專利名稱：一種ic芯片測試分選機的測試抓手組合模組裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種IC芯片測試機的測試抓手組合模組裝置，更準確地說，涉及能將前、后側料船裝置左料船送來的芯片，由前、后側測試抓手總成組合逐一抓放到測試機的對應測試位置進行測試，之后又能將測試完成并獲得品質結果信息的芯片放到前、后側料船裝置的右料船上，被輸送到下一道工序去進行品質分選的一種IC芯片測試分選機的測試抓手組合模組裝置。
背景技術：
IC芯片完成加工制造工序后，需要一一進行測試，最初，人們對芯片測試后，是靠人工分類放置的，不僅效率低，還容易發生錯誤。目前已有自動測試分選機，但在測試過程中的送料和下料的抓手結構單一，數量有限，因此生產效率低，適應產品品種的規格少。
實用新型內容本實用新型為了解決現有技術中存在的問題，提供了一種IC芯片測試分選機的測試抓手組合模組裝置，其結構新穎、功能全面、生產效率高，能同時抓取至少四塊芯片進行測試。為實現上述目的，本實用新型的技術方案是一種IC芯片測試分選機的測試抓手組合模組裝置，包括至少一個測試抓手組合運動模組，所述測試抓手組合運動模組包括安裝板，還包括測試抓手總成組合升降滑塊、測試抓手總成組合左右移動滑塊，所述安裝板的上方設有可將測試抓手總成組合升降滑塊上下移動的垂直移動裝置；所述安裝板的下方設有將測試抓手總成組合左右移動滑塊水平移動的水平移動裝置；還設有下端固聯有測試抓手總成裝置的測試抓手總成組合連接板，所述測試抓手總成組合連接板垂直導軌式地卡合與測試抓手總成組合左右移動滑塊，其上端水平導軌式地卡合與測試抓手總成組合升降滑塊。優選的是，所述垂直移動裝置為受控于伺服電機的豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動，所述測試抓手總成組合升降滑塊和豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動配合。優選的是，所述測試抓手總成組合升降滑塊上位于豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動的兩側和安裝板導軌式配合。優選的是，所述水平移動裝置為受控于伺服電機的橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動，所述測試抓手總成組合左右移動滑塊和橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動配合。優選的是，所述測試抓手總成組合左右移動滑塊上位于橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動的兩側和安裝板導軌式配合。優選的是，所述測試抓手總成包括4個吸嘴，所述安裝板上設有和吸嘴連通的真
空發生器。優選的是，所述測試抓手組合運動模組為2個，分別為平行相對設置的前側測試抓手組合運動模組和后側測試抓手組合運動模組，通過其安裝板頂端設置的連接頂板固聯。本實用新型的測試抓手組合模組裝置具有兩組測試抓手總成組合，每組測試抓手總成由各自的前側測試抓手組合運動模組和后側測試抓手組合運動模組帶動，可在在前、后和上、下兩個方向上實現測試抓手總成組合的移動，有利于其下方的四個吸嘴準確抓取芯片完成測試。其結構新穎 、功能全面、生產效率高，能同時抓取至少四塊芯片進行測試。
圖I示出了本實用新型測試抓手組合模組裝置的結構示意圖。圖2示出了圖I中前側測試抓手組合運動模組的結構示意圖。圖3示出了本實用新型測試抓手總成裝置的結構示意圖。圖4示出了圖3中上部總成的結構示意圖。圖5示出了圖3中下部總成的結構示意圖。其中，附圖1-2中的標號如下501 —豎向伺服電機、502 —橫向伺服電機、503 —測試抓手總成組合連接板、51 —測試抓手總成裝置、505 —橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動、506 一測試抓手總成組合升降滑塊、507 —豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動、508 —左側安裝板、509 一同步傳送帶、510 —左側豎板、511 —右側豎板、513 —連接橫板、514 —連接頂板、516 —真空發生器。