基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法

基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法
【專利摘要】本發明是有關于一種防止基板在傳送移載時落下或碎裂發生的基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法。該基板分斷裝置包含：第1傳送部及第2傳送部，沿基板的搬送方向即第1方向隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態下卷繞于多個輥子而進行旋轉的帶部；刻劃單元，設置于該間隔；以及跳動輥子單元，在第1方向，設置在上游側第2傳送部與下游側第2傳送部之間，至少具備第1輥子與第2輥子；該第1輥子位于該第2傳送部的帶部外側，且該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內側；該第1輥子及該第2輥子，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動。本發明還提供一種基板分斷裝置的基板搬送方法。
【專利說明】基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法
[0001]本申請是申請號為201310116487.5的名稱為“基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法”的發明專利申請的分案申請，原申請的申請日是2013年04月03日。

【技術領域】
[0002]本發明有關于對包含使用于液晶顯示裝置等顯示面板的玻璃基板等母板的各種材料的母板進行分斷、搬送的基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法，更有關于在對已刻劃、分斷的脆性材料基板進行搬送至下一階段時，能夠對基板在不造成損傷、良好的狀態下進行搬送的基板分斷裝置及基板搬送方法。

【背景技術】
[0003]一般而言，液晶顯示裝置等顯示面板，通常使用脆性材料基板即玻璃基板形成。液晶顯示裝置，借由將一對玻璃基板隔有適當的間隔而接合，且在該間隔內封入液晶而成為顯示面板。在制造如此的顯示面板時，是借由對已接合母玻璃基板的接合母基板進行分斷，而進行從接合母基板制作成多個顯示面板的加工。用于分斷如此的接合母基板的基板分斷裝置，揭示于韓國公開特許公報第2006-0125915號(以下，稱為專利文獻I)。
[0004]圖1，概略地表示揭示于專利文獻I的圖32的基板分斷裝置的主要構成的立體圖。參照圖1，基板分斷裝置200具備定位單元部220、刻劃單元部240、裂斷傳送(conveyor)部260、蒸氣(steam)裂斷單元部280、面板反轉單元部320及面板端子分離部340。
[0005]在將配置有定位單元部220側設定為基板搬入側、將配置有面板端子分離部340側設定為基板搬出側時，基板在由基板搬入側的定位單元部220供給后，一邊依序往刻劃單元部240、裂斷傳送部260、蒸氣裂斷單元部280、基板搬送單元部300、面板反轉單元部320及面板端子分離部340搬送，一邊進行基板分斷作業，之后往基板搬出側搬送。
[0006]亦即，由于設置于設置臺230上方的定位單元部220供給的基板，載置于形成在定位單元部220的多個基板支持單元(未圖示)上，在將基板的位置定位于設置于基板支持單元的帶部(belt)(未圖示)上后，借由帶部的旋轉動作而往下一階段即刻劃單元部240搬送。
[0007]另一方面，刻劃單元部240，具有在設置臺250上方沿X方向設置的分斷裝置導引體242，以及將該分斷裝置導引體242夾于其間并沿Y方向配置的第I基板支持單元部241A及第2基板支持單元部241B。此外，第I基板支持單元部241A的第I基板支持單元244A與第2基板支持單元部241B的第2基板支持單元244B，分別相對于構架(frame) 243A及構架243B平行地配置。
[0008]在此情形，從定位單元部220往刻劃單元部240搬送的基板，載置于第I基板支持單元部241A的第I基板支持單元244A，且借由夾器(clamp)裝置251而夾持。之后，一旦使設置于第I基板支持單元244A的帶部旋轉，同時使夾器裝置251沿Y方向移動，借此使基板通過分斷裝置導引體242而刻劃，且刻劃后的基板往第2基板支持單元部241B的第2基板支持單元244B搬送。
