驅動機構及機器人的制作方法

驅動機構及機器人的制作方法
【專利摘要】根據本發明的驅動機構及機器人，能夠保持潔凈環境的清潔度的同時冷卻驅動源。本發明實施方式涉及的驅動機構具備驅動源、內部空間、供氣扇、以及排氣扇。所述內部空間容納所述驅動源。所述供氣扇向所述內部空間供氣。所述排氣扇從所述內部空間排氣。另外，所述驅動機構利用由所述供氣扇和所述排氣扇產生的氣流，將所述內部空間的內壓維持得比所述內部空間外的氣壓低。
【專利說明】驅動機構及機器人

【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及驅動機構及機器人。

【背景技術】
[0002]以往，在液晶面板顯示器的生產線中，已知搬運構成原材料的玻璃基板的基板搬運用機器人(例如，參照專利文獻1)。為了防止由塵埃(以下，記載為“微粒”)等引起的產品的品質下降，該機器人被置于所謂潔凈室的內部這樣的潔凈環境下。
[0003]另外，為了保持這種清潔環境的清潔度，機器人所具有的臂部的驅動源通常被罩等覆蓋，形成防止來自機器人內部的微粒的飛散的構造。
[0004]專利文獻1:日本特開2002 - 93881號公報


【發明內容】

[0005]本發明要解決的問題
[0006]然而，在上述的以往技術中，存在保持清潔環境的清潔度的同時對驅動源進行冷卻的基礎上進一步進行改善的余地。
[0007]具體而言，由于驅動源如上所述被罩等覆蓋，因此存在所產生的熱難以放出這樣的問題。關于該問題，可以考慮使空氣從配置有驅動源的內部空間向外部放出，但需要一并抑制來自機器人內部的微粒的飛散。
[0008]本發明實施方式的一個方式是鑒于上述問題而做出的，其目的是提供一種能夠保持潔凈環境的清潔度的同時對驅動源進行冷卻的驅動機構及機器人。
[0009]為解決技術問題的方法
[0010]本發明實施方式的一個方式涉及的驅動機構包括驅動源、內部空間、供氣扇、以及排氣扇。所述內部空間容納所述驅動源。所述供氣扇向所述內部空間供氣。所述排氣扇從所述內部空間排氣。另外，所述驅動機構利用由所述供氣扇和所述排氣扇產生的氣流，將所述內部空間的內壓維持得比所述內部空間外的氣壓低。
[0011]發明效果
[0012]根據本發明實施方式的一個方式，能夠保持潔凈環境的清潔度的同時冷卻驅動源。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是第一實施方式涉及的機器人的立體示意圖。
[0014]圖2A是第一關節部周邊的王視不意圖。
[0015]圖2B是第一關節部周邊的側視示意圖。
[0016]圖2C是表不供氣扇和排氣扇的關系的一例的圖。
[0017]圖3A是表示空氣的流動的第一關節部周邊的俯視透視圖。
[0018]圖3B是表示空氣的流動的第一關節部周邊的側視透視圖。
[0019]圖3C是表示工件位于比第一關節部更靠下方位置的狀態的示意圖。
[0020]圖4A是第一變形例涉及的第一關節部周邊的主視示意圖。
[0021]圖4B是第二變形例涉及的第二關節部周邊的主視示意圖。
[0022]圖5是第二實施方式涉及的機器人的立體示意圖。

【具體實施方式】
[0023]以下，參照附圖，對本發明公開的驅動機構和機器人的實施方式進行詳細說明。此夕卜，本發明不限于以下所示的實施方式。
[0024]另外，在下面，以機器人是搬運作為被搬運物的玻璃基板的搬運機器人的情況為例進行說明。另外，對于被搬運物，記載為“工件”。另外，在下面，有時將“構成機械構造并且相互能夠相對運動的各個剛體要素”記載為“連桿”，將該“連桿”記載為“臂”。
