專利名稱：線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人的制作方法
技術領域：
本文所討論的實施方式涉及線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人。
背景技術：
傳統上，已知存在這樣一種機器人，該機器人通過使用設置在臂的末端操作單元中的手來用于保持和搬運在液晶顯示器中使用的諸如玻璃基板的基板。該機器人通常為所謂的多軸機器人，在該多軸機器人中，臂和手沿著線性運動軸移動或者繞旋轉軸運動。例如，日本專利申請公報N0.JPl 1-77566公開了一種基板搬運機器人，該基板搬運機器人包括:第一臂，該第一臂相對于能夠豎直移動的基座的線性運動軸以可旋轉的方式被支承；第二臂，該第二臂相對于第一臂以可旋轉的方式被支承；以及手，該手相對于第二臂以可旋轉的方式被附裝。通常的是，將諸如導軌之類的引導構件用作線性運動軸。在下列說明中，為了便于說明，線性運動軸有時將被稱作“導軌”。近年來，液晶顯示器的尺寸趨于變得更大并且基板的重量變得更重。因此，施加到包括在機器人中使用的導軌的線性運動機構上的負荷增大并且導軌可能失準。這帶來的問題是有時不能獲得期望的操作精度。
發明內容
鑒于前述，本文公開的實施方式提供一種能夠以提高的精度操作的線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人。根據本發明的一個方面，提供了一種線性運動機構，該線性運動機構包括:基部；引導構件，該引導構件附裝到所述基部；以及滑動件，該滑動件設置成沿著所述引導構件的軸向方向滑動，其中，所述引導構件由引導件緊固構件沿大致正交于所述軸向方向的指定緊固方向緊固到所述基部，并且由引導件按壓構件沿大致正交于所述軸向方向和所述緊固方向兩者的正交方向按壓。通過本文所公開的實施方式的一個方面，可以提供一種能夠以提高的精度操作的線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人。
圖1是示出根據第一實施方式的機器人的示意性立體圖。圖2是示出安裝在真空室內的機器人的示意性側視圖。圖3A是示出主體單元的示意性平面圖。圖3B是沿著圖3A中的線3B-3B剖取的剖視圖。圖4A是沿著圖3B中的線4A-4A剖取的剖視圖。圖4B是示出傳統的滑動接觸單元的放大圖。圖4C是由圖4B中的G2示出的區域的放大圖。
圖4D是示出根據第一實施方式的滑動接觸單元的放大圖。圖5是示出根據第二實施方式的線性運動機構的主要部分的示意圖。圖6是示出根據第三實施方式的線性運動機構的說明圖。
具體實施例方式現在將參照構成本發明的一部分的附圖來描述線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人的實施方式。本公開內容不局限于以下待描述的實施方式。在下述說明中，諸如玻璃基板之類的薄板狀基板將被稱為“工件”。將以用于在真空室內搬運工件的機器人為例進行說明。(第一實施方式)首先，將參照圖1描述根據第一實施方式的機器人的構造。圖1是示出根據第一實施方式的機器人I的示意性立體圖。為了更容易理解該說明，在圖1中示出了三維直角坐標系，該三維直角坐標系包括Z軸，該Z軸的豎直上側為正向側，該Z軸的豎直下側為負向側。沿著XY平面延伸的方向表示水平方向。在一些情況下，上述直角坐標系在用于下列說明的其它圖中被示出。在下列說明中，在一些情況下，多個部件中的僅一個部件被標以附圖標記，而其余部件不賦予附圖標記。在該情況下，標以附圖標記的一個部件與其余部件具有相同的構造。