附圖3-5中的標號如下5101 —上固定板、5102 —真空接頭、5103 —加熱棒、5104 —感溫頭、5105 —吸料板、5106 —快速卡扣、5107 —隔熱板、5108 —缸筒、5111 —吸嘴外套、5112 —活塞桿連接過渡板、5113 —活塞、5114 —活塞上密封蓋板、5115 —氣管接頭、5116 —壓縮彈簧、5117 —加熱板、5118 —固定導向銷安裝板、5119 —固定導向銷、5120 —導向槽、5121 —卡座、5122 —吸嘴安裝板、5123 —防旋轉導向銷、5124 —吸嘴壓縮彈簧、5125 一吸嘴桿、5126 —限位蓋板、5127 —測試定位套、5128 —密封圈、5129 —防旋轉導向缺口、51a —上部總成、51b —下部總成。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
做進一步說明。本實用新型的“垂直導軌式地卡合”指的是兩個部件之間導軌式配合，并且兩個部件可相對垂直滑動。“水平導軌式地卡合”指的是兩個部件之間導軌式配合，并且兩個部件可相對水平滑動。本實用新型的測試抓手組合模組裝置如圖I、圖2所示，該裝置主要由豎向伺服電機501、橫向伺服電機502、測試抓手總成組合連接板503、測試抓手總成裝置51、橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動505、測試抓手總成組合升降滑塊506、豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動507、左側安裝板508、同步傳送帶509、左側豎板510、右側豎板511、連接橫板513、連接頂板514、真空發生器516等組成。該裝置由前、后兩組結構和性能完全相同的測試抓手組合運動模組組成，前側測試抓手組合運動模組安裝在用于固定在工作臺面上的左側豎板510上，對應前側料船裝置設置，專門將前側料船裝置左料船上的芯片從左料船移入到測試機的對應測試位進行測試，測試完成后又將其放入前側料船裝置的右料船上；后側測試抓手組合運動模組安裝在用于固定在工作臺面上的右側豎板511上，對應后側料船裝置設置，專門將后側料船裝置左料船上的芯片從左料船移入到測試機的對應測試位進行測試，測試完成后又將其放入后側料船裝置的右料船上。左側豎板510和右側豎板511通過一連接橫板513和一連接頂板514固聯在一起。其中，左側豎板510的背面還設有真空發生器516，為測試抓手組合運動模組的吸嘴提供吸附的動力。以前側測試抓手組合運動模組為例，說明測試抓手組合模組裝置的結構組成。安裝在左側安裝板508上的豎向伺服電機501，其通過同步傳送帶509帶動固裝在左側安裝板508上的豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動507，從而帶動豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動上的測試抓手總成組合升降滑塊506上下移動，豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動507主要包括一根滾軸絲杠，其和測試抓手總成組合升降滑塊配合，實現測試抓手總成組合升降滑塊506的上下移動。為了穩固測試抓手總成組合升降滑塊506的滑動，其位于豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動507的兩側和左側安裝板508導軌式配合，即起到一個導向的作用，也起到一個穩定測試抓手總成組合升降滑塊506的作用。其中現有技術中還有許多垂直移動裝置可以實現測試抓手總成組合升降滑塊506的上下滑動，比如說滑輪、拖鏈或可控制的氣缸等，在此不一一列舉。 橫向伺服電機502帶動橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動505，從而帶動固聯在該滑塊組合傳動上的測試抓手總成組合左右移動滑塊518左右移動，橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動505主要包括一根滾軸絲杠，其和測試抓手總成組合左右移動滑塊518配合，實現測試總成組合左右移動滑塊518的左右移動。