間隔壁、濾色片、有機el的制造方法

專利名稱：：間隔壁、濾色片、有機el的制造方法
技術領域：
：本發明涉及通過噴墨記錄技術方法制成的濾色片的間隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的間隔壁、有機EL顯示元件的間隔壁、布線電路基板的間隔壁等間隔壁的制造方法。此外，本發明還涉及濾色片的制造方法及有機EL的制造方法。
背景技術：
：一直以來，采用抗蝕劑組合物來制造半導體集成電路(IC)、液晶顯示器(LCD)用薄膜晶體管(TFT)電路等的電路制造用掩模。另一方面，抗蝕劑組合物也作為形成濾色片的像素間的間隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的間隔壁、有機EL顯示元件的像素間的間隔壁、布線電路基板的間隔壁等永久膜的材料受到注目。例如，濾色片的制造中，提出了采用向微小像素內噴涂R(紅)、G(綠)、B(藍)的墨的噴墨記錄技術方法的所謂噴墨法。在這里，像素圖案的形成通過采用抗蝕劑組合物的光刻法進行，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作像素間的間隔壁。液晶顯示元件的制造中，提出了在ITO(摻錫氧化銦)電極形成時噴涂ITO溶液的噴墨法，ITO電極圖案的形成通過采用抗蝕劑組合物的光刻法進行，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作間隔壁。有機EL顯示元件的制造中，提出了采用向微小像素內噴涂空穴傳輸材料、發光材料的溶液來形成空穴傳輸層、發光層等的噴墨法。在這里，像素圖案的形成通過采用抗蝕劑組合物的光刻法進行，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作像素間的間隔壁。布線電路基板的制造中，提出了在形成電路布線時噴涂金屬溶液的噴墨法。在這里，電路布線圖案的形成通過采用抗蝕劑組合物的光刻法進行，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作間隔壁。噴墨法中，必須防止相鄰的像素間的墨的混色等的發生和ITO溶液或金屬溶液在規定區域以外的部分的固著。因此，間隔壁被要求具有排拒作為噴墨的涂布液的水或有機溶劑等的性質，即拒水拒油性。專利文獻l中揭示了在基材上涂布感光性組合物，進行干燥、曝光、顯影、加熱處理而形成間隔壁的技術方案。專利文獻1:日本專利特開2005-60515號公報發明的揭示然而，如果在通過上述現有的方法形成的間隔壁間的溝(像素點)中以噴墨法注入墨而形成墨層，則墨層的膜厚可能會不均勻。如果以這樣的材料制造濾色片或有機EL顯示元件，則間隔壁附近的墨層的膜厚變薄，產生間隔壁周邊呈現白色的所謂漏白現象。尤其，為了提高間隔壁的分辨率而希望降低曝光工序的曝光量時，對于以低曝光量形成的間隔壁，墨層的膜厚不均勻性顯著。因此，本發明的課題在于提供即使曝光工序的曝光量低，墨層的膜厚均勻性也良好的間隔壁的制造方法。本發明提供間隔壁的制造方法，其特征在于，依次具備將負型感光性組合物涂布于基材的工序、干燥工序、曝光工序、顯影工序，然后具備后曝光工序，所述負型感光性組合物包含含氟聚合物(A)，該含氟聚合物包含具有氟代烷基的側鏈和具有乙烯性雙鍵的側鏈；其中，所述氟代垸基可以在碳原子間具有醚性氧原子。本發明的負型感光性組合物所含的含氟聚合物(A)具備具有氟代烷基的側鏈，因此表現出表面遷移性，干燥工序中遷移至涂膜表面附近。因此，由組合物形成的間隔壁的上部表面表現出拒水拒油性(對于墨的拒液性)。此外，含氟聚合物(A)具備具有乙烯性雙鍵的側鏈，因此可以在曝光工序中使其發生固化反應而固定于涂膜表面。但是，曝光工序的曝光量低的情況下，含氟聚合物(A)的部分分子不發生固化反應，而且在顯影工序中無法從體系內除去而殘存于間隔壁內。以往的方法中，認為上述未反應的殘存分子在顯影工序后進行的加熱處理工序中從間隔壁遷移至像素點而污染像素點。本發明中，顯影工序后具備后曝光工序，因此含氟聚合物(A)的固化反應得到充分進行，不易發生未反應的殘存分子向像素點的遷移。s卩，間隔壁的拒水拒油性良好，像素點的親水親油性良好。因此，像素點的墨的浸潤性高，所以墨容易在像素點內均勻地擴散，所形成的墨層的膜厚均勻性提高。本發明中，間隔壁通過后曝光工序充分固化，具備對于噴墨法所采用的墨中的溶劑的耐受性，因此不一定需要基于加熱處理工序的固化。另一方面，為了提高間隔壁的耐熱性或者從間隔壁除去揮發成分，可以在后曝光工序后釆用加熱處理工序。本發明中，較好是含氟聚合物(A)具備具有酸性基團的側鏈。曝光工序中未反應的含氟聚合物(A)的部分分子由于具備具有酸性基團的側鏈，在顯影工序中被從間隔壁表面洗脫，間隔壁內不易殘留未固定化的殘存分子。因此，可以在后曝光工序前的階段進一步減少可能遷移至像素點的分子，對于墨層的膜厚均勻性提高更加有效。此外，本發明提供濾色片的制造方法，其特征在于，通過上述的制造方法在基材上形成間隔壁后，在以間隔壁分隔而成的區域內通過噴墨法注入墨而形成像素。此外，本發明提供有機EL顯示元件的制造方法，其特征在于，通過上述的制造方法在基材上形成間隔壁后，在以間隔壁分隔而成的區域內通過噴墨法注入墨而形成像素。因為不易在間隔壁內殘留未反應的殘存分子，所以器件形成后的較長時間內不會發生遷移，不會使器件的可靠性下降。如果采用本發明的制造方法，即使曝光工序的曝光量低，也可以獲得墨層的膜厚均勻性良好的間隔壁。因此，本發明的間隔壁的制造方法適合用于通過噴墨涂布方式制成的濾色片的間隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的間隔壁、有機EL顯示元件的間隔壁、布線電路基板的間隔壁等電子器件的間隔壁的制造。5實施發明的最佳方式以下，對本發明進行更詳細的說明。另外，本說明書中，只要沒有特別說明，％表示質量％。首先，對本發明的間隔壁的制造方法進行說明。[涂布工序]首先，通過公知的涂膜形成方法，在基材的表面形成負型感光性組合物的涂膜。作為涂膜的形成方法，可以例舉噴涂法、輥涂法、旋涂法、棒涂法等。作為基材，其材質沒有特別限定，可以例舉各種玻璃板，聚對苯二甲酸乙二醇酯等聚酯，聚丙烯、聚乙烯等聚烯烴，聚(甲基)丙烯酸樹脂、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚砜等的熱塑性塑料片，環氧樹脂、不飽和聚酯等的熱固性塑料片等。尤其，從耐熱性的角度來看，優選使用耐熱性塑料。此外，有時也從未形成間隔壁的反面(基材側)進行后曝光，因此較好是透明基板。此外，也可以使用形成有金屬黑矩陣或樹脂黑矩陣等黑矩陣的基材。該情況下，較好是在黑矩陣上通過本發明的制造方法形成間隔壁。[干燥工序]接著，涂膜被干燥(以下也稱預烘焙)。通過進行預烘焙，溶劑揮發，獲得不具備流動性的涂膜。預烘焙條件也根據各成分的種類、配比等而不同，但較好是在50120'C、102000秒左右的廣闊范圍內。接著，進行曝光，即介以規定圖案的掩模對加熱了的涂膜進行光照。作為照射的光，可以例舉可見光，紫外線，遠紫外線，KrF準分子激光、ArF準分子激光、F2準分子激光、Kr2準分子激光、KrAr準分子激光、Ar2準分子激光等準分子激光，X射線，電子射線等。較好是波長100600nm的光線，更好是在300500nm的范圍內具有分布的電磁波，特別好是i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)。作為照射裝置，可以使用公知的超高壓汞燈或遠紫外線燈等。曝光量較好是在51000mJ/cm2的范圍內，更好是在50400mJ/cm2的范圍內。曝光量在5mJ/cm2以下的情況下，間隔壁的固化不充分，其后的顯影中發生溶解或剝離，因此是不理想的。如果曝光量超過1000mJ/cm2，則存在無法獲得高分辨率的傾向。