[0009]已往第2基板支持單元244B搬送的基板，借由設置于第2基板支持單元244B的帶部旋轉，往與第2基板支持單元244B的帶部分離而設置的裂斷傳送部260的帶部261搬送，之后借由蒸氣裂斷單元部280使基板完全地分斷，且經過基板搬送單元部300、面板反轉單元部320及面板端子分離部340，借由機器人等往基板搬出側搬送。
[0010]此外，一般而言，已完成刻劃作業且往第2基板支持單元244B的帶部上搬送的基板，借由第2基板支持單元244B的帶部與裂斷傳送部260的帶部261的旋轉而往裂斷傳送部260搬送。已完成往裂斷傳送部260搬送的基板，在裂斷傳送部260的帶部261的旋轉已停止的狀態，借由蒸氣裂斷單元280而裂斷后，借由拾起(pick-up)機器人等拾起，且往基板搬送單元部300排出。此外，即使在裂斷傳送部260的帶部261的旋轉已停止的狀態，為了基板的刻劃，構成刻劃單元部240的第I基板支持單元244A及第2基板支持單元244B的帶部仍以持續旋轉的方式控制。
[0011]專利文獻1:韓國公開專利公報第2006-0125915號。
[0012]但是，在如此般的現有習知的基板分斷裝置中，已刻劃的基板從刻劃單元部240往裂斷傳送部260搬送時，更具體而言，從第2基板支持單元244B往裂斷傳送部260搬送時，由于在第2基板支持單元244B的帶部與裂斷傳送部260的帶部261之間進行帶部的移載，使得在第2基板支持單元244B與裂斷傳送部260之間端材落下、或基板破裂的玻璃碎屑等產生。關于如此般的帶部移載的問題點，參照圖2更具體地進行說明。
[0013]圖2概略地表示在現有習知的基板分斷裝置中，將基板從刻劃單元部往拾起傳送部搬送過程的示意圖。在圖2中，符號100表示對由基板搬入側搬送的基板進行接受、定位及/或旋轉的供材部，符號110與120分別表示上游側刻劃部及下游側刻劃部，而符號130表示對已分斷的基板借由機器人等進行拾起而排出的拾起傳送部。
[0014]參照圖2，在現有習知的基板分斷裝置中，被把持于基板把持機構114的基板，一邊往返移動于上游側刻劃部110與下游側刻劃部120之間，一邊借由設置于刻劃梁116的刻劃頭118而刻劃。然后，載置于下游側刻劃部120的傳送帶134上的完成刻劃的基板102a,往拾起傳送部130的傳送帶135搬送。
[0015]但是，由于在下游側刻劃部120的傳送帶134與拾起傳送部130的傳送帶135之間，存在傳送移載部，因此在基板102a往拾起傳送部135上的基板102b的位置搬送時，使得從已刻劃的基板102a落下端材。此外，基板102a從下游側刻劃部120往拾起傳送部130上移載時，使得基板102a產生上下起伏，借此導致基板102a的已刻劃部分彼此相互碰撞而產生基板的一部分破裂的玻璃碎屑。即使例如將下游側刻劃部120及拾起傳送部130的與地面的高度設計為相等，實際上，下游側刻劃部120與拾起傳送部130的高度仍有些微地差異，或者任一方傾斜地設置，因此使得玻璃碎屑產生。尤其是，最近在處理薄型化基板的情形較多，如此般的問題更為明顯。


【發明內容】

[0016]本發明的目的在于提供一種可防止因傳送裝置的移載而導致端材落下或基板碎裂的問題，且可將已刻劃基板不造成損傷地搬送至下一階段的基板分斷裝置及基板搬送方法。
[0017]本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。本發明提供一種基板分斷裝置，包含:第I傳送部及第2傳送部，在設置臺上，沿基板的搬送方向即第I方向相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態下卷繞于多個輥子(roller)而進行旋轉的帶部；刻劃單元，設置于該第I傳送部與第2傳送部之間并對該基板進行刻劃；以及跳動輥子(dancer-roller)單元，在該第I方向，設置在位于該第2傳送部的上游側的上游側第2傳送部與位于下游側的下游側第2傳送部之間，且至少具備第I輥子及第2輥子；該第I輥子位于該第2傳送部的帶部外側；該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內側；該第I輥子及該第2輥子，在與該第I方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動，且形成為一體的該上游側第2傳送部與該下游側第2傳送部,可成為互為不同的動作狀態。
[0018]本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。
[0019]較佳的，前述的基板分斷裝置，其中該第I輥子及第2輥子在該第2方向相互地往相反方向移動時，該第I輥子的移動距離與第2輥子的移動距離相同。
