可鋼化低輻射鍍膜玻璃的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第一復合介電層、第一復合保護阻擋層、第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層、第三復合介電層及頂層保護介電層。本實用新型具有可提高可見光透過率及增強耐化學侵蝕性能的優點。
【專利說明】可鋼化低輻射鍍膜玻璃
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種低輻射玻璃，尤其是一種可用于中空玻璃室內面(朝向室內的一面)的可鋼化低輻射鍍膜玻璃。
【背景技術】
[0002]低輻射節能玻璃(Low-E)雖然是目前節能玻璃中市場認可度較高的產品。低輻射節能玻璃是采用真空磁控濺射方法在玻璃表面上鍍上一層或兩層或多層的膜層，來降低能量吸收或控制室內外能量交換，保障生活、工作的舒適性，并以此達到環保節能的目的。
[0003]低輻射節能玻璃具有傳熱系數低和反射紅外線的特點。它的主要功能是降低室內外遠紅外線的輻射能量傳遞，而允許太陽能輻射盡可能多地進入室內，從而維持室內的溫度，節省暖氣、空調費用的開支。低輻射玻璃是一種既能像浮法玻璃一樣讓室外太陽能、可見光透過，又像紅外線反射鏡一樣，將物體二次輻射熱反射回去的新一代鍍膜玻璃。在任何氣候環境下使用，均能達到控制陽光、節約能源、熱量控制調節及改善環境。
[0004]然而現有的低輻射節能玻璃可見光透過率的較低且耐化學侵蝕性能不強，通常需要合成中空，鍍膜面朝向中空里面使用，而不能單片使用。
實用新型內容
[0005]鑒于上述狀況，有必要提供一種可用于中空玻璃室內面(朝向室內的一面)的可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其可提高可見光透過率及增強耐化學侵蝕性能。
[0006]一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第一復合介電層、第一復合保護阻擋層、第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層、第三復合介電層及頂層保護介電層。
[0007]該第一復合介電層、第二復合介電層或第三復合介電層的厚度為大于或等于6nm ；該第一復合保護阻擋層的厚度為0.3-60nm，第二復合保護阻擋層的厚度為大于或等于
0.2nm，第三復合保護阻擋層的厚度為大于或等于0.2nm ;該第一調控功能層或第二調控功能層的厚度為大于或等于1nm ;該頂層保護介電層的厚度為大于或等于lnm。
[0008]該第一復合介電層、第二復合介電層或第三復合介電層的厚度為6?150nm ;該第一復合保護阻擋層的厚度為0.3-10nm，第二復合保護阻擋層的厚度為0.2?40nm，第三復合保護阻擋層的厚度為0.2?40nm ;該第一調控功能層或第二調控功能層的厚度為10?800nm ;該頂層保護介電層的厚度為大于或等于I?60nm。
[0009]該第一復合介電層、第二復合介電層或第三復合介電層由一層或多層組成且其材料包括 SixMyNz, SixMyOz, SiwMxNyOz, ZnxMyOz, ZnxMyNz, ZnwMxNyOz, TixMyOz, TixMyNz,TiwMxNyOz中的一種或幾種,其中M是Al、Sn、In、Sb、F、Ga或B, w, x, y, z為質量分數,其大小為 0%彡 w 彡 100%，0%彡 X 彡 100%，0%彡 100%，0%彡 z 彡 100%。
[0010]該第一復合保護阻擋層由一層或多層組成且其材料包括SSxMyOz, TixMyOz,SiwMxOy, NixCryOz, ZnxAlyOz, ZnxMyNz, ZnwMxNyOz, TixMyNz, TiwMxNyOz 中的一種或幾種，其中M是Al、Sn、In、Sb、F、Ga或B，w, x, y，z為質量分數，其大小為0%^ w ^ 100%,0%^ X ^ 100%,0%^ y ( 100%,0%^ z ( 100% ;第二復合保護阻擋層或第三復合保護阻擋層由一層或多層組成且其材料包括SSxMyOz, TixMyOz, SiwMxOy, NixCryOz, ZnxAlyOz,ZnxMyNz, znwMxNyOz, TixMyNz, TiwMxNyOz, AuxMy 中的一種或幾種，其中 M 是 Al、Sn、In、Sb、F、Ga或B，w, x, y, z為質量分數，其大小為0%彡w彡100%，0%彡x彡100%，0%彡 y 彡 100%，0%彡 z 彡 100%。
