圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)以及圖案轉(zhuǎn)印方法

圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)以及圖案轉(zhuǎn)印方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)以及圖案轉(zhuǎn)印方法。本發(fā)明的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)包括：第一清洗部，清洗橡皮布及印刷版；涂布部，對橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑；轉(zhuǎn)印部，通過將涂布著轉(zhuǎn)印劑的橡皮布及印刷版貼合，而對橡皮布轉(zhuǎn)印圖案；以及轉(zhuǎn)印部，通過將轉(zhuǎn)印有圖案的橡皮布貼合在基板上，而對基板轉(zhuǎn)印圖案。此外，圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)包括交接搬送部，所述交接搬送部將已由轉(zhuǎn)印部對橡皮布轉(zhuǎn)印圖案的印刷版、及已由轉(zhuǎn)印部對基板轉(zhuǎn)印圖案的橡皮布朝向第一清洗部搬送。
【專利說明】圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)以及圖案轉(zhuǎn)印方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是關(guān)于一種對半導(dǎo)體晶片(semiconductor wafer)、液晶顯示裝置用玻璃(glass)基板、等離子顯示器(plasma display)用玻璃基板、磁盤(magnetic disk)或光盤(optical disk)用玻璃或陶瓷(ceramic)基板、有機(jī)電激發(fā)光(Electroluminescence,EL)用玻璃基板、太陽能電池用玻璃基板或硅(silicon)基板、其他軟性(flexible)基板及印刷(printed)基板等適于電子機(jī)器的各種被處理基板轉(zhuǎn)印圖案(pattern)的技術(shù)。

【背景技術(shù)】
[0002]為了對半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板、等離子顯示器用玻璃基板、磁盤或光盤用玻璃或陶瓷基板、有機(jī)EL用玻璃基板、太陽能電池用玻璃基板或硅基板、其他軟性基板及印刷基板等適于電子機(jī)器的基板形成圖案，而利用光刻(photolithography)法。然而，在利用光刻法的情況下，必須經(jīng)過光阻(photoresist)的涂布步驟或曝光及顯影(development)步驟等各種步驟,而有處理時(shí)間變長且制造成本(cost)變高的問題。因此，近年來，提出了利用可降低成本的套版(offset)印刷法(例如，專利文獻(xiàn)I)。
[0003]平版印刷法主要包括通過使印刷版抵壓并接觸涂布著轉(zhuǎn)印劑的橡皮布(blanket)而對橡皮布上轉(zhuǎn)印圖案的步驟(第一轉(zhuǎn)印步驟)、以及通過使該橡皮布抵壓并接觸基板而對基板轉(zhuǎn)印圖案的步驟(第二轉(zhuǎn)印步驟)。此外，還提出了一些用以實(shí)施各圖案轉(zhuǎn)印步驟的各印刷裝置(例如，專利文獻(xiàn)2)。
[0004][【背景技術(shù)】文獻(xiàn)]
[0005][專利文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)I]日本專利特開2010-158799號公報(bào)
[0007][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2010-234714號公報(bào)
[0008]為了利用所述平版印刷法批量生產(chǎn)形成著圖案的基板，而考慮排列依次執(zhí)行所述各步驟的各裝置而構(gòu)筑生產(chǎn)線(manufacturing line)。然而,適合利用平版印刷法批量生產(chǎn)適于電子機(jī)器的基板的生產(chǎn)線至今未知。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種適合利用平版印刷法批量生產(chǎn)適于電子機(jī)器的基板的技術(shù)。
[0010]為了解決所述課題，第一實(shí)施方式是一種圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，利用平版印刷法對基板轉(zhuǎn)印圖案，其包括:清洗部，清洗印刷版；涂布部，對橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑；第一轉(zhuǎn)印部，通過將已由所述涂布部涂布所述轉(zhuǎn)印劑的所述橡皮布及已由所述清洗部清洗的印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至所述橡皮布；第二轉(zhuǎn)印部，通過將已被轉(zhuǎn)印所述圖案的橡皮布貼合在基板上，而對所述基板轉(zhuǎn)印圖案；以及搬送部，將已由所述第一轉(zhuǎn)印部對所述橡皮布轉(zhuǎn)印圖案的所述印刷版朝向所述清洗部搬送。
[0011]此外，第二實(shí)施方式是一種圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，利用平版印刷法對基板轉(zhuǎn)印圖案，其包括:清洗部，清洗橡皮布；涂布部，對已由所述清洗部清洗的所述橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑?’第一轉(zhuǎn)印部，通過將已由所述涂布部涂布所述轉(zhuǎn)印劑的所述橡皮布及印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至所述橡皮布；第二轉(zhuǎn)印部，通過將已被轉(zhuǎn)印所述圖案的橡皮布貼合在基板上，而對所述基板轉(zhuǎn)印圖案；以及搬送部，將已由所述第二轉(zhuǎn)印部對所述基板轉(zhuǎn)印圖案的所述橡皮布朝向所述清洗部搬送。
[0012]此外，第三實(shí)施方式是根據(jù)第一實(shí)施方式或第二實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其中所述清洗部包括可清洗所述橡皮布及所述印刷版這兩者的清洗裝置。
