專利名稱：晶片吸附式傳輸機械手的制作方法
技術領域：
本發明涉及半導體專用設備用晶片傳輸機械手技術領域。
背景技術：
在半導體行業，許多半導體設備都需要進行晶片的搬運、傳輸，現在常見的機械手 較為簡單，只是由一個電機或兩個電機驅動，實現單自由度或雙自由度的運動，不能實現復 雜的運動。要實現多維運動，以往的機械手采用液壓式、氣動式，其設備體積大，成本高，運 行不穩定，可靠性低。
發明內容
本發明的目的是提供一種晶片吸附式傳輸機械手，不僅能夠提高和保證晶片傳輸 的可靠性、精確性和穩定性，而且可以方便實現3個或2個自由度運動，其使用靈活、結構緊 湊、體積小、成本低。特別適合在半導體專用設備上使用。本發明是這樣實現的一種晶片吸附式傳輸機械手，包括電機，其特征在于懸臂上 裝有第三電機，連接小軸通過第三軸承裝在懸臂上，連接小軸和第三電機軸相連，連接小軸 的另一端設有可吸附晶片的真空吸盤；懸臂和三維或二維運送裝置相連。所述的第三電機為步進電機較好。所述的三維運送裝置的結構可以是第一架體上裝有第一電機，第一電機的軸和 絲杠相連，絲杠通過第一軸承裝在第一架體上，絲杠和滑塊式絲母配合，滑塊式絲母和裝在 第一架體上的直線滑軌滑動配合；第二架體固定在滑塊式絲母上，第二架體上裝有第二電 機，第二電機和連接軸相連，連接軸通過第二軸承和懸臂相連。所述的二維空間傳輸裝置的結構可以是第二架體上裝有第二電機，第二電機和 連接軸相連，連接軸通過第二軸承和懸臂相連。所述的第一電機、第二電機均為伺服電機較好。所述的三維或二維運送裝置還可為其他結構，如反之，一級旋轉、二級Z向平動； 或三維都為直線平動，等結構。本發明的積極效果是能有效解決現有技術中存在的問題，不僅能夠提高和保證 晶片傳輸的可靠性、精確性和穩定性，而且可實現2個或3個自由度運動，如實現Z向直線 運動、機構的旋轉運動、直線伸縮運動、手爪的翻轉運動等；其使用靈活、結構緊湊、體積小、 工作效率高、成本低，有利于提高經濟效益。特別適合在減薄機等半導體專用設備上使用。 用途廣，通過減少電機個數以及驅動臂的個數，也可以變為2維機械手使用。下面結合一較佳實施例及附圖對本發明進一步說明，但不作為對本發明的限定。
圖1是本發明一個較佳實施例的結構示意圖。圖2是圖2的局部放大圖。
圖中1-第一電機，2-第一架體，3-第一聯軸器，4-第-軸承，5-絲杠，6_滑塊式 絲母，7-直線滑軌，8-第二架體，9-第二電機，10-第二聯軸器，11-第二軸承，12-連接軸， 13-懸臂，14-第三電機，15-第三聯軸器，16-連接小軸，17-第三軸承，18-轉接塊，19-真空 吸盤，20-晶片。
具體實施例方式見圖1 圖2，該晶片吸附式傳輸機械手，包括電機，懸臂13上裝有第三電機14， 連接小軸16通過第三軸承17裝在懸臂13上，連接小軸16和第三電機14軸相連，連接小 軸16的另一端設有可吸附晶片的真空吸盤19 ；懸臂13和三維或二維運送裝置相連。三維 運送裝置的結構為第一架體2上裝有第一電機1，第一電機1的軸和絲杠5相連，絲杠5通 過第一軸承4裝在第一架體2上，絲杠5和滑塊式絲母6配合，滑塊式絲母6和裝在第一架 體2上的直線滑軌7滑動配合；第二架體8固定在滑塊式絲母6上，第二架體8上裝有第二 電機9，第二電機9和連接軸12相連，連接軸12通過第二軸承11和懸臂13相連。