[0011]該第一調控功能層或第二調控功能層由一層或多層組成且其材料包括ZnxMyOz，ZnxAlyMzOw, InxMyOz, InxSnyMzOw, InxMyZnzOw, InxGayZnzOw, ZnxGayOz 中的一種或幾種，其中M是Al、Sn、In、Sb、F、Ga或B，w, x, y，z為質量分數，其大小為0%^ w ^ 100%,0%彡 X 彡 100%，0%彡 y 彡 100%，0%彡 z 彡 100%。
[0012]該頂層保護介電層由一層或多層組成且其材料包括SixMyNz, SixMyOz,SiwMxNyOz,ZnxMyOz,ZnxMyNz,ZnwMxNyOz,TixMyOz,TixMyNz,TiwMxNyOz,ZrxOyNz 中的一種或幾種，其中M是Al、Sn、In、Sb、F、Ga或B，w，x，y，z為質量分數，其大小為0%彡w彡100%，0%<x<100%，0%<y<100%，0%<z<100%。
[0013]該第一復合介電層、第二復合介電層或第三復合介電層由一層或多層組成且其材料包括 SixAlyNz, SixAlyNz, SixAlyOz, SiwAlxNyOz, ZnxAlyOz, ZnxAlyNz, ZnwAlxNyOz,TixAlyOz, TixAlyNz, TiwAlxNyOz中的一種或幾種；該第一復合保護阻擋層由一層或多層組成且其材料包括 SSxOz, SS, NixCryOz, NixCry, SixAlyNz, SixAlyOz, SiwAlxNyOz,ZnxAlyOz, ZnxAlyNz, ZnwAlxNyOz, TixAlyOz, TixAlyNz, TiwAlxNyOz 中的一種或幾種；第二復合保護阻擋層或第三復合保護阻擋層由一層或多層組成且其材料包括SSxOz，SS,NixCryOz, NixCry, SixAlyNz, SixAlyOz, SiwAlxNyOz, ZnxAlyOz, ZnxAlyNz, ZnwAlxNyOz,TixAlyOz, TixAlyNz, TiwAlxNyOz, AuxMy中的一種或幾種；該第一調控功能層或第二調控功能層由一層或多層組成且其材料包括InxSnyMzOw, InxMyZnzOw, ZnxAlyMzOw中的一種或幾種；該頂層保護介電層由一層或多層組成且其材料包括ZrxOyNz, SixAlyNz, SixAlyNz,SixAlyOz,SiwAlxNyOz,ZnxAlyOz,ZnxAlyNz,ZnwAlxNyOz, TixAlyOz, TixAlyNz, TiwAlxNyOz中的一種或幾種；其中M是Al、Sn、In、Sb、F、Ga或B，w, x, y，z為質量分數，其大小為0%彡 w 彡 100%，0%彡 X 彡 100%，0%彡 y 彡 100%，0%彡 z 彡 100%。
[0014]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃經過鋼化熱處理后形成的單片鍍膜玻璃的可見光透過率為60%?95%，面電阻為3-60Ω。
[0015]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃的玻面反射顏色坐標L*范圍為【20-96】，顏色坐標a*范圍為【-10,10】,顏色坐標b*范圍為【-25,10】,膜面反射顏色坐標L*范圍為【10-96】,顏色坐標a*范圍為【-10,10】,顏色坐標b*范圍為【-25,10】,透過顏色坐標L*范圍為【20-96】，顏色坐標a*范圍為【-10,10】,顏色坐標b*范圍為【-25,10】。
[0016]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃的膜面輻射率為0.02-0.86。
[0017]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含形成于該基片上的第一復合介電層與頂層保護介電層，以及形成與該第一復合介電層與頂層保護介電層之間的多層，該多層包含第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層及第三復合介電層中的至少四層。
[0018]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含形成于該基片上的第二復合介電層、第一調控功能層及第三復合介電層。
[0019]一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含形成于該基片上的一層金屬或金屬合金或金屬合金透明導電氧化物或組成的紅外反射、太陽光輻射光譜調控功能層的鍍膜玻璃。
