絲線導向器監視裝置和絲鋸的制作方法

絲線導向器監視裝置和絲鋸的制作方法
【專利摘要】描述一種用于絲鋸的絲線導向器監視裝置和包括絲線導向器監視裝置的絲鋸。絲線導向器監視裝置500包括用于測量絲線導向器200的表面特征的光學傳感器裝置510和用于耦合絲線導向器監視裝置至絲鋸的鑄錠供應系統300的運動學機械結構350的耦合元件530。
【專利說明】絲線導向器監視裝置和絲鋸

【技術領域】
[0001]本案的實施方式涉及用于絲鋸的絲線導向器監視裝置和絲鋸。使用根據本案的絲線導向器監視裝置可改進現有的絲鋸。更具體來說，本案涉及用于測量絲線導向器的表面特征尤其絲線導向器槽的絲線監視裝置。本案的絲鋸尤其適合于切割或鋸切硬質材料，諸如硅或石英塊。

【背景技術】
[0002]絲鋸用于從一件硬質材料(諸如硅)切割塊狀物或磚狀物、薄片，例如，半導體晶片。在這類裝置中，絲線從繞線管供應且由絲線導向器圓筒引導和拉緊。用于鋸切的絲線可提供有研磨材料。作為一種選擇，所述研磨材料可作為漿料提供。這種做法可在絲線接觸待切割材料之前不久進行。因此，由用于切割材料的絲線運送研磨劑至切割位置。作為另一種選擇，研磨劑可使用涂層提供在絲線上，例如，就像是金剛石絲線。舉例來說，金剛石顆粒可使用涂層提供在金屬絲線上，其中金剛石顆粒嵌入絲線的涂層中。因此，研磨劑穩固地連接絲線。
[0003]絲線由絲線導向器引導和/或拉緊。這些絲線導向器一般刻有槽，所述槽具有精確的幾何形狀和大小。絲線纏繞絲線導向器且形成網或絲線網。在鋸切工藝期間，絲線以相當大的速度移動。通常，待鋸切的工件(例如，連接至支撐梁或支撐固持件的鑄錠)被推向所述網。鋸切期間，待鋸切的工件移動穿過絲線網，其中這一移動速度決定切割速度和/或有效切割區，所述有效切割區可在給定時間量內鋸切。
[0004]一般來說，存在以下傾向:使用更薄的絲線從而減少切割厚度且因此減少浪費的材料。還存在使用金剛石絲線的期望。這些更薄的絲線和金剛石絲線一般對損害更敏感并且在高應變下所述絲線可能更容易斷裂。進一步來說，存在增加切割速度用于提高絲鋸的產量的期望。移動工件穿過網的最大速度以及給定時間量內最大有效切割區受到數個因素的限制，包括絲線速度、待鋸切的材料的供應速度、待鋸切的材料的硬度、干擾影響、期望的精確度等等。當速度增加時，絲線上的張力一般也增加。因此，上述避免損壞、過度磨損絲線導向器槽以及絲線的磨損、故障或斷裂問題在較高的鋸切速度下更為嚴重。
[0005]一般來說，存在以下需求:以一方式操作絲鋸以便避免或減少改變鋸切質量、改變鋸切寬度、絲線振蕩或甚至絲線斷裂。在用于切割晶片的絲鋸中，晶片質量受到絲線導向器的強烈影響。絲線導向器的數個方面可影響晶片切割工藝。第一方面為絲線導向器的生產期間必須確保絲線導向器槽的高質量和一致性。晶片切割期間，由于絲線導向器槽引導切割的絲線，因此每一單獨的槽的幾何形狀可影響絲線相對于鑄錠的切割位置。因此，第二方面為切割工藝期間槽遭受磨損且數次切割之后槽幾何形狀可改變。槽幾何形狀的這種變化可引起切割工藝期間絲線導向器旋轉時絲線振動，所述振動不利地影響晶片質量。
實用新型內容
[0006]鑒于上述內容，本案提供克服所屬【技術領域】中的至少一些問題的絲鋸。根據獨立的權利要求書，用于絲鋸的絲線導向器監視系統和絲鋸在至少某種程度上實現這一目標。本案的進一步方面、優點和特征從從屬的權利要求書、描述和隨附圖式中顯而易見。
[0007]鑒于上述內容，提供用于絲鋸的絲線導向器監視裝置。用于絲鋸的絲線導向器監視裝置包括用于測量絲線導向器的表面特征的光學傳感器裝置和用于耦合絲線導向器監視裝置至絲鋸的鑄錠供應系統的運動學機械結構的耦合元件。
[0008]根據本案的一個方面，現有的絲鋸可使用(如本文描述的)絲線導向器監視裝置改進。
[0009]根據本案的另一方面，提供絲鋸，所述絲鋸包括(如本文描述的)至少二個絲線導向器圓筒和絲線導向器監視裝置。
[0010]根據本案的又一方面，提供絲鋸，所述絲鋸包括至少二個絲線導向器圓筒、配置用于耦合鑄錠和絲線導向器監視裝置的耦合元件和絲線導向器監視裝置，其中絲線導向器監視裝置包括用于測量絲線導向器的表面特征的光學傳感器裝置、用于耦合絲線導向器監視裝置至絲鋸的鑄錠供應系統的運動學機械結構的耦合元件和配置用于執行光學傳感器裝置相對于耦合元件的移動的至少一個致動器，其中傳感器裝置包括輻射源和光學傳感器。優選地，輻射源相對于光學傳感器布置，具體來說，傳感器裝置為叉型傳感器。
[0011]為了更好地理解本案，解釋了用于監視絲線導向器的表面特征的方法，其中所述方法包括以下步驟:耦合傳感器裝置至絲鋸的運動學機械結構，以移動運動學機械結構的方式移動傳感器裝置至絲鋸內部安裝的絲線導向器的表面并且使用傳感器裝置測量絲線導向器的表面特征。
[0012]本案的進一步方面、優點和特征從從屬的權利要求書、描述和隨附圖式顯而易見。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]因此，以可詳細理解本案的上述特征的方式，上文簡要概述的本案的更具體描述可參閱實施方式獲得。典型的實施方式在圖式中描繪且在以下描述中詳細說明。在所述圖式中:
[0014]圖1圖示根據本文描述的實施方式的絲鋸的示意性側視圖，本文描述的絲線導向器監視裝置可與所述絲鋸一起使用；
[0015]圖2圖示根據本文描述的實施方式的具有絲線導向器監視裝置的絲鋸的示意性側視圖，所述絲線導向器監視裝置耦合運動學機械結構；
[0016]圖3圖示根據本文描述的實施方式的具有二個絲線導向器監視裝置的絲鋸的示意性側視圖，所述二個絲線導向器監視裝置耦合運動學機械結構；
[0017]圖4圖示根據本文描述的實施方式的絲線導向器監視裝置的示意性側視圖；
[0018]圖5圖示根據本文描述的實施方式的絲線導向器監視裝置的示意性側視圖；
