一種硅片切割砂漿循環系統的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片切割砂漿循環系統，包括硅片切割室、過濾網和砂漿罐，所述過濾網設置在硅片切割室與砂漿罐之間；還包括砂漿純化裝置和砂漿補充罐，所述砂漿純化裝置設置在過濾網與砂漿罐之間，所述砂漿補充罐與砂漿罐通過管道連接；所述硅片切割室、砂漿純化裝置、砂漿罐通過管道依次連接形成循環通路。本系統利用砂漿純化裝置對砂漿進行純化的同時，補充新的砂漿進入純化后的砂漿中，使SiC顆粒的保持在有效濃度內，保證生產中切割效率的同時，大大降低了生產成本。
【專利說明】 一種硅片切割砂漿循環系統
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種循環利用系統，特別是，涉及一種硅片切割砂漿循環系統。
【背景技術】
[0002]砂漿在切割一次后，大量硅粉、鋼線磨損后的金屬化合物混入砂漿里，附著并包圍在SiC顆粒上，使SiC顆粒在切割前沿硅塊表面打滑，切割力減弱；為了消除硅粉及部分金屬化合物，每次切割后需要更換大量的砂漿，但經過掃描電鏡觀察，一次切割后的廢砂漿里，90%以上的SiC仍未充分利用，頻繁的更換砂漿，造成生產中原料的浪費，不利于降低生產成本。
實用新型內容
[0003]為了克服現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種硅片切割砂漿循環系統，利用砂漿純化裝置對砂漿進行純化的同時，補充新的砂漿進入純化后的砂漿中，使SiC顆粒的保持在有效濃度內，保證生產中切割效率的同時，大大降低了生產成本。
[0004]為解決上述問題，本實用新型所采用的技術方案如下:
[0005]一種硅片切割砂漿循環系統，包括硅片切割室、過濾網和砂漿罐，所述過濾網設置在硅片切割室與砂漿罐之間；還包括砂漿純化裝置和砂漿補充罐，所述砂漿純化裝置設置在過濾網與砂漿罐之間，所述砂漿補充罐與砂漿罐通過管道連接；所述硅片切割室、砂漿純化裝置、砂漿罐通過管道依次連接形成循環通路。
[0006]優選的，所述砂漿純化裝置為高速離心機。
[0007]優選的，所述沙漿純化裝置內設有用于檢測SiC顆粒濃度的檢測模塊。
[0008]優選的，所述砂漿罐與砂漿純化裝置、砂漿補充罐之間的管路上設有閥門。
[0009]優選的，還包括過濾罐，所述過濾罐設置在砂漿罐與硅片切割室之間的管道上。
[0010]優選的，所述過濾罐由罐體、罐蓋和內置過濾網組成，所述內置過濾網設置在罐體內，所述罐蓋通過螺接設置在罐體頂端，所述罐體兩側分別設置有進出口。
[0011]優選的，所述砂漿罐內設置有用于砂漿混勻的旋轉機構。
[0012]相比現有技術，本實用新型的有益效果在于:
[0013]1、本實用新型利用砂漿純化裝置對砂漿進行純化的同時，補充新的砂漿進入純化后的砂漿中，使SiC顆粒的保持在有效濃度內，保證生產中切割效率的同時，大大降低了生產成本；
[0014]2、本實用新型在砂漿純化裝置設置SiC顆粒濃度檢測模塊，在SiC顆粒濃度低于80%時啟動砂漿純化裝置，同時注入SiC顆粒濃度稍高的新的砂漿液，保證了砂漿良好的切割性能；
[0015]3、本實用新型在砂漿罐后設置可拆卸的過濾罐，保證進入硅片切割室砂漿的純度，避免大顆粒雜質對切割的影響，而且便于日常維護。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型中娃片切割砂衆循環系統結構不意圖；
[0017]其中，I為硅片切割室，2為過濾網，3為砂漿罐，4為砂漿純化裝置，5為砂漿補充罐，6為過濾罐。