[0020]一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層及第三復合介電層。
[0021]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第二復合介電層、第一調控功能層、第三復合介電層及頂層保護介電層。
[0022]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層及第三復合介電層。
[0023]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第一復合介電層、第一復合保護阻擋層、第二復合介電層、第一調控功能層、第三復合介電層及頂層保護介電層。
[0024]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含第一復合介電層、第一復合保護阻擋層、第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層、第三復合介電層及頂層保護介電層這八層中的至少其中七層形成于該基片上。
[0025]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃中膜層中的任何一層或多層進行N次結構重復，其N為自然數。
[0026]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃用于中空玻璃室內面、中空玻璃室外面、中空玻璃內表面，建筑的圍護材料、建筑門窗、幕墻、汽車前后擋風玻璃、汽車窗玻璃、汽車天窗玻璃、冰箱中空玻璃門、冰柜中空玻璃門或酒柜中空玻璃門等。
[0027]該可鋼化低輻射鍍膜玻璃是用作低溫高濕環境的防結露玻璃。
[0028]上述可鋼化低輻射鍍膜玻璃采用獨特的膜層結構及特定的材料，使得可鋼化低輻射鍍膜玻璃易于提高可見光透過率及增強耐化學侵蝕性能。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0029]圖1是本實用新型實施例的可鋼化低輻射鍍膜玻璃示意圖。
[0030]圖2是本實用新型實施例的可鋼化低輻射鍍膜玻璃制備工藝參數圖。
[0031]圖3是本實用新型實施例的可鋼化低輻射鍍膜玻璃的膜層參數圖。
[0032]圖4是本實用新型實施例的可鋼化低輻射鍍膜玻璃的性能參數圖。
[0033]圖5是本實用新型實施例的可鋼化低輻射鍍膜玻璃的光譜圖。
[0034]圖6是本實用新型實施例的可鋼化低輻射鍍膜玻璃用于中空玻璃的性能參數圖。
【具體實施方式】
[0035]下面將結合附圖及實施例對本實用新型的可鋼化低輻射鍍膜玻璃作進一步的詳細說明。
[0036]請參見圖1，本實用新型實施例的可鋼化低輻射鍍膜玻璃100是用于中空玻璃室內面(朝向室內的一面)，其包括基片11，以及依次形成于基片11上的第一復合介電層12、第一復合保護阻擋層13、第二復合介電層14、第二復合保護阻擋層15、第一調控功能層16、第三復合保護阻擋層17、第三復合介電層18及頂層保護介電層19。
[0037]具體在本實施例中，基片11可為透明浮法玻璃。
[0038]第一復合介電層12的厚度可大于或等于6nm,優選為6?150nm。第一復合介電層12可由一層或多層組成，其材料可為氧化物或氮化物構成。詳細來說，第一復合介電層 12 的材料可為 SixMyNz, SixMyOz, SiwMxNyOz, ZnxMyOz, ZnxMyNz, ZnwMxNyOz, TixMyOz,TixMyNz, TiwMxNyOz中的一種或幾種,其中M可以是Al、Sn、In、Sb、F、Ga、B或其他適合的元素，w，x，y，z 為質量分數，其大小為 0%彡 w 彡 100%,0%^ X ^ 100%,0%^ y ^ 100%,0%^ z ^ 100%。SixMyNz, SixMyOz, SiwMxNyOz, ZnxMyOz, ZnxMyNz, ZnwMxNyOz, TixMyOz,TixMyNz, TiwMxNyOz中的一種或幾種,其中M可以是Al、Sn、In、Sb、F、Ga、B或其他適合的元素，w，x，y，z 為質量分數，其大小為 0%彡 w 彡 100%,0%^ X ^ 100%,0%^ y ^ 100%,0%^ z ^ 100%。優選地,第一復合介電層12的材料可為SixAlyNz, SixAlyNz, SixAlyOz,SiwAlxNyOz, ZnxAlyOz, ZnxAlyNz, ZnwAlxNyOz, TixAlyOz, TixAlyNz, TiwAlxNyOz 中的一種或幾種。
