專利名稱：絲網(wǎng)印刷機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及通過(guò)使刮板在基板接觸的掩模上滑動(dòng)而將膏轉(zhuǎn)印于基板的絲網(wǎng)印刷機(jī)及絲網(wǎng)印刷機(jī)的異常檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
絲網(wǎng)印刷機(jī)在使基板與具有與基板的電極部的配置對(duì)應(yīng)設(shè)置的開(kāi)口部的掩模的下面與基板接觸后，使滑板在掩模的上面滑動(dòng)，由此經(jīng)由掩模的開(kāi)口部將膏轉(zhuǎn)印于基板上。這樣在基板上轉(zhuǎn)印了膏后，使基板從掩模離開(kāi)，進(jìn)行脫模，但此時(shí)若在掩模的下面附著有膏，則在之后的基板上可能產(chǎn)生印刷不良。因此，絲網(wǎng)印刷機(jī)通常具備在向基板轉(zhuǎn)印膏后將附著于掩模的下面的膏擦去進(jìn)行清洗的掩模清洗器(例如專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)1:(日本)特開(kāi)2011 - 189668號(hào)公報(bào)但是，在上述現(xiàn)有的絲網(wǎng)印刷機(jī)中存在如下問(wèn)題，S卩，在通過(guò)了紙部件的眼兒的膏的渣滓附著于掩模清洗器的內(nèi)部或與其相連的真空管路內(nèi)而引起堵塞，或因經(jīng)年變化而使真空管路產(chǎn)生破損的異常狀態(tài)下，掩模清洗器的吸附力降低，附著于掩模的下面的膏的擦拭不充分，雖然基板可能產(chǎn)生印刷不良，但操作者難以注意這樣的異常狀態(tài)。
實(shí)用新型內(nèi)容因此，本實(shí)用新型的目的在于提供絲網(wǎng)印刷機(jī)及絲網(wǎng)印刷機(jī)的異常檢測(cè)方法，操作者能夠準(zhǔn)確地掌握掩模清洗器上產(chǎn)生的異常狀態(tài)并采取適當(dāng)?shù)膶?duì)策。本實(shí)用新型第一方面的絲網(wǎng)印刷機(jī)具備:掩模，其具有與基板的電極部的配置對(duì)應(yīng)設(shè)置的開(kāi)口部；刮板，其通過(guò)在與所述基板接觸的所述掩模的上面滑動(dòng)而經(jīng)由所述掩模的開(kāi)口部將膏轉(zhuǎn)印到所述基板上；掩模清洗器，其在將紙部件壓靠于所述掩模的下面的狀態(tài)下一邊從吸引口進(jìn)行真空吸引一邊相對(duì)于所述掩模的下面相對(duì)移動(dòng)而進(jìn)行所述掩模的下面的清洗，其中，具備:吸引力計(jì)測(cè)裝置，其使所述掩模清洗器進(jìn)行真空吸引并計(jì)測(cè)所述掩模清洗器的吸引力；報(bào)知控制裝置，其將由所述吸引力計(jì)測(cè)裝置計(jì)測(cè)的所述掩模清洗器的吸引力與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，其結(jié)果，在由所述吸引力計(jì)測(cè)裝置計(jì)測(cè)的所述掩模清洗器的吸引力低于所述基準(zhǔn)值的情況下使報(bào)知器進(jìn)行規(guī)定的報(bào)知?jiǎng)幼鳌１緦?shí)用新型第二方面的絲網(wǎng)印刷機(jī)，在第一方面的基礎(chǔ)上，所述吸引力計(jì)測(cè)裝置在使所述掩模清洗器的所述吸引口不接觸所述掩模的狀態(tài)下使所述掩模清洗器進(jìn)行真空吸引，計(jì)測(cè)所述掩模清洗器的吸引力。本實(shí)用新型第三方面的絲網(wǎng)印刷機(jī)，在第一方面的基礎(chǔ)上，所述吸引力計(jì)測(cè)裝置在使所述掩模清洗器的所述吸引口與所述掩模的下面的不含所述開(kāi)口部的區(qū)域接觸的狀態(tài)下，使所述掩模清洗器進(jìn)行真空吸引，計(jì)測(cè)所述掩模清洗器的吸引力。在本實(shí)用新型中，計(jì)測(cè)掩模清洗器的吸引力并將其與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，其結(jié)果，在計(jì)測(cè)的掩模清洗器的吸引力低于基準(zhǔn)值的情況下使報(bào)知器進(jìn)行規(guī)定的報(bào)知?jiǎng)幼?，因此，操作者能夠?zhǔn)確地掌握掩模清洗器上產(chǎn)生的異常狀態(tài)并采取適當(dāng)?shù)膶?duì)策。由此，能夠 防止在吸引力不足的狀態(tài)下進(jìn)行掩模的清洗的情況，能夠抑制基板的印刷不良的產(chǎn)生。
圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)的俯視圖；圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)的正面圖；圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)的側(cè)面圖；圖4是將本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)具備的掩模與基板一同表示的立體圖；圖5是表示本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)的控制系統(tǒng)的框圖；圖6是表示本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)具備的掩模清洗器的構(gòu)成的圖；圖7是表示本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)執(zhí)行的異常檢測(cè)作業(yè)的順序的流程圖；圖8 (a)、(b)是本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)執(zhí)行的異常檢測(cè)作業(yè)的說(shuō)明圖；圖9是表示本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷作業(yè)的順序的流程圖；圖10 (a)、(b)是說(shuō)明本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷作業(yè)的執(zhí)行順序的圖；圖11 (a)、(b)是說(shuō)明本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷作業(yè)的執(zhí)行順序的圖；圖12是表示通過(guò)本實(shí)用新型一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)具備的掩模清洗器進(jìn)行掩模的清洗的狀態(tài)的圖。標(biāo)記說(shuō)明1:絲網(wǎng)印刷機(jī)2:基板2a:電極部15:掩模15h:開(kāi)口部17b:刮板18:掩模清洗器20:控制裝置(報(bào)知控制裝置)32:紙部件33a:吸引口43:流量計(jì)(吸引力計(jì)測(cè)裝置)44:壓力計(jì)(吸引力計(jì)測(cè)裝置)45:報(bào)知器Pt:膏
具體實(shí)施方式
[0037]以下，參照附圖說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式。圖1、圖2及圖3所示的絲網(wǎng)印刷機(jī)I為在基板2的電極部2a上絲網(wǎng)印刷焊錫等膏Pt的裝置，除在基臺(tái)10上具備基板搬入輸送機(jī)11、通過(guò)基板保持單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)12進(jìn)行移動(dòng)的基板保持單元13及基板搬出輸送機(jī)14之外，還具有以水平姿勢(shì)被保持于基板保持單元13的上方的掩模15、在掩模15的下方移動(dòng)自如地設(shè)置的照相機(jī)單元16、在掩模15的上方區(qū)域移動(dòng)自如地設(shè)置的刮板單元17及在掩模15的下方移動(dòng)自如地設(shè)置的掩模清洗器18而構(gòu)成?；灏崛胼斔蜋C(jī)11搬入從絲網(wǎng)印刷機(jī)I的外部投入的基板2并將其交接到基板保持單元13?；灏岢鲚斔蜋C(jī)14將從基板保持單元13接收的基板2搬出到絲網(wǎng)印刷機(jī)I的外部。即，基板2以基板搬入輸送機(jī)11、基板保持單元13、基板搬出輸送機(jī)14的順序進(jìn)行搬送，以該基板2的移動(dòng)方向?yàn)閄軸方向(從操作員OP觀察到的左右方向)。