感光性層疊體的制造裝置的制作方法

專利名稱：感光性層疊體的制造裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種感光性層疊體的制造裝置，其將基板和在支承體上層
疊感光材料層而構成的感光性薄板(web)送出到一對壓接輥之間，通過 將所述感光材料層粘貼到所述基板，從而制造感光性層疊體。
背景技術：
例如，在液晶面板用基板、印刷配線用基板、PDP用基板中，將 具有感光性樹脂層(感光材料層)的感光性片體(感光性薄板)粘貼到 基板表面而構成。感光性片體在可撓性塑料支承體上依次層疊有感光性 樹脂層和保護薄膜。
這種感光性片體的粘貼所使用的制造裝置，通常采用如下方式，即， 使玻璃基板或樹脂基板等基板離開規定間隔而輸送，并且，對應于粘貼 在所述基板的感光性樹脂層的范圍，從所述感光性片體剝離保護薄膜。
例如，在日本特開平11-34280號公報所公開的制造裝置中，如圖 8所示，從薄膜輥1抽出的層疊體薄膜(感光性片體)la巻繞在導向輥 2a、 2b并沿水平的薄膜輸送面延伸。在該導向輥2b安裝有回轉式編碼 器3，該回轉式編碼器3輸出與層疊體薄膜la的進給量對應數量的脈 沖信號。
沿水平的薄膜輸送面延伸的層疊體薄膜la巻繞在吸入輥4上，并 且，在所述導向輥2b和所述吸入輥4之間設有半刀具(八一7力、;/夕) 裝置5和保護薄膜剝離裝置6。
半刀具裝置5具有在層疊體薄膜la的輸送方向上離開規定間隔的 一對圓盤刀具5a、 5b。圓盤刀具5a、 5b沿層疊體薄膜la的薄膜寬度 方向移動，從而將上述層疊體薄膜la的保護薄膜(未圖示)中的剝離 部分和剩余部分這兩個部位的分界部分與其背側的感光性樹脂層(未圖 示) 一體地切斷。保護薄膜剝離裝置6在擠壓輥8a、 8b之間將從粘接帶輥7抽出的 粘接帶7a用力壓接到保護薄膜的剝離部分之后，被巻取輥9巻取。由 此，保護薄膜的剝離部分從感光性樹脂層剝離并與粘接帶7a —并巻取 于巻取輥9。
在吸入輥4的下游配置有一對被加熱的層積輥12a、 12b，該層積 輥12a、 12b被加熱器14加熱到規定溫度，在利用基板輸送裝置10以 規定間隔輸送的多個基板11的上表面，重疊地壓接保護薄膜的被剝離 的層疊體薄膜la的剝離部分。在該層積輥12a、 12b的下游側配置有支 承薄膜巻取輥13。粘貼于基板11的透光性支承薄膜(未圖示)在使感 光性樹脂層殘留于基板11的狀態下與保護薄膜的剩余部分一并巻取在 支承薄膜巻取輥13。
但是，被加熱器14加熱的基板11在利用構成基板輸送裝置10的 輸送輥15供給到層積輥12a、 12b之間時，如圖9所示，若輸送輥15 在與基板11的輸送方向正交的方向上由長條狀輥構成，則因基板11 和輸送輥15的接觸面積大，故基板11的熱量被輸送輥15奪去而導致 溫度降低，恐怕不能得到層疊體薄膜la相對于基板11的合適的粘貼狀 態。
因此，如圖10所示，考慮代替長條狀輸送輥15，使用由圓盤形構 成的多個輸送輥16輸送基板11。此時，由于基板11和輸送輥16的接 觸面積變小，因此基板11的溫度變化也變小。
但是，若與基板11的輸送方向相鄰的輸送輥16排列于與輸送方向 正交的方向的相同位置(參照虛線)，則由于輸送輥16抵接的基板11 的溫度比其周圍的溫度低，故導致在制造出的感光性層疊體上產生筋狀 斑點。

發明內容
本發明的目的在于提供一種可以制造不存在斑點的高精度感光性 層疊體的感光性層疊體的制造裝置。
另外，本發明的目的在于提供一種可以在不受溫度不均影響的狀態 下高精度地制造在基板上粘貼感光材料層而構成的感光性層疊體的感光性層疊體的制造裝置。