[0039]第一復合保護阻擋層13的厚度可為0.3-60nm,優選為0.3-lOnm。第一復合保護阻擋層13可由一層或多層組成，其材料可為金屬或金屬合金或它們的氧化物夠成。詳細來說，第一復合保護阻擋層 13 的材料可為 SSxMyOz, TixMyOz, SiwMxOy, NixCryOz, ZnxAlyOz,ZnxMyNz, ZnwMxNyOz, TixMyNz, TiwMxNyOz 中的一種或幾種，其中 M 可以是 Al、Sn、In、Sb、F、Ga、B或其他適合的元素，w，x，y，z為質量分數，其大小為0%彡w彡100%，0%彡X彡100%，0%彡y彡100%，0%彡z彡100%。優選地，第一復合保護阻擋層13的材料可為SSxOz，SS, NixCryOz, NixCry, SixAlyNz, SixAlyOz,SiwAlxNyOz,ZnxAlyOz,ZnxAlyNz,ZnwAlxNyOz,TixAlyOz, TixAlyNz, TiwAlxNyOz 中的一種或幾種。
[0040]第二復合介電層14的厚度可大于或等于6nm，優選為6?150nm。第二復合介電層14的組成和材料可與第一復合介電層12相同或相似。
[0041]第二復合保護阻擋層15的厚度可大于或等于0.2nm，優選為0.2?40nm。第二復合保護阻擋層15可由一層或多層組成，其材料可為金屬或金屬合金或它們的氧化物夠成。詳細來說，第二復合保護阻擋層15的材料可為SSxMyOz, TixMyOz, SiwMxOy, NixCryOz,ZnxAlyOz, ZnxMyNz, ZnwMxNyOz, TixMyNz, TiwMxNyOz, AuxMy 中的一種或幾種，其中 M 可以是Al、Sn、In、Sb、F、Ga、B或其他適合的元素，w，x，y，z為質量分數，其大小為0%彡w彡100%,0%^ X ( 100%,0%^ y ( 100%,0%^ z ( 100%。優選地，第二復合保護阻擋層 15的材料可為 SSxOz, SS, NixCryOz, NixCry, SixAlyNz, SixAlyOz, SiwAlxNyOz, ZnxAlyOz,ZnxAlyNz, ZnwAlxNyOz, TixAlyOz, TixAlyNz, TiwAlxNyOz, AuxMy 中的一種或幾種。
[0042]第一調控功能層16的厚度可大于或等于10nm，優選為10?800nm。第一調控功能層16用于對紅外反射、太陽光輻射光譜進行調節。第一調控功能層16可由一層或多層組成，其材料可為 ZnxMyOz, ZnxAlyMzOw, InxMyOz, InxSnyMzOw, InxMyZnzOw, InxGayZnzOw,ZnxGayOz中的一種或幾種,其中M可以是Al、Sn、In、Sb、F、Ga、B或其他適合的元素，w,x, y, z為質量分數，其大小為0%彡w彡100%，0%彡X彡100%，0%彡y彡100%，0%^ z ^ 100%。優選地,第一調控功能層 16 的材料為 InxSnyMzOw, InxMyZnzOw,ZnxAlyMzOw中的一種或幾種。
[0043]第三復合保護阻擋層17的厚度可大于或等于0.2nm，優選為0.2?40nm。第三復合保護阻擋層17的組成和材料可與第二復合保護阻擋層15相同或相似。
[0044]第三復合介電層18的厚度可大于或等于6nm,優選為6?150nm。第三復合介電層18的組成和材料可與第二復合介電層14相同或相似。
[0045]頂層保護介電層19的厚度可大于或等于lnm，優選為I?60nm。頂層保護介電層19可由一層或多層組成，其材料可為氮化物和氧化物。詳細來說，第二頂層保護介電層 19 的材料可為 SixMyNz, SixMyOz, SiwMxNyOz, ZnxMyOz, ZnxMyNz, ZnwMxNyOz, TixMyOz,TixMyNz, TiwMxNyOz, ZrxOyNz 中的一種或幾種，其中 M 可以是 Al、Sn、In、Sb、F、Ga、B 或其他適合的元素，W，X，y, z為質量分數，其大小為0%彡w彡100%,0%^ X ( 100%,0%
( 100%, 0%^ z ^ 100%。優選地,頂層保護介電層19的材料為ZrxOyNz, SixAlyNz,SixAlyNz, SixAlyOz, SiwAlxNyOz, ZnxAlyOz, ZnxAlyNz, ZnwAlxNyOz, TixAlyOz, TixAlyNz,TiwAlxNyOz中的一種或幾種
