機械手臂的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種機械手臂，更具體地說，是一種具有抽氣流道的機械手臂。
【背景技術】
[0002]為了減少污染及提高產量，半導體產業常利用一個或多個機械手臂搬運工作件，例如硅晶圓或其它電子芯片，藉此以便進行后續的加工或是電性測試。
[0003]目前機械手臂通常搭配抽氣裝置以及設置于機械手臂的橡膠吸盤，以利用真空吸附來拿取工作件。然而，抽氣裝置必須藉由裝設一抽氣管于機械手臂上而連接于橡膠吸盤，使得機械手臂在移動過程中易被抽氣管干擾而不利于順暢地拿取工作件。
【實用新型內容】
[0004]鑒于以上的問題，本新型公開一種具有抽氣流道的機械手臂，其目的在于有助于改善抽氣管干擾機械手臂移動的問題。
[0005]本新型公開一種機械手臂，包含一臂體和一吸取頭，臂體的內部具有一抽氣流道。抽氣流道貫穿臂體而于臂體的相對兩端部分別形成一第一開孔和一第二開孔，吸取頭設置于臂體，并且具有連通第一開孔的一吸取孔。
[0006]本新型公開的機械手臂中，抽氣流道位于臂體的內部。抽氣流道貫穿臂體而于臂體的相對兩端部分別形成一第一開孔和一第二開孔。藉此，可無需于機械手臂外部額外裝設抽氣管，有助于避免因抽氣管干擾機械手臂而不利于順暢地拿取工作件。
[0007]以上的關于本新型內容的說明及以下的實施方式的說明是用以示范與解釋本新型的原理，并且提供對本新型的權利要求書更進一步的解釋。
【附圖說明】
[0008]圖1為根據本新型一實施例的機械手臂的立體示意圖。
[0009]圖2為根據本新型一實施例的機械手臂的上視示意圖。
[0010]圖3為根據本新型一實施例的機械手臂沿圖2中線段3-3的剖切示意圖。
[0011]圖4為根據本新型一實施例的機械手臂拿取一工作件的立體示意圖。
[0012]圖5為根據本新型一實施例的機械手臂拿取一工作件的剖切示意圖。
[0013]符號說明
[0014]I機械手臂
[0015]10 臂體
[0016]110 板件
[0017]111 第一端部
[0018]112 第二端部
[0019]113 頂面
[0020]114 底面
[0021]120 凸肋
[0022]121抽氣流道
[0023]121a 第一開孔
[0024]121b 第二開孔
[0025]20吸取頭
[0026]210吸取孔
[0027]2工作件
[0028]D長邊方向
【具體實施方式】
[0029]以下在實施方式中詳細敘述本新型的詳細特征以及優點，其內容足以使任何熟習相關技藝者了解本新型的技術內容并據以實施，且根據本說明書所公開的內容、權利要求書及說明書附圖，任何熟習相關技藝者可輕易地理解本新型相關的目的及優點。以下的實施例進一步詳細說明本新型的觀點，但非以任何觀點限制本新型的范疇。
[0030]請同時參照圖1、圖2和圖3。圖1為根據本新型一實施例的機械手臂的立體示意圖。圖2為根據本新型一實施例的機械手臂的上視示意圖。圖3為根據本新型一實施例的機械手臂沿圖2中線段3-3的剖切示意圖。
[0031]在本實施例中，一機械手臂I包含一臂體10和一吸取頭20。
[0032]臂體10的材質例如為鋁合金，其包含相固定的一板件110和一凸肋120。板件110具有相對的一第一端部111和一第二端部112。凸肋120豎立于板件110，并自板件110的第一端部111延伸至第二端部112。更進一步而言，板件110具有相對的一頂面113和一底面114，且凸肋120位于頂面113。凸肋120內部具有一抽氣流道121。抽氣流道121沿著凸肋120的長邊方向D(即為凸肋120的延伸方向(如圖2所示)貫穿凸肋120而于板件110的第一端部111形成一第一開孔121a，以及于凸肋120鄰近于板件110的第二端部112的一端形成一第二開孔121b (如圖3所不)。
[0033]在本實施例中，第一開孔121a形成于板件110，且第二開孔121b形成于凸肋120，但本新型并不以此為限。在其它實施例中，第一開孔121a也可以是形成于凸肋120，且第二開孔121b也可以是形成于板件110。換句話說，第一開孔121a和第二開孔121b位于臂體10的位置并非用以限制本實用新型。
[0034]吸取頭20設置于臂體10。詳細來說，吸取頭20設置于臂體10的板件110的第一端部111，吸取頭20具有連通第一開孔121a的一吸取孔210，且吸取孔210與板件110的底面114朝向同一方向。
[0035]此外，臂體10的板件110可為一三角形金屬板。如圖2所示，板件110的寬度自第二端部112朝向第一端部111的方向逐漸縮小。也就是說，板件110較靠近第一端部111處的寬度小于板件110較靠近第二端部112處的寬度。藉此，有助于使機械手臂I的重心偏向板件110的第二端部112，以減低機械手臂I于的旋轉慣性距，以提升機械手臂I旋轉移動時的穩定性。
[0036]另外，板件110可具有貫穿頂面113及底面114的多個第一穿孔115和多個第二穿孔116。第一穿孔115和第二穿孔116分別位于凸肋120的相對二側，而令凸肋120介于第一穿孔115和第二穿孔116之間。藉此，有助于減輕機械手臂I的重量，使機械手臂I更適用于搬運硅晶圓或電子芯片等較精密的工作件。
