圖案形成方法、液滴噴出裝置及取向膜形成裝置的制作方法

專利名稱：圖案形成方法、液滴噴出裝置及取向膜形成裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及圖案形成方法、取向膜形成方法、液滴噴出裝置、取向膜形成裝置、電光學裝置及液晶顯示裝置。
背景技術：
顯示裝置及半導體裝置的制造工序多包含有將堆積在襯底上的膜構圖為所希望的形狀而形成膜圖案的圖案形成工序。
近年來，在這種的圖案形成工序中，為提高生產率，利用通過使噴出到襯底上的液滴固化而形成膜圖案的噴墨法。由于噴墨法可以在襯底上形成對應于液滴形狀的膜圖案，因此不需要用于構圖的掩膜的形成。其結果是，圖案形成工序的工序數減少。
但是，在利用噴墨法形成膜圖案時，在著落于襯底上的液滴不在該襯底的表面上濡濕擴散時，由其多個液滴形成的凹凸形狀反映在膜圖案的圖案形狀，因此，有時損傷膜圖案的平坦性及膜厚均勻性。
于是，在這樣的噴墨法中，提出有提高著落于襯底上的液滴的濡濕擴散性的方法。在特開2005-131498號公報中，公示有通過使液滴的噴出方向相對于襯底的法線傾斜，由此對噴出的液滴賦予沿襯底的表面方向的速度成分的方法。據此，能夠僅使襯底的法線方向和液滴的噴出方向構成的角度(傾斜角)量的、著落的液滴沿襯底的表面濡濕擴散。
在上述噴墨法中，形成不同膜厚的膜圖案時，改變有關液滴的每單位面積的噴出量。此時，如圖9所示，在將各液滴Fc的容量維持一定的狀態下，增減噴出液滴Fc的間隔即噴出間距W。例如，在形成薄膜的膜圖案FP時，在將每一滴液滴Fc的容量維持一定的狀態下，通過增加液滴噴嘴和襯底Sb間的相對速度，或增長噴出動作的動作周期，使液滴Fc的噴出間距W增加。由此，實現液滴噴出動作的穩定化，確保噴出量的再現性即膜圖案的膜厚的再現性。
但是，在液滴Fc的噴出方向A相對于襯底Sb的法線方向(Z方向)傾斜時，著落的各液滴Fc的形狀，成為具有沿與其法線方向垂直的方向(X方向)延伸的長徑和沿噴嘴N的排列方向(Y方向)的短徑的大致橢圓形狀。其結果產生以下問題。
成為橢圓形狀的各液滴Fc，其厚度小，因此流動性降低。其結果是，在液滴Fc的短徑方向(Y方向)，鄰接的液滴Fc彼此的接合部分的厚度變小，在與鄰接的噴嘴N間相對的襯底Sb上的區域，形成沒有液滴Fc的部分(凹部B)。其結果是，在膜圖案FP上，對應于凹部B的區域的膜厚變的非常薄，因此顯著損害其膜厚的均勻性。

發明內容
本發明的目的在于，提供一種能夠提高由液滴構成的圖案的膜厚均勻性的圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學裝置。
另外，本發明的目的在于，提供一種能夠提高由取向膜形成材料的液滴形成的取向膜的膜厚均勻性的取向膜形成方法、取向膜形成裝置及液晶顯示裝置。
為實現上述目的，本發明一方面提供一種圖案形成方法，將含有圖案形成材料的液滴向襯底上噴出從而在該襯底上形成圖案。該圖案形成方法包括從在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口，沿相對于所述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有所述圖案形成材料的第一液滴的步驟；從沿所述一方向排列的多個第二噴出口，將含有所述圖案形成材料的第二液滴沿第二噴出方向朝向所述襯底上的所述第一液滴間的區域噴出的步驟。
另外，本發明另一方面提供一種取向膜形成方法，將含有取向膜形成材料的液滴向襯底噴出從而在該襯底上形成取向膜。該取向膜形成方法包括從在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口，沿相對于所述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有所述取向膜形成材料的第一液滴的步驟；從沿所述一方向排列的多個第二噴出口，將含有所述取向膜形成材料的第二液滴沿第二噴出方向朝向所述襯底上的所述第一液滴間的區域噴出的步驟。
本發明再一方面提供一種液滴噴出裝置，將含有圖案形成材料的液滴向襯底噴出從而在該襯底上形成圖案。該液滴噴出裝置具備第一噴出口形成面和第二噴出口形成面。第一噴出口形成面與所述襯底相對置。第一噴出口形成面具有在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口。第一噴出口沿相對于所述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有所述圖案形成材料的第一液滴。第二噴出口形成面與所述襯底相對置。第二噴出口形成面具有沿所述一個方向排列的多個第二噴出口。第二噴出口將含有所述圖案形成材料的第二液滴沿第二噴出方向向著落于所述襯底上的所述第一液滴間的區域噴出。
另外，本發明再一方面提供一種電光學裝置。該電光學裝置具備襯底，所述襯底具有利用所述液滴噴出裝置形成的圖案。
再者，本發明再一方面提供一種將含有取向膜形成材料的液滴向襯底噴出從而在該襯底上形成取向膜的取向膜形成裝置。該取向膜形成裝置具備第一噴出口形成面和第二噴出口形成面。第一噴出口形成面與所述襯底相對置。第一噴出口形成面具有在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口。多個第一噴出口沿相對于所述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有所述取向膜形成材料的第一液滴。第二噴出口形成面與所述襯底相對置。第二噴出口形成面具有在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第二噴出口。多個第二噴出口將含有所述取向膜形成材料的第二液滴沿第二噴出方向向著落于所述襯底上的所述第一液滴間的區域噴出。
