專利名稱：一種提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置及其使用方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，反應(yīng)腔是常用的設(shè)備，可用于化學(xué)氣相沉淀、物理氣相沉淀、以及刻蝕等工藝過程。晶圓在反應(yīng)腔中進(jìn)行沉積、生長薄膜等過程，對于晶圓來說，均勻性是晶圓質(zhì)量的主要因素，也是產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素，而溫度的一致性對晶圓表面薄膜均勻性有重要的影響。目前，在工藝過程中，通常采用機(jī)械手臂將晶圓運(yùn)輸?shù)椒磻?yīng)腔中。然而，機(jī)械手臂由于皮帶、發(fā)動(dòng)機(jī)等問題會(huì)在傳動(dòng)晶圓過程中發(fā)生偏移，這種偏移會(huì)導(dǎo)致不能準(zhǔn)確地將晶圓運(yùn)輸?shù)椒磻?yīng)腔中的最佳位置，導(dǎo)致晶圓受熱不均，影響晶圓質(zhì)量，甚至出現(xiàn)晶圓顏色不正常的問題。機(jī)械手臂由于靈敏度不高，就算發(fā)生大位移也不會(huì)報(bào)警；而既使發(fā)現(xiàn)問題，在工藝設(shè)備工作過程中也很難對晶圓在對準(zhǔn)腔重大位置進(jìn)行調(diào)整；，。如果通過停止工作進(jìn)行調(diào)整，如更換馬達(dá)、更換皮帶，清理機(jī)臺(tái)等，會(huì)大大降低了工作效率，影響晶圓的產(chǎn)量和質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種能夠提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性、從而防止機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)的誤差影響晶圓質(zhì)量和產(chǎn)量的裝置及其使用方法。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置，所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置包括控制裝置、機(jī)械手臂、對準(zhǔn)腔、反應(yīng)腔，所述控制裝置根據(jù)預(yù)設(shè)位置控制所述機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)；所述機(jī)械手臂上放置晶圓，將所述晶圓運(yùn)輸?shù)剿鰧?zhǔn)腔內(nèi)進(jìn)行對準(zhǔn)，再將所述晶圓運(yùn)輸?shù)剿龇磻?yīng)腔內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)；所述裝置還包括反饋裝置，所述反饋裝置與所述控制裝置相連，用于檢測所述機(jī)械手臂運(yùn)輸所述晶圓的實(shí)際位置，產(chǎn)生反饋信號(hào)反饋給所述控制裝置。進(jìn)一步的，在所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置中，所述反饋裝置包括至少三個(gè)傳感器和PLC電路，每個(gè)所述傳感器均與所述PLC電路相連，用于探測所述晶圓的實(shí)際位置，并發(fā)送探測信號(hào)給所述PLC電路；所述PLC電路與所述控制裝置相連，用于接收、處理所述探測信號(hào)，并向所述控制裝置發(fā)出反饋信號(hào)。優(yōu)選的，在所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置中，所述傳感器為光敏傳感器。優(yōu)選的，在所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置中，所述傳感器為四個(gè)，所述四個(gè)傳感器連線形成正四邊形，所述正四邊形的中心與晶圓預(yù)設(shè)位置的中心重合，兩兩對角傳感器的連線經(jīng)過所述晶圓預(yù)設(shè)位置的中心，每個(gè)所述傳感器到所述正四邊形的中心距離比晶圓的半徑大2mm 3mm。