專利名稱：絲網(wǎng)印刷機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及通過使刮板在基板接觸的掩模上滑動而在基板上轉(zhuǎn)印膏的絲網(wǎng)印刷機及絲網(wǎng)印刷方法。
背景技術(shù)：
絲網(wǎng)印刷機的構(gòu)成為，利用在設(shè)定于與基板接觸的掩模的下方的水平移動面內(nèi)移動的照相機單元，對設(shè)于掩模的掩模側(cè)標(biāo)記和設(shè)于被保持在掩模的下方的基板的上面的基板側(cè)標(biāo)記進行拍攝動作，基于所得到的掩模側(cè)標(biāo)記和基板側(cè)標(biāo)記的位置關(guān)系使基板與掩模接觸后，使刮板在掩模上滑動，將供給到掩模上的焊錫等膏轉(zhuǎn)印于基板上。而且，在將膏轉(zhuǎn)印于基板后，進行使基板從掩模離開的脫模，在脫模后使清洗頭在掩模的下方沿水平面內(nèi)方向移動，進行將附著于掩模的下面的膏擦拭除去的掩模清洗。在這樣的絲網(wǎng)印刷機中，以往，照相機單元和清洗頭被配置在設(shè)置于掩模下方的同一水平正交坐標(biāo)工作臺上并在同一水平移動面內(nèi)使二者一體移動(例如，專利文獻I)。專利文獻1:(日本)特開2011 — 189668號公報但是，在上述現(xiàn)有的構(gòu)成中，由于照相機單元和清洗頭不能分別獨立移動，故而不能同時進行原本彼此獨立的動作、即照相機單元對標(biāo)記(掩模側(cè)標(biāo)記及基板側(cè)標(biāo)記)的拍攝動作和清洗頭對掩模的清洗動作，照相機單元對標(biāo)記的拍攝動作不得不在等待掩模單元對掩模的清洗動作結(jié)束后進行。因此，每一張基板所需的作業(yè)時間變長，存在妨礙基板的生產(chǎn)性提高的問題。
實用新型內(nèi)容因此，本實用新型的目的在于提供能夠同時并行進行照相機單元的拍攝動作和清洗頭對掩模的清洗動作的絲網(wǎng)印刷機。本實用新型第一方面的絲網(wǎng)印刷機具備:掩模，其與基板接觸；照相機單元，其在設(shè)定于所述掩模的下方的第一水平移動面內(nèi)移動，對設(shè)于所述掩模的掩模側(cè)標(biāo)記及設(shè)于被保持在所述掩模的下方的所述基板的上面的基板側(cè)標(biāo)記進行拍攝動作；清洗頭，其通過在設(shè)定于所述掩模的下方且比所述照相機單元移動的所述第一水平移動面高的位置的第二水平移動面內(nèi)，與所述照相機單元獨立地移動，進行清洗所述掩模的下面的清洗動作；刮板，其在基于由所述照相機單元拍攝到的所述掩模側(cè)標(biāo)記和所述基板側(cè)標(biāo)記的位置關(guān)系使所述基板與所述掩模接觸后，在所述掩模上滑動，由此將供給到所述掩模上的膏轉(zhuǎn)印到所述基板上。本實用新型第二方面的絲網(wǎng)印刷機，在第一方面的基礎(chǔ)上，所述照相機單元進行的所述拍攝動作和所述清洗頭進行的所述清洗動作并行進行。本實用新型第三方面的絲網(wǎng)印刷機，在第一或第二方面的基礎(chǔ)上，所述清洗頭具備防止在所述清洗動作中從所述掩模的下面擦去的膏落下到所述清洗頭的下方的膏收納部。[0010]在本實用新型中，照相機單元在設(shè)定于掩模下方的第一水平移動面內(nèi)移動，清洗頭在設(shè)定于掩模的下方且比第一水平移動面高的位置的第二水平移動面內(nèi)移動，照相機單元和清洗頭在彼此不同的水平移動面內(nèi)移動，因此，能夠同時并行進行照相機單元的拍攝動作和清洗頭的清洗動作，能夠縮短每一張基板所需的作業(yè)時間，能夠提高基板的生產(chǎn)性。