另外，本發明再一方面提供一種液晶顯示裝置。該液晶顯示裝置具備襯底，所述襯底具有利用所述取向膜形成裝置形成的取向膜。


圖1是表示液晶顯示裝置的立體圖；圖2是沿圖1的2-2線的剖面圖；圖3是表示圖2的液滴噴出裝置的立體圖；
圖4是表示圖2的液滴噴出裝置的液滴噴頭的立體圖；圖5是表示圖4的液滴噴頭的俯視圖；圖6是表示圖4的液滴噴頭的側面圖；圖7是說明圖2的液滴噴出裝置的液滴噴出動作的圖；圖8是表示圖2的液滴噴出裝置的電構成的框圖；圖9是表示現有的液滴噴出裝置的概略側面圖。
具體實施例方式
下面，參照圖1～圖8說明將本發明具體化了的實施方式。首先，說明通過本發明的圖案形成方法形成的具有取向膜27的作為電光學裝置的液晶顯示裝置10。圖1是液晶顯示裝置10的立體圖，圖2是沿圖1的2-2線的剖面圖。
在圖1中，液晶顯示裝置10在其下側具備具有LED等光源11的成為四角板狀的邊緣照明型的背光燈12。
在背光燈12的上方具備和該背光燈12具有大致相同尺寸的四角板狀的液晶面板13。從光源11射出的光射向液晶面板13。
液晶面板13具有元件襯底14和與元件襯底14相對置的對置襯底15。元件襯底14和對置襯底15如圖2所示，通過由光固化樹脂構成的四角框狀的密封部件16粘合在一起。在元件襯底14與對置襯底15間的間隙封入有液晶17。
在元件襯底14的下面即與背光燈12對置的面粘合有偏振片及相位差板等光學襯底18。光學襯底18將來自背光燈12的光變成直線偏振光而對液晶17射出。在元件襯底14的上面即在與對置襯底15對置的面(元件形成面14a)上排列有沿一方向即X方向延伸的多個掃描線Lx。各掃描線Lx與在元件襯底14上配設的掃描線驅動電路19電連接，來自掃描線驅動電路19的掃描信號以規定的時序輸入到各掃描線Lx。另外，在元件形成面14a上排列著沿Y方向延伸的多個數據線Ly。各數據線Ly與配設在元件襯底14上的數據線驅動電路21電連接。基于顯示數據的數據信號，從數據線驅動電路21以規定的時序向各數據線Ly輸入。
在元件形成面14a上即掃描線Lx和數據線Ly交叉的各位置形成有一個像素22。即，在元件形成面14a上矩陣狀排列有多個像素22。各像素22具備由TFT等那樣的未圖示的控制元件或透明導電膜構成的光透射性的像素電極23。
圖2中，在全部像素22上層疊有通過摩擦處理等實施了取向處理的取向膜24。取向膜24由取向性聚酰亞胺等這樣的取向性高分子構成，在像素電極23的附近，將液晶17的取向設定為規定的取向。取向膜24通過噴墨法形成。即，取向膜24如下形成，使將取向性高分子溶解到規定的溶劑中而成的圖案形成材料、即取向膜形成材料F(參照圖6)作為第一液滴Fa及第二液滴Fb(參照圖6)噴出在所有像素22上，使著落的第一液滴Fa及第二液滴Fb干燥。
在上述對置襯底15上配設有偏振片25，該偏振片用于使與通過光學襯底18的光垂直的直線偏振光的光射向外方、即圖2的上方射出。在對置襯底15的下面、即與元件襯底14對置的面(電極形成面15a)的整個面上層疊有與像素電極23相對置而形成的由光透射性的導電膜構成的對置電極26。對置電極26與上述數據線驅動電路21電連接，由其數據線驅動電路21賦予公共電位。在對置電極26的整個下面層疊有通過摩擦處理等實施了取向處理的取向膜27。取向膜27與上述取向膜24相同，通過噴墨法形成的。取向膜27在上述對置電極26的附近，將液晶17的取向設定為規定的取向。
然后，通過進行線順序掃描而對每一條以規定的時序選擇掃描線Lx，將各像素22的控制元件設為只在各選擇期間中為打開狀態。于是，相對于對應各控制元件的像素電極23，通過對應的數據線Ly輸入基于顯示數據的數據信號。如果對各像素電極23輸入數據信號，則各像素電極23和對置電極26間的電位差就隨上述數據信號作相應的變動，其結果是，在該像素電極23和對置電極26間配置的液晶17的取向狀態發生改變。即，來自光學襯底18的光的偏向狀態根據上述數據信號在每一個像素22改變。而且，光相對于偏振片25的通過，在每一個像素22被容許及遮斷，由此基于顯示數據的圖案顯示在液晶面板13的上側。
下面，參照圖3～圖8說明用于形成上述取向膜27(取向膜24)的液滴噴出裝置30。
在圖3中，液滴噴出裝置30在本實施方式中是取向膜形成裝置，液滴噴出裝置30具備形成長方體形狀的基臺31。在該基臺31的上面形成有沿同基臺31的長度方向即X方向延伸的一對導向槽32。在基臺31的上方，具備與在該基臺31上設置的X軸電動機MX(參照圖8的左下)的輸出軸驅動連接的襯底載置臺33。襯底載置臺33沿上述導向槽32、即X方向以規定的速度(輸送速度V)移動。
襯底載置臺33的上面發揮能夠載置對置襯底15的載置面功能，將對置襯底15相對于襯底載置臺33定位且固定。對置襯底15以將對置電極26設為上側的狀態載置在載置面34上。另外，在本實施方式中，在載置面34上載置對置襯底15，但不局限于在此，也可以在以將上述像素電極23設為上側的狀態下將元件襯底14載置在載置面34。
以在Y方向跨過基臺31的方式配置成為門型形狀的導向構件35。在該導向構件35上形成有沿Y方向延伸的上下一對導軌36。
另外，導向構件35具備與在該導向構件35上設置的Y軸電動機MY(參照圖8)的輸出軸驅動連接的滑架37。該滑架37沿導軌36在Y方向及Y方向的相反的方向移動。在滑架37上配設有容納上述取向膜形成材料F(參照圖6)的墨水貯存罐38。容納在墨水貯存罐38內的取向膜形成材料F可分別導出向搭載于滑架37的下側的第一噴頭組件Ha及第二噴頭組件Hb。
圖4是從下方、即對置襯底15的側面看到的第一噴頭組件Ha及第二噴頭組件Hb的概略立體圖。圖5是從Y方向看到的第一噴頭組件Ha及第二噴頭組件Hb的概略側面圖。
圖4中，在滑架37的下側即圖4中的上側，沿X方向配設有第一噴頭組件Ha及第二噴頭組件Hb。第一噴頭組件Ha及第二噴頭組件Hb分別沿Y方向延伸的長方體形狀的支承臺39a及并進載物臺39b。