[0020]較佳的，前述的基板分斷裝置，其中該第I輥子及第2輥子的至少一者，一邊維持該第2傳送部的帶部的張力，一邊與該帶部接觸。
[0021]較佳的，前述的基板分斷裝置，其中該第I輥子及第2輥子，在夾著與齒輪驅動馬達連結的小齒輪而相互地對向配置的狀態下，分別與嚙合于該小齒輪的第I齒條及第2齒條結合。
[0022]較佳的，前述的基板分斷裝置，其中在該多個輥子中，包含第3輥子，且該第3輥子卷繞有該下游側第2傳送部的帶部，且該第3輥子連結帶部驅動馬達。
[0023]較佳的，前述的基板分斷裝置，其中在該跳動輥子單元中，設置有使該上游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第I制動器(stopper),以及使該下游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第2制動器。
[0024]本發明的目的及解決其技術問題還采用以下技術方案來實現的。本發明還提供一種基板搬送方法，在包含具備在設置臺上沿基板的搬送方向即第I方向相互地隔著間隔配置且在載置該基板的狀態下卷繞于多個輥子而進行旋轉的帶部的第I傳送部及第2傳送部，以及設置于該第I傳送部與該第2傳送部之間并對該基板進行刻劃的刻劃單元的基板分斷裝置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第I方向進行搬送，其中在該基板分斷裝置中，在該第I方向，在位于該第2傳送部的上游側的上游側第2傳送部與位于下游側的下游側第2傳送部之間，具備在與該第I方向交叉的第2方向可相互地往相反方向移動的至少具有第I輥子與第2輥子的跳動輥子單元，且在使該第I輥子位于該第2傳送部的帶部外側，且使該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內側的狀態下，使該第I輥子與第2輥子相互地往相反方向移動，借此使形成為一體的該上游側第2傳送部與下游側第2傳送部相互地以不同的方式動作。
[0025]本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。
[0026]較佳的， 前述的基板搬送方法，其中借由使該第I輥子與第2輥子往返移動，在使下游側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使上游側第2傳送部的帶部往順時針方向或逆時針方向旋轉，且對載置于該上游側第2傳送部的帶部上的基板進行刻劃；在該進行刻劃的階段，對置于停止狀態的下游側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進行卸載(unload);借由一邊使卷繞有該下游側第2傳送部的帶部的第3輥子旋轉，一邊使該第I輥子及第2輥子移動，在使上游側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使該下游側第2傳送部的帶部旋轉，對留置于該下游側第2傳送部的帶部上的端材進行卸載；亦在該端材卸載后，使該第3輥子持續旋轉，使載置于該上游側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下游側第2傳送部的帶部上進行搬送。
[0027]較佳的，前述的基板搬送方法，其中該第3輥子連結帶部驅動馬達，且在對該基板進行刻劃的階段，使該帶部驅動馬達的動作停止。
[0028]較佳的，前述的基板搬送方法，其中在對該端材進行卸載的階段，使該帶部驅動馬達動作。
[0029]較佳的，前述的基板搬送方法，其中在該跳動輥子單元，設置使該上游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第I制動器，以及使該下游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第2制動器，且在對該基板進行刻劃的階段，使該第2制動器動作。
[0030]較佳的，前述的基板搬送方法，其中在對該端材進行卸載的階段，使該第I制動器動作。
[0031]較佳的，前述的基板搬送方法，其中已刻劃的基板在往該下游側第2傳送部的帶部搬送的階段，使該第I制動器及第2制動器的動作完全解除。
[0032]借由上述技術方案，本發明基板分斷裝置及基板搬送方法至少具有下列優點及有益效果:根據本發明，借由在形成為一體的第2傳送部的上游側第2傳送部與下游側第2傳送部之間具備跳動輥子單元，可以不具有現有習知的存在于下游側刻劃部與拾起傳送部之間的傳送移載部的方式，將基板從上游側第2傳送部往下游側第2傳送部進行搬送。如此，可防止端材的落下或玻璃碎屑等的產生。此外，亦可防止因傳送移載部而產生基板表面上的傷痕或損傷。此外，根據本發明，可使上游側第2傳送部與下游側第2傳送部相互地以不同的方式動作，因此即使在為了對下游側第2傳送部上的基板進行拾起而使下游側第2傳送部停止的狀態下，亦可于上游側第2傳送部對基板的刻劃作業持續進行。因此，可提高基板分斷裝置的整體的處理效率。