圖1是本實用新型一實施方式的絲網(wǎng)印刷機的俯視圖；圖2是本實用新型一實施方式的絲網(wǎng)印刷機的正面圖；圖3是本實用新型一實施方式的絲網(wǎng)印刷機的側(cè)面圖；圖4是表示本實用新型一實施方式的絲網(wǎng)印刷機的控制系統(tǒng)的框圖；圖5是表示本實用新型一實施方式的絲網(wǎng)印刷機執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷作業(yè)的順序的流程圖；圖6 (a)、(b)是說明本實用新型一實施方式的絲網(wǎng)印刷機執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷作作業(yè)的執(zhí)行順序的圖；圖7是表示利用本實用新型一實施方式的絲網(wǎng)印刷機具備的清洗頭進行掩模的清洗的狀態(tài)的圖；圖8 (a)、(b)是說明本實用新型一實施方式的絲網(wǎng)印刷機執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷作業(yè)的執(zhí)行順序的圖。
標(biāo)記說明1:絲網(wǎng)印刷機2:基板2m:基板側(cè)標(biāo)記15:掩模15m:掩模側(cè)標(biāo)記16:照相機單元17b:刮板18:清洗頭30:框體(膏收納部)S1:第一水平移動面S2:第二水平移動面Pt^
具體實施方式
以下，參照附圖說明本實用新型的實施方式。圖1、圖2及圖3所示的絲網(wǎng)印刷機I為在基板2的電極部2a上絲網(wǎng)印刷焊錫等膏Pt的裝置，除在基臺10上具備基板搬入輸送機11、通過基板保持單元移動機構(gòu)12進行移動的基板保持單元13及基板搬出輸送機14之外，還具有以水平姿勢被保持于基板保持單元13的上方的掩模15、在掩模15的下方移動自如地設(shè)置的照相機單元16、在掩模15的上方區(qū)域移動自如地設(shè)置的刮板單元17及在掩模15的下方移動自如地設(shè)置的清洗頭18而構(gòu)成。[0033]基板搬入輸送機11搬入從絲網(wǎng)印刷機I的外部投入的基板2并將其交接到基板保持單元13?；灏岢鲚斔蜋C14將從基板保持單元13接收的基板2搬出到絲網(wǎng)印刷機I的外部。即，基板2以基板搬入輸送機11、基板保持單元13、基板搬出輸送機14的順序進行搬送，以該基板2的移動方向為X軸方向(從操作員OP觀察到的左右方向)。另外，以與該X軸方向正交的水平面內(nèi)方向為Y軸方向(從操作員OP觀察到的前后方向)，以上下方向為Z軸方向。在圖1中，掩模15由矩形的板狀部件構(gòu)成，其外緣由矩形框狀的掩?？?5w支承。在掩模15的中央部設(shè)有與基板2的電極部2a對應(yīng)的多個開口部15h。在圖1中，在基板2上的一對角位置設(shè)有兩個基板側(cè)標(biāo)記2m，在掩模15上，與這兩個基板側(cè)標(biāo)記2rn對應(yīng)而設(shè)有兩個掩模側(cè)標(biāo)記15m。在使兩個基板側(cè)標(biāo)記2m和兩個掩模側(cè)標(biāo)記15m上下相對的狀態(tài)下使基板2上升并使基板2與掩模15接觸時，基板2的電極部2a和設(shè)于掩模15的開口部15h成為相一致的狀態(tài)。在圖2及圖3中，基板保持單元13具有:相對于基臺10升降自如地設(shè)置的基體部13a、安裝于基體部13a并沿X軸方向搬送基板2的基板搬送輸送機13b (也參照圖1)、使利用基板搬送輸送機13b搬送并定位于規(guī)定的基板保持位置的基板2在被下支承部件13c從下方支承的狀態(tài)下進行升降的基板升降缸13d及將利用基板升降缸13d頂起的基板2從Y軸方向夾持保持的一對夾持部件13e (也參照圖1)而構(gòu)成。在圖4中，基板搬入輸送機11、基板保持單元13的基板搬送輸送機13b、基板搬出輸送機14的動作控制、基板升降缸13d的動作控制及驅(qū)動一對夾持部件13e的由未圖示的促動器等構(gòu)成的夾持部件驅(qū)動機構(gòu)13A對基板2的夾持動作的控制通過絲網(wǎng)印刷機I所具備的控制裝置20進行?