其位于橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動505的兩側和左側安裝板508導軌式配合，即起到一個導向的作用，也起到一個穩定測試抓手總成組合左右移動滑塊518的作用。其中，測試抓手總成組合左右移動滑塊518上豎直地滑動配合一測試抓手總成組合連接板503，測試抓手總成組合連接板503的頂端和測試抓手總成組合升降滑塊506導軌式配合，這樣，測試抓手總成組合左右移動滑塊518在帶動測試抓手總成組合連接板503橫向運動的時候，測試抓手總成組合連接板503也沿著測試抓手總成組合升降滑塊506上的導軌橫向滑動。同時，測試抓手總成組合升降滑塊506在上下移動的時候，也帶動測試抓手總成組合連接板503沿著測試抓手總成組合左右移動滑塊518上的導軌上下移動。從而使得固聯在測試抓手總成組合連接板503上的測試抓手總成裝置51上下、左右移動。其中現有技術中還有許多水平移動裝置可以實現測試抓手總成組合左右移動滑塊518的上下滑動，比如說拖鏈或可控制的氣缸等，在此不一一列舉。測試抓手總成裝置51由兩個結構原理完全相同的測試抓手組成，每個測試抓手總成裝置上有兩個吸嘴桿，每個吸嘴桿可以吸住一塊待測芯片。安裝在前側測試抓手組合運動模組上的測試抓手總成51可以同時抓取四塊芯片。當前側料船裝置的左料船載著第一組四塊待測芯片到達前側測試抓手裝置對應的位置時，前側測試抓手裝置的橫向電機502啟動，使前側測試抓手裝置的測試抓手總成裝置51移動到前側料船裝置左料船的上方，之后豎向伺服電機501啟動，使測試抓手總成裝置51向下移動，直到測試抓手總成下方的四個真空吸嘴與左料船上的四塊芯片各自對齊接觸，并吸住芯片，然后豎向伺服電機501和橫向伺服電機502相繼協調啟動，將吸住芯片的測試抓手總成裝置51快速移動到測試機前側測試位的上方(與此同時，前側料船裝置也向左移動，準備再接收新的待測芯片，同時前側料船裝置的右料船到達前側測試抓手裝置的對應位置，準備接收測試后的芯片)，之后，豎向伺服電機501下降，使待測四塊芯片的各測試點位與測試機上的各測試頭接觸，進行測試。測試完成后，豎向伺服電機501和橫向伺服電機502相繼協調啟動，將測試過的第一組四塊芯片放到前側料船裝置的右料船上。之后，前側料船裝置向右移動，將第一組四塊測試過的芯片送到下料分選抓手平臺裝置對應位置，等待分類分選放置。與此同時，前側料船裝置的左料船又將第三組四塊芯片送到前側測試抓手裝置對應的位置，等待前側測試抓手裝置對其進行測試抓料。如此反復，就能將前側料船裝置上的待測芯片進行一一測試。當后側料船裝置的左料船載著第二組四塊待測芯片到達后側測試抓手裝置對應的位置時，后側測試抓手裝置的橫向電機502啟動，使測試抓手總成裝置51移動到后側料船裝置左料船的上方，之后豎向伺服電機501啟動，使測試抓手總成裝置51向下移動，直到測試抓手總成下方的四個真空吸嘴與左料船上的四塊芯片各自對齊接觸，并吸住芯片，然后豎向伺服電機501和橫向伺服電機502相繼協調啟動，將吸住芯片的測試抓手總成快速移動到測試機后側測試位的上方(與此同時，后側料船裝置也向左移動，準備再接收新的待測芯片，同時后側料船裝置的右料船到達后側測試抓手裝置的對應位置，準備接收測試后 的芯片)，之后，豎向伺服電機501下降，使待測四塊芯片的各測試點位與測試機上的各測試觸點接觸，進行測試。測試完成后，豎向伺服電機501和橫向伺服電機502協調啟動，將測試過的第二組四塊芯片放到后側料船裝置的右料船上。之后，后側料船裝置向右移動，將第二組四塊測試過的芯片送到下料分選抓手平臺裝置對應位置，等待分類分選放置。與此同時，后側料船裝置的左料船又將第四組四塊芯片送到后側測試抓手裝置對應的位置，等待后側測試抓手裝置對其進行測試抓料。如此反復，就能將后側料船裝置上的待測芯片進行一一測試。本實用新型的測試抓手組合模組裝置具有兩組測試抓手總成組合，每組測試抓手總成由各自的前側測試抓手組合運動模組和后側測試抓手組合運動模組帶動，可在在前、后和上、下兩個方向上實現測試抓手總成組合的移動，有利于其下方的四個吸嘴準確抓取芯片完成測試。