另外，以與該X軸方向正交的水平面內(nèi)方向?yàn)閅軸方向(從操作員OP觀察到的前后方向)，以上下方向?yàn)閆軸方向。在圖4中，掩模15具有薄壁金屬制的、由矩形的板狀部件構(gòu)成的掩模主體15a、安裝于掩模主體15a的外緣的樹(shù)脂(例如聚酯)制的片狀部件15b以及支承片狀部件15b的外緣的矩形框狀的掩?？?5w而構(gòu)成,在掩模主體15a的中央部設(shè)有與基板2的電極部2a對(duì)應(yīng)的多個(gè)開(kāi)口部15h。在本實(shí)施方式中，將掩模主體15a中包含開(kāi)口部15h的中央部的區(qū)域稱作開(kāi)口部區(qū)域R1，將不含開(kāi)口部15h的周邊部的區(qū)域(圖4中陰影表示的區(qū)域)稱作非開(kāi)口部區(qū)域R2。在圖4中,在基板2上的一對(duì)角位置設(shè)有兩個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m,在掩模主體15a上，與這兩個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2rn對(duì)應(yīng)而設(shè)有兩個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記15m。在使兩個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m和兩個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記15m上下相對(duì)的狀態(tài)下使基板2上升并使基板2與掩模15接觸時(shí)，基板2的電極部2a和設(shè)于掩模15的開(kāi)口部15h成為相一致的狀態(tài)。在圖2及圖3中，基板保持單元13具有:相對(duì)于基臺(tái)10升降自如地設(shè)置的基體部13a、安裝于基體部13a并沿X軸方向搬送基板2的基板搬送輸送機(jī)13b (也參照?qǐng)D1)、使利用基板搬送輸送機(jī)13b搬送并定位于規(guī)定的基板保持位置的基板2在被下支承部件13c從下方支承的狀態(tài)下進(jìn)行升降的基板升降缸13d及將利用基板升降缸13d頂起的基板2從Y軸方向夾持保持的一對(duì)夾持部件13e (也參照?qǐng)D1)而構(gòu)成。在圖5中，基板搬入輸送機(jī)11、基板保持單元13的基板搬送輸送機(jī)13b、基板搬出輸送機(jī)14的動(dòng)作控制、基板升降缸13d的動(dòng)作控制及驅(qū)動(dòng)一對(duì)夾持部件13e的由未圖示的促動(dòng)器等構(gòu)成的夾持部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13A對(duì)基板2的夾持動(dòng)作的控制通過(guò)絲網(wǎng)印刷機(jī)I所具備的控制裝置20進(jìn)行?；灞３謫卧苿?dòng)機(jī)構(gòu)12由XYZ機(jī)械手構(gòu)成，通過(guò)控制裝置20進(jìn)行動(dòng)作控制，使基板保持單元13在水平面內(nèi)移動(dòng)(也包含旋轉(zhuǎn))，同時(shí)使基板保持單元13在上下方向(Z軸方向)移動(dòng)(圖5)。在圖1及圖3中，照相機(jī)單元16具備使拍攝視野朝向下方的下方拍攝照相機(jī)16a和使拍攝視野朝向上方的上方拍攝照相機(jī)16b而構(gòu)成，通過(guò)由未圖示的促動(dòng)器構(gòu)成的照相機(jī)清洗器移動(dòng)機(jī)構(gòu)16M (圖5)使掩模15的下方在水平面內(nèi)方向移動(dòng)。在圖5中，上述照相機(jī)和清洗器移動(dòng)機(jī)構(gòu)16M的動(dòng)作控制通過(guò)控制裝置20進(jìn)行控制，下方拍攝照相機(jī)16a的拍攝動(dòng)作及上方拍攝照相機(jī)16b的拍攝動(dòng)作通過(guò)控制裝置20進(jìn)行控制。另外，由下方拍攝照相機(jī)16a的拍攝動(dòng)作得到的圖像數(shù)據(jù)及由上方拍攝照相機(jī)16b的拍攝動(dòng)作得到的圖像數(shù)據(jù)被發(fā)送到控制裝置20。