[0019]圖6圖示根據本文描述的實施方式的絲線導向器監視裝置的示意性側視圖，所述絲線導向器監視裝置位于用于監視絲線導向器的示例性位置；
[0020]圖7圖示根據本文描述的實施方式的具有槽的絲線導向器的示意性視圖；
[0021]圖8圖示圖6中圖示的絲線導向器的截面的示意性視圖；
[0022]圖9圖示根據本文描述的實施方式的絲線導向器中的示例性槽幾何形狀的示意性視圖；
[0023]圖10圖示根據本文描述的實施方式的絲線導向器監視裝置的示意性透視圖，所述絲線導向器監視裝置耦合運動學機械結構，所述運動學機械結構用于相對于絲線導向器移動絲線導向器監視裝置；和
[0024]圖11圖示解釋監視絲線導向器的流程圖以更好地理解本案。

【具體實施方式】
[0025]現在將詳細參閱各種實施方式，各種實施方式中的一或更多個實例圖示在每一圖中。每一實例以解釋說明的方式提供且不意味著限制。舉例來說，圖示或描述為一個實施方式的部分的特征可用于任何其他實施方式上或連同任何其他實施方式一起使用以產生又一實施方式。本案旨在包括這類修改和變化。
[0026]在圖式的以下描述中，相同參考數字指代相同或類似部件。一般來說，僅描述關于單個實施方式的差異。除非另有說明，否則一個實施方式中的部分或方面的描述同樣適用于另一實施方式中的對應部分或方面。
[0027]在描述絲線導向器監視裝置的實施方式之前，將簡要討論與絲線導向器監視裝置一起使用的絲鋸的示例性實施方式。
[0028]一般來說，如本文所理解的絲鋸裝置可為晶片切割絲鋸。
[0029]在本案中，術語“絲線導向器的表面特征”涉及絲線導向器的結構表面特征，例如，絲線導向器的表面結構的幾何形狀，諸如槽或升高部和槽或升高部相對應的尺寸，諸如寬度、深度或高度等等。
[0030]在本案中，術語“監視絲線導向器的表面特征”包括測量表面特征，尤其是測量不同時間點處的表面特征。進一步來說，“監視絲線導向器的表面特征”可包括比較不同時間點處進行的至少二個不同的測量。
[0031]在本案中，術語“運動學機械結構”指代配置用于提供旋轉和/或橫向移動的任何手段。具體來說，如本文描述的“運動學機械結構”涉及至少二個元件的布置，通常連接至少二個主體，其中所述至少二個元件彼此連接使得所述至少二個元件中的至少一個可相對于布置中的所述至少二個元件中的另一個元件或其他元件移動，例如，圍繞關節旋轉和/或沿著軸平移。
[0032]在本案中，術語“平行運動學機械結構”涉及“運動學機械結構”，其中通常至少二個主體中的至少一個連接至二個或更多個不同位置處的“平行運動學機械結構”。因此，平行運動學機械結構的一個元件的移動通常轉化為運動學機械結構的至少一部分(例如，運動學機械結構的另一元件)的移動。
[0033]一般來說，且不限于本文描述的任何【具體實施方式】，術語“切割平面”包括切割方向。通常，切割平面的方向在整個切割工藝期間保持恒定。通常，切割平面的方向對應于絲鋸的絲線的方向。
[0034]在本案中，術語“切割方向”定義為切割工藝期間切割前進的方向。通常，切割方向為垂直方向。
[0035]進一步來說，在本案中術語“工作區域”定義為絲鋸的絲線跨過的區域，通常絲線網也稱為絲線層。通常，工作區域是一區域，在該區域中切割期間待鋸切的單個工件(通常鑄錠)與絲鋸的絲線相互作用。
[0036]根據實施方式，如圖1示例性圖示的，絲鋸100可為多線絲鋸。多線絲鋸允許用于半導體和光生伏打產業的硅晶片的高產量和高質量切片。多線絲鋸通常包括高強度鋼絲線，所述高強度鋼絲線可在單向(也就是，僅在向前方向)或雙向(也就是，往返地)移動以執行切割動作。絲線在絲線表面上可提供有金剛石。
[0037]圖1圖示根據本文公開的實施方式的絲鋸100的示意性側視圖，所述絲鋸100包括(作為實例)四個絲線導向器112、114、116、118。每一絲線導向器112、114、116、118可連接至用于旋轉絲線導向器的馬達或驅動122、124、126、128(圖1中以虛線圖示)。每一驅動可適合于執行絲線120的往返移動。圖1中絲線的往返移動以參考數字225表示。絲線導向器可由驅動旋轉，所述驅動引起絲線網中的每一根絲線以相對高的速度移動，例如，5至25m/s。驅動絲線的馬達可為具有小的動能的馬達從而在短期內停止和加速。這在提供往返移動的本案的實施方式中尤其有用。舉例來說，絲線移動的方向可至少每10秒、至少每30秒或至少每I分鐘改變。替代地，根據如本文描述的實施方式的絲鋸裝置可包括僅二個絲線導向器，例如，僅絲線導向器112和114，如圖2中示例性圖示的。
[0038]根據實施方式，示例性參閱圖1，絲線供應繞線管134可提供有絲線儲存器。絲線供應繞線管134 (如果完全靜止)可(例如)容納大約50千米或甚至數百千米的絲線。根據實施方式，絲線120可從絲線供應繞線管134供應至絲線導向器112、114、116、118且纏繞絲線導向器112、114、116、118以在絲線導向器圓筒之間形成平行絲線層。這一層通常稱為絲線網。絲線120可隨后回到適當的接收裝置，諸如卷帶繞線管138。
[0039]進一步來說，如圖1中示意性圖示的，根據本文描述的實施方式的絲鋸100進一步包括鑄錠供應系統300，所述鑄錠供應系統300包括運動學機械結構350，尤其是平行運動學機械結構。根據本文描述的實施方式的平行運動學機械結構的效應為平行運動學機械結構賦能切割平面內部的鑄錠的平移移動和圍繞旋轉軸的旋轉移動，所述旋轉軸通常垂直于切割平面。