[0025]另外，在使用圖1至圖4B的說明中，對以單連桿式機器人為例的第一實施方式進行說明，在使用圖5的說明中，對以雙連桿式機器人為例的第二實施方式進行說明。
[0026](第一實施方式)
[0027]首先，使用圖1對第一實施方式涉及的機器人1的結構進行說明。圖1是第一實施方式涉及的機器人1的立體示意圖。此外，在下面，為了便于說明，設機器人1的旋轉位置處于圖1所示的狀態，對機器人1的各部位的位置關系進行說明。
[0028]另外，為了使說明容易理解，在圖1中，圖示了包含將鉛垂向上設為正方向、將鉛垂向下設為負方向的Z軸的三維正交坐標系。因此，沿XY平面的方向指“水平方向”。以下的說明中使用的其他的附圖中有時也示出了該正交坐標系。另外，在以下的說明中，將從X軸的正方向觀察時規定為“正面”。
[0029]如圖1所示，機器人1具備旋轉機構10、升降臂部20、以及水平臂部30。
[0030]旋轉機構10具備基臺11和旋轉臺12。基臺11例如被設置在地板等上。旋轉臺12以能夠將旋轉軸S作為中心進行旋轉的方式安裝在基臺11的上部。旋轉臺12以作為鉛垂軸的旋轉軸S為中心進行旋轉。通過該旋轉臺12旋轉，升降臂部20和水平臂部30以旋轉軸S為中心旋轉。
[0031]升降臂部20是基端部被旋轉臺12的前端部支承、在前端部支承水平臂部30的部件。機器人1通過使該升降臂部20進行屈伸動作，將工件W在上下方向上搬運(參照圖中的箭頭101)。此外，機器人1可以構成為能夠將大型的工件W在上下方向上搬運幾米規模的大行程式機器人。
[0032]具體而言，升降臂部20具備支柱部21、第一關節部23、第一升降用臂24、第二關節部25、第二升降用臂26、以及第三關節部27。第一關節部23是本實施方式涉及的驅動機構D的一例，本發明的驅動設備使所連結的一對連桿中的一個連桿相對于另一個連桿相對旋轉，對其細節在后面進行敘述。
[0033]支柱部21是從旋轉臺12的前端部沿鉛垂方向豎立設置的連桿。此外，機器人1是具有一個這種支柱部21的單連桿式機器人。
[0034]第一升降用臂24的基端部經由第一關節部23與支柱部21的前端部連結。由此，第一升降用臂24以能夠將作為水平軸的第一關節部23的關節軸“軸U1”作為中心進行旋轉的方式被支承在支柱部21的前端部。
[0035]第二升降用臂26的基端部經由第二關節部25與第一升降用臂24的前端部連結。由此，第二升降用臂26以能夠將作為水平軸的第二關節部25的關節軸“軸U2”作為中心進行旋轉的方式被支承在第一升降用臂24的前端部。
[0036]水平臂部30經由第三關節部27與第二升降用臂26的前端部連結。由此，水平臂部30以能夠將作為水平軸的第三關節部27的關節軸“軸U3”作為中心進行旋轉的方式被支承在第二升降用臂26的前端部。如此，機器人1使用升降臂部20支承水平臂部30。
[0037]水平臂部30具備下側臂單元31a和上側臂單元31b。下側臂單元31a具備伸縮臂部32a、手部33a、以及下側支承部件34a。上側臂單元31b具備伸縮臂部32b、手部33b、以及上側支承部件34b。此外，由于上側臂單元31b是與下側臂單元31a大致相同的構成，因此，在此使用下側臂單元31a的構成部件進行說明。
[0038]伸縮臂部32a的基端部被下側支承部件34a支承，在前端部支承手部33a。手部33a用于載置工件W。下側支承部件34a以能夠將軸U3作為中心進行旋轉的方式被支承在第二升降用臂26的前端部。另外，上側支承部件34b的基端部被固定在下側支承部件34a上。