在圖1、圖2及圖3中，刮板單元17具有在通過(guò)由水平正交坐標(biāo)工作臺(tái)構(gòu)成的刮板單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)17M的動(dòng)作而在掩模15的上方沿Y軸方向自如移動(dòng)的基體部17a的下方具備在Y軸方向上相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)刮板17b的構(gòu)成，各刮板17b利用安裝于基體部17a的兩個(gè)氣壓缸17c分別獨(dú)立地在基體部17a的下方進(jìn)行升降。刮板單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)17M的動(dòng)作控制及基于各氣壓缸17c的動(dòng)作進(jìn)行的刮板17b的升降控制通過(guò)控制裝置20進(jìn)行(圖5)。在圖6中，掩模清洗器18在框體30內(nèi)具有繞X軸旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)體3la、3Ib (抽出側(cè)的旋轉(zhuǎn)體3Ia及卷取側(cè)的旋轉(zhuǎn)體3lb)、掛設(shè)于這兩個(gè)旋轉(zhuǎn)體3la、3Ib間的紙部件32及向該紙部件32上方頂起的沿X軸方向延伸的嘴部33而構(gòu)成，通過(guò)將兩個(gè)旋轉(zhuǎn)體31a、31b向同一方向驅(qū)動(dòng)并使紙部件32沿Y軸方向行進(jìn)，可以更新紙部件32位于嘴部33的上面的清洗部位。在嘴部33的上端設(shè)有經(jīng)由紙部件32從下方抵接掩模15的下面的吸引口。即，本實(shí)施方式的掩模清洗器18為在上端的吸引口 33a掛設(shè)有紙部件32的構(gòu)成。在圖6中，掩模清洗器18的嘴部33與連接真空源40的真空管路41連接，通過(guò)由控制裝置20進(jìn)行動(dòng)作控制的真空吸引控制閥42進(jìn)行的真空管路41的開(kāi)閉動(dòng)作，對(duì)嘴部33的吸引口 33a賦予真空吸引力。在真空管路41連接有計(jì)測(cè)在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量的流量計(jì)43和計(jì)測(cè)真空管路41內(nèi)的壓力的壓力計(jì)44。通過(guò)流量計(jì)43計(jì)測(cè)的真空管路41內(nèi)的空氣的流量值和壓力計(jì)44計(jì)測(cè)的真空管路41內(nèi)的壓力值分別被輸入控制裝置20 (圖 5)。掩模清洗器18利用通過(guò)控制裝置20進(jìn)行動(dòng)作控制的上述的照相機(jī)和清洗器移動(dòng)機(jī)構(gòu)16M與照相機(jī)單元16—同在Y軸方向動(dòng)作。使紙部件32行進(jìn)，更新掛設(shè)于嘴部33的上面的紙部件32的清洗部位的動(dòng)作通過(guò)由控制裝置20使驅(qū)動(dòng)上述兩個(gè)旋轉(zhuǎn)體31a、31b的旋轉(zhuǎn)體驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)31A (圖5)動(dòng)作來(lái)進(jìn)行。在該絲網(wǎng)印刷機(jī)I中，在相對(duì)于基板2進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)之前，以圖7的流程圖所示的順序執(zhí)行掩模清洗器18的異常檢測(cè)作業(yè)。在掩模清洗器18的異常檢測(cè)作業(yè)中，控制裝置20首先在不使掩模清洗器18與掩模15接觸的狀態(tài)下(圖8 (a))，通過(guò)真空吸引控制閥42打開(kāi)真空管路41，使掩模清洗器18進(jìn)行真空吸引動(dòng)作，通過(guò)流量計(jì)43計(jì)測(cè)在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量(圖7所示的步驟ST1)。