[0040]根據實施方式，運動學機械結構350可用于推動鑄錠102抵靠用于晶片切割的絲線和/或用于定位(如本文描述的)絲線導向器監視裝置500和/或相對于絲線導向器移動絲線導向器監視裝置500。如圖1中示例性圖示的，根據本文描述的實施方式，鑄錠供應系統300進一步包括用于耦合鑄錠600至運動學機械結構350的支撐臺312。根據實施方式，如圖2中示例性圖示的，支撐臺也可配置用于耦合絲線導向器監視裝置500，如本文描述的。因此，支撐臺312可包括用于可釋放地耦合鑄錠102或絲線導向器監視裝置500的夾緊機構，如本文描述的。因此，根據如所描述的實施方式，(如本文描述的)絲線導向器監視裝置500提供用于在切割鑄錠之前或之中測量絲線導向器(尤其是絲線導向器的表面中的槽的幾何形狀)的可移除裝置。因此，以提供可釋放地耦合絲鋸的運動學機械結構350的絲線導向器監視裝置的方式，在單個切割之間或在預選的切割數量之間可檢查絲線導向器的表面特征。進一步來說，當絲線導向器安裝在絲鋸內部時可測量絲線導向器。因此，絲鋸的停工時間可減少，因為不必要從絲鋸移除絲線導向器用于測量絲線導向器的表面。進一步來說，切割期間絲線導向器可在絲線導向器的實際位置中測量，使得當絲線導向器安裝在絲鋸內部時也可檢查絲線導向器的同軸對齊。
[0041]根據實施方式，運動學機械結構配置為賦能耦合的鑄錠或耦合的絲線導向器監視裝置在切割平面內的至少平移移動。通常，切割平面包括切割方向。替代地，運動學機械結構配置為賦能平移移動和/或旋轉移動。通常旋轉移動圍繞垂直于切割平面的旋轉軸進行。通常，切割平面的方向在整個切割工藝期間保持恒定。通常，切割平面的方向對應于絲鋸的絲線的方向。為了更好地理解切割平面內(如本文描述的)運動學機械結構可執行的移動，分別在圖1中由箭頭351指示水平移動(圖1中X方向)、由箭頭352指示垂直移動(圖1中z方向)和由箭頭353指示旋轉移動(圖1中指示圍繞y軸旋轉354)。根據實施方式，運動學機械結構350包括致動器組件，所述致動器組件配置用于執行運動學機械結構的平移和旋轉移動。
[0042]圖2圖示絲鋸的示意性側視圖，其中代替如圖1中所圖示的鑄錠，根據本文描述的實施方式的絲線導向器監視裝置500耦合運動學機械結構350。相較于圖1中圖示的絲鋸裝置，如圖2中示例性圖示的絲鋸裝置包括僅二個絲線導向器112和114。如圖2中示例性圖示的，絲線導向器監視裝置500可經由支撐臺312耦合運動學機械結構350。根據實施方式，絲線導向器監視裝置500包括傳感器裝置510、支撐元件520和用于耦合絲線導向器監視裝置500至支撐臺的耦合元件530。根據實施方式，支撐元件520可包括致動器522，尤其是線性致動器，所述致動器配置用于在垂直于絲線導向器軸(尤其是平行于跨過二個絲線導向器之間的絲線網)的方向平移傳感器裝置。如圖2示例性圖示的，根據實施方式，耦合元件530布置在支撐元件520上，使得耦合元件530 (例如，凸起的夾持元件)可耦合鑄錠供應系統300的配接耦合元件，例如，耦合支撐臺312的凹入的夾持元件。根據實施方式，鑄錠供應系統的配接耦合元件可布置在運動學機械結構350上或耦合運動學機械結構350的支撐臺312上。因此，絲線導向器監視裝置配置用于直接耦合運動學機械結構和/或用于經由支撐臺312耦合運動學機械結構。
[0043]在圖3中，圖示如關于圖1描述的具有四個絲線導向器的絲鋸的示意性側視圖，其中使用根據本文描述的實施方式的二個絲線導向器監視裝置。舉例來說，第一絲線導向器監視裝置500a可耦合第一運動學機械結構350a，而第二絲線導向器監視裝置500b可耦合第二運動學機械結構350b。如圖3中示例性圖示的，第一絲線導向器監視裝置500a可經布置用于監視第一組絲線導向器，例如，絲線導向器112和114，上部絲線網形成于絲線導向器112和114之間，且第二絲線導向器監視裝置500b可經布置用于監視第二組絲線導向器，例如，絲線導向器116和118，下部絲線網形成于絲線導向器116和118之間。
[0044]圖4圖示根據本文描述的實施方式的絲線導向器監視裝置的示意性側視圖，所述絲線導向器監視裝置配置用于耦合絲鋸的運動學機械結構350，如關于圖1和圖2示例性描述的。根據實施方式，絲線導向器監視裝置500包括傳感器裝置510、傳感器裝置510所附接的支撐元件520。如圖3中示例性圖示的，根據本文描述的絲線導向器監視裝置500的實施方式，支撐元件520配置用于支撐耦合元件530以及傳感器裝置510。根據實施方式，耦合元件530可與支撐元件520整體形成。替代地，耦合元件530可為附接于支撐元件520的分離的元件。
[0045]根據如圖4中示例性圖示的實施方式，傳感器裝置510布置在支撐元件520的側面上，所述支撐元件520上布置有該傳感器裝置510的該側面與支撐元件520上布置有耦合元件530的側面相對。根據實施方式，在絲線導向器監視裝置的耦合狀態中，如圖2和圖3中示例性圖示的，耦合元件530布置在面對運動學機械結構的支撐元件520的側面上且傳感器裝置布置在面對絲線導向器的支撐元件520的側面上。如圖4中示例性圖示的，支撐元件520可包括致動器522，尤其是線性致動器，所述致動器配置用于當絲線導向器監視裝置500耦合(如本文描述的)運動學機械結構時，在垂直于絲線導向器軸(尤其是平行于跨過二個絲線導向器之間的絲線網)的方向平移傳感器裝置。
[0046]根據如本文描述的絲線導向器監視系統的實施方式，傳感器裝置510可為叉型傳感器裝置。傳感器裝置510可包括輻射源512和傳感器511，例如，光學傳感器。根據實施方式，輻射源512和光學傳感器511可相對于彼此和/或平行于彼此布置。傳感器裝置可具有至少100mm,尤其是至少150mm,尤其是至少200mm的感測槽寬W。進一步來說,傳感器裝置可具有至少20mm,尤其是至少40mm,尤其是至少60mm的感測槽深D。