[0033]上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本發明的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1:概略地表示現有習知的基板分斷裝置的主要構成的立體圖。
[0035]圖2:概略地表示在現有習知的基板分斷裝置中，將已刻劃的基板往拾起傳送部搬送的示意圖。
[0036]圖3:概略地表示本發明實施例的基板分斷裝置的主要構成的側視圖。
[0037]圖4(a)至圖4(d):概略地表示本發明實施例的基板分斷裝置的基板搬送過程的示意圖。
[0038]圖5:本發明實施例的設置有跳動輥子單元的基板分斷裝置的部分立體圖。
[0039]圖6:本發明實施例的跳動輥子單元的立體圖。
[0040]圖7:本發明實施例的跳動輥子單元的側視圖。
[0041]圖8:表示在本發明實施例的跳動輥子單元中，第I輥子下降且第2輥子上升的跳動棍子單元的側剖面圖。
[0042]圖9:表示在本發明實施例的跳動輥子單元中，第I輥子上升且第2輥子下降的跳動棍子單元的側剖面圖。
[0043]【主要元件符號說明】
[0044]2、2a:基板10:第I傳送部
[0045]14:夾頭梁16:夾頭
[0046]18:帶部20:第2傳送部
[0047]21:輥子21a:第3輥子
[0048]22:上游側第2傳送部(刻劃后傳送部)
[0049]22a:刻劃后傳送構架23:跳動輥子單元
[0050]23a:第I輥子23b:第2輥子[0051 ]24:下游側第2傳送部(拾起傳送部)
[0052]24a:拾起傳送構架25a:拾起X軸機器人
[0053]25b:拾起Y軸機器人25c:拾起Z軸機器人
[0054]27:拾起手28:帶部
[0055]30:刻劃單元32:刻劃梁
[0056]34:刻劃頭40:帶部驅動馬達
[0057]50a:第I制動器50b:第2制動器
[0058]52:帶部制動器副軸54:齒條及小齒輪
[0059]232:齒輪驅動馬達234:小齒輪
[0060]236a:第I齒條236b:第2齒條
[0061]238:導件

【具體實施方式】
[0062]為更進一步闡述本發明為達成預定發明目的所采取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的一種基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法的【具體實施方式】、結構、特征及其功效，詳細說明如后。
[0063]以下，參照附圖，針對本發明的實施例詳細地進行說明。但本發明可以各種不同的形態具體呈現，并不限定于此處說明的實施例。在圖示中，為了對本發明進行簡單且清楚的說明，省略了與說明無關的部分，且針對貫通說明書整體為相同或類似的構成元件標記相同的參照符號。此外，在本發明的實施例中，對已揭示于專利文獻I等現有習知的基板分斷裝置的在構成上的不同點為中心進行說明，關于與現有習知的基板分斷裝置為相同或類似的構成，省略其說明。另一方面，在本發明的實施例中，“基板”包含分斷成多個基板的母基板，此外還包含鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板及陶瓷基板、半導體基板、玻璃基板等脆性材料基板等單板。此外，并不限定于如此的單板，亦包含接合一對基板的接合基板，以及積層一對基板的積層基板。
[0064]圖3，概略地表示本發明實施例的基板分斷裝置的主要構成的側視圖。參照圖3，本實施例的基板分斷裝置，包含第I傳送部10及第2傳送部20、刻劃單元30及跳動輥子單元23。第I傳送部10及第2傳送部20，在設置臺(未圖示)上沿基板搬送方向即第I方向(在圖3中+Y方向)相互地隔著間隔配置。在第I傳送部10，設置有卷繞于多個輥子11而進行旋轉的帶部18，在第2傳送部20，設置有卷繞于多個輥子21而進行旋轉的帶部28。而且，在本實施例中，以如下方式構成:多個輥子21之中，第3輥子21a連結有帶部驅動馬達40，因此借由該帶部驅動馬達40的動作控制第3輥子21a的旋轉，借此使帶部28進行旋轉。