[0046]可鋼化低輻射鍍膜玻璃100的可見光透過率可保持在60%?95%。通過調節各層膜的厚度及成份，可鋼化低輻射鍍膜玻璃100反射顏色坐標L*范圍可為【20-96】，顏色坐標a*范圍可為【-10，10】，顏色坐標b*范圍可為【-25，10】，膜面反射顏色坐標L*范圍可為【10-96】,顏色坐標a*范圍可為【-10,10】,顏色坐標b*范圍可為【-25,10】,透過顏色坐標L*范圍可為【20-96】,顏色坐標a*范圍可為【_10，10】,顏色坐標b*范圍可為【-25,10],中空后，其外反射色表現為中性色、水晶灰色、藍綠色、藍色、藍灰。透過色為中性色、綠色、藍綠色、藍色。
[0047]通過調整膜層中由金屬或金屬合金或它們的氧化物組成的各復合保護阻擋層的厚度及材料，可以提升鋼化性能，使得可鋼化低輻射鍍膜玻璃100可以進行鋼化或彎鋼化或彩釉或夾膠。當然，膜層結構中也可以不采用金屬或金屬合金或它們的氧化物組成的復合保護阻擋層。通過調整鋼化工藝就可使得鍍膜玻璃鋼化后具有良好的外觀性能，良好的低輻射性能及良好的耐候性能。
[0048]通過調整膜層中由金屬或金屬合金或金屬合金透明導電氧化物組成的調控功能層的厚度及材料，可以提產品的低輻射性能；通過功能層厚度的調整，可使鍍膜玻璃的膜面輻射率0.02-0.86范圍內可調，還可以調整玻面的反射率等。
[0049]可通過調整膜層中由各復合介電層的厚度及材料，可以提升其膜層的附著力，提高膜層間的結合力，提升機械加工性能；通過材料成分控制，可更好的對紅外反射功能層進行保護，提升鍍膜玻璃的鋼化性能。
[0050]可通過調整膜層中復合介電層的厚度及材料，可調控鍍膜玻璃的顏色外觀，通過調整第一復合介電層12的材料可提高膜層與基片11的附著力；通過折射率匹配提高鍍膜玻璃的通透性；通過調整頂層保護介電層19的材料可提高鍍膜玻璃的抗劃傷能力及抗侵蝕能力及提升耐候性。
[0051]上述可鋼化低輻射鍍膜玻璃100采用獨特的膜層結構及特定的材料，使得可鋼化低輻射鍍膜玻璃100易于提高可見光透過率及增強耐化學侵蝕性能。此外，可以通過調整各膜層的厚度，可獲得外觀性能、耐機械劃傷性能，耐腐蝕性能優異的產品，并可根據用戶需求調整出不同的外觀顏色；通過介電層厚度的調整，還可以降低鍍膜玻璃兩個面的反射；產品在進行后續鋼化、熱浸、熱彎等工藝熱處理后，可獲得更好的外觀顏色，及更優異的節能性能。
[0052]需要說明的是，本實用新型的實施例還可以有其他變化，例如全部或者部分重復第一復合介電層12、第一復合保護阻擋層13、第二復合介電層14、第二復合保護阻擋層15、第一調控功能層16、第三復合保護阻擋層17及第三復合介電層18中的一層或多層；省去第一復合介電層12、第一復合保護阻擋層13、第二復合介電層14、第二復合保護阻擋層15、第一調控功能層16、第三復合保護阻擋層17及第三復合介電層18中的任何一層；省去第一復合介電層12與第一復合保護阻擋層13 ;省去第一復合介電層12、第一復合保護阻擋層
13及頂層保護介電層19 ;省去第一復合介電層12、第一復合保護阻擋層13、第二復合保護阻擋層15及第三復合保護阻擋層17 ;省去第一復合介電層12、第一復合保護阻擋層13、第二復合保護阻擋層15、第三復合保護阻擋層17及頂層保護介電層19 ;省去第二復合保護阻擋層15及第三復合保護阻擋層17 ；
[0053]一種制備上述可鋼化低輻射鍍膜玻璃100的方法，其包括以下步驟:清洗、干燥基片11 ;預真空過渡；鍍第一復合介電層12 ;鍍第一復合保護阻擋層13 ;鍍第二復合介電層
14;第二復合保護阻擋層15 ;鍍第一調控功能層16 ;鍍第三復合保護阻擋層17 ;鍍第三復合介電層18 ;鍍頂層保護介電層19 ;預真空過渡；成品檢測；包裝；切割；磨邊等機加工，清洗，干燥；鋼化；清洗，合中空或夾層或彩釉或單片使用。
[0054]具體在本實施例中，第一復合介電層12可采用SiwMyNz材料，其中氬氣流量為300sccm-1000sccm,氮氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，気氣氮氣量之比為1.0?2.5，真空濺射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:10KW?60KW，厚度至少需要6nm，特別地是6?150nm。根據實際需求第一復合介電層12也可以由一次鍍制兩種膜層來實現，第一層為SiwMyOz:氬氣流量為300SCCm-1000SCCm，氧氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，IS氣氧氣量之比為1.0?2.5,真空派射氣壓1.0E-3mbar?9.0E-3mbar的條件下沉積，功率為:1KW?60KW，厚度至少需要6nm，特別地是6?150nm。