；灞３謫卧苿訖C構(gòu)12由XYZ機械手構(gòu)成，通過控制裝置20進行動作控制，使基板保持單元13在水平面內(nèi)移動(也包含旋轉(zhuǎn))，同時使基板保持單元13在上下方向(Z軸方向)移動(圖4)。在圖1及圖3中，照相機單元16具備使拍攝視野朝向下方的下方拍攝照相機16a和使拍攝視野朝向上方的上方拍攝照相機16b而構(gòu)成，通過照相機單元移動機構(gòu)16M (圖2及圖3)使掩模15的下方在水平面內(nèi)方向移動。在圖1、圖2及圖3中，照相機單元移動機構(gòu)16M由前后兩端分別安裝于從基臺10的四角向上方延伸設(shè)置的四個垂直支柱21中的左側(cè)的兩個及右側(cè)的兩個并沿Y軸方向延伸的兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠22、左右兩端擰合于這兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠22并沿X軸方向延伸的下方移動工作臺23、在下方移動工作臺23的前面?zhèn)妊豖軸方向延伸設(shè)置的下方X軸滾珠絲杠24、擰合于該下方X軸滾珠絲杠24的照相機安裝塊25、同步驅(qū)動兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠22使下方移動工作臺23沿Y軸方向移動的兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機26及驅(qū)動下方X軸滾珠絲杠24使照相機安裝塊25沿X軸方向移動的下方X軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機27構(gòu)成，照相機單元16被安裝于下方移動工作臺23的前面。因此，照相機單元16通過兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機26及下方X軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機27的旋轉(zhuǎn)動作，與下方移動工作臺23 —體地在掩模15下方的第一水平移動面SI (圖2及圖3)內(nèi)移動。在圖4中，構(gòu)成上述照相機單元移動機構(gòu)16M的兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機26及下方X軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機27的旋轉(zhuǎn)控制通過控制裝置20進行。另外，下方拍攝照相機16a的拍攝動作及上方拍攝照相機16b的拍攝動作通過控制裝置20進行控制，通過下方拍攝照相機16a的拍攝動作得到的圖像數(shù)據(jù)及通過上方拍攝照相機16b的拍攝動作得到的圖像數(shù)據(jù)被發(fā)送到控制裝置20。在圖1、圖2及圖3中，刮板單元17具有在通過由水平正交坐標(biāo)工作臺構(gòu)成的刮板單元移動機構(gòu)17M的動作而在掩模15的上方沿Y軸方向自如移動的基體部17a的下方具備在Y軸方向上相對設(shè)置的兩個刮板17b的構(gòu)成，各刮板17b利用安裝于基體部17a的兩個氣壓缸17c分別獨立地在基體部17a的下方進行升降。刮板單元移動機構(gòu)17M的動作控制及各氣壓缸17c的動作進行的刮板17b的升降控制通過控制裝置20進行(圖4)。在圖3中，清洗頭18在框體30內(nèi)具有繞X軸旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置的兩個旋轉(zhuǎn)體31a、31b (抽出側(cè)的旋轉(zhuǎn)體31a及卷取側(cè)的旋轉(zhuǎn)體31b)、掛設(shè)于這兩個旋轉(zhuǎn)體31a、31b間的紙部件32及向該紙部件32上方頂起的沿X軸方向延伸的嘴部33而構(gòu)成，通過將兩個旋轉(zhuǎn)體31a、31b向同一方向驅(qū)動并使紙部件32沿Y軸方向行進，可以更新紙部件32位于嘴部33的上面的清洗部位。