曝光工序后，通過顯影液顯影，除去未曝光部分。作為顯影液，例如可以使用由氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉、偏硅酸鈉、氨水等無機堿類，乙胺、正丙胺等伯胺類，二乙胺、二正丙胺等仲胺類，三乙胺、甲基二乙基胺、N-甲基吡咯烷酮等叔胺類，二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類，氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨、膽堿等季銨鹽，吡咯、哌啶等環狀胺類等堿類形成的堿水溶液。此外，也可以使用上述堿水溶液中適量添加甲醇或乙醇等水溶性有機溶劑、表面活性劑等而得的水溶液作為顯影液。顯影時間較好是30180秒。此外，顯影方法可以是加液法、浸漬法等中的任一種。顯影后，進行流水洗滌，通過以壓縮空氣或壓縮氮氣使其風干，可以除去基板上的水分。接著，進行后曝光。后曝光可以從形成有間隔壁的正面或未形成間隔壁的反面(基材側)中的任一側進行。此外，也可以從正反兩面進行曝光。在黑色矩陣上形成間隔壁的情況下，較好是從正面進行曝光。作為優選的曝光量，為50mJ/cm2以上，較好是200mJ/cm2以上，更好是1000mJ/cm2以上，特別好是2000mJ/cr^以上。作為照射的光，較好是紫外線，光源可以使用公知的超高壓汞燈或高壓汞燈等。這些光源發射促進間隔壁的固化的600nm以下的光，而且引起間隔壁的氧化分解的200mn以下的光的發射少，因此優選使用。另外，汞燈所用的石英管玻璃較好是具有屏蔽200nm以下的光的光學濾光片功能。此外，光源也可以使用低壓汞燈。但是，低壓汞燈的200nm以下的波長的發光強度高，因生成臭氧而容易發生間隔壁的氧化分解，因此進行高計量的曝光，是不理想的。曝光量較好是在500mJ/ci^以下，更好是在300mJ/cm2以下。7[加熱處理工序]然后，可以通過加熱板、加熱爐等加熱裝置進行優選為15025(TC的溫度下進行加熱處理590分鐘。[濾色片的制造]使用通過本發明得到的間隔壁制造濾色片的情況下，在通過上述方法形成間隔壁后，使用噴墨法在間隔壁間的像素點內形成像素。作為這樣的像素形成中所用的噴墨裝置，沒有特別限定，可以使用采用連續地噴射帶電的墨并通過磁場進行控制的方法、用壓電元件間歇地噴射墨的方法、加熱墨并利用其發泡間歇地進行噴射的方法等各種方法的噴墨裝置。此外，通過本發明的像素形成工序形成的像素的形狀也可以采用帶型、馬賽克型、三角型、四像素配置型等公知的任一種排列。像素形成所用的墨主要包含著色成分、粘合劑樹脂成分和溶劑成分。水性的墨中，溶劑由水和根據需要采用的水溶性有機溶劑組成，粘合劑樹脂成分包含水溶性或水分散性樹脂，根據需要包含各種助劑。此外，油性的墨中，溶劑為有機溶劑，粘合劑樹脂成分包含可溶于有機溶劑的樹脂，根據需要包含各種助劑。作為著色成分，優選使用耐熱性、耐光性等良好的顏料和染料。作為粘合劑樹脂成分，較好是透明且耐熱性良好的樹脂，可以例舉丙烯酸樹脂、三聚氰酸樹脂、聚氨酯樹脂等，但并不局限于此。此外，通過噴墨法注入墨后，較好是根據需要進行干燥工序或加熱固化工序、紫外線固化工序。像素形成后，根據需要形成保護膜層。保護膜層較好是以提高表面平坦性或阻止自間隔壁和像素部的墨的溶出物到達液晶層的目的形成。形成保護膜層的情況下，較好是事先除去間隔壁的拒液性。不除去拒液性的情況下，會排拒保護層用的涂布液，無法獲得均勻的膜厚，因此是不理想的。作為除去間隔壁的拒液性的方法，可以例舉等離子體灰化處理和光灰化處理等。另外，為了實現使用濾色片制成的液晶面板的高品質化，較好是根據需要在黑色矩陣上形成感光性間隔物(photo-spacer)。[有機EL顯示元件的制造]使用本間隔壁制造有機EL顯示元件的情況下，先通過濺射法等在玻璃等的透明基材上形成氧化銦錫(ITO)等的透明電極，根據需要將透明電極刻蝕成所需的圖案。接著，通過上述方法形成本發明的間隔壁。然后，使用噴墨法在間隔壁間的像素點中依次涂布空穴傳輸材料、發光材料的溶液并干燥，形成空穴傳輸層、發光層，再通過蒸鍍法等形成鋁等的電極，從而獲得有機EL顯示元件的像素。以下，對本發明中的含氟聚合物(A)進行說明。另外，以下的具體的化合物名中，(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯。同樣地，(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酰胺表示丙烯酰胺和/或甲基丙烯酰胺，(甲基)丙烯酰基表示丙烯酰基和/或甲基丙烯酰基。含氟聚合物(A)具備具有氟代烷基的側鏈和具有乙烯性雙鍵的側鏈的含氟聚合物(A);其中，所述氟代烷基可以在碳原子間具有醚性氧原子。具有氟代烷基的側鏈可以通過聚合反應直接形成，也可以通過聚合反應后的化學轉化而形成。此外，具有乙烯性雙鍵的側鏈可以通過聚合反應后的化學轉化而形成。氟代垸基為至少l個氫原子被氟原子取代的垸基，可以是直鏈狀或分支狀。氟代烷基的碳數較好是20以下。作為氟代烷基的具體例子，可以例舉以下的結構。-CF3、-CF2CF3、—CF2CHF2、-(CF2)2CF3、-(CF2)3CF3、-(CF2)4CF3、-(CF2)5CF3、-(CF2)6CF3、-(CF2)7CF3、-(CF2)8CF3、-(CF2)9CF3、-(CF2)CF3、-(CF2)15CF3、-CF(CF3)0(CF2)5CF3、-CF(CF3)。CF2CF(CF3)0(CF2)2CF3、-CF(CF3)0CF2CF(CF3)0CF2CF(CF3)0CF2CF(CF3)0(CF2)2CF3、-CF(CF3)0(CF2)5CF3。氟代烷基較好是全氟烷基。由此，拒水拒油性良好。另外，較好是碳數46的全氟垸基。該情況下，不僅可以賦予足夠的拒水拒油性，而且含氟聚合物(A)和構成負型感光性組合物的其它成分的相容性良好，涂布組合物而形成涂膜時含氟聚合物(A)不會相互凝集，可以形成外觀良好的間隔壁。作為乙烯性雙鍵，可以例舉例如(甲基)丙烯酰基，烯丙基、乙烯基、乙烯基醚基等加成聚合性的不飽和基團等。這些基團的氫原子可以部分或全部被烴基取代。作為烴基，較好是甲基。本發明的含氟聚合物(A)可以如下制造將包括具有氟代烷基的單體(al)和具有反應性基團的單體(a2)的2種以上的單體共聚，再使所得的共聚物和具有可與所述反應性基團結合的官能團及乙烯性雙鍵的化合物(zl)反應。作為具有氟代垸基的單體(al)，較好是以式l表示的單體。CH2:CH(R》C00XRf…式1式中，W表示氫原子、甲基或三氟甲基，X表示單鍵或碳數l6的不含氟原子的2價有機基團，Rf表示氟代烷基。上述式1中，從獲取的難易度來看，較好是X為碳數24的亞垸基。此外，由于含氟聚合物(A)和構成負型感光性組合物的其它成分的相容性良好，Rf較好是碳數46的全氟垸基。作為以上述式l表示的單體的例子，可以例舉以下的化合物。CH2:CH(R')COOR2RfCH2:CH(R')C00RWS02RfCH2二CH(R》C00R2NR3C0RfCH^CH(R》C00CH2CH(0H)RfCH2:CR丄CR^CFRf在這里，W表示氫原子、甲基或三氟甲基，R2表示碳數l6的亞垸基，R3表示氫原子或甲基，Rf表示氟代垸基。作為R2的具體例子，可以例舉-CH廠、-CH線-、-CH(CH3)-、-CH2CH2CH2-、—C(CH3)2—、—CH(CH2CH3)—、—CH2CH2CH2CH2—、—CH(CH2CH2CH3)—、—CH2(CH2)3CH2—、-CH(CH2CH(CH3)2)-等。作為以上述式l表示的單體的具體例子，可以例舉(甲基)丙烯酸全氟己基乙酯、(甲基)丙烯酸全氟丁基乙酯等。上述的單體可以單獨使用，也可以2種以上并用。作為具有反應性基團的單體(a2)，可以例舉具有羥基的單體、具有乙烯性雙鍵的酸酐、具有羧基的單體、具有環氧基的單體等。