[0065]在第I傳送部10與第2傳送部20之間，配置刻劃單元30。刻劃單元30，具備在橫切設置臺的方向(在圖3中+X方向)延長而設置的刻劃梁32，以及安裝于該刻劃梁32并可沿刻劃梁32延伸的方向移動的刻劃頭34。此外，在該第I傳送部10的帶部18上，設置有沿第I方向設置成可往前后(在圖3中+Y方向及-Y方向)移動的夾頭(chuck)梁14，以及形成于該夾頭梁14 一側并把持基板2的夾頭16。而且，夾頭梁14朝向刻劃單元30而前后方向進行移動，借此使被把持于夾頭16的基板2 —邊通過刻劃頭34的下部，一邊進行刻劃。
[0066]在本實施例中，第2傳送部20在基板的搬送方向區分成位于上游側的上游側第2傳送部22 (以下，亦稱刻劃后傳送部)，以及位于下游側的下游側第2傳送部24 (以下，亦稱拾起傳送部)。
[0067]刻劃后傳送部22，載置從第I傳送部10通過刻劃單元30刻劃的基板部分；拾起傳送部24，以例如借由拾起機器人等拾得基板的方式，暫時地載置從刻劃后傳送部22傳送來的基板2a部分。
[0068]如此進行互為不同功能的刻劃后傳送部22及拾起傳送部24，雖在本實施例中通過帶部28而作為第2傳送部20并形成為一體，但其可通過配置在刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間的跳動輥子單元23。
[0069] 跳動輥子單元23，設置于刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間，且至少具有一對第I輥子23a及第2輥子23b。在圖3中，雖僅圖示一對第I輥子23a及第2輥子23b，但本發明并不限定于此，亦可適用于具備2對以上輥子的跳動輥子單元。此外，在圖3中，第I輥子23a位于第2傳送部20的外側亦即帶部28的軌道外側，第2輥子23b位于第2傳送部20的內側亦即帶部28的軌道內側，但本發明并不限定于此，亦可適用于第I輥子23a位于帶部28的軌道內側，第2輥子23b位于帶部28的軌道外側的構成。
[0070]跳動輥子單元23的第I輥子23a及第2輥子23b，形成為可于與基板的搬送方向即與第I方向交叉的第2方向(在圖3中+Z方向或-Z方向)移動。此外，第I輥子23a及第2輥子23b，以在進行移動時相互地往相反方向移動的方式形成。例如，以一旦第I輥子23a往-Z方向移動，貝U第2棍子23b往+Z方向移動，而一旦第I棍子23a往+Z方向移動，則第2輥子23b往-Z方向移動的方式，將第I輥子23a及第2輥子23b相互連動地結合。關于該結合構成，將詳述于后。
[0071]如此，在刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間，形成具備有形成可相互地往相反方向移動的第I輥子23a及第2輥子23b的跳動輥子單元23，借此，第2刻劃部20的帶部28的移動，在刻劃后傳送部22及拾起傳送部24中可控制成各自獨立。亦即，可控制成如下的方式:刻劃后傳送部22的帶部28進行旋轉，但拾起傳送部24的帶部28為停止，或與此相反地，拾起傳送部24的帶部28進行旋轉，但刻劃后傳送部22的帶部28為停止。借此，刻劃后傳送部22及拾起傳送部24，雖以不具有傳送移載的方式而形成為一體的構成(由I個帶部28構成的構成)，但動作狀態可以互為不同的方式控制。
[0072]因此，可將載置于刻劃后傳送部22上的完成刻劃的基板，沿著帶部28以不具有往拾起傳送部24移載的方式進行搬送。因此，具有如下的效果:可防止如現有習知的基板分斷裝置，將基板從下游側的刻劃部往拾起傳送部搬送時，傳送部的移載導致端材的落下或玻璃碎屑等的問題，且亦可防止傳送部的移載導致基板表面造成損傷的問題。針對此，參照圖4 (a)至圖4 (d)，更具體地進行說明。
[0073]圖4(a)至圖4(d)，概略地表示本發明實施例的基板分斷裝置的基板搬送過程的示意圖。圖4(a)，表示開始對基板進行刻劃階段的示意圖。參照圖4(a)，成為刻劃對象的基板2被把持于夾頭16。此外，在拾起傳送部24上載置已完成刻劃的基板2a而待拾起。
[0074]另一方面，在本實施例的跳動輥子單元23，設置有以第I輥子23a為基準而形成于刻劃后傳送部22側的第I制動器50a，以及以第I輥子23a為基準而形成于拾起傳送部24側的第2制動器50b。第I制動器50a及第2制動器50b，用于使第2傳送部20的帶部28的旋轉確實地停止，在圖4(a)中，第2制動器50b下降而使拾起傳送部24的帶部28的旋轉確實地停止。
[0075]圖4 (b)，表示對基板2進行刻劃，同時對拾起傳送部24上的基板2a進行拾起而往搬送傳送部(未圖示)等下一階段進行卸載階段的示意圖。