在支承臺39a的下面即圖4的上面，跨支承臺39a的Y方向的大致整個寬度上形成有截面圓弧狀的凹曲面即第一導向面P1a。第一導向面P1a的曲率中心Ca(參照圖5)位于支承臺39a的正下方，并且，在沿襯底載置臺33上載置的狀態下的對置電極26的上面的位置。
在并進載物臺39b的下面即圖4中的上面形成有截面呈圓弧狀的凹曲面即第二導向面P1b。并進載物臺39b是允許第二導向面P1b沿X方向及Y方向進行并進的XY載物臺。并進載物臺39b與內置于滑架37的并進電動機MT(參照圖8)的輸出軸驅動連接，接受該并進電動機MT的驅動力，使第二導向面P1b沿X方向及Y方向并進。第二導向面P1b與第一導向面P1a相同，其曲率中心Cb(參照圖5)位于并進載物臺39b的正下方，并且，沿載置于襯底載置臺33上的狀態下的對置電極26的上面的位置。
圖4中，在支承臺39a的第一導向面P1a上配設有構成第一傾動機構的第一傾動載物臺40a，使其沿Y方向延伸。在并進載物臺39b的第二導向面P1b上配設有構成第二傾動機構的第二傾動載物臺40b，使其沿Y方向延伸。
第一傾動載物臺40a在與滑架37對置側的面、即圖4中的下面具有與第一導向面P1a對應的成為凸曲面的第一滑動面P2a，在該第一滑動面P2a的相反側的面、即圖4中的上面具有沿對置襯底15平行延伸的第一裝配面P3a。
同樣，第二傾動載物臺40b在與滑架37對置側的面、即圖4的下面具有與第二導向面P1b對應的成為凸曲面的第二滑動面P2b，在該第二滑動面P2b的相反側的面、即圖4的上面具有沿對置襯底15平行延伸的第二裝配面P3b。
第一傾動載物臺40a及第二傾動載物臺40b分別與內置于滑架37的第一傾動電動機MDa及第二傾動電動機MDb(參照圖8)的輸出軸驅動連接。第一傾動載物臺40a接受第一傾動電動機MDa的驅動力，使第一滑動面P2a沿第一導向面P1a滑動(轉動)。第二傾動載物臺40b接受第二傾動電動機MDb的驅動力，使第二滑動面P2b沿第二導向面P1b滑動(轉動)。
即，第一傾動載物臺40a以第一滑動面P2a和第一導向面P1a在同一面內存在的方式，以通過位于對置電極26上的曲率中心Ca的傾動軸(第一傾動軸)為轉動中心，使對應的第一裝配面P3a相對于對置襯底15傾動。
另外，第二傾動載物臺40b以第二滑動面P2b和第二導向面P1b在同一面內存在的方式，以通過位于對置電極26上的曲率中心Cb的傾動軸(第二傾動軸)為轉動中心，使對應的第二裝配面P3b相對于對置襯底15傾動。
當用于使第一裝配面P3a傾斜的信號供給到第一傾動電動機MDa時，第一傾動電動機MDa按規定的轉速進行正轉或逆轉。其結果是，第一傾動載物臺40a的第一裝配面P3a以曲率中心Ca為中心傾動。另外，當用于使第二裝配面P3b傾動的信號供給到第二傾動電動機MDb時，第二傾動電動機MDb就只按規定的轉速進行正轉驅動或逆轉驅動。其結果是，第二傾動載物臺40b的第二裝配面P3b以曲率中心Cb為中心傾動。
另外，在本實施方式中，如圖5中實線所示那樣，在第一傾動載物臺40a的配置位置，將第一裝配面P3a的法線方向(以下稱為第一噴出方向Aa)和對置襯底15的法線方向(Z方向)平行的配置位置定義為初始位置。另外，如圖5中雙點畫線所示那樣，在第一傾動載物臺40a的配置位置，將第一噴出方向Aa相對于Z方向向右旋轉傾斜規定的角度(第一傾斜角θa)的狀態的配置位置定義為傾斜位置。
再者，如圖5中實線所示那樣，在第二傾動載物臺40b的配置位置，將第二裝配面P3b的法線方向(以下稱為第二噴出方向Ab)和對置襯底15的法線方向(Z方向)平行的配置位置定義為初始位置。另外，如圖5中雙點畫線所示那樣，在第二傾動載物臺40b的配置位置，將第二噴出方向Ab相對于Z方向向右旋轉傾斜規定的角度(第二傾斜角θb)的狀態的配置位置定義為傾斜位置。
在圖4中，第一裝配面P3a具備沿Y方向延伸成為長方體形狀的第一液滴噴頭(以下簡單地稱為第一噴頭)41a，第二裝配面P3b具備沿Y方向延伸的成為長方體形狀的第二液滴噴頭(以下簡單地稱為第二噴頭)41b。在第一噴頭41a的下側(在圖4的上側)具備第一噴嘴板42a，在第二噴頭41b的下側(在圖4的上側)具備第二噴嘴板42b。在第一噴嘴板42a的對置襯底15側(在圖4的上側)形成有相對于第一裝配面P3a平行的第一噴嘴形成面P4a(第一噴出口形成面)，在第一噴嘴形成面P4a上形成有作為第一噴出口的多個第一噴嘴Na，使其沿Y箭頭方向以等間距(噴嘴間距NW)排列。
同樣，在第二噴嘴板42b的對置襯底15側(在圖4的上側)形成有相對于第二裝配面P3b平行的第二噴嘴形成面P4b(第二噴出口形成面)，在第二噴嘴形成面P4b上形成有作為第二噴出口的多個的第二噴嘴Nb，使其沿Y箭頭方向以等間距(噴嘴間距NW)排列。
另外，在圖4中，并進載物臺39b并進，使得各第二噴嘴Nb從X方向觀察的情況下，沿Y方向位移第一噴嘴Na的噴嘴間距NW一半量。
在圖5中，第一噴嘴Na及第二噴嘴Nb分別沿第一噴嘴形成面P4a及第二噴嘴形成面P4b的法線方向、即上述第一噴出方向Aa及第二噴出方向Ab延伸而形成。
第一噴嘴Na在第一傾動載物臺40a位于初始位置時，以相對于曲率中心Ca靠近Z方向(和第一噴出方向Aa相反的方向)的位置的方式配設。第二噴嘴Nb在第二傾動載物臺40b位于初始位置時，以相對于曲率中心Cb靠近Z方向(和第二噴出方向Ab相反的方向)的位置的方式配設。
在本實施方式中，將曲率中心Ca上且從各第一噴嘴Na向第一噴出方向Aa前進的位置定義為第一著落位置Pa。將曲率中心Cb上且從各第二噴嘴Nb向第二噴出方向Ab前進的位置定義為第二著落位置Pb。