并且，本發明的目的在于提供一種不會因輸送基板或感光性層疊體 的輸送輥的接觸而導致產生溫度不均的感光性層疊體的制造裝置。
本發明的感光性層疊體的制造裝置，其將在支承體上層疊感光材料 層而構成的感光性薄板送出到被加熱了的一對壓接輥之間，并且，將被 基板加熱部加熱了的基板以規定間隔送出到所述一對壓接輥之間，通過 將所述感光材料層粘貼于所述基板而制造感光性層疊體，所述感光性層 疊體的制造裝置的特征在于，具有多個基板輸送輥，其配置于所述一 對壓接輥的前段，將所述基板從所述基板加熱部向所述一對壓接輥之間 送出；多個粘貼基板輸送輥，其配置于所述一對壓接輥的后段，輸送在 所述基板上粘貼了所述感光材料層的粘貼基板，其中，多個所述基板輸 送輥及/或多個所述粘貼基板輸送輥排列于所述基板的輸送方向，并且， 在所述輸送方向上至少相鄰排列的所述基板輸送輥及/或所述粘貼基板 輸送輥在與所述輸送方向正交的方向上錯開位置地配置。
在本發明中，通過在與基板的輸送方向正交的方向錯開位置地配置 排列于壓接輥前段的多個基板輸送輥及/或排列于壓接輥后段的多個粘 貼基板輸送輥中的、在輸送方向至少相鄰排列的輥，從而可以抑制基板 輸送輥及/或粘貼基板輸送輥因在基板的相同位置接觸而導致相對輸送 方向的溫度降低，可以制造不存在斑點的感光性層疊體。
基于與添加的附圖結合的接下來的優選實施例的說明，更加明確上 述目的及其它目的、特點以及優點。 '


圖1是本發明實施方式的制造裝置的概略結構圖； 圖2是上述制造裝置所使用的感光性薄板的剖視圖； 圖3是在上述感光性薄板粘接有粘接標簽的狀態的說明圖； 圖4是配置于基板輸送機構和粘貼機構之間的基板輸送輥群的立體結 構圖5是圖4所示的基板輸送輥群的俯視結構圖； 圖6是構成基板輸送輥群的基板輸送輥的立體圖；圖7是構成基板輸送輥群的基板輸送輥的主視圖； 圖8是現有技術的制造裝置的概略結構圖； 圖9是圖8所示的輸送輥的說明圖10是圖8所示的輸送輥的其它結構的說明圖。
具體實施例方式
圖1是本發明實施方式的感光性層疊體的制造裝置20的概略結構圖， 在該制造裝置20中，通過液晶或有機EL用濾色器等的制作工序，進行如 下作業，即，將感光性薄板22a、 22b的各感光性樹脂層28 (后述)并列 地熱轉印到玻璃基板24上。感光性薄板22a、 22b分別設定為規定的寬度 尺寸。
圖2是制造裝置20所使用的感光性薄板22a、 22b的剖視圖。該感光 性薄板22a、 22b通過層疊可撓性基體薄膜(支承體)26、感光性樹脂層 (感光材料層)28以及保護薄膜30而構成。
如圖l所示，制造裝置20具有第一及第二薄板送出機構32a、 32b， 其收容將感光性薄板22a、 22b以輥狀巻繞的兩根(也可為兩根以上)感 光性薄板輥23a、 23b，并能夠從各感光性薄板輥23a、 23b同步地送出上 述感光性薄板22a、 22b;第一及第二加工機構36a、 36b，其在被送出的 各感光性薄板22a、 22b的保護薄膜30及感光性樹脂層28上形成在寬度 方向可切斷的邊界位置即半切割部位34;第一及第二標簽粘接機構40a、 40b，其將在一部分具有非粘接部38a的粘接標簽38 (參照圖3)與各保 護薄膜30粘接。
第一及第二標簽粘接機構40a、 40b的下游配置有用于將各感光性 薄板22a、 22b從間歇式進給變更為連續進給的第一及第二存儲機構42a、 42b;以規定的長度間隔使保護薄膜30從各感光性薄板22a、 22b剝離的 第一及第二剝離機構44a、 44b;將玻璃基板24在加熱到規定溫度的狀態 下輸送到粘貼位置的基板輸送機構45;將因上述保護薄膜30的剝離而露 出的感光性樹脂層28 —體且并列粘貼到上述玻璃基板24的粘貼機構46。
