本技術涉及定位裝置,尤其涉及一種管芯加工用定位工裝。
背景技術:
1、管芯是指在集成電路中制造集成塊所用的芯片,管芯制造過程中需要對單晶硅棒進行切割,使硅棒分離為多個硅片,切割過程中需要對單晶硅棒進行定位。
2、由于在對硅棒進行切割前會先將硅棒多余的部分切除,再對剩余的硅棒進行切片處理,現有的硅棒定位方式多為利用可上下移動的夾持件組成,夾持件為與硅棒表面相貼合的弧形,但是該弧形表面難以與不同粗細的硅棒表面完全貼合,所以在對不同粗細的硅棒進行夾持時,容易導致硅棒表面受力不均勻,進而影響定位穩定性。
3、因此,有必要提供一種新的管芯加工用定位工裝解決上述技術問題。
技術實現思路
1、為解決現有的硅棒定位夾持件的弧形表面難以與不同粗細的硅棒表面完全貼合的技術問題,本實用新型提供一種管芯加工用定位工裝。
2、本實用新型提供的管芯加工用定位工裝包括:底座;多個固定板,多個所述固定板均固定安裝在所述底座上;多個夾桿,多個所述夾桿分別轉動安裝在多個所述固定板之間;多個橡膠球,多個所述橡膠球分別固定安裝在多個所述夾桿上;限位組件,所述限位組件設置在所述底座上,所述限位組件用于根據管芯內徑大小限定多個所述夾桿的間距;驅動組件,所述驅動組件設置在所述底座上。
3、優選的,所述限位組件包括螺紋桿、調節板和卡筒,所述螺紋桿轉動安裝在所述底座的底部,所述調節板螺紋套設在所述螺紋桿上,所述卡筒固定安裝在所述調節板的頂部,所述卡筒可與多個所述夾桿相接觸。
4、優選的,所述驅動組件包括固定環、多個支撐桿、支撐座和電機,所述固定環固定安裝在所述底座上,多個所述支撐桿均固定安裝在所述固定環的底部,所述支撐座固定安裝在多個所述支撐桿的底部,所述電機固定安裝在所述支撐座的頂部,所述電機的輸出軸與所述螺紋桿固定連接,所述支撐座可拆卸安裝在管芯原料的加工機械上。
5、優選的,多個所述夾桿上均固定安裝有兩個限位桿,多個所述夾桿外均活動套設有同一個彈力環,所述彈力環位于多個所述限位桿之間。
6、優選的,所述支撐座的頂部固定安裝有兩個限位筒,兩個所述限位筒內均滑動安裝有限位塊,兩個所述限位塊的頂部均固定安裝有分并延伸至兩個所述限位筒外的連接桿,兩個所述連接桿均與所述調節板固定連接。
7、優選的,所述底座的頂部固定安裝有防滑墊,所述支撐座的頂部設有導流槽。
8、優選的,所述卡筒外設有多個限位槽,多個所述夾桿分別與多個所述限位槽的內壁相接觸。
9、與相關技術相比較,本實用新型提供的管芯加工用定位工裝具有如下有益效果:
10、本實用新型提供一種管芯加工用定位工裝:
11、1、通過調節夾桿與底座的夾角可以調節多個夾桿的間距,配合橡膠球可以對管芯原料進行夾持固定,橡膠球各個方向的平面角度相同,可以保證夾持不同粗細管芯原料時,不同粗細的管芯原料各方面受力相同,通過轉動螺紋桿可以調節調節板的高度,從而可以調節卡筒的高度,通過卡筒對夾桿進行限位可以增加夾桿的穩定性,通過固定環配合支撐座可以保證本裝置的穩定性,通過電機驅動螺紋桿轉動調節調節板的高度相較于人工調節更為節省人力;
12、2、通過彈力環可以在卡筒不接觸夾桿時使多個橡膠球相互遠離,通過限位桿可以增加彈力環的穩定性,通過限位筒配合連接桿可以在不影響調節板上下移動的同時增加調節板的穩定性,通過限位塊可以防止連接桿脫離限位筒,通過防滑墊可以增加單晶硅棒放置在底座頂部的穩定性,通過導流槽可以對切割時產生的污水進行引導排放,通過限位槽可以增加夾桿角度調節時的穩定性,防止夾桿偏移影響夾持固定效果。
1.一種管芯加工用定位工裝,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的管芯加工用定位工裝,其特征在于,所述限位組件包括螺紋桿、調節板和卡筒,所述螺紋桿轉動安裝在所述底座的底部,所述調節板螺紋套設在所述螺紋桿上,所述卡筒固定安裝在所述調節板的頂部,所述卡筒可與多個所述夾桿相接觸。
3.根據權利要求2所述的管芯加工用定位工裝,其特征在于,所述驅動組件包括固定環、多個支撐桿、支撐座和電機,所述固定環固定安裝在所述底座上,多個所述支撐桿均固定安裝在所述固定環的底部,所述支撐座固定安裝在多個所述支撐桿的底部,所述電機固定安裝在所述支撐座的頂部,所述電機的輸出軸與所述螺紋桿固定連接,所述支撐座可拆卸安裝在管芯原料的加工機械上。
4.根據權利要求1所述的管芯加工用定位工裝,其特征在于,多個所述夾桿上均固定安裝有兩個限位桿,多個所述夾桿外均活動套設有同一個彈力環,所述彈力環位于多個所述限位桿之間。
5.根據權利要求3所述的管芯加工用定位工裝,其特征在于,所述支撐座的頂部固定安裝有兩個限位筒,兩個所述限位筒內均滑動安裝有限位塊,兩個所述限位塊的頂部均固定安裝有分并延伸至兩個所述限位筒外的連接桿,兩個所述連接桿均與所述調節板固定連接。
6.根據權利要求3所述的管芯加工用定位工裝,其特征在于,所述底座的頂部固定安裝有防滑墊,所述支撐座的頂部設有導流槽。
7.根據權利要求2所述的管芯加工用定位工裝,其特征在于,所述卡筒外設有多個限位槽,多個所述夾桿分別與多個所述限位槽的內壁相接觸。