而且，控制裝置20在由流量計(jì)43計(jì)測(cè)在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量后，將計(jì)測(cè)的在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較(圖7所示的步驟ST2)，其結(jié)果，在計(jì)測(cè)的空氣的流量為基準(zhǔn)值以上的情況下，控制裝置20使與控制裝置20連接的報(bào)知器45 (例如顯示器裝置。圖6)進(jìn)行在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量正常的報(bào)知(圖7所示的步驟ST3)。另一方面，控制裝置20在計(jì)測(cè)的空氣的流量低于基準(zhǔn)值的情況下，使報(bào)知器45進(jìn)行在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量異常的報(bào)知(圖7所示的步驟ST4)。控制裝置20在結(jié)束上述在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量的檢查后，進(jìn)行照相機(jī)和清洗器移動(dòng)結(jié)構(gòu)16M的動(dòng)作控制，使掩模清洗器18與掩模15的非開(kāi)口部區(qū)域R2接觸(圖8(b)。圖7所示的步驟ST5)。而且，通過(guò)真空吸引控制閥42打開(kāi)真空管路41，使掩模清洗器18進(jìn)行真空吸引動(dòng)作，通過(guò)壓力計(jì)44計(jì)測(cè)真空管路41內(nèi)的壓力(圖7所示的步驟ST6)。[0052]控制裝置20在通過(guò)壓力計(jì)44計(jì)測(cè)了真空管路41內(nèi)的壓力后，將計(jì)測(cè)的真空管路41內(nèi)的壓力與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較(圖7所示的步驟ST7)，其結(jié)果，在計(jì)測(cè)的壓力為基準(zhǔn)值以上的情況下，控制裝置20使報(bào)知器45進(jìn)行真空管路41內(nèi)的壓力正常的報(bào)知(圖7所示的步驟ST8)。另一方面，控制裝置20在計(jì)測(cè)出的壓力低于基準(zhǔn)值的情況下，使報(bào)知器45進(jìn)行真空管路41內(nèi)的壓力異常的報(bào)知(圖7所示的步驟ST9)。這樣，本實(shí)施方式的控制裝置20將通過(guò)吸引力計(jì)測(cè)裝置即流量計(jì)43或壓力計(jì)44計(jì)測(cè)的掩模清洗器18的吸引力(在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量或真空管路41內(nèi)的壓力)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，其結(jié)果，在由吸引力計(jì)測(cè)裝置計(jì)測(cè)的掩模清洗器18的吸引力低于基準(zhǔn)值的情況下，作為使報(bào)知器45進(jìn)行規(guī)定的報(bào)知?jiǎng)幼鞯膱?bào)知控制裝置起作用。在這樣的掩模清洗器18的異常檢測(cè)作業(yè)中，在由報(bào)知器45進(jìn)行了在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣流量異?；蛘婵展苈?1內(nèi)的壓力異常的報(bào)知的情況下，操作者OP采取適當(dāng)?shù)膶?duì)策。具體而言，就在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣流量異常(低)而言，考慮為紙部件32自身引起堵塞的情況、及通過(guò)紙部件32的眼兒的膏Pt的渣滓附著于掩模清洗器18的內(nèi)部或真空管路41內(nèi)而引起堵塞的情況，因此，在進(jìn)行該消息的報(bào)知時(shí)，更換紙部件32，或掃除掩模清洗器18的空氣的通路的內(nèi)壁。另外，認(rèn)為真空管路41內(nèi)的壓力的異常(低)的原因是真空管路41的經(jīng)年變化引起的破損等，因此，在進(jìn)行了該消息的報(bào)知時(shí)，進(jìn)行真空管路41的修理及更換等?？