在粘貼機構46中的粘貼位置的上游附近配置有第一及第二檢測機構 47a、 47b，該第一及第二檢測機構47a、 47b檢測各感光性薄板22a、 22b的邊界位置即各個半切割部位34的位置。
在第一及第二薄板送出機構32a、 32b的下游附近分別配置有將大 致已經用完的感光性薄板22a、 22b的后端與重新使用的感光性薄板 22a、 22b的前端粘貼的粘貼臺49。在粘貼臺49的下游，為了控制因感 光性薄板輥23a、 23b的巻繞錯位而導致寬度方向的錯位配置有薄膜終 端位置檢測器51。在此，薄膜終端位置檢測器使第一及第二薄板送出 機構32a、 32b沿寬度方向移動而進行檢測，但也可附帶設置組合了輥 的位置調整機構而進行檢測。另外，第一及第二薄板送出機構32a、 32b 也可將抽出軸構成為兩軸或三軸等多軸，該抽出軸裝填感光性薄板輥 23a、 23b并抽出感光性薄板22a、 22b。
第一及第二加工機構36a、 36b配置于輥對50的下游，該輥對50 用于算出在第一及第二薄板送出機構32a、 32b收容巻繞的各感光性薄 板輥23a、 23b的輥徑。第一及第二加工機構36a、 36b分別具有單一的 圓刀刃52，該圓刀刃52在感光性薄板22a、 22b的寬度方向行進，從 而在隔著保護薄膜30的剩余部分30b (圖2)的兩個規定位置形成半切 割部位34。
如圖2所示，半切割部位34至少需要切斷保護薄膜30及感光性樹 脂層28，實際上，圓刀刃52的切入深度設定為切入到基體薄膜26。圓 刀刃52采用如下兩種方式形成半切割部位34， 一種為圓刀刃52在不 轉動而固定的狀態下，沿感光性薄板22a、 22b的寬度方向移動而形成 半切割部位34，另一種為圓刀刃52在上述感光性薄板22a、 22b上不 滑動而是邊轉動邊沿上述寬度方向移動，從而形成上述半切割部位34。 該半切割部位34也可采用如下方式，即代替圓刀刃52，例如除使用激 光、超聲波的切割方式之夕卜，使用刮刀刃(knifeedge)、切斷刃(Thompson
edge)等形成半切割部位。
另外，第一及第二加工機構36a、 36b也可分別在感光性薄板22a、 22b的輸送方向(箭頭A方向)相距與剩余部分30b的寬度對應的距離 而配置兩臺，并隔著保護薄膜30的剩余部分30b (圖2)而同時形成兩 個半切割部位34。
在將感光性樹脂層28粘貼到玻璃基板24時，半切割部位34例如設定為從上述玻璃基板24的兩端部分別向內側進入10mm的位置。另 外，玻璃基板24之間的保護薄膜30的剩余部分30b在后述粘貼機構 46中，作為將感光性樹脂層28呈框狀粘貼到上述玻璃基板24時的掩 模而起作用。
第一及第二標簽粘接機構40a、 40b為了與玻璃基板24之間對應地 殘留保護薄膜30的剩余部分30b，供給將剝離側前方的剝離部分30aa 和剝離側后方的剝離部分30ab連結的粘接標簽38。如圖2所示，保護 薄膜30隔著剩余部分30b，將先被剝離的部分作為前方的剝離部分 30aa，并且將后被剝離的部分作為后方的剝離部分30ab。
如圖3所示，粘接標簽38構成為長方形狀，例如，由與保護薄膜 30相同的樹脂材料構成。粘接標簽38具有在中央部未涂敷粘接劑的非 粘接部(包括輕微粘接)38a，并且在該非粘接部38a的兩側即上述粘 接標簽38的長度方向兩端部具有與前方的剝離部分30aa粘接的第一粘 接部38b和與后方的剝離部分30ab粘接的第二粘接部38c。