如圖1所示，機器人I是包含兩個可伸縮的臂單元的多軸機器人，所述兩個可伸縮的臂單元能夠沿水平方向伸展和收縮。更具體地，機器人I包括主體單元10和臂單元20。主體單元10是設置在臂單元20下方的單元。主體單元10包括管狀殼體11和布置在該殼體11內的線性運動機構。主體單元10利用線性運動機構使臂單元20上下移動。更具體地，線性運動機構沿著豎直方向線性地移動主體單元10的升降凸緣單元15，由此升起和降下固定到升降凸緣單元15的臂單元20。稍后將針對圖3A描述線性運動機構的細節。在殼體11的上部中形成有凸緣部12。機器人I借助將凸緣部12固定到真空室而被安裝在真空室中。關于該點，稍后將針對圖2進行說明。臂單元20是借助升降凸緣單元15連接到主體單元10的單元。更具體地,臂單元20包括臂基座21、第一臂22、第二臂23、手基座24和輔助臂25。臂基座21相對于升降凸緣單元15以可旋轉的方式支承。臂基座21包括由馬達和減速器構成的回轉機構。臂基座21借助回轉機構來回轉。更具體地，回轉機構構造成使得將馬達的旋轉經由傳送帶輸入到減速器，該減速器的輸出軸固定到主體單元10。因此，臂基座21繞減速器的作為回轉軸線的輸出軸水平地自轉。臂基座21包括保持在大氣壓力下的盒形收納部。馬達、減速器以及傳送帶被收納在該收納部中。因此，如稍后所述，即使搬運機器人I被使用在真空室中，也可以防止諸如油脂之類的潤滑油變干并且可以防止真空室的內部被污物污染。第一臂22的基端部借助圖中未示出的第一減速器以可旋轉的方式連接到臂基座21的上部。第二臂23的基端部借助圖中未示出的第二減速器以可旋轉的方式連接到第一臂22的末端上部。
手基座24以可旋轉的方式連接到第二臂23的末端部。手基座24在其上端設置有用于保持工件的末端執行器24a (即，所謂的手)。手基座24響應于第一臂22和第二臂23的旋轉運動而線性地移動。末端執行器24a的線性移動由借助機器人I同步操作的第一臂22和第二臂23來實現。更具體地，機器人I通過使用單個馬達來使第一減速器和第二減速器旋轉，由此同步地操作第一臂22和第二臂23。此時，機器人I使第一臂22和第二臂23旋轉，使得第二臂23相對于第一臂22的旋轉量是第一臂22相對于臂基座21的旋轉量的兩倍。例如，機器人I使第一臂22和第二臂23旋轉，使得，如果第一臂22相對于臂基座21旋轉α度，則第二臂23相對于第一臂22旋轉2 α度。結果，機器人I能夠線性地移動末端執行器24a。從防止真空室的內部被污染的觀點出發，而將諸如第一減速器、第二減速器、馬達和傳送帶之類的驅動裝置布置在保持于大氣壓力下的第一臂22內。輔助臂25是一連桿機構，該連桿機構限制與第一臂22和第二臂23的旋轉運動連動的手基座24的旋轉，從而末端執行器24a在其運動期間能夠始終面向指定方向。更具體地，輔助臂25包括第一連桿25a、中間連桿25b和第二連桿25c。第一連桿25a的基端部以可旋轉的方式連接到臂基座21。第一連桿25a的末端部以可旋轉的方式連接到中間連桿25b的末端部。中間連桿25b的基端部以與使第一臂22和第二臂23互連的連接軸線同軸的關系樞轉。中間連桿25b的末端部以可旋轉的方式連接到第一連桿25a的末端部。第二連桿25c的基端部以可旋轉的方式連接到中間連桿25b。第二連桿25c的末端部以可旋轉的方式連接到手基座24的基端部。手基座24的末端部以可旋轉的方式連接到第二臂23的末端部。手基座24的基端部以可旋轉的方式連接到第二連桿25c。第一連桿25a、臂基座21、第一臂22和中間連桿25b構成第一平行連桿機構。換言之，如果第一臂22繞其基端部旋轉，則第一連桿25a在與第一臂22保持平行的情況下旋轉。當在平面圖中觀看時，中間連桿25b在與假想連接線保持平行的情況下旋轉，所述假想連接線將臂基座21和第一臂22的連接軸線與臂基座21和第一連桿25a的連接軸線互連。