另外，單體(a2)較好是實質上不含氟代垸基。具有反應性基團的單體(a2)的反應性基團在聚合后與具有可與所述反應性基團結合的官能團及乙烯性雙鍵的化合物(zl)反應，從而形成具備具有乙烯性雙鍵的側鏈的含氟聚合物(A)。作為具有羥基的單體的具體例子，可以例舉(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸-5-羥基戊酯、(甲基)丙烯酸-6-羥基己酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基環己酯、單(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、(甲基)丙烯酸-3-氯-2-羥基丙酯、單(甲基)丙烯酸丙三醇酯、2-羥基乙基乙烯基醚、4-羥基丁基乙烯基醚、環己二醇單乙烯基醚、2-羥基乙基烯丙基醚、N-羥基甲基(甲基)丙烯酰胺、N，N-雙(羥基甲基)(甲基)丙烯酰胺等。另外，作為具有羥基的單體，可以是具有末端為羥基的聚氧化烯鏈的單體。例如，可以例舉CH2-CH0CH2CJL。CH20(C2H40)kH(在這里，k為l100的整數，下同)、CH2=CH0C4H80(C2H40)kH、CH2=CHC00C2H40(C2H40)kH、CH2=C(CH3)C00C2H40(C2H40)kH、CH2=CHC00C2H40(C2H40)(C3H60)nH(在這里，m為0或1100的整數，n為l100的整數，m+n為l100，下同)、CH2=C(CH3)C00C2H40(C2H40)m(C3H60)聘。作為具有乙烯性雙鍵的酸酐的具體例子，可以例舉馬來酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐、苯二酸酐、3-甲基苯二酸酐、甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐、3，4，5，6-四氫甲基苯二酸酐、順-1，2，3，6-四氫苯二酸酐、2-丁烯-1-基琥珀酸酐等。作為具有羧基的單體的具體例子，可以例舉丙烯酸、甲基丙烯酸、乙烯基乙酸、丁烯酸、衣康酸、馬來酸、富馬酸、肉桂酸或它們的鹽等。作為具有環氧基的單體的具體例子，可以例舉(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-3，4-環氧環己基甲酯等。本發明中，含氟聚合物(A)較好是還具備具有酸性基團的側鏈。曝光工序中未反應的含氟聚合物(A)的部分分子由于具備具有酸性基團的側鏈，在顯影工序中被從間隔壁表面洗脫，間隔壁內不易殘留未固定化的殘存分子。可以在后曝光工序前的階段進一步減少可能遷移至像素點的分子，間隔壁間像素點的親水親油性進一步提高。作為酸性基團，較好是選自羧基、酚性羥基和磺酸基的l個以上的酸性基團。具有酸性基團的側鏈可以通過具有酸性基團的單體(a3)的聚合反應形成，也可以通過聚合反應后的化學轉化而形成。具有酸性基團的單體(a3)采用具有羧基的單體且上述具有反應性基團的單體(a2)也采用具有羧基的單體時，將最終未引入乙烯性雙鍵而作為羧基殘留的單體視作單體(a3)。作為具有酚性羥基的單體，可以例舉鄰羥基苯乙烯、間羥基苯乙烯、對羥基苯乙烯等。此外，可以例舉它們的苯環的l個以上的氫原子被以下的基團取代而得的單體甲基、乙基、正丁基等烷基，甲氧基、乙氧基、正丁氧基等烷氧基，鹵素原子，烷基的l個以上的氫原子被鹵素原子取代而得的鹵代烷基，硝基，氰基，酰胺基等。作為具有磺酸基的單體，可以例舉乙烯磺酸、苯乙烯磺酸、(甲基)烯丙基磺酸、2-羥基-3-(甲基)烯丙氧基丙磺酸、(甲基)丙烯酸-2-磺基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-磺基丙酯、2-羥基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙磺酸、2-(甲基)丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸等。本發明的制造方法中，聚合中使用的單體可以包括除具有氟代烷基的單體(al)、具有反應性基團的單體(a2)和具有酸性基團的單體(a3)以外的其它單體(a4)。作為其它單體(a4)，可以例舉烴系烯烴類、乙烯基醚類、異丙烯基醚類、烯丙基醚類、乙烯基酯類、烯丙基酯類、(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯酰胺類、芳族乙烯基化合物、氯代烯烴類、共軛二烯類。這些化合物中可以包含官能團，官能團可以例舉例如羰基、烷氧基等。由于由組合物形成的間隔壁的耐熱性良好，特別好是(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯酰胺類。此外，為了使涂膜的墨掉落性提高，可以包含具有以下式所示的硅氧垸基的(甲基)丙烯酸酯。-(SiR4R5-0)n-SiR4R5R6…式2式中，R4、R5獨立地表示氫原子、烷基、環垸基或芳基，R6表示氫原子或碳數110的有機基團，n表示l200的整數。含氟聚合物(A)可以通過以下的方法合成。首先，將單體溶解于溶劑并加熱，加入聚合引發劑使其共聚，獲得共聚物。共聚反應中，較好是根據需要添加鏈轉移劑。單體、聚合引發劑、溶劑和鏈轉移劑可以連續地添加。作為所述溶劑，可以例舉例如乙醇、1-丙醇、2-丙醇、l-丁醇、乙二醇等醇類，丙酮、甲基異丁基酮、環己酮等酮類，2-甲氧基乙醇、2-乙氧基乙醇、2-丁氧基乙醇等溶纖劑類，2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇、2-(2-乙氧基乙氧基)乙醇、2-(2-丁氧基乙氧基)乙醇等卡必醇類，乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乳酸乙酯、乳酸正丁酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇二乙酸酯、丙三醇三乙酸酯等酯類，二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚等醚類等。作為聚合引發劑，可以例舉公知的有機過氧化物、無機過氧化物、偶氮化合物等。有機過氧化物、無機過氧化物也可以與還原劑組合作為氧化還原類催化劑使用。這些聚合引發劑可以單獨使用，也可以2種以上并用。作為有機過氧化物，可以例舉過氧化苯甲酰、過氧化月桂酰、過氧化異丁酰、過氧化氫叔丁基、過氧化叔丁基-a-異丙苯基等。作為無機過氧化物，可以例舉過硫酸銨、過硫酸鈉、過硫酸鉀、過氧化氫、過碳酸鹽等。作為偶氮化合物，可以例舉2，2，-偶氮二異丁腈、l,l，-偶氮二(環己-l-腈)、2，2，-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2，2，-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)、2，2'-偶氮二異丁酸二甲酯、2，2'-偶氮二(2-脒基丙烷)二鹽酸鹽等。作為鏈轉移劑，可以例舉正丁硫醇、正十二烷硫醇、叔丁硫醇、巰基乙酸乙酯、巰基乙酸-2-乙基己酯、2-巰基乙醇等硫醇類，氯仿、四氯化碳、四溴化碳等鹵代烷。含氟聚合物(A)可以通過使如上所述得到的共聚物和具有可與反應性基團結合的官能團及乙烯性雙鍵的化合物(zl)反應來制造。作為針對具有反應性基團的單體(a2)的具有可與所述反應性基團結合的官能團及乙烯性雙鍵的化合物(Z1)，可以例舉例如以下的組合(1)對于具有羥基的單體(a2)，具有乙烯性雙鍵的酸酐(zl);(2)對于具有羥基的單體(a2)，具有異氰酸酯基和乙烯性雙鍵的化合物(z1);(3)對于具有羥基的單體(a2)，具有酰氯基和乙烯性雙鍵的化合物(zl);(4)對于具有乙烯性雙鍵的酸酐(a2)，具有羥基和乙烯性雙鍵的化合物(z1);(5)對于具有羧基的單體(a2)，具有環氧基和乙烯性雙鍵的化合物(zl);(6)對于具有環氧基的單體(a2)，具有羧基和乙烯性雙鍵的化合物(zl)。