多線切割機主軸軸承箱用的拆裝裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于硅晶圓切割生產技術領域,主要是一種針對多線切割機主軸軸承箱的拆裝裝置。
【背景技術】
[0002]多線切割技術是硅晶圓加工的一種新型切割加工方法,它的工作原理是通過金屬線纏繞在滾筒上,組成線網,金屬線通過導輪系統的帶動,高速往復運動,把刃料帶入加工區域對硅晶圓進行研磨,將晶棒一次,同時切割成數百片厚度比較一致的薄片。
[0003]當今世界上,生產多線切割設備的廠家主要有:瑞士的MB公司,HCT公司。日本的NTC,不二越機械等。在2003年,世界光伏產業井噴式發展的環境下,中國光伏產業迅速崛起,國外生產廠家趁機打入中國市場。資料顯示:NTC多線切割設備在中國的占有率大約為65%,其中,MWM442機型,因為,結構簡單,人機界面操作方便,出片率高。國內硅行業大量采購。
[0004]MWM442DM工作原理:該機兩根主軸線輪使用一臺伺服電機驅動,主動輪和被動輪之間安裝帶有線槽的繞線滾筒,左右滾筒之間用金屬線連接,用一定的張力纏繞數百圈,晶棒通過步進電機慢速進給,使晶棒通過高速運轉的金屬線網進行切割。由于金屬線高速運動,滾筒處于高速旋轉中,其旋轉的靈活性,端跳,徑跳對整個設備的可靠性起到關鍵作用。如果主軸軸承箱軸承出現問題,會造成工作不穩定,嚴重時會造成線網斷線等故障,所以,主軸運行的好壞,對晶棒的切割數據起到主要影響。
[0005]在實際操作中,因為NTC442DM的工作區非常狹窄,軸承箱又非常重,拆裝困難。并且,在操作中,有安全隱患。
【實用新型內容】
[0006]為了提高工作效率,保證操作安全可靠。本實用新型設計提出了一種多線切割機主軸軸承箱用的拆裝裝置,依托工作區限有位置,固定一塊20mm厚的,經過熱處理的鋁合金板,把軸承箱通過拆卸式高度調整導塊組件安裝在鋁合金底板的弧形軌道槽中。把軸承箱放于拆卸式高度調整導塊組件上,微調拆卸式高度調整導塊組件,直至與固定筒平行,用液壓缸把軸承箱平行推進固定筒。
[0007]為實現上述發明目的,本實用新型采取的技術方案是:多線切割機主軸軸承箱用的拆裝裝置,由表面設有弧形軌道槽的底板和設置在底板上的拆卸式高度調整導塊組件組成,所述的拆卸式高度調整導塊組件由固定導塊、移動導塊和調節螺栓組成,固定導塊的底面上設有可沿弧形軌道槽滑動的弧形凸面,固定導塊的上端面為傾斜的斜面,移動導塊可沿固定導塊上滑動,其底面為與固定導塊上端面相匹配的傾斜面,移動導塊通過調節螺栓固定在固定導塊上。
[0008]本實用新型所述的移動導塊的頂面上設有防磨墊。
[0009]本實用新型所述的防磨墊的頂面為用于固定軸承箱的弧形凹面。
[0010]本實用新型有益效果是:
[0011 ] 1、本裝置使用方便,提高了安裝的安全性,便捷性,方便軸承箱的拆卸。
[0012]2、拆卸式高度調整導塊組件由下部固定導塊,上部移動導塊,調整螺栓,防磨墊組成。其中,下部固定導塊底部有兩條平行的半圓形凸面,與第一部分軌道槽相契合。上部移動導塊表面覆蓋一塊有凹面的防磨墊,以防止軸承箱外表面磨傷。調整螺栓聯接固定導塊和移動導塊,使移動導塊在固定導塊上平滑移動,調節高度。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的結構示意圖;
[0014]圖2是本實用新型的導塊組件的結構示意圖;
[0015]圖3是本實用新型的導塊組件的側視結構示意圖;
[0016]圖4是本實用新型的使用狀態示意圖;
[0017]圖中:1、底板,2、把手,3、弧形軌道槽,4、固定導塊,5、移動導塊,6、調整螺栓,7、防磨墊,8、弧形凸面,9、拆裝裝置,10、固定筒,11、主軸軸承箱。
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖給出本實用新型的實施方式如下:如圖1、圖2、圖3所示,本實用新型所述的一種針對多線切割機主軸軸承箱用的拆裝裝置,主要是由底板1、把手2、弧形軌道槽3、固定導塊4、移動導塊5、調整螺栓6、防磨墊7、弧形凸面8構成。其中底板I是采用合金鋁材料加工制成,表面進行熱處理,提高其機械強度和硬度。底板上開設有用以固定固定導塊4的弧形軌道槽3。把手2用304不銹鋼制成,可隱藏于底板中。用調整螺栓6聯接固定導塊4和移動導塊5,用四氟材質制成的防磨墊7表面制成一個弧形凹面,附著于移動導塊上,用以固定軸承箱。使用時,把底板I放置于多線切割機固定筒附近,把固定導塊4的弧形凸面8放置在底板I的弧形軌道槽3中。將軸承箱放置于移動導塊5上的防磨墊7中的弧形凹槽上,通過移動導塊在固定導塊上的相對滑動,實現移動導塊與軸承箱之間的距離調整,待調整到合適高速,利用調整螺栓6將移動導塊的位置固定,用液壓缸把軸承箱水平推進固定筒。
[0019]通過調整螺栓6固定的方式如下:可將固定導塊的一端豎直設置,在豎起設置的部分開設槽口,在移動導塊按軸向方向開設插口,當移動導塊位置調整完畢,調整螺栓卡在槽口內,其另一端插入插口,通過扭動螺母完成對移動導塊的固定。
【主權項】
1.多線切割機主軸軸承箱用的拆裝裝置,其特征在于:由表面設有弧形軌道槽(3)的底板和設置在底板(I)上的導塊組件組成,所述的導塊組件由固定導塊(4)、移動導塊(5)和調節螺栓(6)組成,固定導塊(4)的底面上設有可沿弧形軌道槽(3)滑動的弧形凸面(8),固定導塊(4)的上端面為傾斜的斜面,移動導塊(5)可沿固定導塊(4)上滑動,其底面為與固定導塊(4)上端面相匹配的傾斜面,移動導塊(5)通過調節螺栓(6)固定在固定導塊(4)上。2.如權利要求1所述的多線切割機主軸軸承箱用的拆裝裝置,其特征在于:所述的移動導塊(5)的頂面上設有防磨墊(7)。3.如權利要求2所述的多線切割機主軸軸承箱用的拆裝裝置,其特征在于:所述的防磨墊(7)的頂面為用于固定軸承箱的弧形凹面。
【專利摘要】多線切割機主軸軸承箱用的拆裝裝置,主要由兩部分組成:第一部分:平行軌道底板。第二部分:可拆卸式高度調整導塊組件,可拆卸式高度調整導塊組件由下部固定導塊,上部移動導塊,調整螺栓,防磨墊。其中,下部固定導塊底部有兩條平行的半圓形凸面,與第一部分軌道槽相契合。上部移動導塊表面覆蓋一塊有凹面的防磨墊,以防止軸承箱外表面磨傷。調整螺栓聯接固定導塊和移動導塊,使移動導塊在固定導塊上平滑移動,調節高度。
【IPC分類】B28D5/04, B28D7/00
【公開號】CN204819989
【申請號】CN201520607989
【發明人】王曉飛, 張明亮, 卓圓, 李建剛, 李海濤, 王海君, 寇文杰
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月13日