第二連桿25c、第二臂23、手基座24和中間連桿25b構成第二平行連桿機構。換言之，如果第二臂23繞其基端部旋轉，則第二連桿25c和手基座24在分別與第二臂23和中間連桿25b保持平行的情況下旋轉。中間連桿25b在第一平行連桿機構的作用下在與上述連接線保持平行的情況下旋轉。為此，第二平行連桿機構的手基座24在與上述連接線保持平行的情況下旋轉。結果，安裝到手基座24的上部上的末端執行器24a在與臂基座21保持平行的情況下線性地移動。這樣，機器人I利用兩個平行連桿機構(即第一平行連桿機構和第二平行連桿機構)能夠將末端執行器24a的定向保持為恒定。因此，與其中帶輪和傳送帶設置在第二臂23內以利用該帶輪和傳送帶保持末端執行器的定向為恒定的情況相比，可以減少因帶輪和傳送帶而產生的污物。由于臂單元的剛性整體上能夠由輔助臂25增大，因此，可以降低在末端執行器24a的操作期間產生的振動。為此，可以減少因在末端執行器24a的操作期間產生的振動而產生的污物。如圖1所示，機器人I是包括兩個可伸縮臂單元的所謂雙臂機器人，這兩個可伸縮臂單元均包括第一臂22、第二臂23、手基座24和輔助臂25。因此，機器人I能同時執行兩個任務，例如，利用其中一個可伸縮臂單元從指定搬運位置取出工件的任務和利用另一個可伸縮臂單元將新的工件運送到搬運位置的任務。接下來，將參照圖2描述安裝在真空室內的機器人I。圖2是示出安裝在真空室內的機器人I的示意性側視圖。如圖2所示，形成在機器人I的主體單元10中的凸緣部12借助密封構件固定到形成于真空室30的底部中的開口部31的周緣。因此，真空室30被氣密地封閉，并且真空室30的內部借助諸如真空泵之類的減壓裝置保持在減壓狀態。主體單元10的殼體11從真空室30的底部突出并且位于由用于支承真空室30的支承部35限定的空間內。機器人I在真空室30內執行工件搬運任務。例如，機器人I通過使用第一臂22和第二臂23來線性地移動末端執行器24a，由此借助未示出的閘閥從連接到真空室30的另一個真空室取出工件。接著，機器人I使末端執行器24a返回，然后使臂基座21繞回轉軸線O水平旋轉，由此使得臂單元20直接面向作為工件的搬運目的地的另一個真空室。然后，機器人I通過使用第一臂22和第二臂23來線性地移動末端執行器24a，由此將工件運送到作為工件的搬運目的地的另一個真空室中。真空室30形成為與機器人I的形狀一致。例如，如圖2所示，在真空室30的底面部中形成凹部。機器人I的諸如臂基座21和升降凸緣單元15的那些部分布置在所述凹部中。通過以該方式形成與機器人I的形狀一致的真空室30，可以減小真空室30的內部容積并且可以容易將真空室30保持在減壓狀態。在真空室30內確保供呈現最小回轉姿勢的臂單元20能夠在其內旋轉的空間和待由升降裝置上下移動的臂單元20所需的空間。這里所提及的最小回轉姿勢是指機器人I的以下姿勢，其中，臂單元20繞回轉軸線O的旋轉半徑變得最小。接下來，將參照圖3A和后續附圖來描述根據第一實施方式的線性運動機構的細節。圖3A是示出主體單元的示意性平面圖。圖3B是沿著圖3A中的線3B-3B剖取的剖視圖。盡管與關于圖1和圖2進行的說明有部分重疊，但主體單元10包括凸緣部12和升降凸緣單元15,如圖3A所示。在主體單元10中設置有線性運動機構50，該線性運動機構用于沿著豎直方向上下移動升降凸緣單元15。線性運動機構50包括一對導軌基座51。導軌基座51布置在并固定到殼體11的內周面(參見圖3B)從而彼此面對。也就是說，殼體11的內周面構成線性運動機構50的基部。如圖3B所示，線性運動機構50包括導軌51a (引導構件)，這些導軌沿著彼此大致平行的軸線SI和S2豎直地延伸。