當第一傾動電動機MDa(第二傾動電動機MDb)正轉時，第一傾動載物臺40a(第二傾動載物臺40b)就從初始位置向傾斜位置移動。于是，第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)如圖6所示，分別以第一著落位置Pa(第二著落位置Pb)為旋轉中心向右轉動。其結果是，第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)的延伸方向即第一噴出方向Aa(第二噴出方向Ab)相對于對置襯底15的法線(Z方向)只傾斜第一傾斜角θa(第二傾斜角θb)。通過各第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)的延伸方向傾斜，可以使各第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)和與之對應的第一著落位置Pa(第二著落位置Pb)間的距離維持規定的飛行距離L。即，液滴噴出裝置30其構成為，即使變更第一噴出方向Aa(第二噴出方向Ab)，也能夠維持從第一噴嘴Na噴出的第一液滴Fa(第二液滴Fb)的著落精度。
在圖6中，第一液滴噴出頭41a(第二液滴噴出頭41b)具有與各第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)連通且與上述墨水貯存罐38連通的內腔43，通過該內腔43，來自墨水貯存罐38的取向膜形成材料F供給向對應的第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)。第一液滴噴出頭41a(第二液滴噴出頭41b)具有與各內腔43對應的振動板44，該振動板44能夠向第一噴出方向Aa(第二噴出方向Ab)及其相反的方向振動。通過振動板44的振動，對應的內腔43內的容積擴大及縮小。在振動板44的上側配設有與各第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)相對應的第一壓電元件PZa(第二壓電元件PZb)。各第一壓電元件PZa(第二壓電元件PZb)通過接受壓電元件驅動信號COM(參照圖8)而收縮及伸長，使對應的振動板44振動。
驅動控制第一傾動電動機MDa(第二傾動電動機MDb)，使第一傾動載物臺40a(第二傾動載物臺40b)向規定的傾斜位置移動，對規定的第一壓電元件PZa(第二壓電元件PZb)供給壓電元件驅動信號COM。于是，對應于上述規定的第一壓電元件PZa(第二壓電元件PZb)的內腔43的容積擴大及縮小，對應的第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)內的取向膜形成材料F的界面即彎液面振動。當第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)內的彎液面振動時，如圖6所示，對應壓電元件驅動信號COM的規定重量的取向膜形成材料F從第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)作為第一液滴Fa(第二液滴Fb)噴出。噴出的第一液滴Fa(第二液滴Fb)沿第一噴嘴Na(第二噴嘴Nb)的方向即第一噴出方向Aa(第二噴出方向Ab)以規定的噴出速度Vf飛行，著落于對置電極26上的第一著落位置Pa(第二著落位置Pb)。
這時，在以噴出速度Vf飛行的第一液滴Fa(第二液滴Fb)中，作為向X方向的相反方向的速度成分，賦予第一接線速度Vfa(第二接線速度Vfb)。而且，襯底載置臺33以規定的輸送速度V向X方向移動，因此，朝該襯底載置臺33上的對置電極26飛行的第一液滴Fa(第二液滴Fb)作為向X方向的相反方向的速度成分，進一步成為與賦予對應輸送速度V的速度成分相同的結果。因此，第一液滴Fa(第二液滴Fb)按照將第一接線速度Vfa(第二接線速度Vfb)和與輸送速度V對應的速度成分相加的速度從第一著落位置Pa(第二著落位置Pb)向X方向的相反方向濡濕擴散。
即，第一液滴Fa及第二液滴Fb呈對應于分別對應的第一噴出方向Aa(傾斜角θa)及第二噴出方向Ab(傾斜角θb)的著落形狀。
在此，如圖7所示，在應形成對置電極26上的上述取向膜27的區域，設置用于使上述第一液滴Fa著落的格子點(第一目標位置Ta)和用于使上述第二液滴Fb著落的格子點(第二目標位置Tb)。
詳細敘述，在對置電極26上，設定第一目標位置Ta，使得沿Y方向的間隔為上述噴嘴間距NW，并且沿X方向的間隔為規定的間隔(噴出間距W)。另外，從該第一目標位置Ta沿Y方向離開上述噴嘴間距NW的一半量的距離的位置，分別設定第二目標位置Tb。
另外，上述噴出間距W如下設定，即基于取向膜27的目標膜厚、和從第一液滴Fa及第二液滴Fb的容量算出的第一液滴Fa及第二液滴Fb的數量(目標噴出數量)，相對于應形成取向膜27的區域噴出其目標噴出數量的量的第一液滴Fa及第二液滴Fb。
接著，在對置襯底15向X方向輸送時，驅動控制Y軸電動機MY來調節滑架37的位置，使得各第一著落位置Pa分別沿著上述第一目標位置Ta的路徑上。另外，在對置襯底15向X方向輸送時，驅動控制并進電動機MT而調節并進載物臺39b的位置，使得各第二著落位置Pb分別沿著上述第二目標位置Tb的路徑上。
另外，驅動控制第一傾動電動機MDa及第二傾動電動機MDb，使得第一傾動載物臺40a及第二傾動載物臺40b分別位于規定的傾斜位置及初始位置。
此時，通過預先試驗等設定第一傾動載物臺40a的傾斜位置(傾斜角θa)，使得沿著著落的第一液滴Fa的X方向的著落直徑比上述噴出間距W大，而且，沿著著落的第一液滴Fa的Y方向的著落直徑比上述噴嘴間距NW大。
接著，驅動控制X軸電動機MX，向X方向輸送襯底載置臺33(對置電極26)。此時，每當第一目標位置Ta分別位于第一著落位置Pa時，對于各第一壓電元件PZa供給壓電元件驅動信號COM。