如圖1所示，第一及第二標簽粘接機構40a、 40b分別具有能夠將 最多七張粘接標簽38離開規定間隔而粘貼的吸附盤54a 54g，并且在 由上述吸附盤54a 54g吸附的上述粘接標簽38的粘貼位置配置有用于 從下方保持感光性薄板22a、 22b的承接臺56，其升降自如。
為了吸收上游側的感光性薄板22a、 22b的間歇式輸送和下游側的 上述感光性薄板22a、 22b的連續輸送的速度差，第一及第二存儲機構 42a、 42b具有沿箭頭方向擺動自如的調節輥60。在第二存儲機構42b 配置有調節輥61，該調節輥61用于將從第一及第二薄板送出機構32a、 32b送出的各感光性薄板22a、 22b到粘貼機構46的各輸送路徑長度調 整為相同。
配置于第-一及第二存儲機構42a、 42b下游的第一及第二剝離機構 44a、 44b分別具有吸入輥62，該吸入輥62用于遮斷感光性薄板22a、 22b送出側的張力變動并使積層(laminate)時的張力穩定化。在各吸 入輥62的附近配置有剝離輥63，并且，經由該剝離輥63從感光性薄 板22a、 22b以銳角的剝離角被剝離的保護薄膜30除去剩余部分30b， 分別巻取在保護薄膜巻取部64。在第一及第二剝離機構44a、 44b的下游側配置有包括張力輥65 的張力控制機構66a、 66b。張力控制機構66a、 66b分別具有汽缸68， 在上述汽缸68的驅動作用下，張力調節器70分別擺動并位移，從而可 以調整各張力調節器70滑動連接的感光性薄板22a、 22b的張力。
以構成粘貼機構46的橡膠輥80a、 80b的位置為基準，對半切割部 位34的位置進行檢測的第一及第二檢測機構47a、 47b配置于輸送輥 73和輸送輥71a、 71b之間的感光性薄板22a、 22b成為直線狀的部分。 第一及第二檢測機構47a、47b例如由對包括半切割部位34的感光性薄 板22a、 22b的圖像進行攝影的CCD照相機構成。
基板輸送機構45具有以夾持玻璃基板24的方式配置的多組基板 加熱部(例如，加熱器)74;將該玻璃基板24沿箭頭C方向輸送的輸 送部76。在基板加熱部74，始終監視玻璃基板24的溫度，能夠在產生 異常時，停止輸送部76或發出警報，并且發出異常信息將異常的玻璃 基板24在后續工序中NG排出，靈活運用于品質管理或生產管理等。 在輸送部76配置有未圖示的氣浮板(- ^浮上7 ^ —卜)，玻璃基板 24浮起并沿箭頭C方向輸送。玻璃基板24的輸送也可以利用輥式輸送 帶進行。
玻璃基板24的溫度測定優選在基板加熱部74內或靠粘貼位置之前 的位置進行。作為測定方法，除接觸式(例如，熱電偶)測定方法之外， 也可為非接觸式測定方法。
在基板加熱部74的上游設有收容多個玻璃基板24的基板存儲部 71。收容于該基板存儲部71的各玻璃基板24被設于機械手75的手部 75a的吸附盤79吸附而取出，并被插入到基板加熱部74。
粘貼機構46具有在上下方向配置并且被加熱到規定溫度的橡膠輥 (壓接輥)80a、 80b。在橡膠輥80a、 80b滑動連接支承輥82a、 82b。 一側的支承輥82b被構成輥夾持部83的加壓汽缸84a、 84b向橡膠輥 80b側擠壓。
如圖4及圖5所示，在構成基板輸送機構45的下游側終端的基板 加熱部74和粘貼機構46之間配置有將被加熱了的玻璃基板24送出到 橡膠輥80a、 80b之間的四列基板輸送輥群86a 86d。各基板輸送輥群86a 86d具有在與玻璃基板24的輸送方向(箭 頭C方向)正交的方向上延伸的旋轉軸87;軸支承于旋轉軸87的規定 位置的多個基板輸送輥S9。如圖5所示，此時，構成基板輸送輥群86a 86d的各基板輸送輥89在與箭頭C方向正交的方向上錯開規定量而配 置，以使任一基板輸送輥89在玻璃基板24的箭頭C方向的相同位置 都不抵接。
