用于光罩品質檢驗的暗室的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及光罩制作領域，尤其涉及一種用于光罩品質檢驗的暗室。
【背景技術】
[0002]近年來，隨著世界范圍內面板產業的迅速發展，對大尺寸高精度的TFT、CF及普通面板的需求量也逐年的上升，與之對應的光罩(俗稱Mask)的需求量也在日益增加，同時更大尺寸及更高精度的面板也對Mask的制作工藝提出了更高的要求。尤其是Mask在制程及機器檢查完成后，需要工作人員在強光燈下進行目視檢查。現有目視檢查通常由I名或多名工作人員完成，工作人員佩戴無塵手套后雙手握持Mask，在強光燈下肉眼檢查外觀、臟污、缺陷等項目。
[0003]然而，上述目視檢查存在很多缺陷:(1)該檢驗通常要在ClasslOOO的無塵環境中進行，環境質量的好壞對檢查的效果有著很大的影響；(2)由于強光燈置于車間內，車間內的白光對強光燈的光強有著很大的影響，對于1ym以下的表面缺陷不易觀察，而微小缺陷的存在對客戶使用Mask有致命影響，同時周圍環境的過亮以及強光燈本身對Mask表面的反光會嚴重影響檢驗人員的視覺判斷；(3)強光燈亮度不易調節，且長時間在強光燈下工作對人眼有一定的傷害。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型實施例所要解決的技術問題在于，提供一種環境質量高，光線不受外界影響，安全、方便且高效的用于光罩品質檢驗的暗室。
[0005]為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提出了一種用于光罩品質檢驗的暗室，所述暗室為可容納工作人員在其內部進行光罩品質檢驗的封閉空間，由立體框架和固設于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成，所述暗室的一側壁開設一門框并在所述門框上鉸接有暗室門，所述暗室內部設有供工作人員進行檢視的可調式綠光燈。
[0006]進一步地，所述暗室的頂壁設有包括兩級過濾網的過濾送風裝置。
[0007]進一步地，所述暗室內部還設有可供工作人員進行檢視操作的操作臺。
[0008]進一步地，所述立體框架由空心管材搭建而成，所述暗室的側壁采用防火阻燃的布料，并采用鋁制薄片和螺絲釘將所述布料固定于立體框架上。
[0009]進一步地，所述立體框架的底部下方設有多個輪架和與所述輪架匹配的輪子。
[0010]進一步地，所述立體框架的底部下方還設有多個調節支座。
[0011]本實用新型實施例的用于光罩品質檢驗的暗室的有益效果是:通過采用由立體框架和固設于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成的暗室，并在暗室內設置可調式濾光燈，從而達到了目視檢查環境質量高，光線不受外界影響，安全、方便且高效的技術效果。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型實施例的用于光罩品質檢驗的暗室的透視結構示意圖。
[0013]圖2是圖1所示暗室的另一角度的透視圖。
[0014]圖3是圖1所示暗室的俯視圖。
【具體實施方式】
[0015]需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互結合，下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。
[0016]請參考圖1至圖3，本實用新型實施例提供了一種用于光罩品質檢驗的暗室，所述暗室為可容納工作人員在其內部進行光罩品質檢驗的封閉空間，由立體框架10和固設于所述立體框架10上的黑色塊狀壁面組成，所述暗室的一側壁開設一門框并在所述門框上鉸接有暗室門20，所述暗室內部設有供工作人員進行檢視的可調式綠光燈30。在暗室內使用綠光燈30，該綠光燈30具有操作簡單、易使用、照射面積廣、效果好、對人體無害、對眼睛損傷小的優點，可以清晰明確判斷Mask表面各種缺陷，尤其方便確認ΙΟμπι以下的傷痕和微粒子等表面缺陷，并且綠光燈30的光源部可以分離、亮度可調，可以根據Mask的大小及暗室空間位置等任意擺放。
[0017]所述立體框架10由空心管材搭建而成，所述暗室的側壁采用防火阻燃的布料，并采用鋁制薄片和螺絲釘將所述布料固定于立體框架10上。其中，所示管材優選為空心鋼管或鋁管。暗室的室內面積可依需設定，一般設為5平方米至10平方米，本實施方式中，立體框架10的長寬高分別為3m、3m和3m。