刂蒲b置20在上述異常檢測(cè)作業(yè)(及操作者OP進(jìn)行的必要處置)結(jié)束后，按照?qǐng)D9的流程圖所示的順序執(zhí)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)。控制裝置20在進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)時(shí)，首先利用基板搬入輸送機(jī)11搬入從絲網(wǎng)印刷機(jī)I的外部投入的基板2，將其交接給基板搬送輸送機(jī)13b，并定位于上述規(guī)定的作業(yè)位置(基板搬入工序。圖9所示的步驟ST11)。而且，進(jìn)行基板升降缸13d對(duì)基板2的頂起(圖10 (a)中所不的箭頭標(biāo)記A)和夾持部件13e對(duì)基板2的夾持(圖10 (a)中所示的箭頭標(biāo)記B),保持基板2 (基板搬入保持工序。圖9所示的步驟 ST12。圖 10 (a))?？刂蒲b置20在如上所述保持基板2后，進(jìn)行照相機(jī)和清洗器移動(dòng)機(jī)構(gòu)16M的動(dòng)作控制，使照相機(jī)單元16移動(dòng)，使上方拍攝照相機(jī)16b位于在掩模15設(shè)置的掩模側(cè)標(biāo)記15m的正下方，進(jìn)行掩模側(cè)標(biāo)記15m的拍攝，同時(shí)使下方拍攝照相機(jī)16a位于在基板2設(shè)置的基板側(cè)標(biāo)記2m的正上方,進(jìn)行基板側(cè)標(biāo)記2m的拍攝(標(biāo)記拍攝工序。圖9所示的步驟ST13)?？刂蒲b置20在步驟ST13中進(jìn)行了基板側(cè)標(biāo)記2m和掩模側(cè)標(biāo)記15m的拍攝后，使基板保持單元13在水平面內(nèi)方向移動(dòng)，以使基板側(cè)標(biāo)記2rn和掩模側(cè)標(biāo)記15m上下相對(duì)的方式進(jìn)行基板2相對(duì)于掩模15的水平面內(nèi)方向的對(duì)位(對(duì)位工序。圖9所示的步驟ST14)。控制裝置20在基板2相對(duì)于掩模15的對(duì)位結(jié)束后，進(jìn)行基板保持單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)12的動(dòng)作控制,使基板保持單元13相對(duì)于基臺(tái)10上升(圖10 (b)中所示的箭頭標(biāo)記Cl),使由一對(duì)夾持部件13e保持的基板2的上面與掩模15的下面接觸，由此使基板2接觸掩模15 (接觸工序。圖9所示的步驟ST15。圖10 (b))，由此，基板2上的電極部2a和掩模15的開(kāi)口部15h成為相一致的狀態(tài)。控制裝置20在使基板2與掩模15接觸后，進(jìn)行刮板17b的刮涂，將預(yù)先供給到掩模15上的膏Pt轉(zhuǎn)印到基板2的電極部2a (轉(zhuǎn)印工序。圖9所示的步驟ST16)。該刮涂具體而言如下進(jìn)行，使刮板單元17所具備的兩個(gè)刮板17b中的一方向下動(dòng)作(圖11 (a)中所示的箭頭標(biāo)記D1)，在維持與掩模15的上面抵接的狀態(tài)下使基體部17a沿水平方向移動(dòng)(圖
11(a)中所示的箭頭標(biāo)記E)。由此,刮板17b在掩模15上滑動(dòng),掩模15上的膏Pt被刮板17b刮攏到一起，推入掩模15的開(kāi)口部15h內(nèi)，轉(zhuǎn)印于各基板2的電極部2a上。即，在本實(shí)施方式中，刮板17b通過(guò)在與基板2接觸的掩模15上滑動(dòng)，經(jīng)由掩模15的開(kāi)口部15h在基板2上轉(zhuǎn)印膏Pt?？刂蒲b置20在基板2的電極部2a上轉(zhuǎn)印了膏Pt后，使抵接于掩模15的刮板17b向上動(dòng)作后(圖11 (b)中所示的箭頭標(biāo)記D2),使基板保持單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)12動(dòng)作,使基板保持單元13下降，由此使基板2離開(kāi)掩模15 (圖11 (b)中所示的箭頭標(biāo)記C2)，進(jìn)行脫模(脫模工序。圖9所示的步驟ST17。圖11(b))。由此，膏Pt殘留于基板2的電極部2a上，在基板2上印刷膏Pt?？