在嘴部33的上端設(shè)有經(jīng)由紙部件32從下方抵接掩模15的下面的吸引口。清洗頭18通過由水平正交坐標(biāo)機械手構(gòu)成的清洗頭移動機構(gòu)18M (圖2及圖3)沿Y軸方向自如移動。清洗頭移動機構(gòu)18M由前后兩端分別安裝于上述四個垂直支柱21中左側(cè)的兩個及右側(cè)的兩個上且沿Y軸方向延伸的兩個上方Y(jié)軸滾珠絲杠41、左右兩端擰合于這兩個上方Y(jié)軸滾珠絲杠41上并沿X軸方向延伸且安裝有清洗頭18的框體30的上方移動工作臺42、同步驅(qū)動兩個上方Y(jié)軸滾珠絲杠41而使上方移動工作臺42沿Y軸方向移動的兩個上方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機43構(gòu)成。在此，兩個上方Y(jié)軸滾珠絲杠41及上方移動工作臺42位于比構(gòu)成照相機單元移動機構(gòu)16M的兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠22及下方X軸滾珠絲杠24靠上方的位置。因此，清洗頭18通過兩個上方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機43的動作與上方移動工作臺42 —體地在掩模15下方的第二水平移動面S2 (圖2及圖3)內(nèi)移動。該清洗頭18移動的第二水平移動面S2位于比照相機單元16移動的第一水平移動面SI更高的位置，因此，清洗頭18在比照相機單元16低的水平移動面內(nèi)移動。在圖4中，構(gòu)成上述清洗頭移動機構(gòu)18M的兩個上方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機43的旋轉(zhuǎn)控制通過控制裝置20進行。另外，使紙部件32行進而更新掛設(shè)于嘴部33的上面的紙部件32的清洗部位的動作通過控制裝置20使驅(qū)動上述兩個旋轉(zhuǎn)體31a、31b的旋轉(zhuǎn)體驅(qū)動電動機31A動作而進行。另外，經(jīng)由嘴部33的吸引口的真空吸引動作通過由控制裝置20進行由未圖示的促動器等構(gòu)成的吸引機構(gòu)18A的動作控制來進行。接著，使用圖5的流程圖及圖6 圖8的說明圖說明絲網(wǎng)印刷機I的絲網(wǎng)印刷作業(yè)的執(zhí)行順序。控制裝置20在進行絲網(wǎng)印刷作業(yè)時，首先將從絲網(wǎng)印刷機I的外部投入的基板2通過基板搬入輸送機11搬入并交接給基板搬送輸送機13b，將其定位于上述規(guī)定的作業(yè)位置(基板搬入工序。圖5所示的步驟ST1)。而且，進行基于基板升降缸13d進行的基板2的頂起(圖6 (a)中所不的箭頭標(biāo)記A)和基于夾持部件13e進行的基板2的夾持(圖6 (a)中所示的箭頭標(biāo)記B)，保持基板2 (基板搬入保持工序。圖5所示的步驟ST2。圖6 (a))?？刂蒲b置20如上所述保持基板2后，進行構(gòu)成照相機單元移動機構(gòu)16M的兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機26及下方X軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機27的動作控制，使照相機單兀16在第一水平移動面SI內(nèi)移動。