[0037]更進一步地，第一穿孔和第二穿孔的尺寸和排列方式可以進一步設計以調整機械手臂的重量分布。如圖1至圖3所示，在本實施例中，第一穿孔115和第二穿孔116分別沿凸肋120的長邊方向D排列。這些第一穿孔115的至少其二的孔徑相異，且這些第二穿孔116的至少其二的孔徑相異。更進一步而言，這些第一穿孔115和這些第二穿孔116的孔徑皆自板件110的第二端部112朝向第一端部111的方向逐漸縮小。藉此，機械手臂I的重量分布較為適當，有助于提升機械手臂I在移動中的穩定度。
[0038]在本實施例中，第一穿孔115和第二穿孔116的數量為多個，但本實用新型并不以此為限。在其它實施例中，第一穿孔115和第二穿孔116的數量可各為一。又或者，在其它實施例中，板件110可僅具有一穿孔。
[0039]以下說明機械手臂的使用方式。請參照圖4和圖5。圖4為根據本新型一實施例的機械手臂拿取一工作件的立體示意圖。圖5為根據本新型一實施例的機械手臂拿取一工作件的剖切示意圖。
[0040]在本實施例中，位于凸肋120的第二開孔121b可連通一抽氣裝置(例如為一真空幫補，未繪示)。吸取頭20和板件110的底面114皆面向一工作件2 (例如為一電子芯片)，而臂體10的凸肋120和板件110的頂面113則皆背對工作件2。將吸取頭20抵靠工作件2并且驅動抽氣裝置，使空氣自吸取頭20的吸取孔210依序通過第一開孔121a、抽氣流道121和第二開孔121b而至抽氣裝置，進而令抽氣流道121內部成為真空狀態而能透過吸取頭20吸取工作件2。
[0041]綜上所述，本實用新型公開的機械手臂中，抽氣流道位于臂體的凸肋內部，且凸肋自板件的第一端部延伸至第二端部。抽氣流道沿著凸肋的長邊方向(凸肋的延伸方向)貫穿凸肋，而于板件和凸肋分別形成第一開孔和第二開孔。藉此，可無需于機械手臂外部額外裝設抽氣管，有助于避免因抽氣管干擾機械手臂而不利于順暢地拿取工作件。
[0042]此外，臂體的板件具有多個第一穿孔和多個第二穿孔。藉此，有助于減輕機械手臂的重量，使機械手臂更適用于搬運硅晶圓或電子芯片等較精密的工作件。
[0043]另外，由于凸肋設置于臂體的板件的頂面，而吸取頭的吸取孔則與板件的底面朝同一方向。如此，當使用機械手臂拿取工作件時，吸取頭的吸取孔是面向工作件，而凸肋則背對工作件。藉此，有助于防止機械手臂在旋轉移動的過程中，因凸肋擾動空氣所產生的風壓而令工作件產生晃動或是偏移。
[0044]雖然本實用新型以前述的較佳實施例公開如上，然其并非用以限定本實用新型，任何熟習相像技藝者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內，當可作些許的更動與潤飾，因此本實用新型的專利保護范圍須視本說明書所附的權利要求書所界定的為準。
【主權項】
1.一種機械手臂，其特征在于，包含: 一臂體，內部具有一抽氣流道，該抽氣流道貫穿該臂體而于該臂體的相對兩端部分別形成一第一開孔和一第二開孔；以及 一吸取頭，設置于該臂體，并且具有連通該第一開孔的一吸取孔。
2.如權利要求1所述的機械手臂，其特征在于，其中該臂體包含相固定的一板件和一凸肋，該板件具有相對的一第一端部和一第二端部，該吸取頭位于該第一端部，該凸肋豎立于該板件上，并自該板件的該第一端部延伸至該第二端部，且該抽氣流道沿著該凸肋的長邊方向貫穿該凸肋。
3.如權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，其中該板件具有相對的一頂面和一底面，該吸取頭的該吸取孔與該底面朝同一方向，且該凸肋位于該頂面。
4.如權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，其中該板件具有相對的一頂面和一底面，該板件具有貫穿該頂面及該底面的至少一穿孔。
5.如權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，其中該板件具有相對的一頂面和一底面，該板件具有貫穿該頂面及該底面的的多個第一穿孔和多個第二穿孔，該多個第一穿孔和該多個第二穿孔分別位于該凸肋的相對二側。
6.如權利要求5所述的機械手臂，其特征在于，其中該多個第一穿孔的其二的孔徑相異，且該多個第二穿孔的其二的孔徑相異。
7.如權利要求6所述的機械手臂，其特征在于，其中該多個第一穿孔和該多個第二穿孔的孔徑是由該板件的該第二端部朝向該第一端部的方向逐漸縮小。
8.如權利要求5所述的機械手臂，其特征在于，其中該多個第一穿孔和該多個第二穿孔是分別沿該凸肋的長邊方向排列。
9.如權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，其中該板件的寬度是由該第二端部朝向該第一端部的方向逐漸縮小。
10.如權利要求1所述的機械手臂，其特征在于，其中該臂體的材質包含鋁。
【專利摘要】本實用新型公開一種機械手臂，包含一臂體和一吸取頭，臂體的內部具有一抽氣流道，抽氣流道貫穿臂體而于臂體的相對兩端部分別形成一第一開孔和一第二開孔，吸取頭設置于臂體，并且具有連通第一開孔的一吸取孔。本新型的機械手臂無需于機械手臂外部額外裝設抽氣管，有助于避免因抽氣管干擾機械手臂而不利于順暢地拿取工作件。
【IPC分類】B25J18-00, B25J15-06
【公開號】CN204339798
【申請號】CN201420733713
【發明人】張添登, 許睿謀, 陳鵬飛
【申請人】致茂電子(蘇州)有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2014年11月28日