專利名稱：晶圓盒開鎖工具的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種開鎖工具，特別涉及一種晶圓盒開鎖工具。
背景技術：
目前，在半導體生產工藝車間內，一般采用晶圓盒傳送晶圓。通常，現有的晶圓盒包括一面開口的盒體和門蓋，所述門蓋與盒體的開 口處相配合，用于封閉所述盒體，所述盒體的內壁設有用于放置晶圓的若干凹槽。所述門蓋上設有用于所述門蓋的鎖孔，一般有兩個鎖孔間隔設置。開鎖時，由于晶圓盒較重，并且內部裝有容易碰傷的晶圓，因此，需要一個操作人員托住晶圓盒，另一個操作人員依次將兩把鑰匙插入鎖孔內，分別轉動鑰匙，以打開鎖。并且，經常發生鑰匙遺失和兩把鑰匙不匹配的現象。可見，現有的開鎖方法，不但鑰匙不容易管理，而且需要兩個操作人員手動打開，費事費力。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種晶圓盒開鎖工具，可以方便操作人員開啟晶圓盒上的鎖，提高工作效率。為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案一種晶圓盒開鎖工具，包括鑰匙、鑰匙支撐件以及鑰匙驅動機構，所述鑰匙安裝于鑰匙支撐件上并露出所述鑰匙的頭部，所述鑰匙驅動機構與所述鑰匙連接并驅動所述鑰匙轉動。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述鑰匙驅動機構包括驅動單元和傳動單元，所述傳動單元分別與所述鑰匙和所述驅動單元連接，所述驅動單元經所述傳動單元驅動所述鑰匙轉動。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述驅動單元包括手柄、按鈕以及第一彈簧，所述手柄間隔設置于所述鑰匙支撐件的一側，所述手柄內設有一具有開口的內腔，所述按鈕設置于所述內腔內與所述開口向對應的位置，所述開口小于所述按鈕，所述第一彈簧設置于所述按鈕上遠離所述鑰匙支撐件的表面和與所述表面相對的所述手柄的內壁之間。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述驅動單元還包括一導銷，所述導銷的一端與所述手柄的內壁固定連接，所述按鈕的中部設有與所述導銷相匹配的銷孔，所述導銷的另一端伸入所述銷孔內。所述按鈕能夠相對所述導銷移動。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，還包括用于對按鈕起到緩沖作用的緩沖塊，所述緩沖塊設置于所述手柄的內壁上并與所述按鈕的兩端位置相對應。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述傳動單元包括牽拉繩和定滑輪，所述牽拉繩的一端與所述按鈕固定連接，所述牽拉繩的另一端與所述鑰匙的尾部固定連接，所述牽拉繩經所述定滑輪張緊并轉向，所述鑰匙支撐件內設有空腔，所述鑰匙的尾部安裝于所述空腔內，所述鑰匙的頭部位于所述鑰匙支撐件的外部，所述牽拉繩在所述按鈕的作用下帶動所述鑰匙轉動。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述傳動單元還包括一圓筒，所述圓筒位于所述空腔內，所述圓筒套固定設于所述鑰匙的尾部外側，所述牽拉繩的另一端經所述圓筒與所述鑰匙的尾部固定連接。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述傳動單元還包括一用于頂住所述鑰匙的第二彈簧，所述第二彈簧設置所述鑰匙的尾部與所述空腔的內壁之間。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述定滑輪設置于所述空腔靠近所述手柄的內壁上。優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述鑰匙的縱向與所述按鈕的運動方向平行。 優選的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，所述鑰匙的數量是兩把，兩個所述鑰匙間隔安裝于鑰匙支撐件上，所述傳動單元的數量是兩套，分別在所述驅動單元的作用下驅動對應的鑰匙轉動。本實用新型提供一種的晶圓盒開鎖工具，結構簡單，使用方便，其包括鑰匙、鑰匙支撐件以及鑰匙驅動機構，所述鑰匙安裝于鑰匙支撐件上并露出所述鑰匙的頭部，所述鑰匙驅動機構與所述鑰匙連接并驅動所述鑰匙轉動。使用時，只需要一個操作人員目測對準晶圓盒的鎖孔，將鑰匙的頭部插入對應的鎖孔內，并通過驅動所述鑰匙驅動機構帶動所述鑰匙轉動，可以方便、快捷的實現晶圓盒的開鎖工作，不但節省了人力，而且有效提高的工作效率。