[0039]然后，機器人1通過使該水平臂部30進行伸縮動作，將工件W在水平方向上搬運。例如，當機器人1位于圖1所示的旋轉位置時，機器人1使伸縮臂部32a、32b伸縮，而使工件W向X軸的正方向或負方向直線移動(參照圖中的箭頭102)。
[0040]此外，如上述的旋轉機構10的旋轉動作、升降臂部20的屈伸動作以及水平臂部30的伸縮動作根據來自控制裝置5的指示來進行，所述控制裝置5經由通信網絡與機器人1連接。
[0041]控制裝置5是進行機器人1的驅動控制的控制裝置。例如，在機器人1的各關節部23、25、27上搭載有使所連結的一對臂的其中一個臂相對于另一個臂相對旋轉的驅動源，控制裝置5指示這些驅動源的驅動。
[0042]驅動源具備馬達部(以下，簡單記載為“馬達”)和減速器部(以下，簡單記載為“減速器”)。減速器是將從馬達輸入的旋轉減速后輸出的傳遞機構。上述的水平臂部30、第一升降用臂24、第二升降用臂26與該減速器的輸出軸連結。
[0043]然后，機器人1按照來自控制裝置5的指示使各馬達分別旋轉任意的角度，并經由減速器使該旋轉減速后輸出，由此使升降臂部20進行屈伸動作。
[0044]作為連接機器人1和控制裝置5的通信網絡，例如，可以使用有線LAN (Local AreaNetwork:局域網)、無線LAN這樣的一般的網絡。此外，雖然在此省略圖示，但旋轉臺12以及伸縮臂部32a、32b上也設置有同樣的驅動源，控制裝置5還進行這些驅動源的驅動指示。
[0045]另外，如圖1所示，第一關節部23還具備供氣扇23a和排氣扇23b。第一關節部23利用由該供氣扇23a和排氣扇23b產生的氣流，將容納驅動源的內部空間的內壓維持得比內部空間外的氣壓低。
[0046]接下來，對該第一關節部23的結構進行具體說明。圖2A是第一關節部23周邊的主視不意圖。圖2B是第一關節部23周邊的側視不意圖。圖2C是表不供氣扇23a和排氣扇23b之間的關系的一例的圖。
[0047]如圖2A所示，第一關節部23連結第一升降用臂24的基端部和支柱部21的前端部。另外，如已經敘述那樣，第一關節部23具備供氣扇23a和排氣扇23b。
[0048]另外，如圖2B所示，第一關節部23還具備馬達23c、減速器23d、以及馬達罩23e。另外，第一關節部23具有由支柱部21、第一升降用臂24的各框架、以及馬達罩23e形成的內部空間SP。
[0049]供氣扇23a向該內部空間SP供氣，排氣扇23b從該內部空間SP排氣。
[0050]另外，馬達23c和減速器23d與軸U1大致同軸配置，并被容納在該內部空間SP中。此外，馬達23c和減速器23d通過分別與該馬達23c以及減速器23d相接的隔壁21a而被分隔。
[0051]具體而言，在第一關節部23中，馬達23c被固定在支柱部21的隔壁21a上，減速器23d被固定在第一升降用臂24上。
[0052]減速器23d例如是RV (Rotary Vector:旋轉向量)式減速器,并具備主體部、輸入部、以及輸出部。主體部和輸入部被固定在第一升降用臂24上。
[0053]該減速器23d的輸入部與馬達23c的輸出軸連接，并接收馬達23c的旋轉力的輸入。并且，當馬達23c的旋轉力被輸入到該輸入部時，減速器23d使輸出部(23da，參照圖3A)以比馬達23c的轉速更慢的轉速旋轉。
[0054]該減速器23d的輸出部(23da)被固定在支柱部21的隔壁21a上。因此，在第一關節部23中，當馬達23c的旋轉被輸入到減速器23d的輸入部時，減速器23d的主體部相對于被固定在隔壁21a上的輸出部(23da)相對旋轉。其結果是，在第一關節部23中，固定減速器23d的主體部一側的第一升降用臂24旋轉，第一升降用臂24相對于支柱部21的姿態發生變化。