[0013]此外，第四實(shí)施方式是根據(jù)第三實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其中所述清洗裝置一邊向一方向搬送所述橡皮布及所述印刷版，一邊對所述橡皮布及所述印刷版的表面供給處理液，由此清洗所述橡皮布及所述印刷版。
[0014]此外，第五實(shí)施方式是根據(jù)第四實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其中所述清洗裝置包括:傾斜搬送部，使所述橡皮布及所述印刷版傾斜而進(jìn)行搬送；以及支撐部，支撐所述傾斜的所述橡皮布及所述印刷版的重力方向下側(cè)的側(cè)端部。
[0015]此外，第六實(shí)施方式是根據(jù)第四實(shí)施方式或第五實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其中所述橡皮布從所述涂布部到所述第一轉(zhuǎn)印部的移動(dòng)方向?yàn)榕c所述一方向相反的方向。
[0016]此外，第七實(shí)施方式是根據(jù)第二實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其還包括第二清洗部，該第二清洗部以與所述清洗部不同的實(shí)施方式清洗已由所述清洗部清洗的所述橡皮布；且所述涂布部對已由所述第二清洗部清洗的所述橡皮布涂布所述轉(zhuǎn)印劑。
[0017]此外，第八實(shí)施方式是一種圖案轉(zhuǎn)印方法，利用平版印刷法對基板轉(zhuǎn)印圖案，其包括如下步驟:(a)清洗印刷版；(b)對橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑；(C)通過將已由所述(b)步驟涂布所述轉(zhuǎn)印劑的所述橡皮布及已由所述(a)步驟清洗的印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至所述橡皮布；以及⑷通過將已由所述(C)步驟轉(zhuǎn)印所述圖案的橡皮布貼合在基板上，而對所述基板轉(zhuǎn)印圖案；且由所述(a)步驟清洗的所述印刷版為已由所述(C)步驟對所述橡皮布轉(zhuǎn)印圖案的所述印刷版。
[0018]此外，第九實(shí)施方式是一種圖案轉(zhuǎn)印方法，利用平版印刷法對基板轉(zhuǎn)印圖案，其包括如下步驟:(A)清洗橡皮布；(B)對已由所述(A)步驟清洗的所述橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑；(C)通過將已由所述(B)步驟涂布所述轉(zhuǎn)印劑的所述橡皮布及印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至所述橡皮布；以及⑶通過將已被轉(zhuǎn)印所述圖案的橡皮布貼合在基板上，而對所述基板轉(zhuǎn)印圖案；且由所述(A)步驟清洗的所述橡皮布為已由所述(D)步驟對所述基板轉(zhuǎn)印所述圖案的所述橡皮布。
[0019][發(fā)明效果]
[0020]根據(jù)第一實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)及第八實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印方法，在轉(zhuǎn)印處理中使用過的印刷版被再次利用。由此，可減少圖案轉(zhuǎn)印中所使用的印刷版的數(shù)量。
[0021]根據(jù)第二實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)及第九實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印方法，在轉(zhuǎn)印處理中使用過的橡皮布被再次利用。由此，可減少圖案轉(zhuǎn)印中所使用的橡皮布的數(shù)量。
[0022]此外，根據(jù)第三實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，可利用共用的清洗裝置清洗橡皮布及印刷版。因此，與設(shè)置分別專門清洗橡皮布及印刷版的清洗裝置的情況相比，可縮小圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)的占有面積。
[0023]此外，根據(jù)第四實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，可將橡皮布及印刷版分別一邊朝向后續(xù)的處理裝置搬送，一邊進(jìn)行清洗。
[0024]此外，根據(jù)第五實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，即便在橡皮布及印刷版的尺寸不同的情況下，也可以利用支撐部使重力方向下側(cè)的側(cè)端部的位置對齊而搬送橡皮布及印刷版。由此，可容易地實(shí)現(xiàn)橡皮布及印刷版的定位，所以可良好地進(jìn)行清洗處理。
[0025]此外，根據(jù)第六實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，因?yàn)槟芤栽趫D案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)內(nèi)進(jìn)行U形轉(zhuǎn)彎(U-turn)的方式搬送橡皮布，所以可縮短圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)的尺寸。
[0026]此外，根據(jù)第七實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，能以至少兩種不同的實(shí)施方式對橡皮布進(jìn)行清洗處理。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是第一實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)的概略俯視圖。
[0028]圖2是表示第一清洗部所包括的清洗裝置的概略的側(cè)視圖。
[0029]圖3是朝向+X側(cè)觀察在第一清洗部被搬送的橡皮布及印刷版時(shí)的概略前視圖。
[0030]圖4是表示第二清洗部的概略的側(cè)視圖。
[0031]圖5是表示在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)中制造轉(zhuǎn)印有圖案的基板9的流程的流程圖。
[0032]圖6是比較例的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)的概略俯視圖。