本實用新型的晶圓盒開鎖工具由以下的實施例及附圖給出。圖I為本實用新型一實施例的晶圓盒開鎖工具的結構示意圖。圖2為本實用新型一實施例鑰匙支撐件、傳動單元一級按鈕的俯視示意圖。圖3為本實用新型一實施例的晶圓盒開鎖工具的按壓按鈕時的使用狀態圖。圖中，I-鑰匙，11-頭部，2-鑰匙支撐件，21-空腔，3_驅動單元，31-手柄，310-內腔，311-開口，32-按鈕，33-第一彈簧，34-導銷，41-牽拉繩，42-定滑輪，43-圓筒，44-第二彈簧，5-緩沖塊。
具體實施方式
下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。[0025]為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參閱圖I、圖2和圖3，這種晶圓盒開鎖工具，包括鑰匙I、鑰匙支撐件2以及鑰匙驅動機構，所述鑰匙I安裝于鑰匙支撐件2上并露出所述鑰匙I的頭部11，所述鑰匙驅動機構與所述鑰匙I連接并驅動所述鑰匙I轉動。使用時，只需要一個操作人員目測對準晶圓盒的鎖孔，將鑰匙I的頭部11插入對應的鎖孔內，并通過驅動所述鑰匙驅動機構帶動所述鑰匙I轉動，可以方便、快捷的實現晶圓盒的開鎖工作，不但節省了人力，而且有效提高的工作效率。較佳的,所述鑰匙驅動機構包括驅動單元和傳動單元,所述傳動單元分別與所述鑰匙I和所述驅動單元連接，所述驅動單元經所述傳動單元驅動所述鑰匙I轉動。 較佳的，所述驅動單元包括手柄31、按鈕32以及第一彈簧33，所述手柄31間隔設置于所述鑰匙支撐件2的一側，所述手柄31內設有一具有開口 311的內腔310，所述按鈕32設置于所述內腔310內與所述開口 311相對應的位置，所述開口 311小于所述按鈕32，所述第一彈簧33設置于所述按鈕32上遠離所述鑰匙支撐件2的表面和與所述表面相對的所述手柄31的內壁之間。較佳的，所述驅動單元還包括一導銷34，所述導銷34的一端與所述手柄31的內壁固定連接，所述按鈕32的中部設有與所述導銷34相匹配的銷孔，所述導銷34的另一端伸入所述銷孔內。所述按鈕32能夠相對所述導銷34移動。通過設置導銷34，可以使得按鈕32沿著指定的方向移動，防止按鈕32偏離指定的方向，提高了工具操作的穩定性。較佳的，在上述的晶圓盒開鎖工具中，還包括用于對按鈕32起到緩沖作用的緩沖塊5，所述緩沖塊5設置于所述手柄31的內壁上并與所述按鈕32的兩端位置相對應。本實施例中，所述緩沖塊5—共有四塊，分別設置于手柄31內壁上與所述按鈕32的上、下表面的兩端相對應的位置。通過設置緩沖塊，可以起到保護按鈕32的作用，以提高工具的使用壽命。 較佳的，所述傳動單元包括牽拉繩44和定滑輪42，所述牽拉繩44的一端與所述按鈕32固定連接，所述牽拉繩44的另一端與所述鑰匙I的尾部固定連接，所述牽拉繩44經所述定滑輪42張緊并轉向，所述鑰匙支撐件2內設有空腔21，所述鑰匙I的尾部安裝于所述空腔21內，所述鑰匙I的頭部11位于所述鑰匙支撐件2的外部，所述牽拉繩44在所述按鈕32的作用下帶動所述鑰匙I轉動。通過設置牽拉繩44和定滑輪42可以將牽拉繩44的方向改變，在一定程度上能夠起到節約空間的作用較佳的，所述定滑輪42設置于所述空腔21靠近所述手柄31的內壁上，可以使得工具的內部結構經湊。較佳的，所述傳動單元還包括一圓筒43，所述圓筒43位于所述空腔21內，所述圓筒43套固定設于所述鑰匙I的尾部外側，所述牽拉繩44的另一端經所述圓筒43與所述鑰匙I的尾部固定連接。由于鑰匙I的尾部的外徑相對比較小，圓筒43的外徑較大，通過在所述鑰匙I的尾部外側套設圓筒43，可以便于牽拉繩44拉動所述圓筒43轉動，從而帶動所述鑰匙I轉動。較佳的，所述傳動單元還包括一用于頂住所述鑰匙I的第二彈簧44，所述第二彈簧44設置所述鑰匙I的尾部與所述空腔21的內壁之間。通過設置第二彈簧44，可以使得鑰匙I的頭部11始終露在所述鑰匙支撐件2的外面，保證其正常開鎖。較佳的，所述鑰匙I的縱向與所述按鈕32的運動方向平行，可以在一定程度上簡化工具的結構和減小其體積。較佳的，所述鑰匙I的數量是兩個，兩個所述鑰匙I間隔安裝于鑰匙支撐件2上，所述傳動單元的數量是兩套，分別在所述驅動單元的作用下驅動對應的鑰匙I轉動。由于晶圓盒上一般有兩個鎖孔，因此，需要在工具上配置兩把鑰匙I和兩套傳動單元。