而且,在使上方拍攝照相機16b位于設(shè)于掩模15的掩模側(cè)標(biāo)記15m的正下方后，使上方拍攝照相機16b進行掩模側(cè)標(biāo)記15m的拍攝，根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)把握掩模15的位置(掩模側(cè)標(biāo)記拍攝工序。圖5所示的步驟ST3)，控制裝置20在結(jié)束照相機單元16對掩模側(cè)標(biāo)記15m的拍攝后，同樣進行兩個下方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機26及下方X軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機27的動作控制，使照相機單元16在第一水平移動面SI內(nèi)移動，在使下方拍攝照相機16a位于設(shè)于基板2的基板側(cè)標(biāo)記2m的正上方后，使下方拍攝照相機16a對基板側(cè)標(biāo)記2m的拍攝，根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)把握基板2的位置(基板側(cè)標(biāo)記拍攝工序。圖5所示的步驟ST4)。在此,上述步驟ST3和步驟ST4的順序也可以顛倒,但掩模側(cè)標(biāo)記15m的拍攝僅在最初設(shè)置掩模15時進行。這樣,在本實施方式中，照相機單兀16在設(shè)于掩模15的下方的第一水平移動面SI內(nèi)移動，進行設(shè)于掩模15的掩模側(cè)標(biāo)記15m及設(shè)于被保持在掩模15的下方的基板2的上面的基板側(cè)標(biāo)記2m的拍攝動作?？刂蒲b置20與上述步驟ST3中的掩模側(cè)標(biāo)記15m的拍攝及步驟ST4中的基板側(cè)標(biāo)記2m的拍攝并行，進行清洗頭18進行的掩模15的下面的清洗(清洗執(zhí)行工序。圖5所示的步驟ST5)。S卩，照相機單元16進行的拍攝動作(步驟ST3及步驟ST4的拍攝工序)和清洗頭18進行的清洗動作(步驟ST5)同時并行進行。步驟ST5的掩模15的清洗通過如下方式進行，即，控制裝置20進行構(gòu)成清洗頭移動機構(gòu)18M的兩個上方Y(jié)軸滾珠絲杠驅(qū)動電動機43的動作控制，在使紙部件32的清洗部位與掩模15的下面接觸后，進行吸引機構(gòu)18A的動作控制，使嘴部33進行真空吸引，使清洗頭18在第二水平移動面S2內(nèi)沿Y軸方向移動(圖7中所示的箭頭標(biāo)記C)。由此，通過紙部件32擦拭附著于掩模15的下面的膏Pt (膏Pt的殘渣)，對掩模15的下面進行清洗。此外，該清洗頭18進行的掩模15的清洗也可以對每張基板進行絲網(wǎng)印刷作業(yè)，但也可以按預(yù)定的規(guī)定的數(shù)量進行。這樣，在本實施方式中，清洗頭18通過在設(shè)定于掩模15的下方且比照相機單元16移動的第一水平移動面SI高的位置的第二水平移動面S2內(nèi)與照相機單元16獨立地移動，進行清洗掩模15的下面的清洗動作。在進行該掩模15的下面的清洗時，從掩模15的下面擦去的膏Pt不會附著于紙部件32上，或者附著于紙部件32上后落下，但由于該落下的膏Pt蓄積于框體30內(nèi)，從而能夠防止其落下到清洗頭18的下方。即，在本實施方式中，清洗頭18的框體30作為防止從掩模15的下面擦去的膏Pt落下到清洗頭18的下方的膏收納部而起作用。控制裝置20在步驟ST3及步驟ST4進行照相機單元16對基板側(cè)標(biāo)記2m的拍攝和掩模側(cè)標(biāo)記15m的拍攝，另外，根據(jù)需要在步驟ST5進行了掩模15的清洗后，使基板保持單元13在水平面內(nèi)方向移動，以基板側(cè)標(biāo)記2m和掩模側(cè)標(biāo)記15m上下相對(即基于由照相機單元16拍攝到的掩模側(cè)標(biāo)記15m和基板側(cè)標(biāo)記2m的位置關(guān)系)的方式進行基板2相對于掩模15的水平面內(nèi)方向的對位(對位工序。