[0055]另外，如圖2B所示，排氣扇23b具有空氣過濾器23ba。對于空氣過濾器23ba，優選為如HEPA過濾器(High Efficiency Particulate Air Filter:高效微粒空氣過濾器)、ULPA過濾器(Ultra Low Penetrat1n Air Filter:超低滲透空氣過濾器)這樣的潔凈室用的高性能過濾器。
[0056]另外，排氣扇23b還具有罩23bb。此外，雖然在圖2B中難以理解，但罩23bb形成為越過空氣過濾器23ba將排氣流向下方引導的形狀，例如，在下方具有開口部。另外，排氣扇23b被設置在馬達23c的負載相反側(相對于馬達23c而言,減速器23d的相反側)。
[0057]另外，如圖2A所示，供氣扇23a被設置在從正面觀察第一關節部23時、即從軸向U1觀察時的、馬達部23c(參照圖2A、圖2B)的周圍。另外，此時，供氣扇23a以使供氣流吹向上述的隔壁21a的方式被設置。即，馬達部和減速器部通過分別與馬達部和減速器部相接的隔壁而被分隔，供氣扇被配置在相對于隔壁而言馬達部側，并以使供氣流吹向隔壁的方式被設置。
[0058]在此，對供氣扇23a和排氣扇23b的關系的一例進行說明。在本實施方式中，供氣扇23a的流量被設置為小于排氣扇23b的流量。
[0059]例如，如圖2C所示，當每一個供氣扇23a的流量為“a”時，作為排氣扇23b，選擇大于每一個供氣扇的流量的2倍“2a”的流量的風扇。此外，在此，“流量”設為供氣扇23a和排氣扇23b各自的額定流量。
[0060]另外，該情況下，相對于設置有一個排氣扇23b的情況,供氣扇23a被設置排氣扇的2倍即兩個。因此，在此，供氣扇23a的總流量<排氣扇23b的總流量。
[0061]在本實施方式中，通過如此組合供氣扇23a和排氣扇23b，利用這些風扇所產生的氣流，將內部空間SP的內壓維持得比內部空間SP外的氣壓低。由此，首先，由于內部空間SP不會是正壓，因此能夠抑制機器人1內部的微粒飛散。此外，毋庸置疑圖2C所示的組合僅是一個例子。
[0062]返回到圖2A的說明。按上述圖2C的組合選擇出的供氣扇23a和排氣扇23b例如，如圖2A所示，被設置成使中心部的高度位置對齊且將排氣扇23b配置在中央的橫向排列。
[0063]此外，基于供氣扇23a和排氣扇23b的冷卻性能例如受內部空間SP的形狀、空間容積等諸多條件影響。因此，對于供氣扇23a和排氣扇23b的配置方式，優選為基于實驗數據等選擇最佳的配置方式。此外，在本實施方式中，設為圖2A所示的配置方式來進行說明。
[0064]另外，如圖2A所示，排氣扇23b優選為其中心部從軸U1偏離距離ο。這是為了防止:由于排氣扇23b具有空氣過濾器23ba，并進一步用罩23bb覆蓋該空氣過濾器23ba，因此由它們的厚度使機器人1的最小回轉直徑增大。距離ο是與罩23bb的外形等相應的距離即可。此外，如果對最小回轉直徑沒有影響，則也可以不進行這樣的偏離。
[0065]接下來，使用圖3A和圖3B，對由供氣扇23a和排氣扇23b產生的空氣的流動進行具體說明。圖3A是表示空氣的流動的第一關節部23周邊的俯視透視圖。圖3B是表示空氣的流動的第一關節部23周邊的側視透視圖。
[0066]如圖3A所示，首先，內部空間SP外的空氣通過供氣扇23a被供給至內部空間SP (參照圖中的箭頭301)。
[0067]并且，如圖3A或圖3B所示，被供給至內部空間SP的空氣通過供氣扇23a被吹向隔壁21a，而形成沿隔壁21a流動的氣流。另外，與此同時，通過排氣扇23b的旋轉，形成從馬達23c的負載側(減速器側)沿負載相反側引導的氣流(參照兩圖中的箭頭302)。