[0033]圖7是第二實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)的概略俯視圖。
[0034]附圖標(biāo)記:
[0035]1、1A、100:圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)
[0036]9:基板
[0037]11:第一清洗部(清洗部)
[0038]IlAUlB:清洗部
[0039]13:第二清洗部(第二清洗部)
[0040]14:預(yù)濕部
[0041]15:藥液處理部
[0042]16:沖洗部
[0043]17:傾斜輥(傾斜部)
[0044]18:支撐輥(支撐部)
[0045]21、21A、21B:交接部
[0046]23:交接搬送部(搬送部)
[0047]31、31A:預(yù)處理部
[0048]41:涂布部
[0049]51:轉(zhuǎn)印部(第一轉(zhuǎn)印部)
[0050]53:轉(zhuǎn)印部(第二轉(zhuǎn)印部)
[0051]55:載置臺(tái)
[0052]57:導(dǎo)引部
[0053]61、63:剝離部
[0054]71、73:機(jī)器臂搬送部
[0055]81:橡皮布處理部
[0056]83:印刷版處理部
[0057]85:轉(zhuǎn)印處理部
[0058]87:基板搬入部
[0059]89:基板搬出部
[0060]91:橡皮布
[0061]91T:橡皮布側(cè)端部
[0062]93:印刷版
[0063]93T:印刷版?zhèn)榷瞬?br> [0064]111:清洗裝置
[0065]131:搬送輥
[0066]133:清洗用刷子
[0067]141、161:噴頭
[0068]151:雙流體噴嘴
[0069]171:車輪
[0070]173、181:軸
[0071]511,531:轉(zhuǎn)印裝置
[0072]611,631:剝離裝置
[0073]700:無人搬送區(qū)域
[0074]701 ?707、711、731、751、771、791:搬送機(jī)器臂
[0075]L1、L2:寬度
[0076]SI ?SI 1:步驟
[0077]X:方向
[0078]Y:方向
[0079]Z:方向

【具體實(shí)施方式】
[0080]下面，一邊參照附圖，一邊說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，在附圖中，為了容易理解而有視需要夸大或簡化各部分的尺寸或數(shù)量進(jìn)行圖示的情況。
[0081]〈1.第一實(shí)施方式〉
[0082]〈1.1.構(gòu)成及功能>
[0083]圖1是第一實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I的概略俯視圖。在圖1及以后的各圖中，為了方便說明，將以X軸方向及Y軸方向這兩個(gè)方向定義的平面設(shè)為水平面，且將與這兩個(gè)方向垂直的Z軸方向定義為鉛垂方向。
[0084]圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I為如下系統(tǒng)，即，在將橡皮布91與印刷版93重疊而對橡皮布91轉(zhuǎn)印圖案之后，將該橡皮布91貼合在基板9上而將橡皮布91的圖案轉(zhuǎn)印至基板9，由此批量生產(chǎn)形成著圖案的基板9。
[0085]橡皮布91為大致平板狀的構(gòu)件，為了實(shí)現(xiàn)對印刷版93及基板9的良好的接觸而構(gòu)成為可柔軟地變形。橡皮布91可列舉例如娃酮橡膠(silicone rubber)或氟樹脂(fluoro resin)等。
[0086]印刷版93是對橡皮布91轉(zhuǎn)印規(guī)定圖案的構(gòu)件。作為印刷版93，可應(yīng)用例如具有凹部的凹版(gravure offset)印刷版、或使用不具有凹凸的平版的套版(offset)印刷版坐寸ο
[0087]基板9為適于電子機(jī)器的基板，例如為半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板、等離子顯示器用玻璃基板、磁盤或光盤用玻璃或陶瓷基板、有機(jī)EL用玻璃基板、太陽能電池用玻璃基板或硅基板、其他軟性基板及印刷基板等。對基板9轉(zhuǎn)印形成在橡皮布91的圖案而在其表面形成微細(xì)圖案。
[0088]圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I包括第一清洗部11、第二清洗部13、交接部21、交接搬送部23、預(yù)處理部31、涂布部41、轉(zhuǎn)印部51、轉(zhuǎn)印部53、剝離部61、剝離部63及機(jī)器臂(robot)搬送部71、機(jī)器臂搬送部73。
[0089]圖2是表示第一清洗部11所包括的清洗裝置111的概略的側(cè)視圖。第一清洗部11包括在X軸方向延伸且可清洗橡皮布91及印刷版93這兩者的清洗裝置111。第一清洗部11將橡皮布91或印刷版93 —邊通過滾輪(roller)搬送(棍(roller)搬送)向+X方向搬送，一邊利用水或藥液等進(jìn)行清洗處理。
[0090]如圖2所示，清洗裝置111包括預(yù)濕(Pre-Wet)部14、藥液處理部15及沖洗(rinse)部16。預(yù)濕部14、藥液處理部15及沖洗部16是朝向+X方向依次鄰接配置。預(yù)濕部14、藥液處理部15及沖洗部16分別包括收容至少I個(gè)橡皮布91或印刷版93的空間。此外，在預(yù)濕部14、藥液處理部15及沖洗部16的交界部分，以橡皮布91或印刷版93可通過的方式形成著開口。
[0091]預(yù)濕部14、藥液處理部15及沖洗部16中的橡皮布91或印刷版93的搬送是由隔開規(guī)定間隔而配置的多個(gè)傾斜輥17進(jìn)行搬送。
[0092]圖3是朝向+X側(cè)觀察在第一清洗部11中被搬送的橡皮布91及印刷版93時(shí)的概略前視圖。如圖3所示，各傾斜輥17是相對于水平面(XY平面)傾斜配置。因此，支撐于各傾斜輥17的上端的橡皮布91或印刷版93以相對于水平面傾斜的狀態(tài)被搬送。此外，橡皮布91或印刷版93的重力方向下側(cè)(-Z側(cè))的側(cè)端部91T、側(cè)端部93T通過與支撐輥18的表面接觸而被支撐。
[0093]支撐輥18構(gòu)成為可繞著在與橡皮布91或印刷版93的表面垂直的方向延伸的軸181旋轉(zhuǎn)。如果通過傾斜輥17的驅(qū)動(dòng)將橡皮布91或印刷版93向+X方向搬送，則支撐輥18跟隨橡皮布91或印刷版93的移動(dòng)而繞著軸181旋轉(zhuǎn)。由此，橡皮布91或印刷版93不會(huì)向重力方向下側(cè)滑落，而被朝向+X方向搬送。另外，支撐輥18還可以構(gòu)成為通過未圖示的驅(qū)動(dòng)力(電動(dòng)機(jī)(motor)等)而主動(dòng)地旋轉(zhuǎn)，也可以構(gòu)成為作為自由輥(free roller)而被動(dòng)地旋轉(zhuǎn)。