于是，如圖7所示，從各第一噴嘴Na噴出的第一液滴Fa順序著落于分別對應的第一目標位置Ta，著落的各第一液滴Fa向對應于第一噴出方向Aa(傾斜角θa)的方向擴散，呈向X方向延伸的橢圓形狀。橢圓形狀擴散的各第一液滴Fa因其厚度小，故其流動性變低。因此，著落的各第一液滴Fa在短徑方向(Y箭頭方向)側的部位厚度變小，在沿Y方向相鄰的第一液滴Fa間的區域、即上述第二目標位置Tb的區域形成凹部B，該凹部B是不配置第一液滴Fa的呈大致菱形形狀的區域。
每當第二目標位置Tb分別位于第二著落位置Pb時，對于各第二壓電元件PZb供給壓電元件驅動信號COM。
其結果是，如圖7所示，從各第二噴嘴Nb噴出的第二液滴Fb順序著落于分別對應的第二目標位置Tb，著落的各第二液滴Fb以第二目標位置Tb為中心呈半球狀，使其覆蓋上述凹部B。呈半球狀的第二液滴Fb因其高的流動性，使凹部B及該凹部B附近的第一液滴Fa的區域平坦化。在著落于對置電極26的各第一液滴Fa及第二液滴Fb通過充填與凹部B對應的第二液滴Fb，而成為具有均勻膜厚的液態膜LF。
下面，參照圖8說明上述那樣構成的液滴噴出裝置30的電結構。
在圖8中，構成第一傾動信息生成部及第二傾動信息生成部的控制裝置51具備構成控制部的CPU、RAM、ROM等。控制裝置51根據在RAM或ROM中存儲的各種數據及各種程序，使襯底載置臺33及滑架37移動，同時驅動控制第一噴頭組件Ha及第二噴頭組件Hb。
在控制裝置51中存儲有波形數據VD、噴出間距數據WD、傾斜角數據RD、第一描繪數據BMa、第二描繪數據BMb、第一傾動數據DaD、第二傾動數據DbD及并進數據TD。
波形數據VD是規定分別向第一壓電元件PZa及第二壓電元件PZb供給的壓電元件驅動信號COM電壓波形的數據。波形數據VD是根據預先試驗等而設定的、用于將第一液滴Fa及第二液滴Fb的重量分別穩定在規定的值的數據。
噴出間距數據WD是用于根據取向膜27的目標膜厚確定噴出間距W的數據。噴出間距數據WD如下設定，即使用噴出間距W噴出的第一液滴Fa及第二液滴Fb的數量成為基于目標膜厚算出的上述目標噴出數量。
傾斜角數據RD是用于基于噴出間距W確定第一傾斜角θa及第二傾斜角θb而利用的。該傾斜角數據RD根據預先試驗等而如下設定，即使用第一傾斜角θa著落的第一液滴Fa的長徑比噴出間距W大，而且使其短徑比噴嘴間距NW大。另外，傾斜角數據RD是用于對凹部B噴出呈覆蓋同凹部B這樣的著落形狀的第二液滴Fb的第二傾斜角θb的數據。
第一描繪數據BMa及第二描繪數據BMb是使包含第一目標位置Ta及第二目標位置Tb的對置電極26上的格子點分別對應各比特(ビツト)的值(0或1)的數據，即，對應各比特的值分別規定了第一壓電元件PZa及第二壓電元件PZb的開或關的數據。換言之，第一描繪數據BMa如下規定，即在第一著落位置Pa每次位于對應的第一目標位置Ta時，噴出第一液滴Fa。第二描繪數據BMb如下規定，即在第二著落位置Pb每次位于對應的第二目標位置Tb時，噴出第二液滴Fb。
第一傾動數據DaD是使第一傾斜角θa對應第一傾動電動機MDa的轉速的數據，其為了根據第一傾斜角θa驅動第一傾動電動機MDa而利用。同樣，第二傾動數據DbD是使第二傾斜角θb對應第二傾動電動機MDb的轉速的數據，其為基于第二傾斜角θb驅動第二傾動電動機MDb而使用。
并進數據TD是使第二噴頭41b(第二噴嘴Nb)的并進量與并進電動機MT的轉速對應的數據，其為使第二噴頭41b并進而利用。另外，本實施方式的并進數據TD如下設定，即從Y方向看到的第二噴嘴Nb的位置，分別在第一噴嘴Na的Y方向變位噴嘴間距NW的一半量。
在控制裝置51上連接有輸入裝置52、X軸電動機驅動電路53、Y軸電動機驅動電路54、第一傾動機構驅動電路55、第一噴頭驅動電路56、并進機構驅動電路57、第二傾動機構驅動電路58、及第二噴頭驅動電路59。
輸入裝置52具有起動開關、停止開關等操作開關，向控制裝置51輸出各種操作信號，同時，將有關取向膜27的目標膜厚的信息作為已定形式的膜厚信息It輸出到控制裝置51。控制裝置51在從輸入裝置52輸入膜厚信息It時，根據噴出間距數據WD運算對應目標膜厚的噴出間距W，即運算第一目標位置Ta及第二目標位置Tb的位置坐標。另外，控制裝置51在運算第一目標位置Ta及第二目標位置Tb的位置坐標時，根據第一目標位置Ta及第二目標位置Tb的位置坐標，生成并存儲用于噴出第一液滴Fa及第二液滴Fb的第一描繪數據BMa、第二描繪數據BMb、第一傾動數據DaD及第二傾動數據DbD。
X軸電動機驅動電路53響應對應來自控制裝置51的X軸電動機驅動電路53的驅動控制信號，使X軸電動機MX正轉或反轉。向X軸電動機驅動電路53輸入來自X軸電動機MX具備的旋轉檢測器MEX的檢測信號。X軸電動機驅動電路53根據來自旋轉檢測器MEX的檢測信號，運算襯底載置臺33(對置襯底15)的移動方向及移動量，同時將有關襯底載置臺33的當前位置的信息作為襯底位置信息SPI生成。控制裝置51接受來自X軸電動機驅動電路53的襯底位置信息SPI，輸出各種信號。
Y軸電動機驅動電路54響應對應來自控制裝置51的Y軸電動機驅動電路54的驅動控制信號，使Y軸電動機MY正轉或反轉。向Y軸電動機驅動電路54輸入來自Y軸電動機MY具備的旋轉檢測器MEY的檢測信號。Y軸電動機驅動電路54根據從旋轉檢測器MEY發出的檢測信號，運算滑架37(第一噴頭組件Ha及第二噴頭組件Hb)的移動方向及移動量，同時將有關滑架37的當前位置的信息作為滑架位置信息CPI生成。控制裝置51接受來自Y軸電動機驅動電路54的滑架位置信息CPI，輸出各種驅動信號。
詳細敘述，在對置襯底15進入滑架37的正下方之前，控制裝置51基于襯底位置信息SPI及滑架位置信息CPI，作成對應于對置襯底15的一掃描量(往動或返動)的第一描繪數據BMa，并且基于第一描繪數據BMa生成與規定的時鐘信號同步的第一噴出控制信號SIa。另外，控制裝置51基于對應于對置襯底15的一掃描量(往動或返動)的第二描繪數據BMb，生成與規定的時鐘信號同步的第二噴出控制信號SIb。