[0076]參照圖4 (a)及圖4 (b)，夾頭梁14沿基板搬送方向(在圖4 (b)中+Y方向)移動，借此，被把持于夾頭16的基板2亦通過刻劃頭34的下部。與此同時，第I輥子23a往-Z方向移動，第2棍子23b往與第I棍子23a的移動方向相反的+Z方向移動。
[0077]此時，帶部驅動馬達40的動作為開啟，由于帶部28確實地卷繞于第3輥子21a，因此在第I輥子23a及第2輥子23b進行移動時，僅刻劃后傳送部22側的帶部28動作，且拾起傳送部24側的帶部28為不動作。如圖4(b)所示，亦可為:使第2制動器50b下降，而使拾起傳送部24的帶部28更確實地停止。
[0078]此外，在本實施例中，第I輥子23a及第2輥子23b移動的距離，形成為彼此相同。亦即，一旦第I輥子23a僅往-Z方向移動距離L，則第2輥子23b亦以往+Z方向移動距離L的方式而調整。借此，一邊使第I輥子23a往-Z方向移動的距離與第2輥子23b往+Z方向移動的距離抵銷，一邊則僅刻劃后傳送部22的帶部28以第I輥子23a或第2輥子23b的移動距離的程度往順時針方向進行旋轉。借此，被把持于夾頭16的基板2，亦可于通過刻劃頭34的下部而到達刻劃后傳送部22之后，在刻劃后傳送部22的帶部28上持續進行移動。
[0079]之后，一旦夾頭梁14及夾頭16往與基板的搬送方向相反方向(在圖4(b)中-Y方向)后退，與此同時，第I輥子23a再度往+Z方向移動，且第2輥子23b再度往-Z方向移動，借此，刻劃后傳送部22的帶部28以第I輥子23a或第2輥子23b的移動距離的程度，再度往逆時針方向進行旋轉。然后，借由重復如此過程，刻劃被把持于夾頭16的基板2的整面。
[0080]另一方面，拾起傳送部24的帶部28，如前述，即使第I輥子23a及第2輥子23b進行移動，其動作被固定。因此，即使在基板刻劃的過程中，載置于拾起傳送部24的帶部28上的已完成刻劃作業的基板2a，亦可借由例如拾起機器人等拾起，并往下一階段卸載。
[0081]圖4(c)，表示已完成刻劃作業而夾頭梁14及夾頭16返回至初期位置，且殘留于拾起傳送部24的帶部28上的端材往破碎機移送階段的示意圖。參照圖4(b)及圖4(c)，已完成刻劃作業的基板2，夾頭16的把持被解除并載置于刻劃后傳送部22的帶部28上，夾頭16及夾頭梁14則返回至初期位置。
[0082]此時，一旦使帶部驅動馬達40動作，使第3輥子21a往順時針方向旋轉，并且使第I輥子23a往+Z方向移動，使第2輥子23b往-Z方向移動，則僅拾起傳送部24的帶部28為順時針旋轉，刻劃后傳送部22的帶部28為維持停止狀態。借此，可在位于刻劃后傳送部22的帶部28上的基板2為停止的狀態下，僅使留置于拾起傳送部24的帶部28上的端材往破碎機移送。
[0083]此外，在該情形，以第2制動器50b上升且第I制動器50a下降的方式進行調整，借此，亦可不對拾起傳送部24的帶部28的旋轉進行限制，而僅使刻劃后傳送部22的帶部28的移動更確實地停止。
[0084]圖4 (d)，表示使新的基板往第I傳送部10上裝載，使載置于刻劃后傳送部22的帶部28上的基板往拾起傳送部24搬送階段的示意圖。參照圖4(d)，在第I傳送部10，將新的基板2裝載于第I傳送部10的帶部18上，并被把持于已返回初期位置的夾頭梁14及夾頭16。
[0085]在第2傳送部20，一旦第I輥子23a往+Z方向持續移動并解除與帶部28的接觸，則帶部28恢復至非彎曲的平坦狀態，在載置基板并搬送的刻劃后傳送部22的帶部28與拾起傳送部24的帶部28之間成為不具有傳送移載部。而且，使第I制動器50a上升而解除與帶部28的接觸。此時,帶部驅動馬達40由于持續動作中，借由拾起傳送部24的帶部28進行旋轉，刻劃后傳送部22的帶部28亦同時進行旋轉，借此，可將載置于刻劃后傳送部22的帶部28上的完成刻劃的基板，以不具有傳送移載的方式往拾起傳送部24的帶部28搬送。因此，可對已刻劃的基板不造成損傷地往下一階段(例如，拾起階段)的搬送部進行移送。
[0086]另一方面，在本實施例中，第I輥子23a及第2輥子23b之中的至少一者，一邊維持帶部28的張力一邊進行接觸。借此，借由第I輥子23a及第2輥子23b的移動，帶部28亦可在維持有張力的狀態下進行旋轉，且載置于帶部28上的基板亦可圓滑地進行搬送。
[0087]此外，在其他實施例中，第I輥子23a及第2輥子23b亦可利用可于卷繞有帶部28的狀態下，借由旋轉使帶部28移動的其他手段而構成。
[0088]圖5，本發明實施例的設置有跳動輥子單元的基板分斷裝置的部分立體圖。參照圖5，沿基板搬送方向即第I方向而在刻劃后傳送構架22a上設置刻劃后傳送部22，且在拾起傳送構架24a上設置拾起傳送部24。在拾起傳送部24，設置有可分別于X、Y、Z軸移動的拾起X軸機器人25a、拾起Y軸機器人25b及拾起Z軸機器人25c，借由拾起手27拾起的基板，借由所述多個機器人的移動而移往所欲移往的位置而卸載。