[0094]預(yù)濕部14是將水或規(guī)定的藥液從噴頭(shower nozzle) 141供給至橡皮布91或印刷版93而將橡皮布91或印刷版93預(yù)濕。藥液處理部15是將清洗用藥液從雙流體噴嘴(two fluid nozzle) 151供給至橡皮布91或印刷版93而對橡皮布91或印刷版93進(jìn)行清洗處理。沖洗部16是將水等沖洗液從噴頭161供給至橡皮布91或印刷版93而洗去清洗用藥液。在搬送中，橡皮布91或印刷版93相對于水平面傾斜。因此，供給至橡皮布91或印刷版93的液體隨時(shí)會(huì)流向重力方向下側(cè)。第一清洗部11以此方式進(jìn)行濕式(wet)清洗。
[0095]在本實(shí)施方式中，如圖3所示，橡皮布91的寬度(Y軸方向的長度)LI大于印刷版93的寬度L2。如此一來，通過傾斜輥17及支撐輥18可在重力方向下側(cè)的位置(也就是支撐輥18的支撐位置)使搬送對象物對齊而進(jìn)行搬送。由此，即便為寬度不同的多種搬送對象物，也可以容易且確實(shí)地進(jìn)行搬送對象物的定位。因此，可良好地進(jìn)行橡皮布91及印刷版93這兩者的清洗處理。
[0096]傾斜輥17包括以等間隔配置的多個(gè)車輪171、及安裝著多個(gè)車輪171的軸173。該多個(gè)車輪171的間隔根據(jù)兩個(gè)搬送對象物即橡皮布91及印刷版93的柔軟度而決定。也就是說，在本實(shí)施方式中，橡皮布91如上所述般是由比較柔軟的原材料形成。因此，如果車輪171與車輪171之間的距離過大，則有橡皮布91中的被兩個(gè)車輪171支撐的兩個(gè)支撐部分的內(nèi)側(cè)部分會(huì)沉入車輪171與車輪171之間，而產(chǎn)生清洗不良之虞。在該情況下，通過根據(jù)橡皮布91的柔軟性來縮短車輪171與車輪171之間的距離，可抑制橡皮布91的變形。由此，可減少橡皮布91產(chǎn)生清洗不良。
[0097]交接部21是鄰接于第一清洗部11的+X側(cè)而設(shè)置。經(jīng)第一清洗部11清洗的橡皮布91由交接部21搬送至鄰接于+X側(cè)的第二清洗部13。此外，經(jīng)第一清洗部11清洗的印刷版93由交接部21傳送至鄰接于+Y側(cè)的機(jī)器臂搬送部71的搬送機(jī)器臂711。交接部21包括將搬送對象物向+X方向搬送的例如多個(gè)搬送輥等。
[0098]圖4是表示第二清洗部13的概略的側(cè)視圖。第二清洗部13是以與第一清洗部11不同的實(shí)施方式清洗橡皮布91的部分。在本實(shí)施方式中，第二清洗部13是如圖4所示般通過隔開規(guī)定間隔而配置的多個(gè)搬送輥131向+X方向搬送橡皮布91。并且，第二清洗部13進(jìn)行所謂干式(dry)清洗，該干式清洗是通過將在Y軸方向延伸的清洗用刷子(brush) 133抵壓至橡皮布91的上表面而擦去其表面的污垢等。
[0099]預(yù)處理部31接收在第二清洗部13已完成干式清洗的橡皮布91并進(jìn)行預(yù)處理。作為預(yù)處理，可列舉例如烘烤(bake)處理等。預(yù)處理部31相對于第二清洗部13而鄰接配置在+Y側(cè)。雖省略圖示，但橡皮布91在第二清洗部13 ?預(yù)處理部31之間的移動(dòng)例如是通過利用搬送輥等的滾輪搬送而得以實(shí)現(xiàn)。已完成預(yù)處理的橡皮布91被搬送至涂布部41。
[0100]涂布部41鄰接配置在預(yù)處理部31的-X側(cè)。涂布部41對已完成預(yù)處理的橡皮布91的表面涂布轉(zhuǎn)印劑。轉(zhuǎn)印劑是根據(jù)例如所要制造的基板9的類別而決定。例如，在制造適于彩色濾光片(color filter)的基板9的情況下,在涂布部41中,涂布彩色濾光片用樹脂等作為轉(zhuǎn)印劑，此外，在制造適于有機(jī)EL裝置的基板的情況下，涂布有機(jī)EL材料作為轉(zhuǎn)印材料。另外，涂布部41中的轉(zhuǎn)印劑的涂布還可以通過例如一邊從形成著狹縫(slit)狀噴出口的狹縫噴嘴(slit nozzle)噴出轉(zhuǎn)印劑一邊使該狹縫噴嘴相對于橡皮布91相對地移動(dòng)，而在橡皮布91的表面形成轉(zhuǎn)印劑的膜?；蛘?還可以利用旋轉(zhuǎn)涂布(spin coating)法對橡皮布91涂布轉(zhuǎn)印劑。
[0101]機(jī)器臂搬送部71鄰接配置在涂布部41的-X側(cè)的位置且交接部21的+Y側(cè)。機(jī)器臂搬送部71包括搬送機(jī)器臂711。搬送機(jī)器臂711包括多個(gè)爪(finger)部。搬送機(jī)器臂711通過在使多個(gè)爪部插入橡皮布91或印刷版93的下側(cè)之后使這些爪部上升，而從下側(cè)捧起并支撐橡皮布91或印刷版93。此外，搬送機(jī)器臂711可將在Z軸方向延伸的軸作為旋轉(zhuǎn)軸而使爪部旋轉(zhuǎn)。
[0102] 具體來說，搬送機(jī)器臂711從+X側(cè)的涂布部41接收涂布著轉(zhuǎn)印劑的橡皮布91，并通過向右旋轉(zhuǎn)(或向左旋轉(zhuǎn))180°而將支撐于爪部的橡皮布91傳送至轉(zhuǎn)印部51。此外，搬送機(jī)器臂711接收配置在交接部21的濕式清洗處理后的印刷版93并向左旋轉(zhuǎn)90°而將支撐于爪部的印刷版93傳送至轉(zhuǎn)印部51。
[0103]轉(zhuǎn)印部51鄰接配置在機(jī)器臂搬送部71的-X側(cè)。轉(zhuǎn)印部51包括將橡皮布91貼合在印刷版93上而轉(zhuǎn)印圖案的轉(zhuǎn)印裝置511。搬送機(jī)器臂711將橡皮布91傳送至該轉(zhuǎn)印裝置511，并將印刷版93傳送至載置臺(tái)(stage) 55。然后，轉(zhuǎn)印裝置511通過將橡皮布91從其中一個(gè)端部到另一個(gè)端部逐漸壓抵于固定在載置臺(tái)55的印刷版93而將與印刷版93的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至橡皮布91上。作為轉(zhuǎn)印裝置511，考慮采用例如將專利文獻(xiàn)2(日本專利特開2010-234714號公報(bào))中記載的印刷裝置變形而得者。