[0068]并且，如圖3A或圖3B所示，被排氣扇23b引導的空氣經由空氣過濾器23ba被除塵之后，通過罩23bb向下方被引導而被排出(參照兩圖中的箭頭303)。
[0069]在此，對通過這樣的空氣流動獲得的效果進行說明。首先，減速器23d主要通過被吹向隔壁21a的空氣冷卻。這是因為:隔壁21a發揮所謂散熱板的作用，擴散在輸出部23da中與隔壁21a相接的減速器23d的熱。
[0070]因此，優選地，至少隔壁21a是導熱性良好的鋁等金屬材料。另外，也可以通過在隔壁21a上設置散熱片，來實現冷卻效率的進一步提高。
[0071]另外，馬達21c與減速器23d —起受到由隔壁21a產生的熱的散熱效果，并且通過沿馬達21c流動的空氣也被散熱。這對于冷卻比減速器23d更容易處于高溫的馬達21c而目是有效的。
[0072]另外，如上所述，由于利用由供氣扇23a和排氣扇23b產生的氣流，將內部空間SP的內壓維持得比內部空間SP外的氣壓低，因此內部空間SP內的微粒的飛散得到抑制。
[0073]而且，由于進一步對內部空間SP內的空氣通過作為高性能過濾器的空氣過濾器23ba進行除塵，因此能夠從內部空間SP的內部向外部排出清潔的空氣。即，能夠保持潔凈環境的清潔度的同時冷卻驅動源。
[0074]另外，在本實施方式涉及的機器人1的情況，當將工件W在上下方向上搬運時，具有能夠更有效地防止工件W的污染這樣的優點。關于該點，使用圖3C進行具體說明。
[0075]圖3C是表示工件W位于比第一關節部23更靠下方的位置的狀態的示意圖。此外，在圖3C中，使用表示關節的附圖標記，極其示意性地表示機器人1。
[0076]如圖3C所示，有時機器人1采取如下姿態:將工件W在上下方向上搬運時，使第一關節部23、第二關節部25以及第三關節部27旋轉，而使水平臂部30所保持的工件W位于比第一關節部23更靠下方的位置。
[0077]即使是采取這樣的姿態的情況下，根據本實施方式，也能夠冷卻驅動源而不污染工件W。S卩，能夠利用由供氣扇23a和排氣扇23b產生的氣流，如上所述地有效地冷卻馬達23c和減速器23d。
[0078]另外，利用由供氣扇23a和排氣扇23b產生的氣流，將內部空間SP的內壓維持得比內部空間SP外的氣壓低，內部空間SP內的微粒的飛散得到抑制的同時，內部空間SP內的微粒進一步經由空氣過濾器23ba被除塵。
[0079]而且，該被除塵的空氣進一步朝向第一關節部23的大致正下方被排出。因此，即使機器人1采取如圖3C的姿態時，也能夠防止工件W因排氣而被污染。即，能夠保持潔凈環境的清潔度的同時冷卻驅動源。
[0080]另外，除了上述的效果以外，在本實施方式中，不將由供氣扇23a供給的空氣直接吹向馬達23c、減速器23d，而吹向隔壁21a，因此能夠防止在馬達23c、減速器23d中發生結露。
[0081]此外，至此，以將按上述圖2C的組合選擇出的供氣扇23a和排氣扇23b配置成使中心部的高度位置對齊的橫向排列的配置方式為例進行了列舉，但配置方式不限于此。
[0082]圖4A是第一變形例涉及的第一關節部23A周邊的主視不意圖。另外，圖4B是第二變形例涉及的第一關節部23B周邊的主視示意圖。
[0083]例如，作為第一變形例，如圖4A所示，也可以不將供氣扇23a和排氣扇23b在水平方向上橫向排列，而配置成供氣扇23a相對于水平方向呈傾斜的配置方式。
[0084]另外，例如，作為第二變形例，如圖4B所示，也可以將在水平方向上橫向排列地配置的供氣扇23aX2個以及排氣扇23bX 1個的組合配置成上下兩組。