如圖6及圖7所示，各基板輸送輥89構成相對于旋轉軸87延伸方 向的寬度變窄的圓盤形狀，與玻璃基板24抵接的外周部91形成為在旋 轉軸87的延伸方向上彎曲成大致圓弧狀的形狀，以使其與玻璃基板24 的接觸面積減小。
玻璃基板24經由從粘貼機構46沿箭頭C方向延伸的輸送路徑88 而被輸送。在該輸送路徑88配置有對粘貼了感光性樹脂層28的玻璃基 板24 (以下稱為"粘貼基板24a")進行冷卻的冷卻機構122。在橡膠 輥80a、 80b和冷卻機構122之間的輸送路徑配置有輸送粘貼基板24a 的多個粘貼基板輸送輥群93a 93n。各粘貼基板輸送輥群93a 93n與 圖4 圖7所示的基板輸送輥群86a 86d同樣地構成，在與箭頭C方 向正交的方向上錯開規定量而配置，以使任一基板輸送輥89在玻璃基 板24的箭頭C方向的相同位置都不抵接。另外，相對于粘貼基板24a 的輸送方向(箭頭C方向)將粘貼基板輸送輥群93a 93n分割為多塊， 在各塊內，也可以在與箭頭C方向正交的方向上錯開規定量而配置， 以使任一基板輸送輥89在玻璃基板24的箭頭C方向的相同位置都不 抵接。
在橡膠輥80a、 80b和冷卻機構122之間的規定位置配置有檢測玻 璃基板24的前端部的基板前端檢測傳感器94。當粘貼于玻璃基板24 的感光性樹脂層28后端部的半切割部位34配置于粘貼機構46的橡膠 輥80a、 80b之間時，基板前端檢測傳感器94配置于檢測玻璃基板24
的前端部的位置。
另外，在冷卻機構122的下游設有基體自動剝離機構142a、 142b。 基體自動剝離機構142a、 142b從玻璃基板24連續地剝離粘貼于相距規 定間隔的各玻璃基板24的各感光性網22a、 22b的基體薄膜26，該基體自動剝離機構142a、 142b具有預先剝離部144、直徑比較小的剝 離輥146、巻取軸148、自動粘貼機150。巻取軸148在驅動時進行轉 矩控制并將規定的張力施加于基體薄膜26。預先剝離部144在玻璃基 板24之間具有可升降的剝離桿156。
在基體自動剝離機構142a、 142b的下游配置有測定實際粘貼于玻 璃基板24的感光性樹脂層28的區域位置的測定器158。該測定器158 例如具有對粘貼有感光性樹脂層28的玻璃基板24進行攝影的CCD照 相機160。
另外，在測定器158的下游設有收納有多個感光性層疊體106的感 光性層疊體存儲部132。利用基體自動剝離機構142a、 142b剝離基體 薄膜26及剩余部分30b后的感光性層疊體106，被設于機械手134的 手部134a的吸附墊136吸附而取出，并收容于感光性層疊體存儲部 132。
在如上所述構成的制造裝置20中，第一及第二薄板送出機構32a、 32b、第一及第二加工機構36a、 36b、第一及第二標簽粘接機構40a、 40b、第一及第二存儲機構42a、 42b、第一及第二剝離機構44a、 44b、 第一及第二張力控制機構66a、 66b隔開具有貫通孔114的隔壁110配 置于粘貼機構46的上部清潔室112a，另一方面，第一及第二檢測機構 47a、 47b、粘貼機構46、冷卻機構122、基體自動剝離機構142a、 142b、 測定器158配置于下部清潔室112b。另外，也可將配置于上部清潔室 112a及下部清潔室112b的各機構上下顛倒配置，另外，也可將上述制 造裝置20整體呈直線狀地構成。
接著，說明如上所述構成的制造裝置20的動作。
首先，從安裝于第一及第二薄板送出機構32a、 32b的各感光性薄 板輥23a、 23b送出感光性薄板22a、 22b。感光性薄板22a、 22b被輸 送到第一及第二加工機構36a、 36b。