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明。
[0019]如圖1所示，為硅片切割砂漿循環系統，包括硅片切割室1、過濾網2和砂漿罐3，過濾網2設置在硅片切割室I與砂漿罐3之間；還包括砂漿純化裝置4和砂漿補充罐5，砂漿純化裝置4設置在過濾網2與砂漿罐3之間，砂漿補充罐5與砂漿罐3通過管道連接；硅片切割室1、砂漿純化裝置4、砂漿罐3通過管道依次連接形成循環通路；還包括過濾罐6，過濾罐6設置在砂漿罐3與硅片切割室I之間的管道上。
[0020]在一個具體實施例中，所述砂漿純化裝置4為高速離心機，高速離心機內設有用于檢測SiC顆粒濃度的檢測模塊，當檢測到砂漿濃度低于80%時，啟動高速離心機進行純化。過濾罐6由罐體、罐蓋和內置過濾網組成，所述內置過濾網設置在罐體內，所述罐蓋通過螺接設置在罐體頂端，所述罐體兩側分別設置有進出口。砂漿罐3內設置有用于砂漿混勻的旋轉機構。
[0021]使用時，硅片切割室I內砂漿經過管道上過濾網2過濾后進入砂漿純化裝置4，經檢測裝置檢測，確定是否啟動純化，如不需要純化則砂漿直接流入砂漿罐3內，砂漿補充罐5管道上閥門處于關閉狀態；如需要純化，則啟動砂漿純化裝置4，同時砂漿補充罐5管道上閥門開啟，經處理后的砂漿流入砂漿罐3，并在砂漿罐3內進行混勻。硅片切割室I需要砂漿時，砂漿罐3內的砂漿經過過濾罐6過濾后進入硅片切割室I。
[0022]對本領域的技術人員來說，可根據以上描述的技術方案以及構思，做出其它各種相應的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應該屬于本實用新型權利要求的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種硅片切割砂漿循環系統，包括硅片切割室⑴、過濾網⑵和砂漿罐(3)，所述過濾網(2)設置在硅片切割室(I)與砂漿罐(3)之間；其特征在于，還包括砂漿純化裝置(4)和砂漿補充罐(5)，所述砂漿純化裝置(4)設置在過濾網(2)與砂漿罐(3)之間，所述砂漿補充罐(5)與砂漿罐(3)通過管道連接；所述硅片切割室(I)、砂漿純化裝置(4)、砂漿罐(3)通過管道依次連接形成循環通路。
2.如權利要求1所述的硅片切割砂漿循環系統，其特征在于，所述砂漿純化裝置(4)為高速離心機。
3.如權利要求1所述的硅片切割砂漿循環系統，其特征在于，所述沙漿純化裝置(4)內設有用于檢測SiC顆粒濃度的檢測模塊。
4.如權利要求1所述的硅片切割砂漿循環系統，其特征在于，所述砂漿罐(3)與砂漿純化裝置(4)、砂漿補充罐(5)之間的管路上設有閥門。
5.如權利要求1-4任一項所述的硅片切割砂漿循環系統，其特征在于，還包括過濾罐(6)，所述過濾罐(6)設置在砂漿罐(3)與硅片切割室(I)之間的管道上。
6.如權利要求5所述的硅片切割砂漿循環系統，其特征在于，所述過濾罐(6)由罐體、罐蓋和內置過濾網組成，所述內置過濾網設置在罐體內，所述罐蓋通過螺接設置在罐體頂端，所述罐體兩側分別設置有進出口。
7.如權利要求6所述的硅片切割砂漿循環系統，其特征在于，所述砂漿罐(3)內設置有用于砂漿混勻的旋轉機構。
【文檔編號】B28D5/04GK204076543SQ201420509639
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年9月5日 優先權日:2014年9月5日
【發明者】張建, 狄紅祥, 靳達興 申請人:中衛市銀陽新能源有限公司