作為具有乙烯性雙鍵的酸酐的具體例子，可以例舉前述的例子。作為具有異氰酸酯基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉2-(甲基)丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、l，l-(雙(甲基)丙烯酰氧基甲基)乙基異氰酸酯。作為具有酰氯基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉(甲基)丙烯酰氯。作為具有羥基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉前述的具有羥基的單體的例子。作為具有環氧基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉前述的具有環氧基的單體的例子。作為具有羧基和乙烯性雙鍵的化合物的具體例子，可以例舉前述的具有羧基的單體的例子。使共聚物和具有可與反應性基團結合的官能團及乙烯性雙鍵的化合物(zl)反應時，反應中使用的溶劑可以使用上述共聚物的合成中示例的溶劑。此外，較好是摻入聚合抑制劑。作為聚合抑制劑，可以使用公知的聚合抑制劑，具體可以例舉2,6-二叔丁基對甲酚。此外，可以加入催化劑和中和劑。例如，使具有羥基的共聚物與具有異氰酸酯基和乙烯性雙鍵的化合物反應的情況下，可以使用錫化合物。作為錫化合物，可以例舉二月桂酸二丁錫、二(馬來酸單酯)二丁錫、二月桂酸二辛錫、二(馬來酸單酯)二辛錫、二乙酸二丁錫等。使具有羥基的共聚物與具有酰氯基和乙烯性雙鍵的化合物反應的情況下，可以使用堿性催化劑。作為堿性催化劑，可以例舉三乙胺、吡啶、二甲基苯胺、四甲基脲等。本發明的含氟聚合物(A)的氟原子的含有率較好是535質量X。含有率越高，則含氟聚合物(A)使所形成的間隔壁的表面張力下降的效果越好，賦予間隔壁更高的拒水拒油性。另一方面，如果氟原子的含有率過高，則間隔壁和基材的密合性可能會下降。含氟聚合物(A)中的氟原子的含有率的下限更好是10質量％，上限更好是30質量％。含氟聚合物(A)較好是在分子內具有2100個的乙烯性雙鍵，更好是650個。如果在該范圍內，則含氟聚合物(A)對間隔壁的固定和顯影性良好。含氟聚合物(A)的酸值較好是在100(mgK0H/g)以下，更好是1050(mgK0H/g)。如果在該范圍內，則曝光工序中未固定的殘存分子容易在顯影工序中被從間隔壁洗脫。另外，酸值為中和lg樹脂所需的氫氧化鉀的質量(單位mg)，本說明書中將單位記作mgK0H/g。含氟聚合物(A)的重均分子量較好是1000以上且不足30000，更好是2000以上且不足20000。如果在該范圍內，則堿溶解性、顯影性良好。本發明的負型感光性組合物的所有固體成分中的含氟聚合物(A)的比例較好是相對于所有固體成分為O.130質量％。如果該比例高，則含氟聚合物(A)使所形成的間隔壁的表面張力下降的效果越好，賦予間隔壁更高的拒水拒油性。另一方面，如果該比例過高，則間隔壁和基材的密合性可能會下降。組合物的所有固體成分中的含氟聚合物(A)的比例的下限較好是O.15質量％，上限較好是20質量％。本發明的負型感光性組合物較好是包含在l個分子內具有酸性基團和乙烯性雙鍵的可溶于堿的感光性樹脂(B)。感光性樹脂(B)較好是實質上不含氟代烷基。作為感光性樹脂(B)，可以例舉例如具備具有酸性基團的側鏈和具有乙烯性雙鍵的側鏈的2種以上具有乙烯性雙鍵的單體的共聚物(B-1)、在l個分子內具有酸性基團和乙烯性雙鍵的酚醛清漆樹脂衍生物(B-2)、在l個分子內具有酸性基團和乙烯性雙鍵的環氧樹脂衍生物(B-3)。除了上述含氟聚合物(A)中不使用具有氟代垸基的單體(al)以外，共聚物(B-1)可以通過同樣的方法制造。酚醛清漆樹脂衍生物(B-2)是指將酚類與醛類縮聚而得的化合物。作為酚類的具體例子，可以例舉苯酚、鄰甲酚、間甲酚、對甲酚、2，3-二甲苯酚、2,5-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、2,3,5-三甲基苯酚、兒茶酚、間苯二酚、氫醌、甲基氫醌、連苯三酚、間苯三酚等。作為醛類，較好是甲醛。作為酚醛清漆樹脂，可以例舉例如苯酚甲醛樹脂、甲酚，甲醛樹脂、苯酚甲酚甲醛共縮合樹脂等。尤其，使用甲酚甲醛樹脂型的感光性樹脂的情況下，通過顯影除去樹脂而得的基材表面對墨的浸潤性良好，是理想的。作為在上述樹脂引入乙烯性雙鍵的方法，可以例舉例如使酚性羥基的一部分與具有環氧基和乙烯性雙鍵的化合物反應的方法。此外，可以例舉使酚性羥基部分或全部與環氧氯丙垸反應而在酚醛清漆樹脂引入環氧基后，使具有羧基和乙烯性雙鍵的化合物與該環氧基反應的方法。另外，可以使在該反應中生成的羥基與酸酐反應，在分子內引入羧基。環氧樹脂衍生物(B-3)較好是由以式(3)表示的雙酚類環氧化合物衍生。式中，R7、R8獨立地表示碳數l5的烷基或鹵素原子中的任一種，Y表示-CO-、-S02-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-0-、9，9-亞荷基或單鍵，n表示010的整數。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>作為可以形成優選的環氧樹脂衍生物(B-3)的雙酚類環氧化合物，可以例舉以下的化合物包括雙(4-羥基苯基)酮、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)酮、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)酮、雙(4-羥基苯基)砜、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)砜、雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)砜、雙(4-羥基苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基苯基)二甲基硅垸、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)二甲基硅烷、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)二甲基硅垸、雙(4-羥基苯基)甲垸、雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)甲烷、雙(4-羥基-3，5-二溴苯基)甲垸、2，2-雙(4-羥基苯基)丙垸、2，2-雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)丙垸、2，2-雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)丙烷、2，2-雙(4-羥基-3-甲基苯基)丙垸、2，2-雙(4-羥基-3-氯苯基)丙烷、二(4-羥基苯基)醚、二(4-羥基-3，5-二甲基苯基)醚、二(4-羥基-3,5-二氯苯基)醚的化合物，X為所述的9，9-亞芴基的9，9-雙(4-羥基苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3-甲基苯基)荷、9，9-雙(4-羥基-3-氯苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3-溴苯基)芴、9,9-雙(4-羥基-3-氟苯基)芴、9,9-雙(4-羥基-3-甲氧基苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3，5-二氯苯基)芴、9，9-雙(4-羥基-3，5-二溴苯基)芴等，以及4,4'-聯酚、3，3'-聯酚等化合物。