刂蒲b置20在進(jìn)行脫模后，進(jìn)行基板保持單元13的動(dòng)作控制，解除對(duì)基板2的保持(保持解除工序。圖9所示的步驟ST18)。該基板2的保持的解除具體而言通過(guò)如下方式進(jìn)行，即，控制裝置20在進(jìn)行夾持部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13A的動(dòng)作控制而使夾持部件13e打開(kāi)后，使基板升降缸13d動(dòng)作而使基板2下降，使基板2的兩端降到一對(duì)基板搬送輸送機(jī)13b上(參照?qǐng)D3)?？刂蒲b置20在解除對(duì)基板2的保持后，使基板保持單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)12動(dòng)作，使基板保持單元13在水平面內(nèi)移動(dòng)，調(diào)整了基板搬送輸送機(jī)13b的方向后，使基板搬送輸送機(jī)13b及基板搬出輸送機(jī)14動(dòng)作，將基板2搬出到絲網(wǎng)印刷機(jī)I的外部(基板搬出工序。圖9所示的步驟ST19)?？刂蒲b置20進(jìn)行了基板2的搬出后(與基板2的搬出并行)，通過(guò)掩模清洗器18進(jìn)行掩模15的清洗(掩模清洗工序。圖9所示的步驟ST20)。在該掩模15的清洗中，控制裝置20首先進(jìn)行照相機(jī)和清洗器移動(dòng)機(jī)構(gòu)16M的動(dòng)作控制，使紙部件32的清洗部位與掩模15的下面接觸。然后，進(jìn)行真空吸引控制閥42的動(dòng)作控制，使嘴部33進(jìn)行真空吸引，同時(shí)使掩模清洗器18沿Y軸方向移動(dòng)(圖12中所示的箭頭標(biāo)記F)。由此，附著于掩模15的下面的膏Pt (膏Pt的殘?jiān)?被紙部件32擦掉，清洗掩模15的下面，由此，每一張基板2的絲網(wǎng)印刷作業(yè)結(jié)束。這樣，在本實(shí)施方式中，掩模清洗器18在將紙部件32壓靠于掩模15的下面的狀態(tài)下一邊從吸引口 33a進(jìn)行真空吸引一邊相對(duì)于掩模15的下面相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)行掩模下面的清洗。此外，該掩模清洗器18進(jìn)行的掩模15的清洗可以對(duì)每一張基板I進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)，但也可以對(duì)預(yù)定的規(guī)定張進(jìn)行。如上所述，本實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)I (掩模清洗器18)的異常檢測(cè)方法包括:使掩模清洗器18進(jìn)行真空吸引并計(jì)測(cè)掩模清洗器18的吸引力的吸引力計(jì)測(cè)工序(步驟STl及步驟ST6);將通過(guò)吸引力計(jì)測(cè)工序計(jì)測(cè)的掩模清洗器18的吸引力與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較(步驟ST2及步驟ST7)，其結(jié)果，在計(jì)測(cè)的掩模清洗器18的吸引力低于基準(zhǔn)值的情況下，使報(bào)知器45進(jìn)行規(guī)定的報(bào)知?jiǎng)幼鞯膱?bào)知工序(步驟ST4及步驟ST9)。更詳細(xì)而言，步驟STl的吸引力計(jì)測(cè)工序中，在掩模清洗器18的吸引口 33a不與掩模15接觸的狀態(tài)下使掩模清洗器18進(jìn)行真空吸引，計(jì)測(cè)掩模清洗器18的吸引力(在真空管路41內(nèi)通過(guò)的空氣的流量)，步驟ST6的吸引力計(jì)測(cè)工序中，在使掩模清洗器18的吸引口 33a與掩模的下面的不含開(kāi)口部15h的區(qū)域(非開(kāi)口部區(qū)域R2)接觸的狀態(tài)下使掩模清洗器18進(jìn)行真空吸引，計(jì)測(cè)掩模清洗器18的吸引力(真空管路41內(nèi)的壓力)。