本發(fā)明還提供一種提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法，所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法包括將晶圓置于機(jī)械手臂上；設(shè)定所述晶圓在所述對準(zhǔn)腔和所述反應(yīng)腔中的預(yù)設(shè)位置，存儲(chǔ)在所述控制裝置中；在所述控制裝置的控制下，所述機(jī)械手臂帶動(dòng)所述晶圓運(yùn)動(dòng)到所述對準(zhǔn)腔中；所述反饋裝置探測所述晶圓的實(shí)際位置，并發(fā)出反饋信號(hào)給所述控制裝置；所述控制裝置根據(jù)所述反饋信號(hào)控制所述機(jī)械手臂調(diào)整晶圓的位置，并記錄調(diào)整量；機(jī)械手臂帶動(dòng)晶圓運(yùn)動(dòng)到所述反應(yīng)腔中，所述控制裝置根據(jù)所述調(diào)整量控制機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)，調(diào)整所述晶圓在反應(yīng)腔中的位置。進(jìn)一步的，在所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法中，提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法，所述反饋裝置包括至少三個(gè)傳感器和PLC電路，所述傳感器探測晶圓的實(shí)際位置，并發(fā)送探測信號(hào)給所述PLC電路；所述PLC電路用于接收、處理所述探測信號(hào)，并給所述控制裝置發(fā)出反饋信號(hào)。優(yōu)選的，在所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法中，所述傳感器為光敏傳感器。優(yōu)選的，在所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法中，所述傳感器為四個(gè)，所述四個(gè)傳感器連線形成正四邊形，所述正四邊形的中心與晶圓預(yù)設(shè)位置的中心重合， 兩兩對角傳感器的連線經(jīng)過所述晶圓預(yù)設(shè)位置的中心，每個(gè)所述傳感器到所述正四邊形的中心距離比晶圓的半徑大2mm 3mm。在用于運(yùn)輸晶圓的機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)裝置中，通過增加反饋裝置，將所述晶圓實(shí)際運(yùn)動(dòng)的位置反饋給控制裝置，所述控制電路根據(jù)反饋信號(hào)調(diào)整機(jī)械手臂到達(dá)預(yù)設(shè)位置，記錄調(diào)整過程中的調(diào)整量，再將所述晶圓運(yùn)送到反應(yīng)腔中時(shí)，根據(jù)所述調(diào)整量調(diào)整機(jī)械手臂，使晶圓到達(dá)反應(yīng)腔中的預(yù)設(shè)位置，從而提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)的準(zhǔn)確性。
圖1為本發(fā)明中提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明中提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的方法一實(shí)施例的示意圖。圖3為本發(fā)明中一實(shí)施例調(diào)整晶圓位置步驟的一示意圖。圖4為本發(fā)明中一實(shí)施例調(diào)整晶圓位置步驟的另一示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通及說人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本發(fā)明利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本發(fā)明實(shí)例時(shí)，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對本發(fā)明的限定。本發(fā)明的核心思想是在用于運(yùn)輸晶圓的機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)裝置中，通過增加反饋裝置，將所述晶圓實(shí)際運(yùn)動(dòng)的位置反饋給控制裝置，所述控制電路根據(jù)反饋信號(hào)調(diào)整機(jī)械手臂到達(dá)預(yù)設(shè)位置，記錄調(diào)整過程中的調(diào)整量，再將所述晶圓運(yùn)送到反應(yīng)腔中時(shí)，根據(jù)所述調(diào)整量調(diào)整機(jī)械手臂，使晶圓到達(dá)反應(yīng)腔中的預(yù)設(shè)位置，從而提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)的準(zhǔn)確性?；谏鲜鏊枷?