此外，將雙酚類環氧化合物縮水甘油醚化時，雖然會混入低聚物，但如果式(l)中的n的平均值在010、較好是02的范圍內，則本樹脂組合物的性能不會出現問題。作為在上述樹脂中引入乙烯性雙鍵的方法，可以例舉例如使具有羧基和乙烯性雙鍵的化合物的羧基與雙酚類環氧化合物的環氧基反應的方法。另外，可以使該反應中生成的羥基和酸酐反應，在分子內引入羧基。感光性樹脂(B)的酸值較好是10300mgKOH/g，更好是30150mgK0H/g。如果在該范圍內，則堿溶解性、顯影性良好。感光性樹脂(B)較好是在1分子內具有3個以上的乙烯性雙鍵，更好是在l分子內具有6個以上的乙烯性雙鍵。由此，曝光部分和未曝光部分的堿溶解度容易形成差異，能夠以更少的曝光量形成微細的圖案。感光性樹脂(B)的數均分子量較好是1000以上且不足100000，更好是4000以上且不足60000。如果在該范圍內，則堿溶解性、顯影性良好。感光性樹脂(B)較好是還具有作為可進行交聯反應的基團的羧基和/或羥基。這是因為本發明的負型感光性組合物還包含作為具有2個以上可與羧基和/或羥基反應的基團的化合物的熱固化劑(G)的情況下，通過顯影后的加熱處理與感光性樹脂(B)進行交聯反應，涂膜的交聯密度增大，耐熱性提高。作為酸性基團的羧基、酚性羥基也是可進行交聯反應的基團。感光性樹脂(B)具有作為酸性基團的磺酸基、磷酸基的情況下，作為可進行交聯反應的基團，較好是具有羧基、酚性羥基、醇性羥基中的任意l個以上。負型感光性組合物的所有固體成分中的感光性樹脂(B)的比例較好是相對于所有固體成分較好是580質量％，更好是1060質量％。如果在該范圍內，則負型感光性組合物的堿顯影性良好。本發明的負型感光性組合物較好是包含光聚合引發劑(c)。光聚合引發劑較好是由通過光產生自由基的化合物形成。作為光聚合引發劑(c)，可以例舉例如苯偶酰、丁二酮、苯甲酰基甲酸甲酯、9，10-菲醌等ci-二酮類，苯偶姻等偶姻類，苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚等偶姻醚類，噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2,4-二甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2,4-二氯噻噸酮、2，4-二異丙基噻噸酮、噻噸酮-4-磺酸等噻噸酮類，二苯酮、4，4'-雙(二甲氨基)二苯酮、4,4，-雙(二乙氨基)二苯酮等二苯酮類，乙酰苯、2-(4-甲苯磺酰氧基)2-苯基乙酰苯、對二甲氨基乙酰苯、2，2，-二甲氧基-2-苯基乙酰苯、對甲氧基乙酰苯、2-甲基-[4-(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉基-1-丙酮、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁-l-酮等乙酰苯類，蒽醌、2-乙基蒽醌、樟腦醌、1,4-萘醌等醌類，2-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸(正丁氧基)乙酯、4-二甲氨基苯甲酸異戊酯、4-二甲氨基苯甲酸-2-乙基己酯等氨基苯甲酸類，苯甲酰甲基氯、三鹵甲基苯基砜等鹵素化合物，酰基氧化膦類，過氧化二叔丁基等過氧化物，1,2-辛二酮，1-[4-(苯基硫代)-，2-(鄰苯甲酰肟)]、乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(鄰乙酰肟)等肟酯類，2，2-雙(2-氯苯基)-4，5，4'，5'-四苯基-l，2'-聯咪唑等咪唑類，鄰苯甲酰基苯甲酸甲酯等。這些光聚合引發劑可以單獨使用l種，也可以2種以上組合使用。尤其，上述氨基苯甲酸類、上述二苯酮類等可與其它光自由基發生劑一起使用，有時會發揮敏化效果。此外，三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、正丁胺、N-甲基二乙醇胺、甲基丙烯酸二乙氨基乙酯等脂肪族胺類也可與其它光自由基發生劑一起使用，有時會發揮敏化效果。負型感光性組合物的所有固體成分中的光聚合引發劑(C)的比例相對于所有固體成分較好是O.150質量％，更好是O.530質量％。如果在該范圍內，則負型感光性組合物的堿顯影性良好。本發明的負型感光性組合物較好是還包含自由基交聯劑(D)。由此，可以促進基于光照的固化，以較短的時間實現固化。作為自由基交聯劑(D)，較好是不溶于堿且具有2個以上的乙烯性雙鍵的化合物。但是，實質上不具有氟代垸基。作為具體例子，可以例舉二(甲基)丙烯酸二甘醇酯、二(甲基)丙烯酸四甘醇酯、二(甲基)丙烯酸三丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸-l，9-壬二醇酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙烷酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙烷酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯等。它們可以單獨使用，也可以2種以上并用。負型感光性組合物的所有固體成分中的自由基交聯劑(D)的比例相對于所有固體成分較好是1060質量％,更好是1550質量％。如果在該范圍內，則負型感光性組合物的堿顯影性良好。本發明的負型感光性組合物較好是根據需要包含熱固化劑(E)。由此，有時感光性樹脂的耐熱性、耐透水性會提高。作為熱固化劑(E)，可以例舉例如氨基樹脂、具有2個以上的環氧基的化合物、具有2個以上的肼基的化合物、多碳二亞胺化合物、具有2個以上的嗯唑啉基的化合物、具有2個以上的氮丙啶基的化合物、多價金屬類、具有2個以上的巰基的化合物、多異氰酸酯化合物等。上述的熱固化劑(E)中，為了提高所形成的間隔壁的耐藥品性，特別好是氨基樹脂、具有2個以上的環氧基的化合物或具有2個以上的嗯唑啉基的化合物。負型感光性組合物的所有固體成分中的熱固化劑(E)的比例相對于所有固體成分較好是150質量％，更好是530質量％。如果在該范圍內，則負型感光性組合物的堿顯影性良好。本發明的負型感光性組合物較好是根據需要包含硅烷偶聯劑(F)。由此，可以使與基材的密合性提高。作為硅垸偶聯劑的具體例子，可以例舉四乙氧基硅垸、3-環氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸、甲基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷、十七氟辛基乙基三甲氧基硅垸、含聚氧化烯鏈的三乙氧基硅垸、咪唑硅烷等。它們可以單獨使用，也可以2種以上并用。本發明的負型感光性組合物中可以使用稀釋劑(G)。作為稀釋劑(G)的具體例子，可以例舉含氟聚合物(A)的說明中示例的聚合性單體。此外，可以例舉合成含氟聚合物(A)時使用的溶劑的說明中示例的溶劑。除此之外，可以例舉正丁垸、正己垸等鏈烴，環己烷等環烴，甲苯、二甲苯、節醇等芳烴等。它們可以單獨使用，也可以2種以上并用。另外，本發明的負型感光性組合物中可以根據需要使用著色劑(H)。由此，可以對間隔壁進行著色。用于形成黑色矩陣(BM)的黑色感光性著色組合物中可以使用例如炭黑、苯胺黑、蒽醌類黑色顏料、茈類黑色顏料，具體有C.I.顏料黑l、6、7、12、20、31等。黑色感光性著色組合物也可以使用紅色顏料、藍色顏料、綠色顏料等有機顏料或無機顏料的混合物。作為黑色顏料，從價格、遮光性的強弱來看，較好是炭黑，炭黑可以通過樹脂等進行表面處理。