其結構新穎、功能全面、生產效率高，能同時抓取至少四塊芯片進行測試。本實用新型的測試抓手總成裝置51可以采用本領域所熟知的結構，優選的結構如圖3所示，該總成裝置由活塞微調及加熱模組51a、真空吸嘴抓手模組51b兩部分組成，前者在上(簡稱上部總成)后者在下(簡稱下部總成)地固定在一起，兩者用快速卡扣勾連。活塞微調及加熱模組一方面為真空吸嘴抓手模組的吸嘴提供定值穩定的熱源，以便保證吸嘴吸住的料塊達到料塊測試要求的溫度；另一方面為真空吸嘴與料塊間提供可調的距離要求，保證吸嘴與料塊的接觸力度穩定。測試抓手總成裝置主要由上固定板5101、真空接頭5102、加熱棒5103、感溫頭5104、吸料板5105、快速卡扣5106、隔熱板5107、缸筒5108、緊固螺釘5109、水平調節螺旋5110、吸嘴外套5111、活塞桿連接過渡板5112、活塞5113、活塞上密封蓋板5114、氣管接頭5115、壓縮彈簧5116、加熱板5117、固定導向銷安裝板5118、固定導向銷5119、導向槽5120、卡座5121、吸嘴安裝板5122、防旋轉導向銷5123、吸嘴壓縮彈簧5124、吸嘴桿5125、吸嘴限位蓋板5126、測試定位套5127、密封圈5128、防旋轉導向缺口5129等組成。活塞微調及加熱模組51a (下稱上部總成51a)的結構如圖4所示，中部設有通孔的活塞上密封蓋板5114將帶活塞桿的活塞5113以及套在活塞桿上的壓縮彈簧5116用螺栓封裝在缸筒5108內，上固定板5101與活塞上密封蓋板5114之間用螺栓固聯。上固定板5101設有氣管接頭5115，從氣管接頭5115進入的空氣穿過上固定板5101內部設置的氣體通道，并從上固定板5101中部的設置的氣孔出口穿過，上固定板5101與活塞上密封蓋板5114固聯后，氣孔出口和活塞上密封蓋板5114的通孔對應。這樣，壓縮空氣可從上固定板5101上的氣管接頭5115進入，經過上固定板5101中心部位的小孔出來，從活塞上密封蓋板5114中心部位到達活塞5113的頂部，推動活塞5113克服壓縮彈簧5116的阻力向下移動，當氣管接頭5115通氣中斷，壓縮彈簧5116使活塞5113向上復位。與缸筒5108下端固聯的固定導向銷安裝板5118的下端固聯有活塞桿連接過渡板5112，可以用螺絲或其它手段將活塞桿連接過渡板5112與活塞5113的活塞桿的下端固聯，固聯時要保證固定導向銷安裝板5118上設置的固定導向銷5119與活塞桿連接過渡板5112上設置的導向槽5120對正，從而在活塞5113在上下移動的時候，能保證活塞桿連接過渡板5112不會發生轉動。其中，固定導向銷安裝板5118不是必須的，例如，可以將活塞桿連接過渡板5112直接固聯在活塞桿的下端，將固定導向銷5119設置在缸筒5108的側壁或端部，亦可實現相同的功能。 加熱板5117和隔熱板5107通過螺栓與活塞桿連接過渡板5112固聯，當活塞5113帶動活塞桿連接過渡板5112上下移動時，加熱板5117也將上下移動。隔熱板5117是防止加熱板5117上的熱量向上傳給活塞缸等部分。加熱板5117上設置有真空接頭5102、加熱棒5103、感溫頭514和卡座5121。真空接頭5102是為下部總成51b的真空吸嘴提供真空氣路的，加熱棒5103是為加熱板5117提供加熱溫度的，感溫頭5104是控制加熱板溫度的，卡座5121是固定下部總成51b的快速卡扣的。真空吸嘴抓手模組51b (下稱下部總成51b)的結構如圖5所示，吸嘴桿5125由吸嘴桿主體(上部桿和下部桿)和不完整圓盤(在吸嘴桿中部)組成，吸嘴桿5125的上部桿套有吸嘴壓縮彈簧5124，該吸嘴壓縮彈簧5124是當吸嘴桿吸取芯片并與芯片接觸受擠壓時起緩沖作用。先將套有吸嘴壓縮彈簧5124的吸嘴桿5125放入吸嘴限位蓋板5126設置的凹槽中并使吸嘴桿5125的下部桿穿出，該凹槽的形狀和吸嘴桿不完整圓盤的形狀相似，因為是不完整圓盤，所以可以防止吸嘴桿轉動。上述不完整的圓盤可以是類似“D”字形的形狀，也可以是呈扇形等。還可以在不完整圓盤上設有防旋轉導向缺口 5129，它與固裝在吸嘴安裝板5122下面的防旋轉導向銷5123配合使用，也可使吸嘴桿5125在上下移動的時候不會發生轉動。