[0085]這些第一變形例和第二變形例的配置方式如上所述，例如為根據內部空間SP的形狀、空間容積等諸多條件，使冷卻效率達到最佳那樣的方式即可。
[0086]另外，至此，供氣扇23a的流量設為小于排氣扇23b的流量，該流量設為供氣扇23a和排氣扇23b的額定流量，但是，例如，也可以為相同的額定流量。
[0087]此時，將流量設為實際流動的空氣的量的基礎上，以使供氣扇23a的流量小于排氣扇23b的流量的方式，適當控制供氣扇23a和排氣扇23b各自的轉速即可。
[0088]這可以通過設為能夠由控制裝置5控制供氣扇23a和排氣扇23b的旋轉的連接結構，并將內部空間SP的內壓由壓敏傳感器等適當檢測出并輸出到控制裝置5來實現。
[0089]另外，也可以在排氣扇23b的附近設置溫度傳感器的基礎上，利用控制裝置5依次監視來自排氣扇23b的排氣的溫度，并根據該溫度，控制裝置5控制供氣扇23a和排氣扇23b各自的轉速。
[0090]如上所述，第一實施方式涉及的驅動機構(第一關節部)包括驅動源、內部空間、供氣扇、以及排氣扇。上述內部空間容納上述驅動源。上述供氣扇向上述內部空間供氣。上述排氣扇從上述內部空間排氣。
[0091]另外，上述驅動機構利用由上述供氣扇和上述排氣扇產生的氣流，將上述內部空間的內壓維持得比上述內部空間外的氣壓低。
[0092]因此，根據第一實施方式涉及的驅動機構，能夠保持潔凈環境的清潔度的同時冷卻驅動源。
[0093]然而，至此，以機器人為單連桿式機器人的情況為例進行了說明，但機器人也可以是雙連桿型。將這種情況作為第二實施方式，利用圖5進行說明。
[0094](第二實施方式)
[0095]圖5是第二實施方式涉及的機器人la的立體示意圖。此外，在第二實施方式中，主要只對與第一實施方式不同的構成要素進行說明。
[0096]如圖5所示，機器人la具備基臺11、旋轉臺12、第一升降臂部20 — 1、以及第二升降臂部20 - 2。第一升降臂部20 - 1具備支柱部21 - 1和第一關節部23 — 1。另外，第二升降臂部20 — 2具備支柱部21 — 2和第一關節部23 — 2。
[0097]支柱部21 — 1、21 — 2分別豎立設置在圍繞旋轉軸S旋轉的旋轉臺12左右的兩端部。第一關節部23 - 1、23 - 2將支柱部21 — 1、21 — 2的前端部、和與它們相鄰的連桿(參照圖1的第一升降用臂24)的基端部以能夠分別圍繞軸Ul - 1、U1 — 2旋轉的方式連結。
[0098]即，如圖5所不，機器人la是具有從兩根支柱部(21 — 1,21 — 2)延伸的兩個升降臂部(20 — 1,20 — 2)的雙連桿式機器人。
[0099]通過構成為這種雙連桿型，機器人la能夠獲得由兩個升降臂部(20 — 1，20 — 2)實現的高剛性，因此能夠實現撓曲小的高精度的上下方向的搬運。這一點對工件W是大型工件的情況等是有用的。
[0100]并且，本實施方式涉及的驅動機構D適合用作該機器人la的第一關節部23 — 1、23 - 2。由此，機器人la當將工件W在上下方向搬運時，即使采取使水平臂部30所保持的工件W位于比第一關節部23更靠下方的位置的姿態的情況下，也能夠冷卻驅動源而工件W不會被排氣污染。
[0101]根據上述的實施方式的具有驅動設備的機器人還具備:豎立設置的至少一個支柱部；經由驅動機構能夠相對于支柱部相對旋轉的方式被連結于該支柱部的臂部；以及與臂部連結并保持基板的保持部，即使因臂部旋轉而使基板位于比驅動機構更靠下方的位置，基板也不會被來自排氣扇的排氣流污染。