[0104]剝離部61鄰接配置在轉(zhuǎn)印部51的-X側(cè)，其包括將貼合在印刷版93的橡皮布91從印刷版93剝離的剝離裝置611。由轉(zhuǎn)印部51貼合的橡皮布91及印刷版93的復(fù)合體通過沿著載置臺(tái)55的導(dǎo)引(guide)部57向-X方向直線移動(dòng)而被搬送至剝離部61的剝離裝置611。剝離裝置611將橡皮布91從其中另一個(gè)端部(或其中一個(gè)端部)到其中一個(gè)端部(或另一個(gè)端部)逐漸地從印刷版93剝離。作為剝離裝置611，考慮采用例如與轉(zhuǎn)印裝置511同樣地將專利文獻(xiàn)2(日本專利特開2010-234714號公報(bào))中記載的印刷裝置變形而得者。
[0105]另外，還可以組合轉(zhuǎn)印部51的轉(zhuǎn)印裝置511與剝離部61的剝離裝置611而以一臺(tái)裝置進(jìn)行轉(zhuǎn)印(貼合)處理與剝離處理。
[0106]機(jī)器臂搬送部73鄰接配置在剝離部61的-X側(cè)。機(jī)器臂搬送部73包括與搬送機(jī)器臂711大致相同構(gòu)成的搬送機(jī)器臂731。在剝離部61中被從印刷版93剝離的橡皮布91由機(jī)器臂搬送部73的搬送機(jī)器臂731從剝離裝置611取出并搬送至轉(zhuǎn)印部53。此外，保持在載置臺(tái)55的印刷版93由搬送機(jī)器臂731取出并被傳送至交接搬送部23。
[0107]機(jī)器臂搬送部73從外部補(bǔ)充或向外部排出橡皮布91或印刷版93。例如，在橡皮布91或印刷版93的使用次數(shù)達(dá)到規(guī)定次數(shù)的情況、或橡皮布91或印刷版93產(chǎn)生了損傷等的情況下，由機(jī)器臂搬送部73執(zhí)行橡皮布91或印刷版93的排出及補(bǔ)充。
[0108]轉(zhuǎn)印部53鄰接配置在機(jī)器臂搬送部73的-X側(cè)，且與轉(zhuǎn)印部51同樣地包括轉(zhuǎn)印裝置531。轉(zhuǎn)印裝置531從-X側(cè)接受基板9的供給并且從+X側(cè)接受自搬送機(jī)器臂731的橡皮布91的供給。然后，與之前所述的轉(zhuǎn)印部51中的橡皮布91及印刷版93的貼合同樣地進(jìn)行橡皮布91及基板9的貼合。由此，將形成在橡皮布91的圖案轉(zhuǎn)印至基板9。由轉(zhuǎn)印部53貼合的橡皮布91及基板9的復(fù)合體由搬送機(jī)器臂731從轉(zhuǎn)印裝置531取出并被傳送至交接搬送部23。
[0109]交接搬送部23鄰接配置在機(jī)器臂搬送部73的-Y側(cè)的位置且第一清洗部11的-X偵U。雖省略圖示，但交接搬送部23包括例如隔開所需間隔而配置的多個(gè)搬送輥。交接搬送部23將從搬送機(jī)器臂731接收的橡皮布91及基板9的復(fù)合體向-X側(cè)的剝離部63搬送。此外，交接搬送部23將從搬送機(jī)器臂731傳送來的印刷版93向+X側(cè)的第一清洗部11搬送。由此，在轉(zhuǎn)印處理中被使用過一次的印刷版93通過由第一清洗部11清洗而被再次利用于轉(zhuǎn)印處理。也就是說，交接搬送部23構(gòu)成將轉(zhuǎn)印處理后的印刷版93朝向第一清洗部11搬送的搬送部。
[0110]剝離部63鄰接配置在交接搬送部23的-X側(cè)，其包括將橡皮布91從基板9剝離的剝離裝置631。在剝離部63中被剝離了橡皮布91的基板9被向-X側(cè)搬出。此外，被剝離的橡皮布91被向交接搬送部23搬送。向交接搬送部23傳送的使用過的橡皮布91通過交接搬送部23的驅(qū)動(dòng)而被向第一清洗部11搬送。由此，已使用于對基板9轉(zhuǎn)印的橡皮布91通過由第一清洗部11清洗而再次被再利用于轉(zhuǎn)印部51、53中的轉(zhuǎn)印處理。也就是說，交接搬送部23構(gòu)成將轉(zhuǎn)印處理后的橡皮布91朝向第一清洗部11搬送的搬送部。
[0111]〈1.2.圖案轉(zhuǎn)印〉
[0112]圖5表示在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I中制造轉(zhuǎn)印有圖案的基板9的流程的流程圖。另外，圖5所示的流程圖為一例，各步驟的執(zhí)行順序等可視需要進(jìn)行適當(dāng)變更。
[0113]首先，利用第一清洗部11對橡皮布91進(jìn)行濕式清洗(圖5:步驟(st印)SI)。然后，通過交接部21將已由第一清洗部11清洗的橡皮布91搬送至第二清洗部并進(jìn)行干式清洗(圖5:步驟S2)。如圖1所示，該步驟SI及SI中的橡皮布91的移動(dòng)方向成為+X方向。
[0114]橡皮布91的干式清洗完成后，將該橡皮布91搬送至預(yù)處理部31并進(jìn)行預(yù)處理(圖5:步驟S3)。該預(yù)處理例如為烘烤處理。此外，如圖1所示，在從第二清洗部13向預(yù)處理部31搬送時(shí)，橡皮布91的移動(dòng)方向從在此之前的+X方向轉(zhuǎn)換成+Y方向。
[0115]已完成預(yù)處理的橡皮布91被搬送至涂布部41。然后，在涂布部41，在橡皮布91的表面上的規(guī)定范圍內(nèi)涂布轉(zhuǎn)印劑(圖5:步驟S4)。轉(zhuǎn)印劑的涂布完成后，橡皮布91由搬送機(jī)器臂711被向轉(zhuǎn)印部51搬送。
[0116]此外，在進(jìn)行從橡皮布91的清洗到轉(zhuǎn)印劑的涂布的處理(步驟SI?步驟S4)的同時(shí)，在第一清洗部11進(jìn)行印刷版93的清洗(圖5:步驟S5)。在第一清洗部11被清洗的印刷版93由搬送機(jī)器臂711向轉(zhuǎn)印部51搬送。然后，印刷版93被固定于在X軸方向直線移動(dòng)的載置臺(tái)55。
[0117]被搬送至轉(zhuǎn)印部51的橡皮布91通過轉(zhuǎn)印裝置511而與固定在載置臺(tái)55的印刷版93貼合。然后，將橡皮布91及印刷版93的復(fù)合體搬送至剝離部61的剝離裝置611，將橡皮布91從印刷版93剝離。由此，將與印刷版的印刷圖案對應(yīng)的規(guī)定圖案形成在橡皮布91 (第一圖案轉(zhuǎn)印，圖5:步驟S6)。
[0118]完成步驟S6的圖案轉(zhuǎn)印后，印刷版93由搬送機(jī)器臂731向交接搬送部23搬送，并進(jìn)而搬送至第一清洗部11。然后，對印刷版93進(jìn)行清洗(圖5:步驟S7)。也就是說，經(jīng)第一清洗部11清洗的印刷版93為已對橡皮布91轉(zhuǎn)印圖案的印刷版。如此一來，通過將已對橡皮布91轉(zhuǎn)印圖案的印刷版93向第一清洗部11搬送，可再次利用印刷版93。由此，可減少在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I中使用的印刷版93的數(shù)量。