使用時，只需要一個操作人員目測對準晶圓盒的鎖孔，將兩把鑰匙I的頭部11插入對應的鎖孔內，按動按鈕32就可以實現將兩把鑰匙I的通部轉動，可以方便、快捷的實現晶圓盒的開鎖工作，不但節省了人力，而且有效提高的工作效率。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及 其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種晶圓盒開鎖工具，其特征在于，包括鑰匙、鑰匙支撐件以及鑰匙驅動機構，所述鑰匙安裝于鑰匙支撐件上并露出所述鑰匙的頭部，所述鑰匙驅動機構與所述鑰匙連接并驅動所述鑰匙轉動。
2.根據權利要求I所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，所述鑰匙驅動機構包括驅動單元和傳動單元，所述傳動單元分別與所述鑰匙和所述驅動單元連接，所述驅動單元經所述傳動單元驅動所述鑰匙轉動。
3.根據權利要求2所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，所述驅動單元包括手柄、按鈕以及第一彈簧，所述手柄間隔設置于所述鑰匙支撐件的一側，所述手柄內設有一具有開口的內腔，所述按鈕設置于所述內腔內與所述開口向對應的位置，所述開口小于所述按鈕，所述第一彈簧設置于所述按鈕上遠離所述鑰匙支撐件的表面和與所述表面相對的所述手柄的內壁之間。
4.根據權利要求2所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，所述驅動單元還包括一導銷，所述導銷的一端與所述手柄的內壁固定連接，所述按鈕的中部設有與所述導銷相匹配的銷孔，所述導銷的另一端伸入所述銷孔內，所述按鈕能夠相對所述導銷移動。
5.根據權利要求2所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，還包括用于對按鈕起到緩沖作用的緩沖塊，所述緩沖塊設置于所述手柄的內壁上并與所述按鈕的兩端位置相對應。
6.根據權利要求2所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，所述傳動單元包括牽拉繩和定滑輪，所述牽拉繩的一端與所述按鈕固定連接，所述牽拉繩的另一端與所述鑰匙的尾部固定連接，所述牽拉繩經所述定滑輪張緊并轉向，所述鑰匙支撐件內設有空腔，所述鑰匙的尾部安裝于所述空腔內，所述鑰匙的頭部位于所述鑰匙支撐件的外部，所述牽拉繩在所述按鈕的作用下帶動所述鑰匙轉動。
7.根據權利要求6所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，所述傳動單元還包括一圓筒，所述圓筒位于所述空腔內，所述圓筒套固定設于所述鑰匙的尾部外側，所述牽拉繩的另一端經所述圓筒與所述鑰匙的尾部固定連接。
8.根據權利要求6所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，所述傳動單元還包括一用于頂住所述鑰匙的第二彈簧，所述第二彈簧設置所述鑰匙的尾部與所述空腔的內壁之間。
9.根據權利要求I所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，所述鑰匙的縱向與所述按鈕的運動方向平行。
10.根據權利要求2、中任意一項所述的晶圓盒開鎖工具，其特征在于，所述鑰匙的數量是兩個，兩個所述鑰匙間隔安裝于鑰匙支撐件上；所述傳動單元的數量是兩套，分別在所述驅動單元的作用下驅動對應的鑰匙轉動。
專利摘要本實用新型提供一種晶圓盒開鎖工具，包括鑰匙、鑰匙支撐件以及鑰匙驅動機構，所述鑰匙安裝于鑰匙支撐件上并露出所述鑰匙的頭部，所述鑰匙驅動機構與所述鑰匙連接并驅動所述鑰匙轉動。所述晶圓盒開鎖工具，結構簡單，使用方便，使用時，只需要一個操作人員目測對準晶圓盒的鎖孔，將鑰匙的頭部插入對應的鎖孔內，并通過驅動所述鑰匙驅動機構帶動所述鑰匙轉動，可以方便、快捷的實現晶圓盒的開鎖工作，不但節省了人力，而且有效提高的工作效率。
文檔編號E05B19/20GK202788238SQ20122052105
公開日2013年3月13日 申請日期2012年10月11日 優先權日2012年10月11日
發明者吳良輝 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司