導軌51a利用諸如螺釘等的緊固構件固定到導軌基座51(參見圖3A)。如圖3B所示，線性運動機構50還包括相對于導軌51a以可滑動的方式布置的滑塊52 (滑動件)。導軌51a和滑塊52構成所謂的“線性引導件”。在下列說明中，彼此形成為滑動接觸的導軌51a和滑塊52將被稱為“滑動接觸單元”。滑塊52連接到第一升降凸緣單元15的升降凸緣基座15a (B卩，基座框架)，并且與升降凸緣單元15形成為一體。線性運動機構50設置有滾珠絲杠單元53，該滾珠絲杠單元包括連接到升降凸緣基座15a的滾珠螺母。滾珠絲杠單元53還包括滾珠絲杠和馬達。滾珠絲杠單元53將馬達的旋轉運動轉換為沿著大致平行于豎直方向的軸線S3的線性運動。上述的線性運動機構50使升降凸緣單元15能夠沿著豎直方向上下移動。如圖3B所示,升降凸緣單元15具有中空結構。通過在升降凸緣單元15的中空部中設置管15b，而可以容易布置線纜等。接下來，將參照圖4A至圖4D描述根據第一實施方式的構成線性運動機構50的各個構件的安裝結構。圖4A是沿著圖3B中的線4A-4A剖取的剖視圖。圖4A中所示的輪廓線示意性地表示殼體11的內周面。圖4B是示出傳統滑動接觸單元G1’的放大圖。圖4C是由圖4B中的G2示出的區域的放大圖。圖4D是示出根據第一實施方式的滑動接觸單元Gl的放大圖。如圖4A所示，線性運動機構50包括滑動接觸單元G1。在下列說明中，為了便于說明，傳統滑動接觸單元將被標以附圖標記“G1 ”’。參照圖4A，鄰近滾珠絲杠單元53形成有供管15b穿過的開口 15c。現在將對于傳統滑動接觸單元G1’進行說明。在圖4B所示的該傳統滑動接觸單元G1’中，構成線性運動機構50的相應構件借助諸如螺釘之類的緊固構件僅沿指定緊固方向被緊固。在下列說明中，緊固構件是“螺釘”。為了便于說明，在圖中未示出螺紋槽的“外螺紋”和“內螺紋”。從區分緊固構件與作為按壓構件的“緊定螺釘”的觀點來看，作為緊固構件的“螺釘”將被稱為“緊固螺釘”。例如，如圖4B所示，導軌51a借助位于X軸的正向側的緊固螺釘Cl緊固到導軌基座51。滑塊52的第一塊體52a、第二塊體52b和第三塊體52c借助位于X軸的正向側和負向側的緊固螺釘C2和C3被緊固。沿著X軸的指定緊固方向被選擇為使滑塊52能夠在可靠地按壓固有地易于彎曲的導軌51a的情況下平滑地滑動。當將相應的構件彼此緊固時，在一些情況下，由于相應構件的尺寸誤差或偏差而在被緊固的構件之間產生間隙。例如如圖4B所不,在導軌51a和導軌基座51之間、在第一塊體52a和第二塊體52b之間、以及在第二塊體52b和第三塊體52c之間可能產生間隙i。如圖4C所示，在導軌51a和緊固螺釘Cl之間可能產生間隙i。現在假定，關于圖1被描述的可伸縮臂單元執行伸展操作。此時，負荷(諸如，沿雙頭箭頭101所示的方向作用的力矩負荷)借助設置在凸緣部12的中心部中的升降凸緣單元15 (見圖3A)而被施加到圖4C中的區域G2。當可伸縮臂單元伸展時，這樣施加的所述負荷變得更大。例如，如果產生如圖4C所示的間隙i，則導軌51a由于沿雙頭箭頭101的方向施加的負荷而很可能在間隙I的范圍內滑動。因此，導軌51a可能失準(參見由圖4C中的虛線所示的導軌51a’)。換言之，導軌51a和導軌基座51相對于彼此移位，由此產生松動。這可能會降低線性運動機構50的操作精度。在根據第一實施方式的線性運動機構50中，如圖4D所示，借助緊固構件沿大致正交于引導構件的軸向方向的指定緊固方向緊固的滑動接觸單元Gl的組成構件由按壓構件沿大致正交于軸向方向和緊固方向兩者的正交方向按壓。