而且，就控制裝置51而言，每當滑架37移動，掃描對置襯底15時，將第一噴出控制信號SIa及第二噴出控制信號SIb分別依次串行傳送到第一噴頭驅動電路56及第二噴頭驅動電路59。
另外，就控制裝置51而言，每當第一著落位置Pa位于第一目標位置Ta時，基于襯底位置信息SPI生成用于驅動對應的第一壓電元件PZa的第一噴出時序信號LPa。另外，就控制裝置51而言，每當第二著落位置Pb位于第二目標位置Tb時，基于襯底位置信息SPI生成用于驅動對應的第二壓電元件PZb的第二噴出時序信號LPb。控制裝置51將生成的第一噴出時序信號LPa逐次輸出給第一噴頭驅動電路56，將生成的第二噴出時序信號LPb逐次輸出給第二噴頭驅動電路59。
第一傾動機構驅動電路55響應來自控制裝置51的第一傾動數據DaD，使第一傾動電動機MDa正轉或反轉。
在第一噴頭驅動電路56上連接第一壓電元件PZa，同時，對其供給來自控制裝置51的波形數據VD、第一噴出控制信號SIa及第一噴出時序信號LPa。第一噴頭驅動電路56接受來自控制裝置51的第一噴出控制信號SIa，將該第一噴出控制信號SIa以與第一壓電元件PZa對應的方式依次進行串行/并行變換。而且，就第一噴頭驅動電路56而言，每當接受來自控制裝置51的第一噴出時序信號LPa時，根據進行了串行/并行變換的第一噴出控制信號SIa，將基于波形數據VD的壓電元件驅動信號COM供給到選擇的第一壓電元件PZa。即，第一噴頭驅動電路56每當各第一著落位置Pa位于第一目標位置Ta時，將壓電元件驅動信號COM供給到對應的第一壓電元件PZa。
并進機構驅動電路57響應來自控制裝置51的并進數據TD，使并進電動機MT正轉或反轉。第二傾動機構驅動電路58響應來自控制裝置51的第二傾動數據DbD，使第二傾動電動機MDb正轉或反轉。
第二噴頭驅動電路59上連接第二壓電元件PZb，向其供給來自控制裝置51的波形數據VD、第二噴出控制信號SIb及第二噴出時序信號LPb。第二噴頭驅動電路59接受來自控制裝置51的第二噴出控制信號SIb，將該第二噴出控制信號SIb以與各第二壓電元件PZb對應的方式依次進行串行/并行變換。而且，第二噴頭驅動電路59每當接受來自控制裝置51的第二噴出時序信號LPb時，基于進行了串行/并行變換的第二噴出控制信號SIb，將基于波形數據VD的壓電元件驅動信號COM供給到選擇的第二壓電元件PZb。即，第二噴頭驅動電路59每當各第二著落位置Pb位于第二目標位置Tb時，將壓電元件驅動信號COM供給向對應的第二壓電元件PZb。
下面，對使用上述的液滴噴出裝置30在對置襯底15上形成取向膜27的方法進行說明。
首先，如圖3所示，在襯底載置臺33上載置對置襯底15。此時，襯底載置臺33相對于滑架37配置于X方向的相反方向側，滑架37配置在位于導向部件35的Y方向的相反方向的端部。
從該狀態，操作輸入裝置52，將膜厚信息It輸入給控制裝置51。于是，控制裝置51參照噴出間距數據WD，運算對應膜厚信息It(目標膜厚)的噴出間距W，即運算第一目標位置Ta及第二目標位置Tb的位置坐標。另外，控制裝置51根據第一目標位置Ta及第二目標位置Tb的位置坐標，生成并存儲第一描繪數據BMa、第二描繪數據BMb、第一傾動數據DaD及第二傾動數據DbD。
控制裝置51在生成第一傾動數據DaD時，經由第一傾動機構驅動電路55將第一傾動載物臺40a置于基于第一傾動數據DaD的傾斜位置。控制裝置51在生成第二傾動數據DbD時，通過第二傾動機構驅動電路58，將第二傾動載物臺40b置于基于第二傾動數據DbD的初始位置。當設置第一傾動載物臺40a及第二傾動載物臺40b時，控制裝置51通過并進機構驅動電路57設置并進載物臺39b，使得從Y方向看到的第二噴嘴Nb的位置分別沿第一噴嘴Na的Y方向變位噴嘴間距NW的一半量。
當設置第一傾動載物臺40a、第二傾動載物臺40b及并進載物臺39b時，控制裝置51驅動控制Y軸電動機MY，設置滑架37，以在對置襯底15向X方向輸送時，將各第一著落位置Pa及各第二著落位置Pb分別配置于沿對應的第一目標位置Ta及第二目標位置Tb的路徑上的位置。當設置滑架37時，控制裝置51驅動控制X軸電動機MX，開始襯底載置臺33(對置襯底15)向X方向的掃描。
此時，控制裝置51使波形數據VD與規定的時鐘信號同步，將其輸出給第一噴頭驅動電路56及第二噴頭驅動電路59。另外，控制裝置51通過使對應對置襯底15的一走查量的第一描繪數據BMa及第二描繪數據BMb分別與規定的時鐘信號同步，由此生成第一噴出控制信號SIa及第二噴出控制信號SIb。進而，控制裝置51將第一噴出控制信號SIa串行傳送給第一噴頭驅動電路56，另外將第二噴出控制信號SIb串行傳送給第二噴頭驅動電路59。
控制裝置51基于襯底位置信息SPI及滑架位置信息CPI，每當第一著落位置Pa位于對應的第一目標位置Ta時，對第一噴頭驅動電路56輸出第一噴出時序信號LPa。另外，控制裝置51每當第二著落位置Pb位于對應的第二目標位置Tb時，對第二噴頭驅動電路59輸出第二噴出時序信號LPb。
當輸出第一噴出時序信號LPa時，控制裝置51經由第一噴頭驅動電路56執行基于第一噴出控制信號Sia的液滴噴出動作。即，控制裝置51每當第一著落位置Pa位于對應的第一目標位置Ta時，向對應的第一壓電元件PZa供給壓電元件驅動信號COM，從對應的第一噴嘴Na噴出第一液滴Fa。噴出的各第一液滴Fa順序著落分別對應的第一目標位置Ta，在對應于第一噴出方向Aa(傾斜角θa)的方向擴散，此時，在第二目標位置Tb的區域形成凹部B。
當輸出第二噴出時序信號LPb時，控制裝置51經由第二噴頭驅動電路59執行基于第二噴出控制信號SIb的液滴噴出動作。即，控制裝置5每當第二著落位置Pb位于對應的第二目標位置Tb(凹部B的區域)時，向對應的第二壓電元件PZb供給壓電元件驅動信號COM，從對應的第二噴嘴Nb噴出第二液滴Fb。噴出的各第二液滴Fb依次著落于分別對應的第二目標位置Tb即凹部B的區域，呈覆蓋同凹部B的半球狀而充填凹部B。由此，可形成由均勻的膜厚構成的液態膜LF，且通過使該液態膜LF干燥，可以形成由均勻的膜厚構成的取向膜27。