[0047]根據絲線導向器監視裝置500的實施方式，光學傳感器511可包括處理可見輻射的能力。舉例來說，在可適合于處理光學范圍(400至800nm)中的輻射的光學傳感器的情況中，環境光或LED的使用可用作各自的光源。光學傳感器可以光傳感器或電荷耦合裝置(charged coupled devices ;CO))傳感器的形式應用。根據替代的實施方式,光學傳感器可適合于處理超出光學范圍中的輻射，諸如紅外線、紫外線輻射、X射線、α粒子輻射、電子粒子輻射和/或γ射線。根據實施方式，列出的一或更多個輻射類型的輻射源可為絲線導向器監視系統的一部分，尤其是諸如叉型傳感器的傳感器裝置，如圖4至圖6和圖10中示例性圖示的。
[0048]根據實施方式，光學傳感器可經由電纜或無線連接連接至數據處理單元(未圖示)。數據處理單元可適合于檢查和分析光學傳感器的信號。如果絲線導向器表面顯示定義為非正常的或超過預先定義的絲線導向器的表面幾何形狀的預選閾值的任何表面特征，那么數據處理單元可偵測變化并觸發反應。這一反應速率可為指示已經超過預選的閾值的警報信號，所述預選的閾值例如涉及絲線導向器表面的臨界表面磨損值。進一步來說，數據處理單元可連接至用于控制鋸切工藝的絲鋸的控制單元或可為控制單元的一部分。因此，超過臨界表面磨損值之前，鋸切工藝參數(諸如鋸切速度、鑄錠的供應速率、漿料供應等等)可根據絲線導向器的表面特征的偵測的變化調整。因此，在更換絲線導向器之間鋸切工藝可關于絲鋸的操作時間最佳化。
[0049]根據實施方式，光學傳感器可適合于以分析傳感器裝置(例如，具有光學傳感器，例如，CCD傳感器)所獲得的數據的方式偵測絲線導向器槽的幾何形狀(例如，絲線導向器槽的形狀、深度、寬度等等)的變化。在絲線導向器槽顯示超過預選的閾值或臨界值的關于參考幾何形狀的幾何形狀的變化的情況下，數據處理單元偵測所述變化并可引發反應。這一反應可為指示超過臨界閾值的警報信號。替代地，如果絲線導向器槽的變化低于臨界值(超過所述臨界值，絲線導向器需要在繼續切割工藝之前更換或重新開槽)，那么反應可為調整絲鋸的鋸切工藝參數(例如，切割速度、鑄錠的搖擺移動、漿料供應等等)，從而補償絲線導向器槽的變化的影響。因此，在絲線導向器的必要更換或重新開槽之間，鋸切工藝可關于絲鋸的操作時間最佳化。因此，可減少絲鋸的停工時間。
[0050]如圖5中示例性圖示的，根據如本文描述的絲線導向器監視的實施方式，絲線導向器監視裝置500可進一步包括配置用于執行光學傳感器裝置510相對于耦合元件530的移動的至少一個致動器540。根據如本文描述的實施方式，至少一個致動器540配置用于執行光學傳感器裝置在平行于絲線導向器的縱軸的方向的移動，當絲線導向器監視裝置耦合(如本文描述的)運動學機械結構時旨在測量所述絲線導向器。進一步來說，如圖5中示例性圖示的，絲線導向器監視裝置可包括用于引導光學傳感器裝置510相對于耦合元件530移動的至少一個導軌541。根據如本文描述的實施方式，至少一個致動器為線性致動器，所述線性致動器經布置使得在絲線導向器監視裝置的耦合狀態中可執行光學傳感器裝置平行于絲線導向器的縱軸的線性移動。
[0051]根據如本文描述的絲線導向器監視裝置的實施方式，至少一個致動器540具有至少250mm,尤其是至少400mm,尤其是至少660mm的定位范圍。因此，至少一個導軌541可沿著致動器540的移動方向延伸至少250mm，尤其是至少400mm，尤其是至少660mm。因此，絲線導向器監視裝置可在監視絲線導向器的表面期間沿著絲線導向器的至少縱向截面移動。具體來說，絲線導向器監視裝置可在監視絲線導向器的表面期間沿著絲線導向器的全部長度移動。進一步來說，根據實施方式，致動器配置用于以最大10 μ m，尤其是最大5 μ m，尤其是最大Iym的最小增量運動距離執行移動。因此，測量絲線導向器的表面期間，可非常準確地執行傳感器裝置在絲線導向器的軸方向的移動。
[0052]圖6圖示根據描述的實施方式的絲線導向器監視裝置的示意性側視圖，其中絲線導向器監視裝置處于監視絲線導向器200的位置。圖5中示例性圖示的絲線導向器200可對應于如圖2或圖3中示例性圖示的絲鋸的絲線導向器112、114、116和118中的任一者。因此，關于絲線導向器200的絲線導向器監視裝置500的描述為使用用于監視絲鋸的任何絲線導向器(諸如示例性絲線導向器112、114、116和118，如圖2或圖3中所圖示的)的絲線導向器監視裝置的代表性實例。
[0053]如圖6中圖示的，處于監視絲線導向器200的位置中，尤其是用于測量絲線導向器的表面特征的位置中，傳感器裝置510利用運動學機械結構350 (例如，鑄錠供應系統300的運動學機械結構350)定位，使得絲線導向器200的表面位于傳感器裝置510的視野中。圖6中的虛線513指示傳感器裝置510的輻射源512和光學傳感器511之間的示例性光學路徑。根據本文描述的實施方式，傳感器裝置的視野的光學路徑可具有矩形橫截面，如圖8中的參考數字515示例性圖示的。替代地，視野的光學路徑的橫截面可為圓形、正方形或其他適當的形狀。根據實施方式，光學路徑的橫截面界定垂直于切割平面的平面。
[0054]如圖6中指示的，根據本文描述的實施方式，運動學機械結構配置用于相對于絲線導向器移動絲線導向器監視裝置，例如，在對應于圖6中的z-x平面的切割平面內。詳細地說，(如本文描述的)運動學機械結構可配置用于執行分別如箭頭351指示的水平移動、如箭頭352指示的垂直移動和箭頭353指示的旋轉移動。如以上關于圖5描述的，根據絲線導向器監視裝置的實施方式，絲線導向器監視裝置可包括至少一個致動器540。至少一個致動器540可配置用于執行光學傳感器裝置510相對于耦合元件530的移動。具體來說，至少一個致動器540配置用于執行傳感器裝置510垂直于切割平面的移動。在圖6中，傳感器裝置垂直于切割平面的移動對應于如描繪的坐標系統中指示的y方向。如圖6中示例性圖示的，絲線導向器200可具有縱軸240，絲線導向器200可圍繞所述縱軸240旋轉。如圖6中示例性圖示的，根據本文描述的實施方式，至少一個致動器540配置用于執行絲線導向器200的縱軸240方向的移動，例如，在圖6中的y方向。此外或替代地，支撐元件520可包括致動器522，尤其是線性致動器，所述線性致動器配置用于在垂直于絲線導向器軸的方向(尤其是水平地)平移傳感器裝置。
