相同，則電極引線62接交流電“ + ”，電極引線63接交流電電極引線61接地，電壓為0。由于交流幅值隨時變化，“ +只作為記號。壓電陶瓷懸臂梁采用壓電雙晶片結構，可以獲得更大的變形力。
[0073]與現有技術相比，本發明的壓電噴頭采用不同的材質，具體的:
[0074] 柔性隔膜的材質可以為有機薄膜，包括聚乙烯或聚酰亞胺等；有機薄膜的彈性模量小，在壓電陶瓷懸臂梁的作用下容易產生變形，可以對墨水槽中的墨水產生較大的變形壓力，有利于增加墨滴噴射初始速度，提高噴墨打印頭的工作效率，已有的壓電噴頭的墨水槽密封采用的是有一定剛度的硅材質、陶瓷材質、金屬材質等，變形小；并且有機薄膜耐腐蝕，使用范圍廣，壽命長；
[0075] 支架的材質可以為結構陶瓷，墨水槽的材質為結構陶瓷或硅材料，噴嘴板的材質為結構陶瓷、鎳鐵合金、有機玻璃、工程塑料、特氟龍或半導體硅材料，結構陶瓷包括氧化鋁、氧化鋯、氮化硅或氮化鋁；
[0076] 支架、墨水槽、噴嘴板的材質可以均為剛性材料，不易變形，不易磨損，壽命更長；
[0077] 壓電陶瓷片的材質可以為鋯鈦酸鉛；內電極的材質可以為銀鈀合金、銅或銀；夕卜電極的材質可以為鋁、銀、鎳或金。
[0078]另一方面，本發明提供一種上述壓電噴頭的加工方法，如圖10所示，包括:
[0079]步驟1:如圖10a與圖10b所示，在塊體材料1’上進行精密切槽加工，形成一端封閉，一端開口的墨水槽1，其中，塊體材料1’為結構陶瓷或硅材料；
[0080] 本步驟中，墨水槽是通過在塊體材料上進行精密切槽加工制得，工藝簡單，加工方便，上述精密切槽加工可以使用劃片機完成；
[0081]步驟2:如圖10c所示，將柔性隔膜2覆蓋并粘在墨水槽上，形成墨水腔，其中柔性隔膜上位于墨水槽1封閉的一端開有用于進墨的第一窗口；
[0082]步驟3:如圖10d所示，將支撐板3覆蓋并粘在柔性隔膜上，其中，支撐板3上位于墨水槽1封閉的一端開有與第一窗口對應的第二窗口，支撐板3上位于墨水槽1開口的一端開有用作為壓電陶瓷懸臂梁4動作空間的第三窗口；
[0083] 本步驟中，支撐板的形狀可以為板狀結構，開有兩個窗口，一個用于進墨口，一個為壓電陶瓷懸臂梁動作空間；
[0084]步驟4:如圖10e所示，將壓電陶瓷板4’覆蓋并粘在支撐板3上；
[0085] 本步驟中的壓電陶瓷板是壓電陶瓷懸臂梁加工之前的形態；
[0086]步驟5:如圖10f所示，將壓電陶瓷板4’以及支撐板3靠近噴嘴7的一端進行切害J，形成帶有觸點32的壓電陶瓷懸臂梁4以及支架31，其中觸點32由切割支撐板3靠近噴嘴的一端而得到，支撐板3的剩余部分為支架31 ;
[0087]以往形成的壓電陶瓷懸臂梁，一般是先制備好壓電陶瓷懸臂梁，再與噴頭其它結構部件連接，形成完成的噴頭結構。本發明中的壓電陶瓷懸臂梁是將整張大的壓電陶瓷板， 與柔性隔膜上的支撐板粘接好之后，再通過精密劃片工藝加工成陣列的條狀壓電陶瓷懸臂梁，每條壓電陶瓷懸臂梁對應一條墨水槽，工藝簡單，成本低；在切割時，同時將支撐板靠近噴嘴的一端進行切割，得到觸點，簡單方便；
[0088]步驟6:如圖10g所不，將設置有噴嘴7的噴嘴板5粘在墨水槽1開口的一端的端面上；
[0089]上述方法很容易根據實際需要，制備成不同物理分辨率的噴頭結構，比如分辨率超過600dpi用于傳統印刷行業的精密壓電噴墨頭，也可以輕易獲得分辨率低于180dpi的可用于多點點膠，或釉料噴射的壓電噴頭結構。
[0090]故本發明的壓電噴頭的加工方法工藝簡單，加工方便，成本低，適用范圍廣。
[0091]再一方面，本發明提供一種噴涂設備，包括上述壓電噴頭，噴涂設備包括打印機、 點膠機、噴釉噴涂設備或電極漿料噴涂設備。
[0092]與上述壓電噴頭對應的，本發明的噴涂設備輸出力尚、零部件不易磨損、壽命長。