[0119]在進(jìn)行步驟S7的同時(shí)將基板9搬入至轉(zhuǎn)印部53(圖5:步驟S8)。另外，還可以在比步驟S7更早的時(shí)間將基板9搬入至轉(zhuǎn)印裝置531。然后，被搬入至轉(zhuǎn)印部53的橡皮布91通過轉(zhuǎn)印裝置531而與基板9貼合。其后，通過搬送機(jī)器臂731將橡皮布91與基板9的復(fù)合體從轉(zhuǎn)印裝置531取出并搬送至交接搬送部23。然后，將復(fù)合體從交接搬送部23搬送至剝離部63，并通過剝離裝置631將橡皮布91從基板9剝離。由此，對基板9轉(zhuǎn)印與印刷版93的印刷圖案對應(yīng)的圖案(第二圖案轉(zhuǎn)印，圖5:步驟S9)。
[0120]已由步驟S9對基板9轉(zhuǎn)印圖案的橡皮布91通過交接搬送部23而被搬送至第一清洗部11進(jìn)行清洗處理(圖5:步驟S10)。也就是說，由第一清洗部11清洗的橡皮布91成為已對基板9轉(zhuǎn)印圖案的橡皮布。如此一來，通過清洗在圖案轉(zhuǎn)印中被使用過的橡皮布91可將其再利用。由此，可減少在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I中使用的橡皮布91的數(shù)量。此外，在進(jìn)行步驟SlO的同時(shí)，形成著圖案的基板9被從剝離部63搬出至外部(圖5:步驟Sll)。
[0121]以如上所述方式在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I中制造轉(zhuǎn)印有圖案的基板9。此外，通過重復(fù)進(jìn)行所述各步驟，在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I中批量生產(chǎn)基板9。
[0122]<1.3.比較例〉
[0123]圖6是比較例的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)100的概略俯視圖。在比較例的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)100中，將第一清洗部11、預(yù)處理部31、涂布部41、轉(zhuǎn)印部51、剝離部61、轉(zhuǎn)印部53及剝離部63依次排列成一列。此外，在各處理部的側(cè)方部分設(shè)置著無人搬送(AGV)區(qū)域(area)700。在AGV區(qū)域700內(nèi)，將橡皮布91及印刷版93從第一清洗部11側(cè)搬入，且向剝離部63側(cè)搬出。此外，在AGV區(qū)域700內(nèi)，從剝離部63側(cè)搬入基板9，且將轉(zhuǎn)印有圖案的基板9從剝離部63側(cè)搬出。進(jìn)而，AGV區(qū)域700與各處理部之間的橡皮布91、印刷版93或基板9的搬送是由搬送機(jī)器臂701?搬送機(jī)器臂707進(jìn)行。
[0124]在比較例的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)100的情況下，需要AGV區(qū)域700及最少七臺(tái)搬送機(jī)器臂701?搬送機(jī)器臂707，這些部件的占有面積明顯變大。與此相對，在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I的情況下，因?yàn)榭墒÷灾辽貯GV區(qū)域700及搬送機(jī)器臂701?搬送機(jī)器臂707的一部分，所以具有可減少與之相應(yīng)的占有面積的優(yōu)點(diǎn)。
[0125]此外，橡皮布91及印刷版93未被再次利用而被從圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)100搬出。因此，在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)100中所使用的橡皮布91及印刷版93的數(shù)量會(huì)增大。與此相對，在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I的情況下，因?yàn)閷⑾鹌げ?1及印刷版93循環(huán)再利用，所以具有可節(jié)省數(shù)量的優(yōu)點(diǎn)。
[0126]此外，為了提高基板9的圖案形成的精度，必須通過將涂布著轉(zhuǎn)印劑的狀態(tài)的橡皮布91、該橡皮布91與印刷版93的復(fù)合體、形成著圖案的狀態(tài)的橡皮布91、以及橡皮布91與基板9的復(fù)合體(下面，將這些部件還稱作「附帶轉(zhuǎn)印劑的基材」)保持為所需溫度，來抑制附帶轉(zhuǎn)印劑的基材產(chǎn)生變形。因此，必須利用高效空氣過濾器單元(High EfficiencyParticulate Air Filter unit)等調(diào)溫機(jī)器對搬送附帶轉(zhuǎn)印劑的基材的區(qū)域(圖6中由陰影所示的區(qū)域)進(jìn)行調(diào)溫，并且設(shè)置用以將該區(qū)域與其他區(qū)域隔開的壁而謀求與周邊環(huán)境的分離。與此相對，在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I的情況下，因?yàn)榭墒÷灾辽貯GV區(qū)域700及搬送機(jī)器臂703?搬送機(jī)器臂707的一部分，所以具有可減少相當(dāng)于其占有面積量的調(diào)溫管理成本的優(yōu)點(diǎn)。
[0127]〈2.第二實(shí)施方式〉
[0128]在第一實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I中，以向+X方向或-X方向直線搬送橡皮布91及印刷版93而進(jìn)行各處理的方式配置著各處理部。然而，各處理部的配置方法并不限定于此。
[0129]圖7是第二實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)IA的概略俯視圖。另外，在本實(shí)施方式的說明中，對具有與第一實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)I的要素相同功能的要素標(biāo)注相同符號并省略其說明。
[0130]圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)IA包括:橡皮布處理部81，用以處理橡皮布91 ;印刷版處理部83，用以處理印刷版93 ；以及轉(zhuǎn)印處理部85，進(jìn)行橡皮布91與印刷版93之間的圖案轉(zhuǎn)印、以及橡皮布91與基板9之間的圖案轉(zhuǎn)印。