[0055]在圖7中，圖示絲線導向器的示意性視圖，由(如本文描述的)絲線導向器監視裝置可監視所述絲線導向器的表面特征。根據實施方式，絲線導向器200可具有縱軸240，絲線導向器200可圍繞所述縱軸240旋轉。進一步來說，絲線導向器200 (如本文描述的)可包括圓筒部分210，多個槽220可形成在圓筒部分210的環形表面上。舉例來說，在圖6中多個槽中的第一個槽以參考符號221表不且最后一個槽以參考符號222表不。
[0056]在圖7的右側，圖示絲線導向器200的正面圖，指示絲線導向器或圓筒部分的徑向292和環形方向291。槽一般形成在絲線導向器的環形表面上且具有在徑向292的延伸進入絲線導向器。進一步來說，絲線導向器200可提供長度290，所述長度290實質上垂直于絲線導向器200的徑向292。在圖7圖示的示例性實施方式中，槽220形成在絲線導向器200的整個長度290上。
[0057]根據本文描述的實施方式，(如本文描述的)絲線導向器200的圓筒部分210可具有沿著絲線導向器的縱軸240的長度，通常大約500mm至大約1000mm，更通常介于大約600mm至大約800mm之間，且甚至更通常為大約700mm。圖7示例性圖示圓筒部分沿著縱軸240的長度290。形成在絲線導向器的圓筒部分的表面上的槽數量可示例性地在一個絲線導向器上介于通常大約1000個和大約6000個槽之間，更通常介于1200個和大約4000個槽之間，且甚至更通常介于大約1700個和大約3500個槽之間。
[0058]圖8圖示圖6中圖示的絲線導向器200的圓筒部分210的放大截面280。在圖8的截面280中，可更詳細看見槽220，所述槽220示例性圖示為V形槽。進一步來說，圖8的截面280顯示多個槽220的每一槽在數個方向具有延伸(在一個方向的延伸也可稱為槽的尺寸)，諸如在圓筒部分中的深度、寬度和節距，所述深度、寬度和節距將在以下關于圖9詳細解釋說明。如圖8中示例性圖示的，傳感器裝置510的視野515可具有適合于同時測量數個槽(例如，至少二個或更多個)的大小和形狀。根據實施方式，視野可具有介于0.05mm，尤其是0.1Omm,更尤其是0.3mm的下限和2mm,尤其是3mm,更尤其是4mm的上限之間的寬度。
[0059]一般來說，絲線導向器的槽具有標稱尺寸，所述標稱尺寸可為尺寸的預定值或尺寸的期望或理想值。在一些實施方式中，標稱尺寸值對于圓筒部分中的每個槽是相等的，使得正好一個標稱尺寸值針對槽的一個尺寸存在。根據一些實施方式，每一槽可具有標稱尺寸，所述標稱尺寸可(例如)取決于絲線導向器上的槽的位置。槽的實際尺寸為在圓筒部分中形成之后槽顯示的尺寸。由于工藝和材料變化，實際尺寸可不同于標稱尺寸。在本文描述的實施方式中，圓筒部分中的槽的每一者的實際尺寸具有與槽的標稱尺寸的偏差，與標稱尺寸的所述偏差通常小于大約5%，更通常小于大約3%，且甚至更通常小于大約2%。
[0060]當測量槽時，例如，在生產之后槽的質量控制時或在切割之后磨損檢查時，期望非常準確地測量槽，因為槽幾何形狀對不同因素有影響，諸如待由絲鋸切割的晶片的厚度，或切割工藝期間絲線振動，當開槽節距沿著絲線導向器的寬度為不規則的時引起所述絲線振動。
[0061]一般來說，當絲線導向器旋轉時，槽中的絲線位置和固持、槽的幾何形狀，尤其是槽的深度和形狀，確保絲線維持在界定的位置處。如果開槽輪廓為不規則的，那么切割期間絲線可能會振動和/或跳出一個槽，由此產生絲線跳躍。這些振動和/或絲線跳躍損害晶片且為絲線斷裂的來源。造成的切割工藝中斷為昂貴的和耗時的。
[0062]因此，期望有規則地測量槽，例如，在預選的切割數量之間(例如，在每一單獨切割之后或在每二次、每三次或更多次切割之后)，從而獲得關于槽的狀態的信息。因此，如果偵測到槽幾何形狀的變化，所述變化高于預選的閾值，那么可更換或重新開槽絲線導向器。替代地，絲鋸的工藝參數(例如，鑄錠供應速率、鋸切速度、漿料供應等等)可被調整以用于下一個晶片切割工藝以補償槽幾何形狀的變化。
[0063]在圖9中，圖示根據本文描述的實施方式的絲線導向器中的示例性槽幾何形狀的示意性視圖。以槽形狀為例，圖8中的槽420形成為V形形狀。然而，關于槽幾何形狀的尺寸(諸如深度430、寬度440、節距450、開度角460等等)，如圖8中示例性圖示的，不受限于絲線導向器中的槽的V形形狀。根據本文描述的實施方式，槽可具有U型橫截面形狀、V型橫截面形狀、提供槽的平底的形狀、提供槽的圓底的形狀或用于引導絲線的任何其他適當的形狀。
[0064]在圖9中，可見槽420形成在絲線導向器的圓筒部分210的環形表面415中，如以上解釋說明的。根據一些實施方式，槽420形成在涂層中，尤其是聚氨酯涂層，所述涂層布置在圓筒部分210的主體的環形表面處。舉例來說，絲線導向器可由涂敷有數毫米的聚合物層(例如，聚氨酯)的固體圓筒產生，在所述圓筒中可刻出大約1000個至6000個平行槽。
[0065]絲線導向器的槽具有數個幾何尺寸。舉例來說，根據本文描述的實施方式的絲線導向器中的槽420可具有從圓筒部分210的表面415測量的深度430、圓筒部分210的表面415處的圓筒部分的橫向寬度440、界定為一個槽的中心至相鄰槽的中心之間的距離的節距450、圓筒部分210的表面415處的一個槽的末端和相鄰槽的起點之間的距離470、開度角460等等。