此外，為了調整色調，黑色感光性著色組合物中可以并用藍色顏料或紫色顏料。作為炭黑，從黑色矩陣的形狀的角度來看，較好是基于BET法的比表面積為50200m7g。這是因為使用比表面積不足50m7g的炭黑的情況下，引起黑色矩陣形狀的劣化，使用大于200m7g的炭黑的情況下，炭黑中過度吸附分散助劑，導致為了發揮各種物性而需要摻入大量的分散助劑。此外，作為炭黑，從靈敏度的角度來看，苯二甲酸二丁酯的吸油量較好是在120cc/100g以下，越少越好。另外，炭黑的基于透射型電子顯微鏡觀察的平均一次粒徑較好是205Onm。這是因為如果平均一次粒徑過小，則可能會難以使其高濃度地分散，難以獲得經時穩定性良好的感光性黑色組合物；如果平均一次粒徑過大，則可能會導致黑色矩陣的形狀劣化。作為紅色顏料，例如可以使用C.I.顏料紅7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、246、254、255、264、272、279等。作為藍色顏料，例如可以使用C.I.顏料藍15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、80等。作為綠色顏料，例如可以使用C.I.顏料綠7、36等。本發明的負型感光性組合物中可以根據需要使用固化促進劑、增粘劑、增塑劑、消泡劑、均化劑、防凹陷劑、紫外線吸收劑等。實施例以下，示例合成例和實施例，對本發明進行具體說明，但本發明并不受其限定。另外，以下的說明中，只要沒有特別說明，份和％為質量基準。重均分子量為通過凝膠滲透色譜法以聚苯乙烯為標準物質測定的值。含氟聚合物(A)所含的氟原子的含有率通過以下的方法測定。使得到的含氟樹脂在120(TC完全燃燒分解，將產生的氣體吸收于50g水中。對得到的水溶液的氟化物離子量進行定量，算出含氟聚合物(A)所含的氟原子的含有率。酸值(mgKOH/g)和l分子中的乙烯性雙鍵的數量為根據作為原料的單體的配比算出的理論值。以下的各例中使用的化合物的縮寫如下所示。C4FMA:CH2=C(CH3)COOCH2CH2(CF2)4F，C6FMA:CH2=C(CH3)COOCH2CH2(CF2)6F，DMS:含二甲基硅氧垸鏈的甲基丙烯酸酯(信越化學工業株式會社(信越化學工業社)制，商品名X-22-174DX),2HEMA:甲基丙烯酸-2-羥基乙酯，MAA:甲基丙烯酸，AA:丙烯酸，醒A:甲基丙烯酸甲酯，IBMA:甲基丙烯酸異冰片酯，2ME:2-巰基乙醇，V70:2，2，-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)(和光純藥工業株式會社(和光純薬社)制，商品名V-70)，M0I:2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯，DBTDL:二月桂酸二丁錫，BHT:2，6-二叔丁基對甲酚，IR907:自由基引發劑(汽巴精化公司(于^7^、乂亇少亍^^$力少乂社)制，商品名IRGACURE-907)，IR369:自由基引發劑(汽巴精化公司(于A7^、乂亇少于Y^$力小X'社)制，商品名IRGACURE-369)，0XE01:1，2-辛二酮，l-[4-(苯基硫代)-，2-(鄰苯甲酰肟)](汽巴精化公司(于^7〃、乂亇^亍<^$力少X社)制，商品名0XE01)，0XE02:乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-l-(鄰乙酰肟)(汽巴精化公司(于^只^、乂亇/P亍Y$力少乂社)制，商品名0XE02)，DEAB:4，4，-雙(二乙氨基)二苯酮，DETX-S:異丙基噻噸酮(日本化藥株式會社(日本化薬社)制，商品名DETX-S)，D310:五丙烯酸二季戊四醇酯(日本化藥株式會社(日本化薬社)制，商品名KAYARADD-310)，CCR1115:甲酚酚醛清漆型環氧丙烯酸酯(日本化藥株式會社(日本化薬社)制，商品名CCR-1115，固體成分60質量％)，ZFR1492H:雙酚F型環氧丙烯酸酯(日本化藥株式會社(日本化薬社)制，商品名ZFR-1492H，固體成分65質量％)，D310:五丙烯酸二季戊四醇酯(日本化藥株式會社(日本化薬社)制，商品名KAYARADD-310)，157S65:雙酚A酚醛清漆型(日本環氧樹脂株式會社(^卞^V工求年〉k、2:/社)制，商品名EPIK0TE157S65)，KBM403:3-環氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化學工業株式會社(信越化學工業社)制，商品名KBM-403)，DEGDM:二甘醇二甲醚，CB:炭黑(平均二次粒徑420nm，丙二醇單甲醚乙酸酯溶液，CB成分20質量％，固體成分25質量％)，有機顏料混合有機顏料分散液(平均二次粒徑^Onm，丙二醇單甲醚乙酸酯溶液，有機顏料成分20質量％，固體成分25質量％)。(共聚)在具備攪拌機的內容積lL的高壓釜中加入556.0g丙酮、96.OgC6FMA、4.8gMAA、96.Og2-HEMA、43.2gMMA、6.2g鏈轉移劑2-ME和4.5g聚合引發劑V-70，在氮氣氣氛下攪拌的同時，使其在4(TC聚合18小時，獲得共聚物l的溶液。該共聚物1的重均分子量為5600。向得到的共聚物l的丙酮溶液中加水進行再沉淀純化，再通過石油醚進行再沉淀純化，真空干燥，獲得237g共聚物l。(乙烯性雙鍵的引入)在具備溫度計、攪拌機、加熱裝置的內容量500mL的玻璃制燒瓶中加入100g共聚物l、47.7gMOI、0.19gDBTDL、2.4gBHT和100g丙酮，攪拌的同時使其在3(TC聚合18小時，獲得含氟聚合物(A-l)的溶液。向得到的含氟聚合物(A-1)的丙酮溶液中加水進行再沉淀純化，再通過石油醚進行再沉淀純化，真空干燥，獲得135g含氟聚合物(A-1)。重均分子量為8800。〈含氟聚合物(A-2)(A-6)、(R-l)的合成〉通過除了在共聚物l的合成中按照表l改變原料的配比(單位g)之外同樣的聚合反應，獲得共聚物27。接著，通過除了在含氟聚合物(A-1)的合成中按照表2改變原料的配比(單位g)之外同樣的聚合反應，獲得具備具有乙烯性雙鍵的側鏈的含氟聚合物(A-2)(A-6)、不具備具有乙烯性雙鍵的側鏈的含氟聚合物(R-1)。得到的含氟聚合物的重均分子量、含氟聚合物中的氟原子的含有率、1分子中的乙烯性雙鍵(C=C)的數量、酸值(mgK0H/g)示于表2。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>[合成例8]〈感光性樹脂(B-l)的合成〉在具備攪拌機的內容積lL的高壓釜中加入555.0g丙酮、96.0gAA、96.0g2-HEMA、48.0gIBMA、9.7g鏈轉移劑DSH和7.lg聚合引發劑V-70，在氮氣氣氛下攪拌的同時，使其在4(TC聚合18小時，獲得聚合物8的溶液。該聚合物8的重均分子量為9800。向得到的聚合物3的丙酮溶液中加水進行再沉淀純化，再通過石油醚進行再沉淀純化，真空干燥，獲得240g聚合物8。然后，在具備溫度計、攪拌機、加熱裝置的內容量300mL的玻璃制燒瓶中加入100g聚合物8、48.3gMOI、0.19gDBTDL、2.4gBHT和100g丙酮，攪拌的同時使其在3(TC聚合18小時，獲得感光性樹脂(B-1)的溶液。向得到的感光性樹脂(B-1)的丙酮溶液中加水進行再沉淀純化，再通過石油醚進行再沉淀純化，真空干燥，獲得148g感光性樹脂(B-1)。感光性樹脂(B-1)的重均分子量為13200。將具備具有乙烯性雙鍵的側鏈的含氟聚合物(A-1)(A-6)、不具備具有乙烯性雙鍵的側鏈的含氟聚合物(R-1)、感光性樹脂(B-1)、光聚合引發劑(C)和根據需要采用的其它成分以表3所示的比例(質量份)配合，調制負型感光性組合物18。