圖5所示的步驟ST6)?？刂蒲b置20在基板2相對于掩模15的對位結(jié)束后，進行基板保持單元移動機構(gòu)12的動作控制,使基板保持單元13相對于基臺10上升(圖6 (b)中所示的箭頭標(biāo)記Dl),使由一對夾持部件13e保持的基板2的上面與掩模15的下面接觸，由此使基板2接觸掩模15 (接觸工序。圖5所示的步驟ST7。圖6(b))。由此，基板2上的電極部2a和掩模15的開口部15h成為相一致的狀態(tài)?？刂蒲b置20在使基板2與掩模15接觸后，進行刮板17b的刮涂，將預(yù)先供給到掩模15上的膏Pt轉(zhuǎn)印到基板2的電極部2a (轉(zhuǎn)印工序。圖5所示的步驟ST8)。該刮涂具體而言如下進行，使刮板單元17所具備的兩個刮板17b中的一方向下動作(圖8 Ca)中所示的箭頭標(biāo)記E1)，在維持與掩模15的上面抵接的狀態(tài)下使基體部17a沿水平方向移動(圖8 (a)中所示的箭頭標(biāo)記F)。由此,刮板17b在掩模15上滑動,掩模15上的膏Pt被刮板17b刮攏到一起，推入掩模15的開口部15h內(nèi)，轉(zhuǎn)印于各基板2的電極部2a上。S卩，在本實施方式中，刮板17b在基于由照相機單元16拍攝到的掩模側(cè)標(biāo)記15m和基板側(cè)標(biāo)記2m的位置關(guān)系使掩模15與基板2接觸后，在掩模15上滑動，由此將供給到掩模15上的膏Pt推入掩模15的開口部15h內(nèi)并轉(zhuǎn)印到基板2的電極部2a上?？刂蒲b置20在基板2的電極部2a上轉(zhuǎn)印了膏Pt后，使抵接于掩模15的刮板17b向上動作后(圖8 (b)中所示的箭頭標(biāo)記E2),使基板保持單元移動機構(gòu)12動作,使基板保持單元13下降，由此使基板2離開掩模15 (圖8 (b)中所示的箭頭標(biāo)記D2)，進行脫模(脫豐旲工序。圖5所不的步驟ST9。圖8 (b))。由此，骨Pt殘留于基板2的電極部2a上,在基板2上印刷膏Pt。此外，在此，基板保持單元移動機構(gòu)12作為在刮板17b進行的膏Pt向基板2的轉(zhuǎn)印結(jié)束后，使基板2從掩模15離開的脫模機構(gòu)而起作用?？刂蒲b置20在進行脫模后，進行基板保持單元13的動作控制，解除對基板2的保持(保持解除工序。圖5所示的步驟ST10)。該基板2的保持的解除具體而言通過如下方式進行，即，控制裝置20在進行夾持部件驅(qū)動機構(gòu)13A的動作控制而使夾持部件13e打開后，使基板升降缸13d動作而使基板2下降，使基板2的兩端降到一對基板搬送輸送機13b上(參照圖3)?？刂蒲b置20在解除對基板2的保持后，使基板保持單元移動機構(gòu)12動作，使基板保持單元13在水平面內(nèi)移動，調(diào)整了基板搬送輸送機13b的方向后，使基板搬送輸送機13b及基板搬出輸送機14動作，將基板2搬出到絲網(wǎng)印刷機I的外部(基板搬出工序。圖5所示的步驟ST11)。由此，結(jié)束一連串的絲網(wǎng)印刷作業(yè)。此外，在上述的步驟ST9中進行了脫模的狀態(tài)下，成為在掩模15的下面附著有膏Pt的殘渣的狀態(tài)，但該膏Pt的殘渣通過在關(guān)于下一基板2的絲網(wǎng)印刷作業(yè)中通過與照相機單元16進行的掩模側(cè)標(biāo)記15m和基板側(cè)標(biāo)記2m的拍攝(步驟ST3及步驟ST4)并行進行的清洗頭18對掩模15的清洗(步驟ST5)而被除去。