[0131]在橡皮布處理部81，在中央配置著搬送機(jī)器臂751，在搬送機(jī)器臂751的周圍配置著清洗部11A、預(yù)處理部31、涂布部41及交接部21A。在清洗部11A，雖省略圖示，但在例如上下位置分別分層配置著通過滾輪搬送等將橡皮布91從外部朝向搬送機(jī)器臂751搬送的搬送單元、以及對橡皮布91進(jìn)行清洗處理的清洗單元。交接部21A與轉(zhuǎn)印處理部85連接。交接部21A提供用以暫時(shí)載置在涂布部41被涂布了轉(zhuǎn)印劑的橡皮布91、及在轉(zhuǎn)印處理部85已對基板9轉(zhuǎn)印圖案的橡皮布91的空間。交接部21A構(gòu)成為例如將多個(gè)橡皮布91上下隔開所需間隔而分層保管。
[0132]搬送機(jī)器臂751包括與搬送機(jī)器臂711、搬送機(jī)器臂731大致相同的構(gòu)成，且將由清洗部IlA的搬送單元從外部搬入的橡皮布91、或載置在交接搬送部23的轉(zhuǎn)印后的橡皮布91搬入至清洗部IlA的清洗單元。此外，搬送機(jī)器臂751將清洗后的橡皮布91適當(dāng)搬送至預(yù)處理部31、涂布部41、交接部21A。由此，利用各處理部對橡皮布91進(jìn)行處理。
[0133]在印刷版處理部83，在中央配置著搬送機(jī)器臂771，在搬送機(jī)器臂771的周圍配置著清洗部11B、預(yù)處理部31A及交接部21B。清洗部IlB與清洗部IlA同樣地將搬送單元及清洗單元分別配置在例如上下位置。交接部21B與轉(zhuǎn)印處理部85連接。交接部21B提供用以暫時(shí)載置已由預(yù)處理部31A完成規(guī)定預(yù)處理(烘烤處理等)的印刷版93、及在轉(zhuǎn)印處理部85中已對橡皮布91轉(zhuǎn)印圖案的印刷版93的空間。交接部21B構(gòu)成為將多個(gè)印刷版93例如上下隔開所需間隔而分層保管。
[0134]搬送機(jī)器臂771包括與搬送機(jī)器臂751大致相同的構(gòu)成，其將由清洗部IlB的搬送單元從外部搬入的印刷版93、或載置在交接部21B的轉(zhuǎn)印后的印刷版93搬入至清洗部IlB的清洗單元。此外，搬送機(jī)器臂771將清洗后的印刷版93適當(dāng)搬送至預(yù)處理部31A、交接部21B。由此，利用各處理部對印刷版93進(jìn)行處理。
[0135]在轉(zhuǎn)印處理部85，在中央配置著搬送機(jī)器臂791，在搬送機(jī)器臂791的周圍配置著轉(zhuǎn)印部51、轉(zhuǎn)印部53、剝離部61、剝離部63、基板搬入部87及基板搬出部89。搬送機(jī)器臂791與搬送機(jī)器臂711等同樣地通過多個(gè)爪部支撐橡皮布91、印刷版93或基板9。但，搬送機(jī)器臂791為了可進(jìn)出各處理部而包括用以在水平方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)、及用以使多個(gè)爪部上下升降的升降機(jī)構(gòu)(未圖示)。
[0136]搬送機(jī)器臂791從交接部21A獲取涂布著轉(zhuǎn)印劑的橡皮布91并將其搬送至轉(zhuǎn)印部51。此外，從交接部21B獲取已完成清洗及預(yù)處理的印刷版93并將其搬送至轉(zhuǎn)印部51。由此，利用轉(zhuǎn)印部51進(jìn)行橡皮布91及印刷版93的貼合。
[0137]此外，搬送機(jī)器臂791接收已由轉(zhuǎn)印部51貼合的橡皮布91及印刷版93的復(fù)合體并將其搬送至剝離部61。然后，利用剝離部61進(jìn)行橡皮布91及印刷版93的剝離。
[0138]進(jìn)而，搬送機(jī)器臂791獲取被剝離的印刷版93并將其搬送至交接部21B。此外，搬送機(jī)器臂791從剝離部61獲取被從印刷版93剝離的橡皮布91并將其搬送至轉(zhuǎn)印部53。此外，獲取從外部供給至基板搬入部87的基板9并將其搬送至轉(zhuǎn)印部53。由此，利用轉(zhuǎn)印部53進(jìn)行橡皮布91及基板9的貼合。
[0139]此外，搬送機(jī)器臂791從轉(zhuǎn)印部53獲取橡皮布91及基板9的復(fù)合體并將其搬送至剝離部63。然后，利用剝離部63進(jìn)行橡皮布91及基板9的剝離。
[0140]進(jìn)而，搬送機(jī)器臂791獲取被剝離的基板9并將其搬送至基板搬出部89。由此，可將形成著圖案的基板9搬出至外部。此外，從剝離部63獲取被從基板9剝離的橡皮布91并將其搬送至交接部21A。
[0141]如上所述，即便在本實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)IA中也可以實(shí)現(xiàn)橡皮布91及印刷版93的再利用。因此，可分別減少在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)IA中所使用的橡皮布91及印刷版93
的數(shù)量。
[0142]此外，在圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)IA中，采用在搬送機(jī)器臂751、搬送機(jī)器臂771及搬送機(jī)器臂791的周圍配置各處理部的所謂的集群(cluster)配置。通過采用集群配置，例如能以中央的搬送機(jī)器臂791的動(dòng)作為基準(zhǔn)而分別規(guī)定轉(zhuǎn)印處理部85的各處理部(轉(zhuǎn)印部51、轉(zhuǎn)印部53、剝離部61、剝離部63、基板搬入部87及基板搬出部89)的動(dòng)作的執(zhí)行時(shí)間。進(jìn)而，只要決定轉(zhuǎn)印處理部85的各處理部的動(dòng)作的執(zhí)行時(shí)間，便可以決定橡皮布處理部81及印刷版處理部83的各處理部(包含搬送機(jī)器臂751、搬送機(jī)器臂771)的動(dòng)作時(shí)間。也就是說，通過采用集群配置而容易進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)IA所包括的各要素的動(dòng)作的控制(或排程(scheduling))。
[0143]<3.變形例 >
[0144]以上，對實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于如上所述的實(shí)施方式，可進(jìn)行各種變形。
[0145]例如，所述實(shí)施方式的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)1、圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)IA構(gòu)成為將橡皮布91及印刷版93這兩者再利用，但也可以構(gòu)成為僅將其中一者再利用。