[0018]所述暗室的頂壁設有包括兩級過濾網的過濾送風裝置40。具體地，暗室的頂壁安裝風機過濾機，并設有初、高效兩級過濾網。風機從頂部將空氣吸入并經初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以預定的風速勻速送出，內部空氣通過底部縫隙流出，進而既提高了暗室內的潔凈度級別，營造了黑暗環境，方便品質檢驗，也無需改變車間布局及對整個車間進行環境等級的升級改造(如由ClasslOOO改造為Class 100等)，大大降低了造價成本。
[0019]所述暗室內部還設有可供工作人員進行檢視操作的操作臺(圖未示出)。
[0020]所述立體框架10的底部下方設有多個輪架50和與所述輪架50匹配的輪子60，所述立體框架10的底部下方還設有多個調節支座70。所述輪子60方便了暗室的移動，所述調節支座70設于暗房的四個底角，底部為平面，保證整個暗房的平穩。
[0021]本實用新型實施例的暗室對應的目視檢查準備工作包括:使暗室內的風機過濾機一直處于開啟狀態，以保證暗室內的環境質量，準備好丙酮、無塵紙、無塵布以及相對應且清潔干凈的出貨箱，將這些輔材放置在暗室的操作臺上，將清洗干凈的Mask拿入暗室，并提前15分鐘打開暗室的綠光燈30，具體的目視檢查過程為:
[0022](I)工作人員首先重新進入風淋室，吹一次風淋以吹掉身上的臟污，以免檢驗時身上及衣袖內的臟污或灰塵掉落在Mask上。
[0023](2)佩戴新的無塵手套，新佩戴的無塵手套也可經過酒精的擦拭保持其潔凈度。
[0024](3)在綠光燈30下對Mask進行目視檢查。
[0025](4)檢驗完畢后，若Mask無任何問題，即打開包裝箱，將Mask放入其中，打包出貨。
[0026]綜上，本實用新型實施例通過在車間內狹小空間的范圍內搭建檢驗暗室，以控制人工檢查的小范圍內環境質量以及環境的亮暗程度，先將環境亮度調整為全黑環境，并進行過濾送風，然后配合綠光燈30的使用，從而使得人工檢驗更加安全，減少了臟污來源，既降低成本(及車間整體環境改造的成本)又提升工作人員檢驗Mask的質量和效率。
[0027]以上所述是本實用新型的【具體實施方式】，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種用于光罩品質檢驗的暗室，其特征在于，所述暗室為可容納工作人員在其內部進行光罩品質檢驗的封閉空間，由立體框架和固設于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成，所述暗室的一側壁開設一門框并在所述門框上鉸接有暗室門，所述暗室內部設有供工作人員進行檢視的可調式綠光燈。
2.如權利要求1所述的用于光罩品質檢驗的暗室，其特征在于，所述暗室的頂壁設有包括兩級過濾網的過濾送風裝置。
3.如權利要求1所述的用于光罩品質檢驗的暗室，其特征在于，所述暗室內部還設有可供工作人員進行檢視操作的操作臺。
4.如權利要求1所述的用于光罩品質檢驗的暗室，其特征在于，所述立體框架由空心管材搭建而成，所述暗室的側壁采用防火阻燃的布料，并采用鋁制薄片和螺絲釘將所述布料固定于立體框架上。
5.如權利要求1至4中任一項所述的用于光罩品質檢驗的暗室，其特征在于，所述立體框架的底部下方設有多個輪架和與所述輪架匹配的輪子。
6.如權利要求1至4中任一項所述的用于光罩品質檢驗的暗室，其特征在于，所述立體框架的底部下方還設有多個調節支座。
【專利摘要】本實用新型實施例公開了一種用于光罩品質檢驗的暗室，所述暗室為可容納工作人員在其內部進行光罩品質檢驗的封閉空間，由立體框架和固設于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成，所述暗室的一側壁開設一門框并在所述門框上鉸接有暗室門，所述暗室內部設有供工作人員進行檢視的可調式綠光燈。本實用新型實施例通過采用由立體框架和固設于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成的暗室，并在暗室內設置可調式濾光燈，從而達到了環境質量高，光線不受外界影響，安全、方便且高效的技術效果。
【IPC分類】E04H1-12, G01N21-01
【公開號】CN204266627
【申請號】CN201420707913
【發明人】杜武兵, 林偉
【申請人】深圳市路維光電股份有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2014年11月21日