[0089]而且，在刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間設置跳動輥子單元23。關于跳動輥子單元23，參照圖6及圖7進行說明。
[0090]圖6，本發明實施例的跳動輥子單元23的立體圖，圖7，本發明實施例的跳動輥子單元23的側視圖。參照圖6及圖7，本發明實施例的跳動輥子單元23，包含與齒輪驅動馬達232連結的小齒輪(pin1n) 234，以及在與該小齒輪234嚙合的狀態下夾著該小齒輪234并相互地對向配置的第I齒條(rack) 236a及第2齒條236b。而且，第I齒條236a通過連結構件結合第I輥子23a，且第2齒條236b通過連結構件結合第2輥子23b。因此，一旦借由齒輪驅動馬達232的動作而小齒輪234進行旋轉，第I齒條236a及第2齒條236b于Z方向相互地往相反方向動作，第I輥子23a及第2輥子23b亦沿導件238往第I齒條236a及第2齒條236b動作的方向動作。
[0091]此外，在跳動輥子單元23的上部具備控制帶部28移動的第I制動器50a及第2制動器50b。第I制動器50a及第2制動器50b，與連結于帶部制動器副軸52的齒條及小齒輪54結合。因此，借由齒條及小齒輪54的動作，第I制動器50a及第2制動器50b亦進行上升或下降。
[0092]圖8，表示在本發明實施例中，第I輥子下降且第2輥子上升的跳動輥子單元的側剖面圖；圖9，表示在本發明實施例中，第I輥子上升且第2輥子下降的跳動輥子單元的側剖面圖。
[0093]參照圖8，借由第I輥子23a往-Z方向下降而帶部28亦一同下降，與此同時，借由第2輥子23b往+Z方向上升而帶部28亦一同上升。此外，參照圖9，然后，一旦第I輥子23a往+Z方向上升則帶部28恢復成維持張力的平坦狀態，與此同時，第2輥子23b往-Z方向下降而帶部28亦一同下降。借由如此的第I輥子23a及第2輥子23b的移動，即使是一個帶部28，亦可對位于跳動輥子單元23的上游側的帶部28的動作與位于跳動輥子單元23的下游側的帶部28的動作以互為不同的方式進行控制。因此，可對置于帶部28上的完成刻劃的基板以不具有傳送移載的方式往下一階段進行搬送，借此，可防止因傳送移載導致的端材落下或玻璃碎屑等問題。
[0094]以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，并非對本發明作任何形式上的限制，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發明，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本發明技術方案范圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發明技術方案的范圍內。
【權利要求】
1.一種基板分斷裝置，其特征在于其包含: 第I傳送部及第2傳送部，在設置臺上，沿基板的搬送方向即第I方向相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態下卷繞于多個輥子而進行旋轉的帶部； 刻劃單元，設置于該第I傳送部與第2傳送部之間并對該基板進行刻劃；以及 跳動輥子單元，在該第I方向，設置在位于該第2傳送部的上游側的上游側第2傳送部與位于下游側的下游側第2傳送部之間，且至少具備一對第I輥子及第2輥子； 該第I輥子位于該第2傳送部的帶部外側，且該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內側； 該第I輥子及第2輥子的至少一者，一邊維持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸； 該第I輥子及該第2輥子，在與該第I方向交叉的第2方向，形成為以可相互地往相反方向移動的方式相互連動，且形成為一體的該上游側第2傳送部與該下游側第2傳送部，可成為互為不同的動作狀態。
2.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中該第I輥子及第2輥子，在該第2方向相互地往相反方向移動時，該第I輥子的移動距離與第2輥子的移動距離相同。
3.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中該第I輥子及第2輥子，在夾著與齒輪驅動馬達連結的小齒輪而相互地對向配置的狀態下，分別與嚙合于該小齒輪的第I齒條及第2齒條結合。