第二層為SiwMyNz,気氣流量為300sccm-1000sccm,氮氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，気氣氮氣量之比為1.0?2.5,真空派射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:10KW?60KW，厚度至少需要6nm，特別地是6?150nm。各層也可以同時由多個靶位來鍍制，各靶工藝氣體比例可以不一致，以達到膜層間更好的折射率匹配。
[0055]第一復合保護阻擋層13可采用SSxMyOz材料，其中氬氣流量為300sccm-2000sccm,氧氣流量為:0sccm-2000sccm的氣氛中，IS氣氧氣量之比為0.0?2.5,真空濺射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:0.3KW?40KW，厚度可以調節，膜層厚度范圍是0.3?60nm。第一復合保護阻擋層13也可以同時由多個靶位來鍍制，各靶工藝氣體比例可以不一致，以達到膜層間更好的折射率匹配。
[0056]第二復合介電層14可采用SiwMyNz材料,其中U1氣流量為300sccm-1000sccm,氮氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，氬氣氮氣量之比為1.0?2.5，真空濺射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:1Kff?60KW，厚度至少需要6nm，特別地是6?150nm。根據實際需求第二復合介電層14也可以由一次鍍制兩種膜層來實現，第一層為為SiwMyNz,気氣流量為300sccm-1000sccm,氮氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，IS氣氮氣量之比為1.0?2.5,真空派射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積,功率為:10KW?60KW，厚度至少需要6nm，特別地是6?150nm。第二層為SiwMyOz:氬氣流量為300sccm-1000sccm,氧氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，気氣氧氣量之比為1.0?2.5，真空濺射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:1Kff?60KW，厚度至少需要6nm,特別地是6?150nm。第二復合介電層14也可以同時由多個祀位來鍍制，各革巴工藝氣體比例可以不一致，以達到膜層間更好的折射率匹配。
[0057]第二復合保護阻擋層15可采用SSxMyOz材料，其中氬氣流量為300sccm-2000sccm,氧氣流量為:0sccm-2000sccm的氣氛中，IS氣氧氣量之比為0.0?2.5,真空濺射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:0.3KW?40KW，厚度可以調節，膜層厚度范圍是0.2?40nm。第二復合保護阻擋層15也可以同時由多個靶位來鍍制，各靶位采用的工藝氣體中氧氣的比例可調整，以達到膜層間更好的結合力。
[0058]第一調控功能層16可采用InxSnyOz材料,其中U1氣流量為300sccm-2000sccm,氧流量為:0sccm-300sccm的氣氛中，真空派射氣壓1.0E_3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:0.1Kff?60KW，厚度至少需要lnm，特別地是I?800nm。第一調控功能層16也可以同時由多個靶位來鍍制，各靶位采用的工藝氣體中氧氣的比例可調整，以達到膜層間更好的結合力。
[0059]第三復合保護阻擋層17可采用SSxMyOz材料，其中氬氣流量為300sccm-2000sccm,氧氣流量為:0sccm-2000sccm的氣氛中，IS氣氧氣量之比為0.0?2.5,真空濺射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:0.3KW?40KW，厚度可以調節，膜層厚度范圍是0.2?150nm。第三復合保護阻擋層17也可以同時由多個靶位來鍍制，各靶位采用的工藝氣體中氧氣的比例可調整，以達到膜層間更好的結合力。