在第一及第二加工機構36a、 36b，圓刀刃52在感光性薄板22a、 22b的寬度方向移動，將上述感光性薄板22a、 22b從保護薄膜30—直 切入到感光性樹脂層28甚至基體薄膜26，從而形成半切割部位34 (參 照圖2)。并且，感光性薄板22a、 22b對應保護薄膜30的剩余部分30b的寬度M，沿箭頭A方向輸送后停止，在圓刀刃52的行進作用下形成
半切割部位34。由此，在感光性薄板22a、 22b隔著剩余部分30b設置 前方的剝離部分30aa和后方的剝離部分30ab (參照圖2)。
另外，剩余部分30b的寬度M以感光性薄板22a、 22b不延伸為前 提，并以被供給到粘貼基板46的橡膠輥80a、 80b之間的玻璃基板24 之間的距離為基準進行設定。另外，以寬度M形成的一組半切割部位 34以粘貼于玻璃基板24的感光性樹脂層28的基準長度的間隔形成于 感光性薄板22a、 22b。
接著，向第一及第二標簽粘接機構40a、40b輸送各感光性薄板22a、 22b，保護薄膜30的規定粘貼部位配置于承接臺56上。在第一及第二 標簽粘接機構40a、 40b中，規定張數的粘接標簽38被吸附盤54b 54g 吸附保持，各粘接標簽38跨過保護薄膜30的剩余部分30b， 一體地粘 接于前方的剝離部分30aa和后方的剝離部分30ab (參照圖3)。
如圖1所示，例如，粘接了七張粘接標簽38的感光性薄板22a、 22b經由第一及第二存儲機構42a、 42b而防止送出側的張力變動之后， 被連續地輸送到第一及第二剝離機構44a、 44b。在第一及第二剝離機 構44a、 44b中，感光性薄板22a、 22b的基體薄膜26被吸附保持于吸 入輥62，并且，保護薄膜30殘留剩余部分30b，從上述感光性薄板22a、 22b被剝離。該保護薄膜30通過剝離輥63被剝離而在保護薄膜巻取部 64巻取(參照圖1)。
在第一及第二剝離機構44a、 44b的作用下，保護薄膜30殘留剩余 部分30b而從基體薄膜26被剝離后，感光性薄板22a、 22b利用張力控 制機構66a、 65b調整張力，接著，在第一及第二檢測機構47a、 47b， 檢測半切割部位34。
粘貼機構46以在被檢測出的半切割部位34先進行的剝離部分 30ab側的半切割部位34配置于橡膠輥80a、 80b的方式，輸送感光性 薄板22a、 22b并使其停止。另一方面，基板輸送機構45在利用各基板 加熱部74將玻璃基板24加熱到規定溫度之后，經由終端的基板加熱部 74和橡膠輥80a、 80b之間的基板輸送輥群86a 86d,將玻璃基板24 輸送到橡膠輥80a、 80b之間的粘貼位置。在此，如圖4及圖5所示，構成基板輸送輥群86a 86d的基板輸 送輥89在與箭頭C方向正交的方向上錯開地配置，以使其在玻璃基板 24的輸送方向即箭頭C方向的相同位置不抵接。此時，各基板輸送輥 89的錯開量既可以固定，或者也可以任意設定。另外，與玻璃基板24 抵接的基板輸送輥89的外周部91形成為在旋轉軸87的延伸方向上彎 曲成大致圓弧狀的形狀，以使其與玻璃基板24的接觸面積減小。因此， 例如，通過將構成基板輸送輥群86a的基板輸送輥89與玻璃基板24 抵接，從而即便是該部分的溫度稍微降低，由于構成與其連續的基板輸 送輥群86b 86d的基板輸送輥89不在玻璃基板24的同一部分抵接， 因此，因基板輸送輥89而導致的溫度降低的影響被抑制到最小限度。