4.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中在該多個輥子中包含第3輥子，該第3輥子卷繞有該下游側第2傳送部的帶部，且該第3輥子連結帶部驅動馬達。
5.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中在該跳動輥子單元中，設置有使該上游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第I制動器，以及使該下游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第2制動器。
6.一種基板搬送方法，在包含具備在設置臺上沿基板的搬送方向即第I方向相互地隔著間隔配置且在載置該基板的狀態下卷繞于多個輥子而進行旋轉的帶部的第I傳送部及第2傳送部，以及設置于該第I傳送部與該第2傳送部之間并對該基板進行刻劃的刻劃單元的基板分斷裝置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第I方向進行搬送，其特征在于: 在該基板分斷裝置中，在該第I方向，在位于該第2傳送部的上游側的上游側第2傳送部與位于下游側的下游側第2傳送部之間，具備在與該第I方向交叉的第2方向以可相互地往相反方向移動的方式相互連動的至少具有一對第I輥子與第2輥子的跳動輥子單元； 該第I輥子及第2輥子的至少一者，一邊維持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸； 在使該第I輥子位于該第2傳送部的帶部外側，且使該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內側的狀態下，使該第I輥子與第2輥子相互地往相反方向移動，借此使形成為一體的該上游側第2傳送部與下游側第2傳送部以互為不同的方式動作。
7.如權利要求6所述的基板搬送方法，其特征在于其中借由該第I輥子與第2輥子的往返移動，在使該下游側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使該上游側第2傳送部的帶部往順時針方向或逆時針方向旋轉，且對載置于該上游側第2傳送部的帶部上的基板進行刻劃； 在該進行刻劃的階段，對置于停止狀態的下游側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進行卸載； 借由一邊使卷繞有該下游側第2傳送部的帶部的第3輥子旋轉，一邊使該第I輥子及第2輥子移動，在使上游側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使該下游側第2傳送部的帶部旋轉，對留置于該下游側第2傳送部的帶部上的端材進行卸載； 亦在該端材卸載后，使該第3輥子持續旋轉，使載置于該上游側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下游側第2傳送部的帶部上進行搬送。
8.如權利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中該第3輥子連結帶部驅動馬達，且在對該基板進行刻劃的階段，使該帶部驅動馬達的動作停止。
9.如權利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中在對該端材進行卸載的階段，使該帶部驅動馬達動作。
10.如權利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中在該跳動輥子單元，設置使該上游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第I制動器，以及使該下游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第2制動器，且在對該基板進行刻劃的階段，使該第2制動器動作。
11.如權利要求10所述的基板搬送方法，其特征在于其中在對該端材進行卸載的階段，使該第I制動器動作。
12.如權利要求11所述的基板搬送方法，其特征在于其中在已刻劃的基板往該下游側第2傳送部的帶部搬送的階段，使該第I制動器及第2制動器的動作完全解除。
【文檔編號】C03B35/00GK104129909SQ201410364823
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2013年4月3日 優先權日:2012年6月1日
【發明者】西尾仁孝 申請人:三星鉆石工業股份有限公司