[0060]第三復合介電層18可采用SiwMyOz材料,其中U1氣流量為300sccm-1000sccm,氧氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，氬氣氧氣量之比為1.0?2.5，真空濺射氣壓
1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:1Kff?60KW，厚度至少需要6nm，特別地是6?150nm。根據實際需求第三復合介電層18也可以由一次鍍制兩種膜層來實現，第一層為SiwMyOz,気氣流量為300sccm-1000sccm,氧氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，
IS氣氧氣量之比為1.0?2.5,真空派射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積,功率為:10KW?60KW，厚度至少需要6nm，特別地是6?150nm。第二層為SiwMyNz:氬氣流量為300sccm-1000sccm,氮氣流量為:300sccm-1500sccm的氣氛中，気氣氮氣量之比為1.0?
2.5，真空濺射氣壓1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:1Kff?60KW，厚度至少需要6nm,特別地是6?150nm。第三復合介電層18也可以同時由多個祀位來鍍制，各革巴工藝氣體比例可以不一致，以達到膜層間更好的折射率匹配。
[0061]頂層保護介電層19可采用ZrxOyNz材料,其中U1氣流量為300sccm-2000sccm,氧氣流量為:0SCCm-2000SCCm的氣氛中，氬氣氧氣量之比為1.0?2.5，真空濺射氣壓
1.0E-3mbar?9.0E_3mbar的條件下沉積，功率為:1KW?60KW，厚度至少需要lnm，特別地是I?60nm。頂層保護介電層19也可以同時由多個靶位來鍍制，各靶工藝氣體比例可以不一致，以達到膜層間更好的折射率匹配。
[0062]上述可鋼化低輻射鍍膜玻璃100可用平板玻璃雙端連續式鍍膜機來制備，其可包括29個中頻旋轉陰極，9個直流平面陰極，共計38個陰極，具體工藝參數如圖2所示，膜層的參數如圖3所示，所制備出的產品性能參數如圖4所示。在圖2中，膜層序號表示的膜層如下所述，I是第一復合介電層12 ；2是第一復合保護阻擋層13 ；3和4是第二復合介電層
14;5是第二復合保護阻擋層15 ;6是第一調控功能層16 ;7是第三復合保護阻擋層17 ;8是第三復合介電層18 ；9和10是頂層保護介電層19。在圖4中，SC、U值為根據單片玻璃的測量結果用WINDOWS 5.模擬計算得到中空玻璃結構為(6mmOT_E+12A+6mm白玻)，6mmOT_E表示將本實用新型的低輻射薄膜鍍制于6mm厚的白玻浮法原片上并經過鋼化處理，12表示中空玻璃中間的空氣間隔層為12mm，6mm白玻表示組成中空玻璃的另一片配片為厚度6mm的浮法原片；SC-遮陽系數(相同條件下，太陽輻射能量透過玻璃窗的熱量與透過3毫米透明玻璃的熱量比，遮陽系數越小阻擋陽光直接輻射的性能越好);U:傳熱系數(ASHRAE標準條件下，由于玻璃的熱傳導和室內外的溫差，所形成的空氣至空氣的傳熱量，U值越低，通過玻璃的傳熱量也越低)；R □:面電阻；半球輻射率。
[0063]通過上述制備可鋼化低輻射鍍膜玻璃100的方法制備出的鍍膜玻璃，經過鋼化后，其光譜圖如圖5所示。從圖5中可以看出，該產品擁有高的可見光、太陽能透過率，中性色，這種可單片使用的低輻射玻璃，可適用于各種不同的氣候類型，其主要調控范圍為對光譜波長在2500納米以上的紅外線進行反射，而對可見光波段基本不進行調控；這種玻璃在北方寒冷地區使用有利于建筑采光，可以讓更多的太陽能進入室內以降低采暖費用，在南方炎熱氣候類型，可配合遮陽型低輻射玻璃使用，同樣可進一步降低U值，節省夏季制冷費用。將可鋼化低輻射鍍膜玻璃100制成中空玻璃，所形成的中空玻璃的性能如圖6所示。從圖6中可以看出，本實用新型的可鋼化低輻射鍍膜玻璃與普通浮法玻璃分別與相同的low-e玻璃組成的中空玻璃，采用本實用新型的可鋼化低輻射鍍膜玻璃的中空玻璃U值要要低于浮法在線鍍膜玻璃，保溫性能更好，太陽能透過率更高，有利于北方建筑室內采光及充分利用太陽能提升室內溫度；同時第四面鍍膜玻璃工藝調節的便利性，使得其可以根據客戶要求對可見光透過率進行調節，調節范圍可達到60% -95%。而產品的保溫性能均優于浮法在線LOW-E。