更具體地，如圖4D所示，滑動接觸單元Gl的組成構件由諸如緊定螺釘等的按壓構件沿大致正交于導軌51a的軸向方向(Z軸方向)和指定緊固方向(X軸方向)兩者的方向(Y軸方向)按壓，所述指定緊固方向大致正交于軸向方向。例如，導軌51a由緊定螺釘Pl從Y軸方向的負向側朝向Y軸方向的正向側按壓(參見圖4D中的箭頭201)。此時，導軌51a的端面被緊定螺釘Pl壓靠在導軌基座51的凹部的側壁51b上。也就是說，側壁51b成為用于定位導軌51a的基準面(按壓表面)。第一塊體52a由緊定螺釘P2從Y軸方向的負向側朝向Y軸方向的正向側按壓(參見圖4D中的箭頭202)。此時，第一塊體52a的端面被緊定螺釘P2壓靠在第二塊體52b的凹部的側壁52ba上。也就是說，側臂52ba成為用于定位第一塊體52a的基準面。第二塊體52b由緊定螺釘P3從Y軸方向的負向側朝向Y軸方向的正向側按壓(參見圖4D中的箭頭203)。此時，第二塊體52b的端面被緊定螺釘P3壓靠在第三塊體52c的凹部的側壁52ca上。也就是說，側臂52ca成為用于定位第一塊體52b的基準面。結果，用于緊固滑動接觸單元Gl的組成構件的緊固構件能夠防止組成構件借助例如由圖4D中的雙頭箭頭101表示的力矩的負荷而滑動。這使得可以精確地執行定位滑動接觸單元Gl的組成構件的任務。換言之，可以精確地操作線性運動機構50和設置有該線性運動機構50的機器人I。盡管在圖4D中所示的緊定螺釘P1、P2和P3具有螺釘頭部，但緊定螺釘P1、P2和P3的形狀不局限于此。可以使用無螺釘頭部的全螺紋螺釘，例如，所謂的“凹頭緊定螺釘”。如上所述，根據第一實施方式的線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人包括附裝到基部的引導構件和布置成沿著引導構件的軸向方向滑動的滑動件。引導構件由緊固構件沿大致正交于軸向方向的指定緊固方向緊固到基部。引導構件由按壓構件沿大致正交于軸向方向和緊固方向兩者的正交方向按壓。因而，根據第一實施方式的線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人能夠以提聞的精度操作。盡管在上述的第一實施方式中采用以相對關系布置的一對引導構件，但可以采用兩對引導構件。現在，將參照圖5描述采用兩對引導構件的第二實施方式。(第二實施方式)圖5是示出根據第二實施方式的線性運動機構50a的主要部分的示意圖。圖5對應于圖4A，并且除了引導構件以兩對設置之外大致與圖4A保持大致相同。不再對圖5和圖4A共同點進行說明。盡管在圖5中未示出緊固螺釘，但緊固螺釘的指定緊固方向沿著X軸延伸。圖4B和圖4D中所示的間隙i在圖5中未示出。根據第二實施方式的線性運動機構50a設置在與根據第一實施方式的機器人I具有相同構造的機器人中。如圖5所示，根據第二實施方式的線性運動機構50a包括兩對引導構件(包括引導構件的兩對滑動接觸單元G1)，這兩對引導構件沿著X軸方向以相互對置的關系布置。
在沿著大致平行于X軸的軸線AXl以相互對置的關系布置的一對滑動接觸單元Gl中，由箭頭201、202和203表示的部分由緊定螺釘從Y軸的負向側朝向Y軸的正向側按壓。在沿著大致平行于X軸的軸線AX2以相互對置的關系布置的一對滑動接觸單元Gl中，由箭頭204和205表示的部分由緊定螺釘從Y軸的正向側朝向Y軸的負向側按壓。緊定螺釘的按壓方向不被具體地限制，只要按壓方向是大致正交于引導構件的軸向方向(Z軸方向)和指定緊固方向(X軸方向)兩者的方向(Y軸方向)即可。盡管兩對滑動接觸單元Gl在圖5中沿著X軸并排布置，但本公開內容不局限于此。例如，一對滑動接觸單元Gl如圖5所示可以沿著X軸線以相互對置的關系布置，而另一對滑動接觸單元Gl可以沿著Y軸以相互對置的關系布置。