[0146]此外，所述各實(shí)施方式及各變形例中所說明的各構(gòu)成只要不相互矛盾便可以適當(dāng)組合。
[0147]雖對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述說明在所有實(shí)施方式中為例示，本發(fā)明并不限定于此。未例示的無數(shù)的變形例可理解為可不脫離本發(fā)明的范圍而假定者。
【權(quán)利要求】
1.一種圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，利用平版印刷法對基板轉(zhuǎn)印圖案，其特征在于，包括: 清洗部，清洗印刷版； 涂布部，對橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑； 第一轉(zhuǎn)印部，通過將已由所述涂布部涂布所述轉(zhuǎn)印劑的所述橡皮布及已由所述清洗部清洗的所述印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至所述橡皮布；第二轉(zhuǎn)印部，通過將已被轉(zhuǎn)印所述圖案的所述橡皮布貼合在所述基板上，而對所述基板轉(zhuǎn)印圖案；以及 搬送部，將已由所述第一轉(zhuǎn)印部對所述橡皮布轉(zhuǎn)印圖案的所述印刷版朝向所述清洗部搬送。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于: 所述清洗部包括可清洗所述橡皮布及所述印刷版這兩者的清洗裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于: 所述清洗裝置一邊將所述橡皮布及所述印刷版向一方向搬送，一邊對所述橡皮布及所述印刷版的表面供給處理液，由此清洗所述橡皮布及所述印刷版。
4.根據(jù)權(quán)利 要求3所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于: 所述清洗裝置包括:傾斜搬送部，使所述橡皮布及所述印刷版傾斜而進(jìn)行搬送；以及 支撐部，支撐所述傾斜的所述橡皮布及所述印刷版的重力方向下側(cè)的側(cè)端部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于: 所述橡皮布從所述涂布部到所述第一轉(zhuǎn)印部的移動(dòng)方向?yàn)榕c所述一方向相反的方向。
6.一種圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，利用平版印刷法對基板轉(zhuǎn)印圖案，其特征在于，包括: 清洗部，清洗橡皮布； 涂布部，對已由所述清洗部清洗的所述橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑； 第一轉(zhuǎn)印部，通過將已由所述涂布部涂布所述轉(zhuǎn)印劑的所述橡皮布及印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至所述橡皮布； 第二轉(zhuǎn)印部，通過將已被轉(zhuǎn)印所述圖案的所述橡皮布貼合在所述基板上，而對所述基板轉(zhuǎn)印圖案；以及 搬送部，將已由所述第二轉(zhuǎn)印部對所述基板轉(zhuǎn)印圖案的所述橡皮布朝向所述清洗部搬送。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于: 所述清洗部包括可清洗所述橡皮布及所述印刷版這兩者的清洗裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于: 所述清洗裝置一邊將所述橡皮布及所述印刷版向一方向搬送，一邊對所述橡皮布及所述印刷版的表面供給處理液，由此清洗所述橡皮布及所述印刷版。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于: 所述清洗裝置包括:傾斜搬送部，使所述橡皮布及所述印刷版傾斜而進(jìn)行搬送；以及 支撐部，支撐所述傾斜的所述橡皮布及所述印刷版的重力方向下側(cè)的側(cè)端部。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于: 所述橡皮布從所述涂布部到所述第一轉(zhuǎn)印部的移動(dòng)方向?yàn)榕c所述一方向相反的方向。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖案轉(zhuǎn)印系統(tǒng)，其特征在于:還包括第二清洗部，該第二清洗部以與所述清洗部不同的實(shí)施方式清洗已由所述清洗部清洗的所述橡皮布；且 所述涂布部對已由所述第二清洗部清洗的所述橡皮布涂布所述轉(zhuǎn)印劑。
12.—種圖案轉(zhuǎn)印方法，利用平版印刷法對基板轉(zhuǎn)印圖案，其特征在于:包括如下步驟: (a)清洗印刷版； (b)對橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑； (C)通過將已由所述(b)步驟涂布所述轉(zhuǎn)印劑的所述橡皮布及已由所述(a)步驟清洗的所述印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至所述橡皮布；以及(d)通過將已由所述(C)步驟轉(zhuǎn)印所述圖案的所述橡皮布貼合在所述基板上，而對所述基板轉(zhuǎn)印圖案；且 由所述(a)步驟清洗的所述印刷版為已由所述(C)步驟對所述橡皮布轉(zhuǎn)印圖案的所述印刷版。
13.一種圖案轉(zhuǎn)印方法，利用平版印刷法對基板轉(zhuǎn)印圖案，其特征在于，包括如下步驟: (A)清洗橡皮布； (B)對已由所述(A)步驟清洗的所述橡皮布涂布轉(zhuǎn)印劑； (C)通過將已由所述(B)步驟涂布所述轉(zhuǎn)印劑的所述橡皮布及印刷版貼合，而將與所述印刷版的印刷圖案對應(yīng)的圖案轉(zhuǎn)印至所述橡皮布；以及 (D)通過將已被轉(zhuǎn)印所述圖案的所述橡皮布貼合在所述基板上，而對所述基板轉(zhuǎn)印圖案；且 由所述(A)步驟清洗的所述橡皮布為已由所述(D)步驟對所述基板轉(zhuǎn)印所述圖案的所述橡皮布。
【文檔編號】B41F7/02GK104070865SQ201410056632
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年2月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月27日
【發(fā)明者】富藤幸雄, 上代和男, 南茂樹 申請人:大日本網(wǎng)屏制造株式會(huì)社