使用上述制成的負型感光性組合物，通過以下的例1例13所示的方法，在基材上形成間隔壁。對于各個形成了間隔壁的基材，通過以下所示的方法對顯影性、拒水拒油性、耐藥品性、噴墨(IJ)涂布性進行測定、評價。它們的結果匯總示于表4。(顯影性)將可以完全地顯影的記作O，存在未被顯影的部分的記作X。(拒水拒油性)拒水拒油性通過形成于玻璃基材的涂膜表面的水和二甲苯的接觸角(度)進行評價。接觸角是指固體和液體接觸的點上的對于液體表面的切線和固體表面所成的角，定義為包含液體的一方的角度。該角度越大，則表示涂膜的拒水拒油性越好。對于水的接觸角，將95度以上記作〇，90度以上且不足95度記作A，不足90度記作X。對于二甲苯的接觸角，將40度以上記作Q，35度以上且不足40度記作A，不足35度記作X。(耐藥品性)將所得的形成了間隔壁圖案的玻璃基材在25'C浸漬于丙酮24小時。將浸漬后的間隔壁的膜厚和形狀沒有變化且拒水拒油性也沒有變化的記作〇，間隔壁的膜厚和形狀沒有變化、但拒水拒油性下降的記作A，將間隔壁剝離或溶解的記作X。(噴墨(IJ)涂布性)對于所得的形成了間隔壁圖案的玻璃基材，使用噴墨裝置，在以間隔壁分隔而成的區域內注入含RGB各色的顏料的UV固化型墨形成墨層，從而形成像素。對這樣得到的像素圖案通過超景深形狀測定顯微鏡(基恩士公司(年一工y只社)帝ij)進行觀察。將沒有相鄰像素間的混色和洇出，也沒有像素內的墨層的膜厚不均，獲得沒有漏白的像素圖案的記作O;沒有像素間的混色和洇出，但存在像素內的涂膜的膜厚不均，出現漏白的記作A;存在像素間的混色和洇出的記作X。[例l]在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物l后，在加熱板上于l(KTC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30"m的間距設置形成有格子圖案的掩模(線二2O"ra，格子空間-80umX400"m),通過超高壓汞燈照射50mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量X氫氧化四甲鉸水溶液在25"C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面側(正面側)照射4000mJ/cm2，獲得形成了圖案的基材。[例2]在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物2后，在加熱板上于l0(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設置形成有格子圖案的掩模(線二2Oum，格子空間^80umX400ura)，通過超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量％氫氧化四甲銨水溶液在25°〇進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面的反面側照射1500mJ/cm2,再在200。C進行加熱處理1小時，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物3后，在加熱板上于l0(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0wm的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設置形成有格子圖案的掩模(線二2Oura，格子空間80umX400um)，通過超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量％氫氧化四甲銨水溶液在25°(:進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面側照射2000mJ/cm2，再在20(TC進行加熱處理l小時，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物4后，在加熱板上于l0(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設置形成有格子圖案的掩模(線二2Oum，格子空間^80timX400um)，通過超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量X氫氧化四甲銨水溶液在25'C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面的反面側照射3000mJ/cm2，再在20(TC進行加熱處理1小時，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物5后，在加熱板上于l0(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0nra的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設置形成有格子圖案的掩模(線二20"m，格子空間二80uraX400um)，通過超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量X氫氧化四甲銨水溶液在25'C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面側照射3000raJ/cm2，再在20(TC進行加熱處理l小時，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物6后，在加熱板上于l0(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設置形成有格子圖案的掩模(線4Oura，格子空間二80"mX400um)，通過超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量X氫氧化四甲銨水溶液在25"C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面側照射4000mJ/cra2，再在20(TC進行加熱處理l小時，獲得形成了圖案的基材。在預先形成有格子狀的黑色矩陣(BM)(線40um，格子空間^80umX400um)玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物2后，在加熱板上于IOCTC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0"m的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距以在黑色矩陣上形成間隔壁的狀態設置形成有格子圖案的掩模(線^6um,格子空間82ixraX402nin)，通過超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量％氫氧化四甲銨水溶液在25'C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面側照射1000mJ/cm2，再在20(TC進行加熱處理l小時，獲得形成了圖案的基材。在環烯烴聚合物(日本瑞翁株式會社(日本f'才V社)制，ZEONOR1600R)基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物l后，在加熱板上于10(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0nm的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設置形成有格子圖案的掩模(線4Oum，格子空間^80iimX400um)，通過超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量X氫氧化四甲銨水溶液在25'C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面側照射4000mJ/cm2，獲得形成了圖案的基材。