，本發(fā)明提供一種提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置，圖1為本發(fā)明中提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，請參考圖1，所述提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置包括控制裝置40、機(jī)械手臂50、對準(zhǔn)腔20、反應(yīng)腔10和反饋裝置30，其中， 所述控制裝置40根據(jù)預(yù)設(shè)位置控制所述機(jī)械手臂50運(yùn)動(dòng)；所述機(jī)械手臂50上放置晶圓 100，并將所述晶圓100運(yùn)輸?shù)剿鰧?zhǔn)腔20內(nèi)進(jìn)行對準(zhǔn)，再將所述晶圓100運(yùn)輸?shù)剿龇磻?yīng)腔10內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)；在本發(fā)明中，所述對準(zhǔn)腔20用于調(diào)整晶圓100的位置，所述反應(yīng)腔10 用于對晶圓100進(jìn)行熱處理及其他反應(yīng)操作，為業(yè)內(nèi)技術(shù)人員所熟知的技術(shù)內(nèi)容，故在本發(fā)明中不贅述；所述反饋裝置30與所述控制裝置40相連，用于檢測所述機(jī)械手臂50運(yùn)輸所述晶圓100的實(shí)際位置，并產(chǎn)生反饋信號(hào)反饋給所述控制裝置40。進(jìn)一步的，所述反饋裝置30包括至少三個(gè)傳感器31和PLC電路32，所述傳感器31 與所述PLC電路32相連，用于探測所述晶圓100的實(shí)際位置，并發(fā)送探測信號(hào)給所述PLC 電路32 ；所述PLC電路32與所述控制裝置40相連，用于接收、處理所述探測信號(hào)，并向所述控制裝置40發(fā)出反饋信號(hào)。所述反饋裝置30采用傳感器31和PLC電路32能夠準(zhǔn)確判斷晶圓100的實(shí)際位置，并且傳感器31和PLC電路32的成本不高，組裝簡單，便于操作。優(yōu)選的，所述傳感器31為光敏傳感器。在本實(shí)施例中，傳感器31為光敏傳感器，即在無遮擋時(shí)處于狀態(tài)一，有遮擋時(shí)處于狀態(tài)二(其中狀態(tài)一為開啟則狀態(tài)二為關(guān)閉，或狀態(tài)一為關(guān)閉則狀態(tài)二為開啟)，當(dāng)機(jī)械手臂50將所述晶圓100運(yùn)送至對準(zhǔn)腔20中時(shí)，如果沒有到達(dá)預(yù)設(shè)位置，則會(huì)遮擋其中的傳感器31，則傳感器31會(huì)將改變的狀態(tài)信號(hào)通過PLC 電路32反饋給所述控制電路40，所述控制電路40就會(huì)根據(jù)反饋信號(hào)進(jìn)行調(diào)整。請繼續(xù)參考圖1，在本實(shí)施例中，所述傳感器31的數(shù)量優(yōu)選為四個(gè)，所述四個(gè)傳感器31連線形成正四邊形，所述正四邊形的中心與晶圓100預(yù)設(shè)位置的中心重合，兩兩對角傳感器的連線經(jīng)過所述晶圓100預(yù)設(shè)位置的中心，每個(gè)所述傳感器100到所述正四邊形的中心距離比晶圓100的半徑大2mm 3mm。此外，在本發(fā)明中，所述傳感器31的個(gè)數(shù)和位置不被限制，能夠滿足準(zhǔn)確設(shè)定晶圓位置的傳感器31個(gè)數(shù)和位置都可以作為本發(fā)明的思想范圍內(nèi)。請參考圖2，其為本發(fā)明中提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的方法一實(shí)施例的示意圖，如圖2所示，并結(jié)合圖1，針對提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的方法，包括以下步驟SOl 將晶圓100置于機(jī)械手臂50上；S02 機(jī)械手臂50將晶圓100運(yùn)送到對準(zhǔn)腔20中進(jìn)行對準(zhǔn)，設(shè)定所述晶圓100在所述對準(zhǔn)腔20和所述反應(yīng)腔10中的預(yù)設(shè)位置a、b，并存儲(chǔ)在所述控制裝置40中；在所述控制裝置40的控制下，所述機(jī)械手臂50帶動(dòng)所述晶圓100運(yùn)動(dòng)到所述對準(zhǔn)腔20中；S03 反饋裝置探測晶圓100實(shí)際位置，所述反饋裝置32探測所述晶圓100的實(shí)際位置，并發(fā)出反饋信號(hào)給所述控制裝置40 ；S04 判斷實(shí)際位置與預(yù)設(shè)位置關(guān)系，相同則控制裝置40記錄調(diào)整量，不相同則機(jī)械手臂50進(jìn)行調(diào)整，所述控制裝置40根據(jù)所述反饋信號(hào)判斷實(shí)際位置與預(yù)設(shè)位置的關(guān)系， 如果相同則記錄調(diào)整量為零；如果不同，則控制所述機(jī)械手臂50調(diào)整晶圓100直到實(shí)際位置與預(yù)設(shè)位置相同，并記錄調(diào)整量；S05 機(jī)械手臂50將晶圓100運(yùn)送到反映腔10中，機(jī)械手臂50帶動(dòng)晶圓100運(yùn)動(dòng)到所述反應(yīng)腔10中；S06 根據(jù)調(diào)整量再次調(diào)整晶圓位置，所述控制裝置40根據(jù)所述調(diào)整量控制機(jī)械手臂50運(yùn)動(dòng)，調(diào)整所述晶圓100在反應(yīng)腔10中的位置。