[0066]根據一些實施方式，所述實施方式可與本文描述的進一步的實施方式組合，范圍從圓筒部分210的表面415至槽420的底部的槽的深度430可通常介于大約100 μ m和大約250 μ m之間，更通常介于大約120 μ m至大約200 μ m之間，且甚至更通常介于大約150 μ m和大約200 μ m之間，諸如170 μ m。槽的寬度440可通常介于大約120 μ m和大約250 μ m之間，更通常介于大約150 μ m和大約230 μ m之間，且甚至更通常為大約220 μ m。根據一些實施方式，節距450可通常介于大約100 μ m和大約400 μ m之間，更通常介于大約150 μ m至大約350 μ m之間，且甚至更通常介于大約150 μ m和大約200 μ m之間。在一個實例中，節距可為大約355μπι。應注意到，槽的中心可由圓筒部分的表面處的槽起點和圓筒部分的表面處的槽末端之間的中點界定。
[0067]根據本文描述的一些實施方式，圓筒部分的表面處的一個槽的起點和圓筒部分的表面處的相鄰槽的起點之間的距離470可通常在大約10 μ m和大約50 μ m之間，更通常介于大約15 μ m和大約30 μ m之間，且更通常為大約20 μ m。開度角460可通常介于大約30°至100°之間，更通常介于大約40°至大約90°之間，且甚至更通常為大約80°。
[0068]應理解給定值僅為針對各自的尺寸的實例。舉例來說，尺寸值(諸如寬度值)可取決于槽形狀且可偏離取決于形狀的上述示例值。
[0069]根據使用的絲線類型選擇槽的幾何形狀，例如，具有開度角、深度和一個槽至下一個槽的節距的V形槽。舉例來說，槽的上述參數取決于絲線特征，諸如外部絲線直徑、絲線材料，或絲線材料是否為直的、構造的或金剛石涂敷的。槽的節距也取決于切割工藝的結束處獲得的薄片的期望厚度。
[0070]在圖9中，一根絲線480示例性圖示在一個槽420中。絲線480可具有外部絲線直徑485,通常大約50 μ m至200 μ m,更通常大約70 μ m至150 μ m,且甚至更通常介于大約80 μ m至大約140 μ m之間。
[0071]根據本文描述的一些實施方式，傳感器裝置510配置用于測量(如本文描述的)絲線導向器的環形表面上的槽的尺寸。具體來說，傳感器裝置510可配置用于在至少±2 μ m的準確度內(尤其是至少±1 μ m的準確度內，尤其是至少±0.5μπι的準確度內)測量(如本文描述的)槽的尺寸。
[0072]根據本文描述的實施方式，絲線導向器監視裝置配置用于偵測絲線導向器的上述尺寸(如深度430、寬度440、節距450、開度角460和距離470)的偏差，所述偏差小于大約2 μ m,尤其小于I μ m,尤其小于±0.5 μ m。替代地，絲線導向器監視裝置可配置用于偵測上述尺寸(如深度430、寬度440、節距450、開度角460和距離470)與絲線導向器的標稱尺寸的偏差，所述偏差小于大約10%，尤其小于5%，尤其小于2%。
[0073]如以上解釋說明的，槽的尺寸的標稱值可隨著圓筒部分的寬度變化。舉例來說，回頭參閱圖6，由于這些槽的不同標稱值，圓筒部分的左側的槽221可具有與圓筒部分的右側的槽222不同的尺寸。在一個實例中，當從絲線導向器的左側至絲線導向器的右側時，節距的標稱值不同。換句話說，槽的節距的值可彼此不同(且可(例如)具有大于節距的5%的彼此差異)，但是對于分別的節距，與具體標稱值的差異可僅為5%或甚至更小。
[0074]在與標稱尺寸小于大約5%的尺寸偏差下,根據本文描述的實施方式絲線導向器中可存在以下尺寸偏差。舉例來說，深度430與標稱深度的偏差可通常小于大約12μπι，更通常小于大約8 μ m,且甚至更通常小于大約5 μ m。寬度440與標稱寬度的偏差可通常小于大約12 μ m,更通常小于大約10 μ m,或甚至更通常小于大約5 μ m。節距450與標稱節距的偏差可通常小于20 μ m,更通常小于大約10 μ m,且甚至更通常小于大約7.5 μ m。
[0075]開度角460與標稱開度角的偏差可通常小于5°，更通常小于大約4°，且甚至更通常小于大約3°。距離470與標稱距離的偏差可通常小于大約3 μ m，更通常小于大約2 μ m,且甚至更通常小于大約I微米。
[0076]在一些實施方式中，尤其當槽的實際尺寸與槽的標稱尺寸的偏差小于3%時，深度430與標稱深度的偏差可通常小于大約7 μ m,更通常小于大約5 μ m,且甚至更通常小于大約3μ m。寬度440與標稱寬度的偏差可通常小于大約7 μ m,更通常小于大約5 μ m,或甚至更通常小于大約4 μ m。節距450與標稱節距的偏差可通常小于大約12 μ m、更通常小于大約6 μ m,且甚至更通常小于4.5 μ m。
[0077]開度角460與標稱開度角的偏差可通常為小于大約3°，更通常小于大約2°，且甚至更通常小于大約1°。距離470與標稱距離的偏差可通常小于大約2 μ m，更通常小于大約I微米且小于大約0.6微米。
[0078]然而，在一些實施方式中，大約I %的槽的實際尺寸可具有超過上述參考值的與標稱尺寸的偏差，例如，大約1%的槽的實際尺寸可具有大于5%的與標稱尺寸的偏差。
[0079]根據本文描述的實施方式的絲線導向器的圓筒主體可由鋼或碳纖維增強聚合物(carbon fiber reinforced polymer ；CFRP)材料制成,且可使用軟性材料(諸如聚合材料，例如，聚氨酯化合物)涂敷在圓筒表面上。根據一些實施方式，具有上述幾何尺寸可靠性的槽從第一個至最后一個槽可以激光燒蝕的方式形成在圓筒部分的軟性材料涂層中。
[0080]圖10圖示根據本文描述的實施方式的絲線導向器監視裝置500的透視圖，所述絲線導向器監視裝置500耦合絲鋸的鑄錠供應系統300的運動學機械結構350。如以上關于圖1和圖2解釋說明的，(如本文描述的)運動學機械結構配置用于執行切割平面內絲線導向器監視裝置相對于絲線導向器200的水平移動(箭頭351指示)、垂直移動(箭頭352指示)和旋轉移動(箭頭353指示)。