[0102]此外，在上述的各實施方式中，機器人可以構成為大行程式機器人，但也可以為小行程式機器人。
[0103]另外，在上述的各實施方式中，主要以升降臂部的第一關節部為例進行了說明，但只要是使相對于沿鉛垂方向豎立設置的支柱部連結的連桿相對旋轉的關節，則不限定部位。
[0104]另外，在上述的各實施方式中，以驅動機構用作機器人的關節機構的情況為例進行了說明，但不限于此。因此，例如，驅動機構也可以設置在機器人以外的裝置中，并僅將驅動源的驅動力向外部輸出。
[0105]另外，在上述的各實施方式中，以供氣扇被設置排氣扇的2倍個數的情況為例進行了說明，但并不限定供氣扇和排氣扇兩者的個數之比。因此，根據內部空間的形狀等，設為獲得最佳的冷卻效率的個數比即可。
[0106]另外，在上述的各實施方式中，以機器人是對玻璃基板進行搬運的搬運機器人的情況為例進行了說明，但不限制被搬運物的類別。另外，機器人也可以是進行搬運作業以外的作業的機器人。
[0107]另外，機器人的臂的數量、手的數量、軸數等不限于上述的各實施方式。
[0108]本領域的技術人員能夠容易地導出本發明的進一步的效果和變形例。因此，本發明的更廣泛的方式不限于如上表示并記述的特定的詳細和典型的實施方式。因此，在不脫離由所附權利要求書及其等同物定義的總的發明概念的精神或范圍的情況下，能夠進行各種變更。
【權利要求】
1.一種驅動機構，其特征在于，具備: 驅動源； 內部空間，其容納所述驅動源； 供氣扇，其向所述內部空間供氣；以及 排氣扇，其從所述內部空間排氣， 利用由所述供氣扇和所述排氣扇產生的氣流，將所述內部空間的內壓維持得比所述內部空間外的氣壓低。
2.根據權利要求1所述的驅動機構，其特征在于， 所述供氣扇的額定流量小于所述排氣扇的額定流量。
3.根據權利要求2所述的驅動機構，其特征在于， 所述供氣扇被設置有所述排氣扇的2倍個數。
4.根據權利要求1、2或3所述的驅動機構，其特征在于， 所述驅動源具備: 馬達部；以及 減速器部，其將從所述馬達部輸入的旋轉減速后輸出。
5.根據權利要求4所述的驅動機構，其特征在于， 所述供氣扇被設置在從所述驅動源的軸向觀察時的、所述馬達部的周圍， 所述排氣扇被設置在所述馬達部的負載相反側。
6.根據權利要求5所述的驅動機構，其特征在于， 所述馬達部和所述減速器部通過分別與該馬達部和該減速器部相接的隔壁而被分隔，所述供氣扇被配置在相對于隔壁的所述馬達部側，并以使供氣流吹向所述隔壁的方式被設置。
7.根據權利要求1至3中任一項所述的驅動機構，其特征在于， 所述排氣扇具有空氣過濾器。
8.根據權利要求1至3中任一項所述的驅動機構，其特征在于， 所述排氣扇具有罩，所述罩形成為將排氣流向下方引導的形狀。
9.一種機器人,其特征在于， 具備權利要求1至3中任一項所述的驅動機構， 所述驅動機構使所連結的一對連桿中的一個連桿相對于另一個連桿相對旋轉。
10.根據權利要求9所述的機器人，其特征在于，還具備: 豎立設置的至少一個支柱部； 臂部，其經由所述驅動機構以能夠相對于所述支柱部相對旋轉的方式連結于所述支柱部；以及 保持部，其與所述臂部連結并保持基板， 即使因所述臂部旋轉而使所述基板位于比所述驅動機構更靠下方的位置，所述基板也不會被來自所述排氣扇的排氣流污染。
【文檔編號】B25J9/08GK104249377SQ201410281374
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2014年6月20日 優先權日:2013年6月25日
【發明者】浪江泰介, 井上久哉, 末吉智 申請人:株式會社安川電機