在本實(shí)施例中，傳感器31為光敏傳感器，即在無遮擋時(shí)處于狀態(tài)一，有遮擋時(shí)處于狀態(tài)二(其中狀態(tài)一為開啟則狀態(tài)二為關(guān)閉，或狀態(tài)一為關(guān)閉則狀態(tài)二為開啟)，當(dāng)機(jī)械手臂50將所述晶圓100運(yùn)送對準(zhǔn)腔20中時(shí)，如果沒有到達(dá)預(yù)設(shè)位置，則會(huì)遮擋其中的傳感器31，則傳感器31會(huì)將改變的狀態(tài)信號(hào)通過PLC電路反饋32給所述控制電路40，所述控制電路40就會(huì)根據(jù)反饋信號(hào)進(jìn)行調(diào)整，圖3為本發(fā)明中一實(shí)施例調(diào)整晶圓100位置步驟的一示意圖。如圖3所示，當(dāng)晶圓100遮擋圖中上面?zhèn)鞲衅?1，則控制電路40就會(huì)控制機(jī)械手臂50向下調(diào)整到預(yù)設(shè)位置，并記錄調(diào)整時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)誤差；圖4為本發(fā)明中一實(shí)施例調(diào)整晶圓 100位置步驟的另一示意圖，如圖4所示，當(dāng)晶圓100遮擋圖中右側(cè)傳感器31，則控制電路 40會(huì)控制機(jī)械手臂50向左調(diào)整到預(yù)設(shè)位置，并記錄調(diào)整時(shí)移動(dòng)誤差，當(dāng)然在實(shí)際操作中會(huì)同時(shí)出現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)誤差和移動(dòng)誤差，即先調(diào)整一個(gè)記錄后再調(diào)整另一個(gè)并記錄即可。這種方法采用極坐標(biāo)的方法，記錄轉(zhuǎn)動(dòng)誤差和移動(dòng)誤差，便于計(jì)算。此外，采用三個(gè)傳感器或四個(gè)以上傳感器31能夠準(zhǔn)確記錄預(yù)設(shè)位置的位置都可以作為本發(fā)明的思想范圍。綜上所述，本發(fā)明中所述用于運(yùn)輸晶圓的機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)裝置中增加了反饋電路， 將機(jī)械手臂實(shí)際運(yùn)動(dòng)位置與預(yù)設(shè)位置的差距時(shí)刻反饋給控制裝置，所述控制電路根據(jù)調(diào)整量調(diào)整機(jī)械手臂，使晶圓能夠到達(dá)反應(yīng)腔中的預(yù)設(shè)位置，從而提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)的準(zhǔn)確性， 此外如果機(jī)械手臂發(fā)生大范圍的偏移，可以隨時(shí)在控制裝置中顯示，可以立即停止機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢修，有效防止晶圓的質(zhì)量問題。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置，包括控制裝置、機(jī)械手臂、對準(zhǔn)腔、反應(yīng)腔，所述控制裝置根據(jù)預(yù)設(shè)位置控制所述機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)；所述機(jī)械手臂用于抓取晶圓，并將所述晶圓運(yùn)輸?shù)剿鰧?zhǔn)腔內(nèi)進(jìn)行對準(zhǔn)，再將所述晶圓運(yùn)輸?shù)剿龇磻?yīng)腔內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)；其特征在于，還包括反饋裝置，所述反饋裝置與所述控制裝置相連，晶圓被運(yùn)輸?shù)綄?zhǔn)腔后，所述反饋裝置用于監(jiān)測所述晶圓在所述對準(zhǔn)腔內(nèi)的實(shí)際位置，并產(chǎn)生反饋信號(hào)反饋給所述控制裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述反饋裝置包括至少三個(gè)傳感器和PLC電路，每個(gè)所述傳感器均與所述PLC電路相連，用于探測所述晶圓的實(shí)際位置，并發(fā)送探測信號(hào)給所述PLC電路；所述PLC電路與所述控制裝置相連，用于接收、處理所述探測信號(hào)，并向所述控制裝置發(fā)出反饋信號(hào)。