[0064]以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案范圍內，當可利用上述揭示的技術內容做出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術方案內容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。
【權利要求】
1.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第一復合介電層、第一復合保護阻擋層、第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層、第三復合介電層及頂層保護介電層。
2.根據權利要求1所述的可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其特征是:該第一復合介電層、第二復合介電層或第三復合介電層的厚度為大于或等于6nm ;該第一復合保護阻擋層的厚度為0.3-60nm，第二復合保護阻擋層的厚度為大于或等于0.2nm，第三復合保護阻擋層的厚度為大于或等于0.2nm ;該第一調控功能層或第二調控功能層的厚度為大于或等于1nm ;該頂層保護介電層的厚度為大于或等于lnm。
3.根據權利要求2所述的可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其特征是:該第一復合介電層、第二復合介電層或第三復合介電層的厚度為6?150nm ;該第一復合保護阻擋層的厚度為0.3-10nm，第二復合保護阻擋層的厚度為0.2?40nm，第三復合保護阻擋層的厚度為0.2?40nm ;該第一調控功能層或第二調控功能層的厚度為10?SOOnm ;該頂層保護介電層的厚度為大于或等于I?60nm。
4.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含形成于該基片上的第一復合介電層與頂層保護介電層，以及形成與該第一復合介電層與頂層保護介電層之間的多層，該多層包含第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層及第三復合介電層中的至少四層。
5.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含形成于該基片上的第二復合介電層、第一調控功能層及第三復合介電層。
6.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含形成于該基片上的一層金屬或金屬合金或金屬合金透明導電氧化物或組成的紅外反射、太陽光福射光譜調控功能層的鍍膜玻璃。
7.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層及第三復合介電層。
8.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第二復合介電層、第一調控功能層、第三復合介電層及頂層保護介電層。
9.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層及第三復合介電層。
10.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含依次形成于該基片上的第一復合介電層、第一復合保護阻擋層、第二復合介電層、第一調控功能層、第三復合介電層及頂層保護介電層。
11.一種可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其包括基片，其特征在于:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃還包含第一復合介電層、第一復合保護阻擋層、第二復合介電層、第二復合保護阻擋層、第一調控功能層、第三復合保護阻擋層、第三復合介電層及頂層保護介電層這八層中的至少其中七層形成于該基片上。
12.根據權利要求1-11中任意一項所述的可鋼化低輻射鍍膜玻璃，其特征是:該可鋼化低輻射鍍膜玻璃中膜層中的任何一層或多層進行N次結構重復，其N為自然數。
【文檔編號】C03C17/36GK204136515SQ201420555862
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年9月25日 優先權日:2014年9月25日
【發明者】呂宜超, 唐晶, 王 琦, 曾裕斌, 崔平生, 曾小綿 申請人:中國南玻集團股份有限公司