在該情況下，沿著Y軸以相互對置的關系布置的滑動接觸單元Gl由緊定緊釘沿X軸方向按壓。如上所述，根據第二實施方式的線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人包括兩對對置地布置在基部上的引導構件和兩對布置成沿著引導構件的軸向方向滑動的滑動件。引導構件由緊固構件沿大致正交于軸向方向的指定緊固方向緊固到基部。引導構件由按壓構件沿大致正交于軸向方向和緊固方向兩者的正交方向按壓。因而，根據第二實施方式的線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人能夠以提高的穩定性和精度操作。盡管以相互對置的關系布置的至少一對引導構件在上述的相應實施方式中形成為一組，但引導構件可以不是成對的組合。例如，如果主體單元的殼體的水平截面大致為圓形的，則三個引導構件可以形成為一組并且可以以120的間隔布置在殼體的內周面上。盡管在上述的相應實施方式中線性運動機構的引導構件沿著豎直方向延伸，但本公開內容不局限于此。例如，引導構件可以沿水平方向延伸。現在，將參照圖4D和圖6描述線性運動機構的引導構件沿水平方向延伸的第三實施方式。(第三實施方式)圖6是示出根據第三實施方式的線性運動機構50b的說明圖。為了便于說明，圖6示出了其中設置有線性運動機構50b的機器人Ia由三軸機器人形成的示例。然而，軸數和關節的旋轉方向不被具體地限制，只要機器人Ia設置有線性運動機構50b即可。在圖6中，機器人Ia以簡化方式示出。如圖6所示，根據第三實施方式的機器人Ia包括線性運動機構50b、第一關節部laa、第二關節部Iab和末端執行器lac。在圖6中，臂由將線性運動機構50b、第一關節部laa、第二關節部Iab和末端執行器Iac互連的實線表示。線性運動機構50b包括:水平引導件S4，該水平引導件水平地布置在作為基部的壁面501上；以及滑動接觸單元G1，該滑動接觸單元具有與上述的相應實施方式相同的構造。線性運動機構50b使所有臂在由雙頭箭頭401表示的方向上沿著水平引導件S4線性地移動。第一關節部Iaa是沿由雙頭箭頭402表示的方向旋轉的關節部。第二關節部Iab是沿由雙頭箭頭403表示的方向回轉的關節部。例如，如果第一關節部Iaa旋轉以由此使所有臂伸縮或者如果滑動接觸單元Gl到達水平引導件S4的端部，則諸如由雙頭箭頭101表示的力矩之類的負荷被施加到線性運動機構50b。
此外，由箭頭301表示的重力作用在包括線性運動機構50b的機器人Ia上。為了便于說明，圖4D被當作在圖6中的Y軸的正向側所看到的滑動接觸單元Gl的放大圖。因此，不參照圖4D中所示的直角坐標軸XYZ。在圖4D中沿著圖面的下側被認為是豎直下側。如圖4D所示，根據第三實施方式的線性運動機構50b的滑動接觸單元Gl能夠由按壓構件沿大致正交于導軌51a的軸向方向和滑動接觸單元Gl的指定緊固方向兩者的正交方向按壓。此時，如圖6所示，重力作用在滑動接觸單元Gl上。如果由重力施加的按壓力被結合利用，則僅必需的是滑動接觸單元Gl由緊定螺釘P1、P2和P3從豎直上側朝向豎直下偵U (在圖4D中從圖面的上側朝向下側)按壓。這不排除沿相反方向(即，從豎直下側朝向豎直上側)執行按壓的可能。毋庸置疑，在圖6中所示的水平引導件S4布置在作為基部的地面502上而不是壁面501上的情況下，也能夠使用上述的安裝方法。如上所述，根據第三實施方式的線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人包括水平地布置在基部上的引導構件和布置成沿著引導構件的軸向方向滑動的滑動件。引導構件由緊固構件沿大致正交于軸向方向的指定緊固方向緊固到基部。