本實施例為3自由度機械手的設計，通過對電機進行驅動，可以實現3個自由度的 運動。工作時1、驅動第一電機1旋轉，第一電機1的輸出軸通過第一聯軸器與絲杠5固定在一 起，第一電機1的旋轉可以帶動絲杠5旋轉，就可實現固定在直線滑軌7上的滑塊式絲母6 上的機構的直線運動，第二架體8固定在滑塊上，于是可完成整個機構的Z向直線運動。2、驅動第二電機9旋轉，第二電機9的輸出軸通過第二聯軸器10與連接軸12固 定在一起，第二電機9的旋轉可以帶動連接軸12的旋轉，懸臂13固定在連接軸12上，于是 可實現機構的整體旋轉。3、驅動第三電機14旋轉，第三電機14的輸出軸通過第三聯軸器15與連接小軸16 固定在一起，第三電機14的旋轉帶動連接小軸16進行旋轉，晶片20、真空吸盤20都與連接 小軸16固定在一起，于是可實現晶片20的翻轉運動。真空吸盤20可為彈性式吸盤，也可通過軟管和空壓機相連，或具有活塞抽拉式吸 盤等結構。
權利要求
一種晶片吸附式傳輸機械手，包括電機，其特征在于懸臂(13)上裝有第三電機(14)，連接小軸(16)通過第三軸承(17)裝在懸臂(13)上，連接小軸(16)和第三電機(14)軸相連，連接小軸(16)的另一端設有可吸附晶片的真空吸盤(19)；懸臂(13)和三維或二維運送裝置相連。
2.根據權利要求1所述的晶片吸附式傳輸機械手，其特征在于所述的第三電機(14)為 步進電機。
3.根據權利要求1所述的晶片吸附式傳輸機械手，其特征在于所述的三維運送裝置的 結構為第一架體(2)上裝有第一電機(1)，第一電機(1)的軸和絲杠(5)相連，絲杠(5)通 過第一軸承(4)裝在第一架體(2)上，絲杠(5)和滑塊式絲母(6)配合，滑塊式絲母(6)和 裝在第一架體(2)上的直線滑軌(7)滑動配合；第二架體(8)固定在滑塊式絲母(6)上，第 二架體(8)上裝有第二電機(9)，第二電機(9)和連接軸(12)相連，連接軸(12)通過第二 軸承(11)和懸臂(13)相連。
4.根據權利要求3所述的晶片吸附式傳輸機械手，其特征在于所述的第一電機(1)、第 二電機(9)均為伺服電機。
5.根據權利要求1所述的晶片吸附式傳輸機械手，其特征在于所述的二維空間傳輸裝 置的結構為第二架體(8)上裝有第二電機(9)，第二電機(9)和連接軸(12)相連，連接軸 (12)通過第二軸承(11)和懸臂(13)相連。
全文摘要
本發明提供了一種晶片吸附式傳輸機械手，涉及半導體專用設備用晶片傳輸機械手技術領域。包括電機，懸臂上裝有第電機，連接小軸通過第三軸承裝在懸臂上，連接小軸和第三電機軸相連，連接小軸的另一端設有可吸附晶片的真空吸盤；懸臂和三維或二維運送裝置相連。本發明不僅能夠提高和保證晶片傳輸的可靠性、精確性和穩定性，而且可實現2個或3個自由度運動，如實現Z向直線運動、機構的旋轉運動、直線伸縮運動、手爪的翻轉運動等；其使用靈活、結構緊湊、體積小、工作效率高、成本低，有利于提高經濟效益。特別適合在減薄機等半導體專用設備上使用。
文檔編號B25J15/06GK101890710SQ20101019593
公開日2010年11月24日 申請日期2010年6月10日 優先權日2010年6月10日
發明者張瑋琪, 衣忠波, 馬林 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所