吸嘴桿5125的上部桿神入吸嘴安裝板5122上設置的通孔中，并可在通孔中做微量的上下移動。再用螺栓將吸嘴限位蓋板5126與吸嘴安裝板5122固聯，將吸嘴桿5125封裝起來。固聯時要使防旋轉導向銷5123和防旋轉導向缺口 5129—一對應配合，還要使吸嘴桿5125的上部與吸嘴安裝板22上的孔配合，保證吸嘴桿能在該孔中做微量上下移動。然后將吸嘴限位蓋板5126裝入吸料板5105設置的形狀和吸嘴限位蓋板5216形狀相似的凹槽中，凹槽的深度使得可以用螺栓將吸嘴安裝板5122和吸料板5105固聯，同時，吸嘴桿5125的下部桿穿過吸料板5105下端設置的吸嘴外套5111，從而使得吸嘴桿的下部桿能自由在該外套內上下微量移動。其中，吸嘴限位蓋板5126和吸料板5105也可以是一體的。在此，可將吸嘴安裝板、吸料板看成下部總成的外殼，吸嘴安裝板構成該外殼的頂端，吸料板作為該外殼的底端。[0037]組合的時候，將吸嘴安裝板5122上設置的快速卡扣5106扣合在加熱板5117的卡座5121上，將真空吸嘴抓手模組51b (下部總成)與活塞微調及加熱模組51a (上部總成)連成一體。真空接頭5102通過吸嘴安裝板5122上的通孔為吸嘴桿提供真空氣路。吸嘴安裝板5122和加熱板5117之間的通孔加設一個密封圈5128，以保證從上部總成的加熱板5117上的真空接頭5102能有效地與吸嘴桿25形成密封穩定通路。非工作狀態和抓料時，吸嘴桿5125的 下端平面比吸嘴外套5111的下端平面突出約O. 5_，在測試過程中，吸嘴桿5125吸住芯片。在吸料板5105的兩側固裝有測試定位套5127，它的作用是，當芯片被移送到測試位置時，為了使芯片的測試位置與測試機對應的測試頭對齊，該測試定位套5127應保證準確套入測試機測試位置的測試定位銷(或者定位針)中。本實用新型的測試抓手總成裝置51的工作狀態如下當測試抓手總成裝置到達左料船的被抓待測芯片上方且其上的吸嘴桿5125的吸嘴與芯片快要接觸時，真空接頭5102立即接通，使吸嘴桿5125的吸嘴吸住芯片，然后隨測試抓手總成裝置到達測試機的對應測試位置，在待測芯片的測試點與測試機對應的測試頭接觸時，氣管接頭5115立即通氣，推動活塞5113向下微微移動，通過與活塞、和活塞桿連接的吸嘴安裝板5122推動吸嘴與芯片進一步壓緊測試頭，在此過程中，吸嘴桿5125受到反作用力而使吸嘴壓縮彈簧24縮短，吸嘴桿5125在吸嘴外套5111中向上移動，直到使吸嘴外套5111下端面將芯片表面壓緊為止，并始終保持這種壓緊狀態，直到芯片測試完成為止。當芯片測試完成后，氣管接頭5115斷氣，壓縮彈簧5116使活塞復位，吸嘴外套5111下端面因此離開芯片表面，吸嘴桿5125的吸嘴吸住測試的芯片，并在吸嘴壓縮彈簧5124的作用下復位，最后，隨測試抓手總成裝置到達右料船上方，之后真空接頭5102斷開，吸嘴桿真空通路關閉，吸嘴將測試完成的芯片放入右料船。如此往復，就能將將左料船上的待測芯片，逐一抓取放到測試機位進行測試，然后又能將測試完成的芯片釋放到右料船上。根據需要，加熱板5117可以一直由加熱棒5103加熱，由感溫頭5104控溫，加熱板的溫度熱量通過吸嘴安裝板5122傳遞給吸嘴桿5125，進一步再傳給待測芯片，從而保證待測芯片的測試溫度。本實用新型的測試抓手總成裝置，可以多個組合在一起使用，具有按待測試芯片測試溫度要求進行加熱的功能，由加熱板向吸嘴安裝板和吸嘴桿提供必要的溫度，其必要的溫度由感溫頭等控制。該測試抓手總成裝置的真空吸嘴工作可靠，從取料到測試再到放料，真空吸嘴一直穩定吸住芯片料塊，完成全部測試工作。該測試抓手總成裝置具有微調加壓功能，其目的是通過微調活塞使固裝在吸料板上的吸嘴外套沿吸嘴桿向下滑動，與吸嘴一起對待測試芯片表面微微加壓，從而使芯片的被測試點更可靠地與測試機的測試頭接觸，實現穩定可靠測試。每一個測試抓手總成裝置的吸料板的兩側均固裝有測試定位套，它的目的是當測試抓手總成裝置吸住待測芯片向測試機對應測試位下降時，移動要使測試定位套與測試機上對應的定位銷(或者定位針)對正，從而保證待測芯片上的測試點與測試機上對應的測試頭對正。測試抓手總成裝置有上部總成和下部總成組成，上部總成和下部總成之間的連接是靠安裝在吸嘴安裝板上的兩個快速卡扣與加熱板上的兩個卡座來實現的，結構簡單，拆卸方便。