在通過濺射法層疊了20nm二氧化硅的環烯烴聚合物(日本瑞翁株式會社(日本if才y社)制，ZEONOR1600R)基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物4后，在加熱板上于10(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0pm的涂膜。然后，在涂膜的上方以30tim的間距設置形成有格子圖案的掩模(線^Oum，格子空間80umX400iim)，通過超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量X氫氧化四甲銨水溶液在25"C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面反面側照射4000mJ/cm2，再在l5(TC進行加熱處理1小時，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物l后，在加熱板上于l0(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30"0!的間距設置形成有格子圖案的掩模(線=2Oum，格子空間^80"mX400pm)，通過超高壓汞燈照射100mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量X氫氧化四甲銨水溶液在25'C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物l后，在加熱板上于l0CTC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0"m的涂膜。然后，在涂膜的上方以30um的間距設置形成有格子圖案的掩模(線二20"m，格子空間80umX400um)，通過超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量％氫氧化四甲銨水溶液在25"進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，在200'C進行加熱處理1小時，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物7后，在加熱板上于l0(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0um的涂膜。然后，在涂膜的上方以30ixm的間距設置形成有格子圖案的掩模(線二2Oura，格子空間80uraX400nm)，通過超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.l質量^氫氧化四甲銨水溶液在25t:進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面的反面側照射4000mJ/cm2，再在20(TC進行加熱處理1小時，獲得形成了圖案的基材。在玻璃基板上使用旋轉器涂布負型感光性組合物8后，在加熱板上于l0(TC預烘焙2分鐘，形成膜厚2.0"m的涂膜。然后，在涂膜的上方以30pm的間距設置形成有格子圖案的掩模(線二20"m，格子空間80umX400um)，通過超高壓汞燈照射200mJ/cm2。接著，將基材用加入了表面活性劑的O.1質量X氫氧化四甲銨水溶液在25"C進行顯影處理40秒，用水清洗，使其干燥。接著，通過超高壓汞燈從間隔壁形成面的反面側照射4000mJ/cm2，再在20(TC進行加熱處理1小時，獲得形成了圖案的基材。<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>[表4]<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>噴墨涂布性差。例ll由于未進行后曝光，因此噴墨涂布性差。例12由于包含不具備具有乙烯性雙鍵的側鏈的含氟聚合物，因此拒油性、耐藥品性稍差，噴墨涂布性差。例13由于不含含氟聚合物，因此拒水拒油性、噴墨涂布性差。產業上利用的可能性本發明的間隔壁制造方法適合用于通過噴墨涂布方式制成的濾色片的間隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的間隔壁、有機EL顯示元件的間隔壁、布線電路基板的間隔壁等電子器件的間隔壁的制造。在這里引用2005年11月28日提出申請的日本專利申請2005-342278號的說明書、權利要求書和說明書摘要的全部內容，作為本發明說明書的揭示采用。權利要求1.間隔壁的制造方法，其特征在于，依次具備將負型感光性組合物涂布于基材的工序、干燥工序、曝光工序、顯影工序，然后具備后曝光工序，所述負型感光性組合物包含含氟聚合物(A)，該含氟聚合物包含具有氟代烷基的側鏈和具有乙烯性雙鍵的側鏈；其中，所述氟代烷基可以在碳原子間具有醚性氧原子。2.如權利要求l所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，后曝光工序中，使用超高壓汞燈或高壓汞燈進行曝光。3.如權利要求l所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，后曝光工序中，使用低壓汞燈以500mJ/cm2以下的曝光量進行曝光。4.如權利要求13中的任一項所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，后曝光工序后具備加熱處理工序。5.如權利要求14中的任一項所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，所述含氟聚合物(A)的氟原子含量為535質量X，且含氟聚合物(A)在負型感光性組合物的所有固體成分中的比例為O.130質量％。6.如權利要求15中的任一項所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，所述含氟聚合物(A)是還具備具有酸性基團的側鏈的聚合物。7.如權利要求16中的任一項所述的間隔壁的制造方法，其特征在于，所述負型感光性組合物包含在l個分子內具有酸性基團和乙烯性雙鍵的可溶于堿的感光性樹脂(B)以及光聚合引發劑(C)。8.濾色片的制造方法，其特征在于，通過權利要求17中的任一項所述的制造方法在基材上形成間隔壁后，在以間隔壁分隔而成的區域內通過噴墨法注入墨而形成像素。9.有機EL顯示元件的制造方法，其特征在于，通過權利要求17中的任一項所述的制造方法在基材上形成間隔壁后，在以間隔壁分隔而成的區域內通過噴墨法注入墨而形成像素。全文摘要本發明提供即使曝光工序的曝光量低，墨層的膜厚均勻性也良好的間隔壁的制造方法。間隔壁的制造方法的特征在于，依次具備將負型感光性組合物涂布于基材的工序、干燥工序、曝光工序、顯影工序，然后具備后曝光工序，所述負型感光性組合物包含含氟聚合物(A)，該含氟聚合物包含具有氟代烷基的側鏈和具有乙烯性雙鍵的側鏈；其中，所述氟代烷基可以在碳原子間具有醚性氧原子。文檔編號B41M5/00GK101317132SQ200680044240公開日2008年12月3日申請日期2006年11月28日優先權日2005年11月28日發明者石関健二,高橋秀幸申請人:旭硝子株式會社