[0093]以上所述是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護范圍。
【主權項】
1.一種壓電噴頭，其特征在于，包括至少一個墨水槽，所述墨水槽上覆蓋有柔性隔膜， 形成墨水腔，所述墨水腔的一端設置有進墨口，另一端設置有噴嘴，所述柔性隔膜上對應所 述墨水腔設置有采用d31面內橫向彎曲變形模式的壓電陶瓷懸臂梁，所述壓電陶瓷懸臂梁 的一端靠近所述進墨口并固定，另一端靠近所述噴嘴，所述壓電陶瓷懸臂梁連接有驅動電 路。2.根據權利要求1所述的壓電噴頭，其特征在于，所述柔性隔膜上設置有支架，所述壓 電陶瓷懸臂梁的靠近所述進墨口的一端固定在所述支架上，另一端設置有觸點，所述觸點 的表面粘在所述柔性隔膜上。3.根據權利要求2所述的壓電噴頭，其特征在于，所述墨水槽為一端封閉，一端開口的 槽體，其中:所述柔性隔膜及支架上位于墨水槽封閉的一端開有窗口，形成所述進墨口；所述噴嘴設置在噴嘴板上，所述噴嘴板粘在墨水槽開口的一端的端面上。4.根據權利要求2所述的壓電噴頭，其特征在于，所述墨水槽為一端封閉，一端開口的 槽體，其中:墨水槽開口的一端的端面作為進墨口；墨水槽封閉的一端的端面或底面上開有小孔，作為噴嘴。5.根據權利要求2所述的壓電噴頭，其特征在于，所述墨水槽為兩端封閉的槽體，其 中:所述柔性隔膜及支架上位于所述墨水槽的一端開有窗口，形成所述進墨口；或者，所述 墨水槽的一端的底部開有通孔，形成所述進墨口；所述墨水槽的另一端的端面或底面上開有小孔，作為噴嘴。6.根據權利要求2所述的壓電噴頭，其特征在于，所述墨水槽為兩端開口的槽體，其 中:所述墨水槽的一端的端面作為進墨口；所述噴嘴設置在噴嘴板上，所述噴嘴板粘在所述墨水槽的另一端。7.根據權利要求1-6任一權利要求所述的壓電噴頭，其特征在于，所述壓電陶瓷懸臂 梁為壓電雙晶片結構，包括內電極，所述內電極的兩個表面均設置有壓電陶瓷片，每個壓電 陶瓷片的外表面均設置有外電極。8.根據權利要求7所述的壓電噴頭，其特征在于，所述柔性隔膜的材質為有機薄膜， 包括聚乙烯或聚酰亞胺；所述支架的材質為結構陶瓷，所述墨水槽的材質為結構陶瓷或硅 材料，所述噴嘴板的材質為結構陶瓷、鎳鐵合金、有機玻璃、工程塑料、特氟龍或半導體硅材 料，所述結構陶瓷包括氧化鋁、氧化鋯、氮化硅或氮化鋁；所述壓電陶瓷片的材質為鋯鈦酸 鉛；所述內電極的材質為銀鈀合金、銅或銀；所述外電極的材質鋁、銀、鎳或金。9.權利要求3所述的壓電噴頭的加工方法，其特征在于，包括:步驟1:在塊體材料上進行精密切槽加工，形成一端封閉，一端開口的墨水槽，其中，所 述塊體材料為結構陶瓷或硅材料；步驟2:將柔性隔膜覆蓋并粘在所述墨水槽上，形成墨水腔，其中所述柔性隔膜上位于 墨水槽封閉的一端開有用于進墨的第一窗口；步驟3:將支撐板覆蓋并粘在所述柔性隔膜上，其中，所述支撐板上位于墨水槽封閉的一端開有與所述第一窗口對應的第二窗口，所述支撐板上位于墨水槽開口的一端開有用作 為壓電陶瓷懸臂梁動作空間的第三窗口；步驟4:將壓電陶瓷板覆蓋并粘在所述支撐板上；步驟5:將所述壓電陶瓷板以及所述支撐板靠近所述噴嘴的一端進行切割，形成帶有 觸點的壓電陶瓷懸臂梁，其中所述觸點由切割所述支撐板靠近所述噴嘴的一端而得到； 步驟6:將設置有噴嘴的噴嘴板粘在墨水槽開口的一端的端面上。10.—種噴涂設備，其特征在于，包括權利要求1-8中任一權利要求所述的壓電噴頭， 所述噴涂設備包括打印機、點膠機、釉料噴涂設備或電極漿料噴涂設備。
【文檔編號】B41J2/14GK105984216SQ201510080226
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年2月13日
【發明人】仲作金, 崔宏超, 張淑蘭
【申請人】北京派和科技股份有限公司, 佛山市陶瓷研究所股份有限公司