[0081]如圖10中示例性圖示的，(如本文描述的)平行運動學機械結構350包括具有第一端和第二端的三個臂343和二個或更多個致動器355。如圖10所圖示的，臂的第一端為可旋轉地連接至支撐臺312，例如，經由鉸節點10，而臂的第二端為可旋轉地連接至致動器355，例如，經由鉸節點。根據未圖示的實施方式，平行運動學機械結構可包括四個臂，其中二個臂布置在支撐臺的左側且另外二個臂布置在支撐臺的右側。
[0082]通常，致動器355配置為實現沿著平移軸，通常垂直軸(例如，如圖10中示例性圖示的z軸)的移動。通常，致動器經由絲鋸的框架305上提供的導軌(未圖示)引導，其中所述導軌通常沿著切割方向的軸布置，尤其是在垂直方向中。進一步來說，致動器經配置使得每一者可分別移動。因此，以移動致動器355的方式，可移動臂343、支撐臺312且因此耦合支撐臺的絲線導向器監視裝置500。
[0083]舉例來說，當所有三個致動器在相同方向以相同速度移動時，監視裝置500在圖10中表現為向下移動，尤其是朝向絲鋸的絲線導向器200的表面。在至少一個致動器以相較于其他致動器不同的速度和/或方向移動時，可實現監視裝置500的旋轉移動，例如，如箭頭353指示的旋轉(例如，如圖10中指示的圍繞y軸)。因此，致動器相對于彼此移動且可用于在切割平面中移動監視裝置500，例如，在圖10的z-x平面中，和/或也提供監視裝置500的旋轉，例如，以相對于如箭頭351指示的水平線的角度。
[0084]此外或替代地，運動學機械結構的臂343可為可擴展的和/或可收縮的，從而提供平移和/或旋轉移動。因此，根據運動學機械結構的實施方式，擴展/收縮臂343可包括能夠擴展和收縮臂的致動器。因此，耦合運動學機械結構的絲線導向器監視裝置的旋轉移動也可由臂343的簡單擴展或收縮實現。
[0085]根據本案的另一方面，示例性參閱圖2，提供包括(如本文描述的)至少二個絲線導向器圓筒和絲線導向器監視裝置的絲鋸。根據絲鋸的實施方式，絲鋸包括配置用于耦合鑄錠和(如本文描述的)絲線導向器監視裝置的耦合元件。配置用于耦合鑄錠和/或絲線導向器監視裝置的絲鋸的耦合元件可布置在運動學機械結構350上或支撐臺312上。根據實施方式，用于耦合鑄錠和絲線導向器監視裝置的絲鋸的耦合元件可配置為分別匹配(如本文所描述的)絲線導向器監視裝置的耦合元件和用于耦合鑄錠的耦合元件。根據實施方式，絲鋸的耦合元件可配置為用于可釋放地耦合鑄錠102和/或絲線導向器監視裝置的夾緊機構，如本文描述的。因此，提供絲鋸，所述絲鋸可用于切割鑄錠和測量絲鋸的絲線導向器，尤其是絲線導向器的表面特征，諸如絲線導向器槽。因此，以提供具有用于耦合鑄錠和/或(如本文描述的)絲線導向器監視裝置的耦合元件的絲鋸的方式，可在單獨的切割之間或在預選數量的切割之間檢查絲線導向器的表面特征。進一步來說，當絲線導向器安裝在絲鋸內部時可測量絲線導向器。因此，絲鋸的停工時間可減少，因為不必要地從絲鋸移除絲線導向器用于測量絲線導向器的表面。進一步來說，切割期間絲線導向器可在絲線導向器的實際位置中測量，使得當絲線導向器安裝在絲鋸內部時也可檢查絲線導向器的同軸對齊。
[0086]為了更好地理解本案的絲線導向器監視裝置、絲鋸和該絲鋸的操作，在下文解釋了用于監視絲線導向器的方法，圖11圖示用于監視600絲線導向器的方法的流程圖。用于監視絲線導向器的表面特征的方法600包括以下步驟:耦合610傳感器裝置至絲鋸的運動學機械結構，以移動運動學機械結構的方式移動620傳感器裝置至絲鋸內部安裝的絲線導向器的表面，并且使用傳感器裝置測量630絲線導向器的表面特征。因此，以測量絲線導向器的表面特征的方式(其中當絲線導向器安裝在絲鋸內部時可測量絲線導向器)，可減少絲鋸的停工時間，因為不必要從絲鋸移除絲線導向器用于測量絲線導向器的表面。進一步來說，切割期間絲線導向器可在絲線導向器的實際位置中測量，使得當絲線導向器安裝在絲鋸內部時也可檢查絲線導向器的正確的同軸對齊。因此，(如本文描述的)方法亦提供當絲線導向器第一次安裝在絲鋸內部時用于質量控制的方法。
[0087]具體而言，耦合610傳感器裝置至絲鋸的運動學機械結構的步驟可包括以下步驟:耦合(如本文描述的)絲線導向器監視裝置500尤其至(如本文描述的)運動學機械結構。
[0088]進一步來說，移動620傳感器裝置的步驟可包括以下步驟:利用(如本文描述的)運動學機械結構移動傳感器裝置，傳感器裝置耦合至所述運動學機械結構。具體來說，利用運動學機械結構在切割平面內可移動絲線導向器監視裝置，所述切割平面通常包括切割方向。因此，移動傳感器裝置的步驟可包括以下步驟:使用運動學機械結構執行平移和/或旋轉移動，如關于絲鋸的實施方式解釋說明的，如本文描述的(例如，關于圖1、圖2、圖3和圖10的描述)。
[0089]進一步來說，能夠在實質上平行于絲線導向器的縱軸的方向相對于待測量的絲線導向器的表面移動傳感器裝置。在實質上平行于絲線導向器的縱軸的方向中移動傳感器裝置的步驟可利用包括在(如所描述的)(例如，關于圖5、圖6和圖10的描述)絲線導向器監視裝置中的致動器來執行。
[0090]測量630絲線導向器的表面特征的步驟可進一步包括以下步驟:在絲線導向器的表面上的不同位置處進行至少二個測量。進一步來說，測量630的步驟可包括以下步驟:分析關于絲線導向器表面的表面特征的測量數據，尤其是統計分析關于絲線導向器表面的表面特征的測量數據。進一步來說，測量630的步驟可包括以下步驟:測量絲線的表面特征，例如，槽幾何形狀，如關于圖7、圖8和圖9不例性描述的。