本實用新型已通過優選的實施方式進行了詳盡的說明。然而，通過對前文的研讀，對各實施方式的變化和增加也是本領域的一般技術人員所顯而易見的。申請人的意圖是所有這些變化和增加都包含了本實用新型的落在了本實用新型權利要求的范圍中的部分。相似的編號通篇指代相似的元件。為清晰起見，在附圖中可能有將某些線、層、元件、部件或特征放大的情況。本文中使用的術語僅為對具體的實施例加以說明，其并非意在對本實用新型進行限制。除非另有定義，本文中使用的所有術語(包括技術術語和科學術語)均與本實用新型所屬領域的一般技術人員的理解相同。還須明確的是，除在本文中有明確的定義外，諸如字典中通常定義的術語應該解釋為在本說明書以及相關技術的語境中可具有一致的意思，而 不應解釋的理想化或過分形式化。公知的功能或結構處于簡要和清楚地考慮或不再贅述。
權利要求1.一種IC芯片測試分選機的測試抓手組合模組裝置，包括至少一個測試抓手組合運動模組，其特征在于所述測試抓手組合運動模組包括安裝板，還包括測試抓手總成組合升降滑塊、測試抓手總成組合左右移動滑塊，所述安裝板的上方設有可將測試抓手總成組合升降滑塊上下移動的垂直移動裝置；所述安裝板的下方設有將測試抓手總成組合左右移動滑塊水平移動的水平移動裝置；還設有下端固聯有測試抓手總成裝置的測試抓手總成組合連接板，所述測試抓手總成組合連接板垂直導軌式地卡合與測試抓手總成組合左右移動滑塊，其上端水平導軌式地卡合與測試抓手總成組合升降滑塊。
2.根據權利要求I所述的測試抓手組合模組裝置，其特征在于所述垂直移動裝置為受控于伺服電機的豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動，所述測試抓手總成組合升降滑塊和豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動配合。
3.根據權利要求2所述的測試抓手組合模組裝置，其特征在于所述測試抓手總成組合升降滑塊上位于豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動的兩側和安裝板導軌式配合。
4.根據權利要求I所述的測試抓手組合模組裝置，其特征在于所述水平移動裝置為受控于伺服電機的橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動，所述測試抓手總成組合左右移動滑塊和橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動配合。
5.根據權利要求4所述的測試抓手組合模組裝置，其特征在于所述測試抓手總成組合左右移動滑塊上位于橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動的兩側和安裝板導軌式配合。
6.根據權利要求I所述的測試抓手組合模組裝置，其特征在于所述測試抓手總成包括4個吸嘴，所述安裝板上設有和吸嘴連通的真空發生器。
7.根據權利要求1-6任一項所述的測試抓手組合模組裝置，其特征在于所述測試抓手組合運動模組為2個，分別為平行相對設置的前側測試抓手組合運動模組和后側測試抓手組合運動模組，通過其安裝板頂端設置的連接頂板固聯。
專利摘要本實用新型公開了一種IC芯片測試分選機的測試抓手組合模組裝置，包括安裝板，所述安裝板的上方設有可將測試抓手總成組合升降滑塊上下移動的垂直移動裝置；所述安裝板的下方設有將測試抓手總成組合左右移動滑塊水平移動的水平移動裝置；還設有下端固聯有測試抓手總成的測試抓手總成組合連接板，所述測試抓手總成組合連接板垂直導軌式地卡合與測試抓手總成組合左右移動滑塊，其上端水平導軌式地卡合與測試抓手總成組合升降滑塊。本實用新型的測試抓手組合模組裝置，可在前、后和上、下兩個方向上實現測試抓手總成組合的移動，有利于其下方的吸嘴準確抓取芯片完成測試。其結構新穎、功能全面、生產效率高，能同時抓取至少四塊芯片進行測試。
文檔編號B25J15/06GK202640359SQ20122024669
公開日2013年1月2日 申請日期2012年5月29日 優先權日2012年5月29日
發明者林宜龍, 付義超, 唐召來, 劉飛 申請人:格蘭達技術(深圳)有限公司