如以上說(shuō)明，本實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷機(jī)I (絲網(wǎng)印刷機(jī)I的異常檢測(cè)方法)中，計(jì)測(cè)掩模清洗器18的吸引力并將其與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，其結(jié)果，在計(jì)測(cè)的掩模清洗器18的吸引力低于基準(zhǔn)值的情況下，使報(bào)知器45進(jìn)行規(guī)定的報(bào)知?jiǎng)幼?，因此，操作者OP能夠準(zhǔn)確地掌握掩模清洗器18產(chǎn)生的異常狀態(tài)并采取適當(dāng)?shù)膶?duì)策。由此，能夠防止在吸引力不足的狀態(tài)下進(jìn)行掩模15的清洗的情況，能夠抑制基板2的印刷不良的發(fā)生。產(chǎn)業(yè)上的可利用性提供一種操作者能夠準(zhǔn)確地掌握掩模清洗器產(chǎn)生的異常狀態(tài)并采取適當(dāng)?shù)膶?duì)策的絲網(wǎng)印刷機(jī)及絲網(wǎng)印刷機(jī)的異常檢測(cè)方法。
權(quán)利要求1.一種絲網(wǎng)印刷機(jī)，其具備:掩模，其具有與基板的電極部的配置對(duì)應(yīng)設(shè)置的開(kāi)口部；刮板，其通過(guò)在與所述基板接觸的所述掩模的上面滑動(dòng)而經(jīng)由所述掩模的開(kāi)口部將膏轉(zhuǎn)印到所述基板上；掩模清洗器，其在將紙部件壓靠于所述掩模的下面的狀態(tài)下一邊從吸引口進(jìn)行真空吸引一邊相對(duì)于所述掩模的下面相對(duì)移動(dòng)而進(jìn)行所述掩模的下面的清洗，其特征在于，具備: 吸引力計(jì)測(cè)裝置，其使所述掩模清洗器進(jìn)行真空吸引并計(jì)測(cè)所述掩模清洗器的吸引力； 報(bào)知控制裝置，其將由所述吸引力計(jì)測(cè)裝置計(jì)測(cè)的所述掩模清洗器的吸引力與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，其結(jié)果，在由所述吸引力計(jì)測(cè)裝置計(jì)測(cè)的所述掩模清洗器的吸引力低于所述基準(zhǔn)值的情況下使報(bào)知器進(jìn)行規(guī)定的報(bào)知?jiǎng)幼鳌?br>
2.按權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印刷機(jī)，其特征在于， 所述吸引力計(jì)測(cè)裝置在使所述掩模清洗器的所述吸引口不接觸所述掩模的狀態(tài)下使所述掩模清洗器進(jìn)行真空吸引，計(jì)測(cè)所述掩模清洗器的吸引力。
3.按權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印刷機(jī)，其特征在于， 所述吸引力計(jì)測(cè)裝置在使所述掩模清洗器的所述吸引口與所述掩模的下面的不含所述開(kāi)口部的區(qū)域接觸的狀態(tài)下，使所述掩模清洗器進(jìn)行真空吸引，計(jì)測(cè)所述掩模清洗器的吸引力。
專利摘要本實(shí)用新型的目的在于提供一種絲網(wǎng)印刷機(jī)，操作者能夠準(zhǔn)確地掌握掩模清洗器上產(chǎn)生的異常狀態(tài)并采取適當(dāng)?shù)膶?duì)策。使掩模清洗器(18)進(jìn)行真空吸引，計(jì)測(cè)掩模清洗器(18)的吸引力(步驟ST1及步驟ST6)，將該計(jì)測(cè)的掩模清洗器(18)的吸引力(在真空管路(41)內(nèi)通過(guò)的空氣的流量或真空管路(41)內(nèi)的壓力)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較(步驟ST2及步驟ST7)。其結(jié)果，在計(jì)測(cè)的掩模清洗器(18)的吸引力低于基準(zhǔn)值的情況下，使報(bào)知器(45)進(jìn)行規(guī)定的報(bào)知?jiǎng)幼?步驟ST4及步驟ST9)。
文檔編號(hào)B41F15/08GK202923094SQ20122061494
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月22日
發(fā)明者友松道范, 村上俊行, 村上稔, 前田亮 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社