另外，若因基板輸送輥89而導致的玻璃基板24的溫度降低在容許 范圍內，則將在輸送方向至少相鄰排列的基板輸送輥89的位置在與箭 頭C方向正交的方向上錯開地配置即可，不需要構成為使構成基板輸 送輥群86a 86d的全部基板輸送輥89的位置不配置于箭頭C方向的 同一位置。另外，作為構成基板輸送輥89的材料，選擇熱傳導率低的 聚醚醚酮(PEEK)材料、聚砜(PSU)材料等，從而能夠進一步減小 因基板輸送輥89與玻璃基板24抵接而導致的溫度降低的影響。
接著，通過使支承輥82b及橡膠輥80b上升，從而在橡膠輥80a、 80b之間以規定的按壓力夾入玻璃基板24。另外，在橡膠輥80a的旋轉 作用下，沿箭頭C方向輸送感光性薄板22a、 22b及玻璃基板24。其結 果是，并列的各感光性樹脂層28被加熱溶融，并被轉印(積層)到玻 璃基板24。
另外，作為積層條件，速度為1.0m/min 10.0m/min、橡膠輥80a、 80b的溫度為80。C 150。C、上述橡膠輥80a、80b的橡膠硬度為40度 90度、該橡膠輥80a、 80b的按壓力(線壓力)為50N/cm 400N/cm。
基板前端檢測傳感器94檢測玻璃基板24的前端，若結束經由橡膠 輥80a、 80b在玻璃基板24上層疊一張感光性薄板22a、 22b，則上述 橡膠輥80a停止旋轉。另外，橡膠輥80b向從橡膠輥80a離開的方向退 讓，夾緊被解除，并且，構成輸送路徑88的粘貼基板輸送輥群93a 93n的旋轉開始，粘貼基板24a沿箭頭C方向輸送與保護薄膜30的剩余部分30b的寬度M對應的距離，保護薄膜30后方的剝離部分30ab 側的半切割部位34移動到橡膠輥80a下方附近的規定位置。另一方面， 從基板輸送機構45經由基板輸送輥群86a 86d將下一個玻璃基板24 朝粘貼位置輸送。通過反復進行以上動作，從而連續地制造粘貼基板 24a。
此時，粘貼基板24a的各個端部彼此被剩余部分30b覆蓋。因此， 當感光性樹脂層28轉印到玻璃基板24時，橡膠輥80a、 80b不會被上 述感光性樹脂層28污染。
另外，構成粘貼基板輸送輥群93a 93n的基板輸送輥89與基板輸 送輥86a 86d同樣地，在與箭頭C正交的方向上錯開地配置，以使其 在玻璃基板24的輸送方向即箭頭C方向的相同位置不抵接。此時，各 基板輸送輥89的錯開量既可以固定，或者也可以任意設定。因此，玻 璃基板24的因基板輸送輥89而導致的溫度降低的影響被抑制到最小限 度，粘貼基板24a在盡可能地維持為均勻溫度的狀態下，被供給到冷卻 機構122。
另外，若因基板輸送輥89而導致的玻璃基板24在溫度降低在容許 范圍內，則構成粘貼基板輸送輥群93a 93n的基板輸送輥89在輸送方 向至少相鄰排列的基板輸送輥89的位置在與箭頭C方向正交的方向上 錯開地配置即可，不需要構成為使全部基板輸送輥89的位置不配置于 箭頭C方向的同一位置。另外，在構成基板輸送輥群86a 86d及粘貼 基板輸送輥群93a 93n的基板輸送輥89之間，也可以將在輸送方向至 少相鄰排列的基板輸送輥89的位置在與箭頭C方向正交的方向上錯開 地配置。作為構成基板輸送輥89的材料，可以選擇熱傳導率低的PEEK 材料、PSU材料等。
供給到冷卻機構122而被冷卻的粘貼基板24a被移送到預先剝離部 144。在該預先剝離部144，剝離桿156進入(臨入)玻璃基板24之間 并上升，由此，玻璃基板24之間的保護薄膜30被舉起從相鄰的玻璃基 板24的后端及前端剝離。
接著，在基體自動剝離機構142a、 142b，在巻取軸148的旋轉作 用下，基體薄膜26從粘貼基板24a連續地巻取。并且，在因故障停止的切斷分離或不合格件分離時的切斷后，重新開始積層處理的粘貼基板
24a的基體薄膜26的前端與巻取到巻取軸148的基體薄膜26的后端， 經由自動粘貼機150自動粘貼。.