當在對置襯底15上形成取向膜27時，對該取向膜27進行公知的摩擦處理。另一方面，用同樣的方法在元件襯底14上通過液滴噴出裝置30也形成取向膜24，對該取向膜24進行同樣的摩擦處理。之后，在元件襯底14上形成密封部件16，在密封部件包圍的區域內配置液晶17，通過將元件襯底14和對置襯底15粘合到一起，形成液晶顯示板13。
本實施方式具有以下優點。
(1)對于在對置襯底15上設置了的第一目標位置Ta，分別沿相對于對置襯底15的法線傾斜了第一傾斜角θa的第一噴出方向Aa噴出第一液滴Fa。另外，相對于在相鄰的第一目標位置Ta之間設置的第二目標位置Tb，分別沿第二噴出方向Ab噴出第二液滴Fb。因此，通過沿第一噴出方向Aa濡濕擴散的第一液滴Fa形成的凹部B被第二液滴Fb充填。其結果是，可以使凹部B及凹部B附近的區域平坦化，且可以提高取向膜27的膜厚均勻性。
(2)通過沿與第一噴出方向Aa不同的方向的第二噴出方向Ab噴出第二液滴Fb，凹部B的區域被半球狀的第二液滴Fb充填。因此，通過在凹部B的附近濡濕擴散的第二液滴Fb，可以使凹部B及凹部B附近的區域更平坦化。其結果是，能夠進一步提高取向膜27的膜厚均勻性。
(3)基于傾斜角數據RD，設定對應于第一傾斜角θa(第一噴出方向Aa)的第二傾斜角θb(第二噴出方向Ab)。然后，第二液滴Fb著落在第二目標位置Tb的區域。因此，與凹部B的形狀或尺寸無關，將凹部B及凹部B附近的區域可靠地平坦化。其結果是，能夠可靠地提高取向膜27的膜厚均勻性。
(4)通過設置并進載物臺39b，在掃描對置襯底15時，使第二噴嘴形成面P4b相對于第一噴嘴形成面P4a并進，使得第二著落位置Pb沿第二目標位置Tb的路徑。因此，來自第二噴嘴Nb的第二液滴Fb著落于第一液滴Fa之間的區域(第二目標位置Tb)。其結果是，可以將各凹部B及各凹部B附近的區域均勻地平坦化。
(5)從對置襯底15的法線方法看，對置襯底15向第一噴出方向Aa的反方向(X方向)移動。因此，各第一液滴Fa沿X方向濡濕擴散對置襯底15的輸送速度V的量。其結果是，可以使各第一液滴Fa更加平坦化，且可以使取向膜27的膜厚均勻性進一步提高。
(6)通過使第一噴嘴形成面P4a以處于第一傾動軸上的第一曲率中心Ca為中心傾動，設定對應于各第一噴嘴Na的第一噴出方向Aa。同樣地，通過使第二噴嘴形成面P4b以處于第二傾動軸上的第二曲率中心Cb為中心傾動，設定對應于各第二噴嘴Nb的第二噴出方向Bb。因此，分別設定相對于各第一著落位置Pa的第一噴出方向Aa及第二著落位置Pb的第二噴出方向Ab。其結果是，由于第一噴出方向Aa及第二噴出方向Ab的偏差降低，因此，可以降低第一液滴Fa及第二液滴Fb的著落形狀的偏差。因此，可以進一步提高取向膜27的膜厚均勻性。
(7)基于第一傾動數據DaD及第二傾動數據DbD，驅動控制第一傾動載物臺40a及第二傾動載物臺40b。因此，基于第一傾動數據DaD及第二傾動數據DbD，可以設定第一噴出方向Aa及第二噴出方向Ab。其結果是，由于第一噴出方向Aa及第二噴出方向Ab的偏差降低，因此，可以降低第一液滴Fa及第二液滴Fb間的著落形狀的偏差。
另外，上述實施方式也可以進行以下的變更。
在上述實施方式中，將第二傾動載物臺40配置在初始位置，使半圓球狀的第二液滴Fb著落，但其不局限于此。例如，也可以通過將第二傾動載物臺40配置在傾斜位置，使沿X方向延伸的橢圓狀的第二液滴Fb著落。即，只要能夠使第二液滴Fb著落于凹部B的區域，用第二液滴Fb充填凹部B的區域即可。
在上述實施方式中，從對置襯底15的法線方向看，使襯底載置臺33向第一噴出方向Aa的反方向移動，但也不局限于此。從對置襯底15的法線看，也可以為使襯底載置臺33向第一噴出方向Aa移動的構成。也可以不移動襯底載置臺33，而移動滑架37。
在上述實施方式中，使第一傾動機構及第二傾動機構分別在第一傾動載物臺40a及第二傾動載物臺40b上具體化，但不局限于此。例如，將襯底載置臺33作為第一傾動機構或第二傾動機構具體化，也可以為使載置于襯底載置臺33上的對置襯底15相對于第一噴嘴形成面P4a或第二噴嘴形成面P4b傾斜的構成。
在上述實施方式中，向第一壓電元件PZa及第二壓電元件PZb分別供給由共同的波形數據VD構成的壓電元件驅動信號COM，噴出規定容量的第一液滴Fa及第二液滴Fb，但不局限于此。例如，也可以為向第一壓電元件PZa及第二壓電元件PZb供給由不同的波形數據VD構成的壓電元件驅動信號COM，噴出不同重量的第一液滴Fa及第二液滴Fb的構成。此時，優選噴出與凹部B的尺寸相對應的重量的第二液滴Fb。
在上述實施方式中，為只設置了一列噴嘴N的構成，但不局限于此。也可以為設置多個噴嘴N的構成。
在上述實施方式中，將圖案在液晶顯示裝置10的取向膜27上具體化，但不局限于此。例如，也可以形成液晶顯示裝置10或其以外的顯示裝置的各種薄膜、金屬配線、濾色片。作為液晶顯示裝置10以外的顯示裝置，例如有具備電場效應型裝置(FED或SED等)的顯示裝置。電場效應型裝置將從電子射出元件射出的電子照射在熒光物質，使同一熒光物質發光。即，上述圖案只要是由著落的液滴形成的圖案就可以。
在上述實施方式中，將襯底在液晶顯示裝置10的對置襯底15上具體化了。但不限于此。也可以將襯底在硅襯底和撓性襯底或金屬襯底等上具體化。
在上述實施方式中，將電光學裝置在液晶顯示裝置10上具體化，但不限于此。例如，也可以將電光學裝置在場致發光裝置上具體化。
權利要求
1.一種圖案形成方法，其將含有圖案形成材料的液滴朝向襯底噴出從而在該襯底上形成圖案，其特征在于，包括從在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口，沿相對于所述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有所述圖案形成材料的第一液滴的步驟；從沿所述一方向排列的多個第二噴出口，將含有所述圖案形成材料的第二液滴沿第二噴出方向朝向所述襯底上的所述第一液滴間的區域噴出的步驟。