3.如權(quán)利要求2所述的提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述傳感器為光敏傳感器。
4.如權(quán)利要求2所述的提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述傳感器的數(shù)量為四個(gè)，所述四個(gè)傳感器連線形成正四邊形，所述正四邊形的中心與晶圓預(yù)設(shè)位置的中心重合，兩兩對角傳感器的連線經(jīng)過所述晶圓預(yù)設(shè)位置的中心，每個(gè)所述傳感器到所述正四邊形的中心的距離比晶圓的半徑大2mm 3mm。
5.如權(quán)利要求1所述的提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法，其特征在于，包括將晶圓置于機(jī)械手臂上；設(shè)定所述晶圓在所述對準(zhǔn)腔和所述反應(yīng)腔中的預(yù)設(shè)位置，并存儲(chǔ)在所述控制裝置中；在所述控制裝置的控制下，所述機(jī)械手臂帶動(dòng)所述晶圓運(yùn)動(dòng)到所述對準(zhǔn)腔中；所述反饋裝置探測所述晶圓的實(shí)際位置，并發(fā)出反饋信號(hào)給所述控制裝置； 所述控制裝置根據(jù)所述反饋信號(hào)控制所述機(jī)械手臂調(diào)整晶圓的位置，并記錄調(diào)整量；所述機(jī)械手臂帶動(dòng)所述晶圓運(yùn)動(dòng)到所述反應(yīng)腔中，所述控制裝置根據(jù)所述調(diào)整量控制所述機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)，調(diào)整所述晶圓在反應(yīng)腔中的位置。
6.如權(quán)利要求5所述的提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法，其特征在于，所述反饋裝置包括至少三個(gè)傳感器和PLC電路，所述傳感器探測晶圓的實(shí)際位置，并發(fā)送探測信號(hào)給所述PLC電路；所述PLC電路用于接收、處理所述探測信號(hào)，并給所述控制裝置發(fā)出反饋信號(hào)。
7.如權(quán)利要求6所述的提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法，其特征在于，所述傳感器為光敏傳感器。
8.如權(quán)利要求6所述的提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置的使用方法，其特征在于，所述傳感器為四個(gè)，所述四個(gè)傳感器連線形成正四邊形，所述正四邊形的中心與晶圓預(yù)設(shè)位置的中心重合，兩兩對角傳感器的連線經(jīng)過所述晶圓預(yù)設(shè)位置的中心，每個(gè)所述傳感器到所述正四邊形的中心距離比晶圓的半徑大2mm 3mm。
全文摘要
本發(fā)明提供一種提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性的裝置和方法，包括控制裝置、機(jī)械手臂、對準(zhǔn)腔、反應(yīng)腔和反饋裝置，所述控制裝置根據(jù)預(yù)設(shè)位置控制所述機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)；所述機(jī)械手臂上放置晶圓，將所述晶圓運(yùn)輸?shù)剿鰧?zhǔn)腔內(nèi)進(jìn)行對準(zhǔn)，再將所述晶圓運(yùn)輸?shù)剿龇磻?yīng)腔內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)；所述反饋裝置與所述控制裝置相連，用于檢測所述機(jī)械手臂運(yùn)輸所述晶圓的實(shí)際位置，產(chǎn)生反饋信號(hào)反饋給所述控制裝置。本發(fā)明中增加了反饋裝置，能夠有效提高機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)的準(zhǔn)確性，并有效防所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)誤差導(dǎo)致的晶圓質(zhì)量問題。
文檔編號(hào)B25J19/00GK102315086SQ201010216469
公開日2012年1月11日 申請日期2010年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者許亮 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司