基體薄膜26被剝離的粘貼基板24a配置于與測定器158對應的檢 測位置。在該檢測位置，在玻璃基板24被定位且固定的狀態下，利用 四臺CCD照相機160獲取玻璃基板24和感光性樹脂層28的圖像。接 著，通過進行圖像處理，從而運算粘貼位置。
感光性樹脂層28的粘貼位置被確認的粘貼基板24a被機械手134 取出，并作為感光性層疊體106收容于感光性層疊體存儲部132。
另外，在上述實施例中，通過如圖4及圖5所示構成在橡膠輥80a、 80b的前后配置的基板輸送輥群86a 86d、 93a 93n，來抑制層疊前后 的玻璃基板24的溫度不均，但根據溫度不均的容許范圍，也可僅基板 輸送輥群86a 86d或93a 93n中的任一方如圖4及圖5所示地構成。
另外，雖然使用兩根感光性薄板輥23a、 23b，但并不限于此，也 可以采用一根感光性薄板輥或三根以上的感光性薄板輥。
并且，也可以代替由基體自動剝離機構142a、 142b連續地剝離可 撓性基體薄膜26而制造感光性層疊體106，而如下制造感光性層疊體 106，即，利用冷卻機構122冷卻粘貼基板24a后，切斷分離粘貼基板 24a之間，從分離了的各粘貼基板24a剝離可撓性基體薄膜26而制造 感光性層疊體106。
權利要求
1. 一種感光性層疊體的制造裝置，其將在支承體(26)上層疊感光材料層(28)而構成的感光性薄板(22a、22b)送出到被加熱了的一對壓接輥(80a、80b)之間，并且，將被基板加熱部(74)加熱了的基板(24)以規定間隔送出到所述一對壓接輥(80a、80b)之間，通過將所述感光材料層(28)粘貼于所述基板(24)而制造感光性層疊體(106)，所述感光性層疊體的制造裝置(20)的特征在于，具有多個基板輸送輥(89)，其配置于所述一對壓接輥(80a、80b)的前段，將所述基板(24)從所述基板加熱部(74)向所述一對壓接輥(80a、80b)之間送出；多個粘貼基板輸送輥(89)，其配置于所述一對壓接輥(80a、80b)的后段，輸送在所述基板(24)上粘貼了所述感光材料層(28)的粘貼基板(24a)，其中，多個所述基板輸送輥(89)及/或多個所述粘貼基板輸送輥(89)排列于所述基板(24)的輸送方向，并且，在所述輸送方向上至少相鄰排列的所述基板輸送輥(89)及/或所述粘貼基板輸送輥(89)在與所述輸送方向正交的方向上錯開位置地配置。
2. 根據權利要求1所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述基板輸送輥(89)及/或所述粘貼基板輸送輥(89)構成圓盤形狀。
3. 根據權利要求2所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述基板輸送輥(89)及/或所述粘貼基板輸送輥(89)的與所述基板(24)抵接的外周部構成為在與所述輸送方向正交的方向上彎曲成 大致圓弧狀的形狀。
4. 根據權利要求l所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 在所述粘貼基板輸送輥(89)的后段配置有冷卻所述粘貼基板(24a)的冷卻機構(122)。
5. 根據權利要求l所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述基板(24)由玻璃構成。
6. 根據權利要求1所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于，所述基板輸送輥(89)及/或所述粘貼基板輸送輥(89)由聚醚醚酮材料構成。
7. 根據權利要求1所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述基板輸送輥(89)及/或所述粘貼基板輸送輥(89)由聚砜材料構成。
全文摘要
本發明涉及一種感光性層疊體的制造裝置，該制造裝置具有配置于一對壓接輥(80a、80b)的前段且將基板(24)從基板加熱部(74)向所述一對壓接輥(80a、80b)之間送出的多個基板輸送輥(89)；配置于所述一對壓接輥(80a、80b)的后段且將在所述基板(24)上粘貼有感光材料層(28)的基板(24a)輸送的多個粘貼基板輸送輥(89)，其中，多個所述基板輸送輥(89)及/或多個所述粘貼基板輸送輥(89)排列于所述基板(24)的輸送方向，并且在所述輸送方向至少相鄰排列的所述基板輸送輥(89)及/或所述粘貼基板輸送輥(89)，在與所述輸送方向正交的方向上錯開位置地配置。
文檔編號B32B37/06GK101544092SQ200910127
公開日2009年9月30日 申請日期2009年3月25日 優先權日2008年3月25日
發明者關口健, 山田篤利, 森元秀幸, 澤原真吾, 玉置昭裕, 秋好寬和, 高梨宏 申請人:富士膠片株式會社