專利名稱：機械手的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于運送諸如液晶玻璃基板的大型基板的機械手。
背景技術：
圖2是現有技術中用于運送大型基板的機械手的俯視圖。
在圖中，標號1表示機械臂；標號2表示與機械臂1的前端相連的機械手；以及標號3表示放置在機械手上的液晶玻璃基板。
機械手2包括安裝在機械臂1上的基座21，以及平行地安裝于基座21的一對支撐構件22。基座21和成對的支撐構件22形成C字形的平面形狀。這些支撐構件22在它們的上表面上設置有未示出的吸附裝置，以便吸附和固定液晶玻璃基板3。
隨著近年來液晶玻璃基板的大型化，機械手也大型化。然而，機械手必須在有限的空間內被操縱。結果產生了以下問題即，機械手會與外圍設備等碰撞，然后破壞外圍設備或正被運送的液晶基板。
發明內容
因此，本發明的一個目的是提供這樣一種機械手，當機械手與外圍設備等碰撞時，該機械手能通過檢測到碰撞而使機器人停止，還能吸收碰撞的沖擊，從而減少因碰撞而造成的損壞的發生。
為了實現上述目的，根據本發明的權利要求1，提供了一種機械臂，其包括安裝在機械臂前端上的基座，和平行地安裝于基座的一對支撐構件，用于在支撐構件上放置和運送大型基板，其中填充有流體的可膨脹/可收縮的中空構件安裝于所述支撐構件的前端。在權利要求2的發明中，機械手還包括用于檢測填充在中空構件中的流體的壓力的傳感器。而且，在權利要求3的發明中，傳感器安裝在基座中，且中空構件和傳感器通過埋設在支撐構件中的管線連接。
圖1是表示本發明的一個實施例的機械手的俯視圖；圖2是表示現有技術的示例的機械手的俯視圖。
具體實施例方式
以下將參考
本發明的實施例。
圖1是示出了本發明的實施例的機械手的俯視圖，部分為剖面圖。與現有技術共用的部分用相同的標號表示，這樣省略了對它們的描述。
在圖1中，標號41表示中空構件，它們被安裝在支撐構件22的前端。中空構件41由可膨脹/可收縮的盒或袋制成，盒或袋的材料為橡膠、軟合成樹脂或類似物。中空構件41被流體填充。用于填充中空構件41的該流體最好如清潔空氣一樣，即使它泄漏到外部也不會污染環境。但是，也可以選擇適于該目的的其他氣體或液體，例如水或油。
標號42表示管線，標號43表示壓力傳感器。管線42是設置在支撐構件22內的乙烯基塑料管，用于將在中空構件41中填充的流體的壓力傳遞到壓力傳感器43。該傳感器43安裝在基座中，用于檢測填充在中空構件41中的流體壓力，由此將表示流體壓力升高(如果有的話)的信號傳遞到機器人的控制裝置(未示出)。
這里將說明該機械手2的功能。當機械手2的前端與外界物質(例如外圍設備)接觸時，中空構件41發生變形從而填充在其中的流體的壓力升高。壓力傳感器43檢測到壓力升高并將信號傳送到機器人的控制裝置。響應于該信號，機器人的控制裝置判斷機械手2與外界物質接觸并立即停止機器人。而且，機械手2和外界物質之間的接觸而產生的沖擊被中空構件41的變形吸收了。簡而言之，中空構件41作為撞擊吸收墊，這樣它們可以防止機械手2和外界物質被嚴重損壞。
在此之前已經說明，本發明具有能用簡單機構可靠地檢測機械手和外界物質之間的接觸的優點。另一個優點是由于壓力傳感器和中空構件通過管線連接，因此壓力傳感器可以放置在遠離中空構件的位置。再一優點是由于放置傳感器的位置可以自由選擇，所以很容易設計在壓力傳感器和待傳送物體之間沒有干涉的機械手。
工業應用性本發明對用于傳送例如液晶玻璃基板的大型基板的機械手來說是有用的。
權利要求
1.一種機械手，包括安裝在機械臂前端上的基座，和一對平行地安裝于所述基座的支撐構件，用于在所述支撐構件上放置和運送大型基板，其特征在于，填充有流體的可膨脹/可收縮的中空構件安裝于所述支撐構件的前端。
2.如權利要求1所述的機械手，其特征在于，還包括用于檢測填充在所述中空構件中的流體的壓力的傳感器。
3.如權利要求2所述的機械手，其特征在于，所述傳感器安裝在所述基座中，以及所述中空構件和所述傳感器通過埋設在所述支撐構件中的管線連接。
全文摘要
本發明提供了一種機械手，其在機械手與外圍設備等碰撞時通過檢測碰撞而停止機器人，其還能吸收碰撞的沖擊從而減少因為碰撞而引起的損壞。該機械手(2)包括安裝在機械臂(1)前端上的基座(21)，和一對平行地安裝于所述基座(21)的支撐構件(22)，用于在所述支撐構件(22)上放置和運送大型基板(3)。填充有流體的可膨脹/可收縮的中空構件(41)安裝于所述支撐構件的前端(22)。
文檔編號B25J15/08GK1543673SQ0281617
公開日2004年11月3日 申請日期2002年8月15日 優先權日2001年8月20日
發明者塚本克則, 末吉智, 本克則 申請人:株式會社安川電機