引導構件由按壓構件沿大致正交于軸向方向和緊固方向兩者的正交方向按壓。因而，即使引導構件布置在壁面等上，根據第三實施方式的線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人也能夠以提高的精度操作。盡管緊固構件和按壓構件在上述的各個實施方式中為螺釘，但本公開內容不局限于此。例如，緊固構件和按壓構件可以是鉚釘或者螺釘和鉚釘的組合。盡管在上述的各個實施方式中引導構件和滑動件的端面由按壓構件按壓，但本公開內容不局限于此。例如，緊固構件可以由按壓構件沿大致正交于緊固方向的正交方向直接按壓。用于使滑動件與引導構件滑動接觸的結構不被具體限制。例如，可以使用液壓或者諸如軸承等的滾動體。盡管在上述各個實施方式中機器人是基板搬運機器人，但只要機器人沿著作為線性運動引導件的引導構件操作，那么機器人的用途就是無關緊要的。本領域技術人員能夠容易想到其它效果和其它修改例。為此，本公開內容的寬泛方面不局限于所示的和上述的具體公開內容和代表性實施方式。因而，在不脫離由所附的權利要求和其等同物限定的范圍的情況下，本公開內容能夠以不同的形式修改。
權利要求
1.一種線性運動機構，該線性運動機構包括: 基部; 引導構件，該引導構件附裝到所述基部；以及 滑動件，該滑動件設置成沿著所述引導構件的軸向方向滑動， 其中，所述引導構件由引導件緊固構件沿大致正交于所述軸向方向的指定緊固方向緊固到所述基部，并且由引導件按壓構件沿大致正交于所述軸向方向和所述緊固方向兩者的正交方向按壓。
2.根據權利要求1所述的線性運動機構，其中，所述滑動件包括由滑動件緊固構件沿所述緊固方向緊固在一起的多個構件，所述滑動件由滑動件按壓構件沿所述正交方向按壓。
3.根據權利要求1所述的線性運動機構，其中，所述引導構件包括由所述引導件緊固構件沿所述緊固方向緊固在一起的多個構件，所述引導構件由所述引導件按壓構件沿所述正交方向按壓。
4.根據權利要求2所述的線性運動機構，其中，所述引導件按壓構件和所述滑動件按壓構件構造成朝向形成于由所述引導件緊固構件和所述滑動件緊固構件緊固在一起的所述構件中的一方的按壓表面，按壓由所述引導件緊固構件和所述滑動件緊固構件緊固在一起的所述構件中的另一方。
5.根據權利要求1至3中任一項所述的線性運動機構，其中，所述弓I導構件設置成沿著豎直方向延伸。
6.根據權利要求1至3中任一項所述的線性運動機構，其中，所述弓I導構件設置成沿著水平方向延伸。
7.根據權利要求1至3中任一項所述的線性運動機構，其中，所述基部是壁面。
8.一種機器人，所述機器人包括根據權利要求1至3中任一項所述的線性運動機構。
9.根據權利要求8所述的機器人，所述機器人還包括形成為大致管狀形狀的殼體，所述引導構件包括布置在所述殼體的用作所述基部的內周面上的至少一對引導構件。
10.根據權利要求9所述的機器人，其中，所述引導構件包括兩對對置地布置在所述殼體的所述內周面上的引導構件。
全文摘要
本發明涉及線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人。所述線性運動機構包括基部；引導構件，該引導構件附裝到所述基部；以及滑動件，該滑動件設置成沿著所述引導構件的軸向方向滑動。所述引導構件由引導件緊固構件沿大致正交于所述軸向方向的指定緊固方向緊固到所述基部，并且由引導件按壓構件沿大致正交于所述軸向方向和所述緊固方向兩者的正交方向按壓。
文檔編號B25J9/00GK103170964SQ20121043238
公開日2013年6月26日 申請日期2012年11月2日 優先權日2011年12月20日
發明者野口忠隆, 大仁健輔 申請人:株式會社安川電機