這樣，本實施方式的絲網(wǎng)印刷機I的絲網(wǎng)印刷方法包含:利用在設(shè)定于與基板2接觸的掩模15的下方的第一水平移動面SI內(nèi)移動的照相機單兀16進行設(shè)于掩模15的掩模側(cè)標(biāo)記15m及設(shè)于保持在掩模15的下方的基板2的上面的基板側(cè)標(biāo)記2m的拍攝動作的拍攝工序(步驟ST3及步驟ST4)、利用在設(shè)定于掩模15的下方且比照相機單元16移動的第一水平移動面SI高的位置的第二水平移動面S2內(nèi)與照相機單元16獨立地移動的清洗頭18，進行清洗掩模15的下面的清洗動作的清洗工序(步驟ST5)、及基于在拍攝工序拍攝到的掩模側(cè)標(biāo)記15m和基板側(cè)標(biāo)記2m的位置關(guān)系使基板2與掩模15接觸后通過使刮板17b在掩模15上滑動而將供給到掩模15上的膏Pt轉(zhuǎn)印于基板2的轉(zhuǎn)印工序(步驟ST8)。如以上說明，在本實施方式的絲網(wǎng)印刷機I (絲網(wǎng)印刷方法)中，照相機單元16在設(shè)定于掩模15的下方的第一水平移動面SI內(nèi)移動,清洗頭18在設(shè)定于掩模15的下方且比第一水平移動面SI高的位置的第二水平移動面S2內(nèi)移動，照相機單元16和清洗頭18在彼此不同的水平移動面內(nèi)移動，因此，能夠同時并行進行照相機單元16的拍攝動作和清洗頭18的清洗動作，能夠縮短每一張基板2所需的作業(yè)時間，能夠提高基板2的生產(chǎn)性。產(chǎn)業(yè)上的可利用性提供一種能夠同時并行進行照相機單元的拍攝動作和清洗頭的掩模的清洗動作的絲網(wǎng)印刷機及絲網(wǎng)印刷方法。
權(quán)利要求1.種絲網(wǎng)印刷機，其特征在于，具備: 掩模，其與基板接觸； 照相機單元，其在設(shè)定于所述掩模的下方的第一水平移動面內(nèi)移動，對設(shè)于所述掩模的掩模側(cè)標(biāo)記及設(shè)于被保持在所述掩模的下方的所述基板的上面的基板側(cè)標(biāo)記進行拍攝動作； 清洗頭，其通過在設(shè)定于所述掩模的下方且比所述照相機單元移動的所述第一水平移動面高的位置的第二水平移動面內(nèi)，與所述照相機單元獨立地移動，進行清洗所述掩模的下面的清洗動作； 刮板，其在基于由所述照相機單元拍攝到的所述掩模側(cè)標(biāo)記和所述基板側(cè)標(biāo)記的位置關(guān)系使所述基板與所述掩模接觸后，在所述掩模上滑動，由此將供給到所述掩模上的膏轉(zhuǎn)印到所述基板上。
2.權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印刷機，其特征在于， 所述照相機單元進行的所述拍攝動作和所述清洗頭進行的所述清洗動作并行進行。
3.權(quán)利要求1或2所述的絲網(wǎng)印刷機，其特征在于， 所述清洗頭具備防止在所述清洗動作中從所述掩模的下面擦去的膏落下到所述清洗頭的下方的膏收納部。
專利摘要本實用新型的目的在于提供一種絲網(wǎng)印刷機，能夠同時并行進行照相機單元的拍攝動作和清洗頭對掩模的清洗動作。對設(shè)于掩模(15)的掩模側(cè)標(biāo)記(15m)及設(shè)于被保持在掩模(15)的下方的基板(2)的上面的基板側(cè)標(biāo)記(2m)進行拍攝動作的照相機單元(16)在設(shè)定于掩模(15)的下方的第一水平移動面(S1)內(nèi)移動，進行清洗掩模(15)的下面的清洗動作的清洗頭(18)在設(shè)定于掩模(15)的下方且比照相機單元(16)移動的第一水平移動面(S1)高的位置的第二水平移動面(S2)內(nèi)與照相機單元(16)獨立地進行移動。
文檔編號B41F15/08GK202923092SQ20122061251
公開日2013年5月8日 申請日期2012年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月22日
發(fā)明者友松道范, 村上俊行, 村上稔, 前田亮 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社