[0091]進一步來說，測量630的步驟可包括以下步驟:分析關于絲線導向器表面的表面特征的測量數據，尤其是統計分析關于絲線導向器表面的表面特征的測量數據。統計分析的步驟可包括以下步驟:統計分析在絲線導向器表面的不同位置處獲得的測量和/或統計分析不同時間點處獲得的測量，例如，在相同位置但在不同數量的切割之后。因此，可獲得關于切割工藝的有價值的信息，尤其是關于具體工藝參數組(例如，絲線速度、鑄錠供應速率、漿料供應等等)引起的磨損的信息。進一步來說，分析測量數據的步驟可包括以下步驟:計算表面特征的標稱尺寸和實際尺寸之間的偏差，諸如關于圖7、圖8和圖9的槽幾何形狀的解釋說明。
[0092]在實例中，該解說性地描述的用于監視至少一根絲線的物理特征的方法可利用電腦程序、軟件、電腦軟件產品和相關的控制器進行，所述控制器可具有與絲鋸的相對應部件通信的CPU、存儲器、用戶界面和輸入及輸出手段。這些部件可以是以下中的一或更多個:馬達、絲線斷裂偵測單元、絲線跟蹤裝置等等。
[0093]雖然上文針對本案的實施方式，然而可設計本案的其他和進一步的實施方式，而不脫離本案的基本范圍，且本案的范圍由隨附權利要求書決定。
【權利要求】
1.一種用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，所述裝置包含: 用于測量絲線導向器的表面特征的光學傳感器裝置(510)，和 用于耦合所述絲線導向器監視裝置至所述絲鋸的鑄錠供應系統的運動學機械結構的耦合元件(530)。
2.如權利要求1所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述裝置進一步包含配置用于執行所述光學傳感器裝置(510)相對于所述耦合元件(530)移動的至少一個致動器(540)。
3.如權利要求2所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述光學傳感器裝置(510)包含用于引導所述光學傳感器裝置(510)相對于所述耦合元件(530)移動的至少一個導軌。
4.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器為線性致動器，所述線性致動器經布置使得在所述絲線導向器監視裝置的耦合狀態下可執行所述光學傳感器裝置在絲線導向器的縱軸方向中的線性移動。
5.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器具有至少250mm的定位范圍。
6.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器具有至少400mm的定位范圍。
7.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器具有最大?ο μ m的最小增量運動距離。
8.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器具有最大5 μ m的最小增量運動距離。
9.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述傳感器裝置(510)包含輻射源(512)和光學傳感器(511)。
10.如權利要求9所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述輻射源(512)為相對于所述光學傳感器(511)布置。
11.如權利要求9所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置，其特征在于，所述傳感器裝置為叉型傳感器。
12.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述傳感器裝置具有至少100_的感測槽寬(W)。
13.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述傳感器裝置具有至少150_的感測槽寬(W)。
14.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(10)，其特征在于，所述傳感器裝置具有至少20_的感測槽深(D)。
15.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(10)，其特征在于，所述傳感器裝置具有至少40_的感測槽深(D)。
16.一種絲鋸(100)，所述絲鋸包含二個絲線導向器圓筒和根據權利要求1至3中任一項所述的絲線導向器監視裝置(500)。
17.如權利要求16所述的絲鋸(100)，其特征在于，所述絲鋸包含配置用于耦合鑄錠和所述絲線導向器監視裝置的耦合元件。
18.—種絲鋸(100)，所述絲鋸包含至少二個絲線導向器圓筒、配置用于耦合鑄錠和絲線導向器監視裝置的耦合元件和絲線導向器監視裝置(500)，所述絲線導向器監視裝置(500)包含:用于測量絲線導向器的表面特征的光學傳感器裝置(510)，用于耦合所述絲線導向器監視裝置至所述絲鋸的鑄錠供應系統的運動學機械結構的耦合元件(530)和配置用于執行所述光學傳感器裝置(510)相對于所述耦合元件(530)移動的至少一個致動器(540)，其中所述傳感器裝置(510)包含輻射源(512)和光學傳感器(511)。
19.如權利要求18所述的絲鋸(100)，其特征在于，所述輻射源(512)相對于所述光學傳感器(511)布置。
20.如權利要求18或19所述的絲鋸(100)，其特征在于，所述傳感器裝置為叉型傳感器。
【文檔編號】B28D5/04GK204036679SQ201420366308
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年7月3日 優先權日:2014年4月17日
【發明者】C·佐米尼 申請人:應用材料瑞士有限責任公司