2.如權利要求1所述的圖案形成方法，其中，所述第二噴出方向與所述第一噴出方向交叉。
3.如權利要求1所述的圖案形成方法，其中，還包括基于所述第一噴出方向設定所述第二噴出方向，以使所述第二液滴著落在所述第一液滴間的所述區域的步驟。
4.如權利要求1～3中任一項所述的圖案形成方法，其中，還包括使形成有所述多個第二噴出口的第二噴出口形成面相對于形成有所述多個第一噴出口的第一噴出口形成面，沿所述一方向移動，以使所述第二液滴著落在所述第一液滴間的所述區域的步驟。
5.如權利要求1～3中任一項所述的圖案形成方法，其中，還包括使所述襯底相對于所述多個第一噴出口向以下所述的方向移動的步驟，即從所述襯底的法線方向觀察的情況下，所述第一噴出方向的相反方向。
6.如權利要求1～3中任一項所述的圖案形成方法，其中，還包括通過使形成有所述多個第一噴出口的第一噴出口形成面，以沿所述一方向延伸的第一傾動軸為中心傾動，設定所述第一噴出方向的步驟。
7.如權利要求1～3中任一項所述的圖案形成方法，其中，所述第二噴出方向相對于所述襯底的法線傾斜，所述方法還包括使所述襯底相對于所述多個第二噴出口向以下所述的方向移動的步驟，即，從所述襯底的法線方向觀察的情況下，所述第二噴出方向的相反方向。
8.如權利要求1～3中任一項所述的圖案形成方法，其中，還包括通過使形成有所述多個第二噴出口的第二噴出口形成面，以沿所述一方向延伸的第二傾動軸為中心傾動，設定所述第二噴出方向的步驟。
9.一種取向膜形成方法，其將含有取向膜形成材料的液滴朝向襯底噴出從而在該襯底上形成取向膜，其特征在于，包括從在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口，沿相對于所述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有所述取向膜形成材料的第一液滴的步驟；從沿所述一方向排列的多個第二噴出口，將含有所述取向膜形成材料的第二液滴沿第二噴出方向朝向所述襯底上的所述第一液滴間的區域噴出的步驟。
10.一種液滴噴出裝置，其將含有圖案形成材料的液滴朝向襯底噴出從而在該襯底上形成圖案，其特征在于，包括第一噴出口形成面，其與所述襯底相對置，該第一噴出口形成面具有在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口，該第一噴出口沿相對于所述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有所述圖案形成材料的第一液滴；第二噴出口形成面，其與所述襯底相對置，該第二噴出口形成面具有沿所述一方向排列的多個第二噴出口，該第二噴出口將含有所述圖案形成材料的第二液滴沿第二噴出方向朝向著落在所述襯底上的所述第一液滴間的區域噴出。
11.如權利要求10所述的液滴噴出裝置，其中，所述第二噴出方向與所述第一噴出方向交叉。
12.如權利要求10所述的液滴噴出裝置，其中，還具備第一傾動機構，其以沿所述一方向延伸的第一傾動軸為中心使所述第一噴出口形成面傾動；第一傾動信息生成部，其生成用于使所述第一噴出口形成面傾動，以使所述第一噴出方向相對于所述襯底的法線傾斜的第一傾動信息；控制部，其基于所述第一傾動信息，驅動控制所述第一傾動機構。
13.如權利要求10所述的液滴噴出裝置，其中，還具備第二傾動機構，其以沿所述一方向延伸的第二傾動軸為中心使所述第二噴出口形成面傾動；第二傾動信息生成部，其生成用于使所述第二噴出口形成面傾動，以使所述第二噴出方向與所述第一噴出方向交叉的第二傾動信息；控制部，其基于所述第二傾動信息，驅動控制所述第二傾動機構。
14.如權利要求13所述的液滴噴出裝置，其中，所述第二傾動信息生成部基于所述第一噴出方向生成所述第二傾動信息，使得所述第二液滴著落在所述第一液滴間的所述區域。
15.一種電光學裝置，其特征在于，具備襯底，所述襯底具有利用權利要求10～14中任一項所述的液滴噴出裝置形成的圖案。
16.一種取向膜形成裝置，其將含有取向膜形成材料的液滴朝向襯底噴出從而在該襯底上形成取向膜，其特征在于，包括第一噴出口形成面，其與所述襯底相對置，該第一噴出口形成面具有在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口，該多個第一噴出口沿相對于所述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有所述取向膜形成材料的第一液滴；第二噴出口形成面，其與所述襯底相對置，該第二噴出口形成面具有在所述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第二噴出口，該多個第二噴出口將含有所述取向膜形成材料的第二液滴沿第二噴出方向噴出在著落于所述襯底上的所述第一液滴間的區域。
17.一種液晶顯示裝置，其特征在于，具備襯底，所述襯底具有利用權利要求16所述的取向膜形成裝置形成的取向膜。
全文摘要
本發明提供一種圖案形成方法，將含有圖案形成材料的液滴向襯底噴出從而在該襯底上形成圖案。從在上述襯底的一面的上方沿一方向排列的多個第一噴出口，沿相對于上述襯底的法線傾斜的第一噴出方向噴出含有上述圖案形成材料的第一液滴。從沿上述一個方向排列的多個第二噴出口沿第二噴出方向，向上述襯底上的上述第一液滴間的區域噴出含有上述圖案形成材料的第二液滴。
文檔編號B41J3/407GK101049757SQ200710005
公開日2007年10月10日 申請日期2007年2月13日 優先權日2006年2月13日
發明者巖田裕二 申請人:精工愛普生株式會社