一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法
【專利摘要】本發明涉及一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，首先按所需制備的弛豫鐵電體的化學計量比，取可溶于水的鋇源、鈣源、鋯源、鉍源和鈦源配置成混合溶液；調節混合溶液呈堿性，制得弛豫鐵電體的粉體前驅物；接著將粉體前驅物進行水熱反應，制得弛豫鐵電體的粉體；將粉體進行坯體成型、燒結，得到亞微米級別弛豫鐵電體。本發明中水熱法和微波燒結技術的結合可在短時間內得到高純度、高致密度、晶粒尺寸細小均勻亞微米級別弛豫鐵電體陶瓷；通過改變摻雜元素的量，使陶瓷的電學性能以及微觀結構在一個較寬的范圍內變化，同時優化了陶瓷的弛豫鐵電體行為，從而應用在了廣泛地電子陶瓷領域。
【專利說明】一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及材料制備領域，尤其涉及一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法。
【背景技術】
[0002] BaTi03是最早發現的一種鈣鈦礦型電介質材料，在室溫下表現出良好的鐵電行 為，曾被稱為電子陶瓷產業的支柱被廣泛應用于各種電子材料元器件中。弛豫鐵電體憑 借其優于傳統鐵電體的各種特點（如寬居里溫區以及高溫電滯回線等），被越來越多的 材料研究者所重視，其中BaTi0 3基的弛豫型鐵電體是其中最大的研究熱點。眾所周知 BahCaJihZr#體系陶瓷是一種良好的無鉛壓電材料，然而其除了具有良好的壓電性能 之外同樣具有弛豫鐵電體的性能，而純相的BCTZ僅僅通過改變X與y的值很難得到性能較 為優異的弛豫鐵電體。因此摻雜與固溶便成為了提高BCTZ體系鐵電體弛豫行為的常用方 法。
[0003] 隨著科技的日益發展以及人們對電子元器件要求的提高，越來越多的電子元器件 被要求應用在極端條件如高溫、高頻環境下。傳統的電子陶瓷材料往往存在溫度穩定性差 或頻率穩定性差等缺陷，而弛豫鐵電體恰好彌補了這一漏洞。
[0004] 傳統的PMN-PT體系弛豫鐵電體由于鉛毒對人體及環境限制了其應用領域，而新 型BaSrTi03體系弛豫鐵電體其頻率色散范圍在-50°C附近，無法在室溫下得到良好的應 用。由于BCTZ體系是一種被熟知的無鉛壓電體系，然而其晶粒尺寸往往很大，達到了若干 微米甚至十多微米，如此大的晶粒尺寸減弱了陶瓷的電學性能。
【發明內容】
[0005] 本發明的目的在于克服現有技術中的問題，提供一種晶粒尺寸小、成分分布均勻、 在極端環境下仍擁有良好的電學性能的摻Bi型BCTZ體系弛豫鐵電體的制備方法。
[0006] 本發明所采用的技術方案是：首先按所需制備的亞微米級別弛豫鐵電體 BayCauTihZrxOfO. 03Bi的化學計量比，取可溶于水的鋇源、鈣源、鋯源、鉍源和鈦源配置 成混合溶液，其中〇彡X彡〇. 12 ;調節混合溶液呈堿性，制得B^Caa.JihZrA-O. 03Bi的粉 體前驅物；接著將粉體前驅物進行水熱反應，水熱反應溫度為150?240°C，反應時間10? 15h，制得BauCaa.JihZrA-O· 03Bi的粉體；將粉體進行坯體成型、并于1100?1300°C燒 結，得到亞微米級別弛豫鐵電體。
[0007] 所述混合溶液的配置方法為：將鋇源、鈣源、鋯源、鉍源分別溶解于蒸餾水中，各自 攪拌至完全溶解后得到四種溶液，將四種溶液混合均勻，再將TiCl 4逐滴加入其中，再次混 合均勻后得到混合溶液。
[0008] 包括以下具體步驟：
[0009] 1)首先按照摩爾比為 0· 9:0. 1 :x :0· 03 稱取 BaCl2 · 2H20、CaCl2、ZrOCl2 · 8H20 以 及Bi (N03) 3配置成混合溶液A，其中0彡x彡0. 12 ;
[0010] 2)按Ca2+與Ti4+的摩爾比為0. 1 : (1-χ)，將TiCl4逐滴加入混合溶液Α中制成混 合溶液B，同時調節混合溶液B的pH值大于14,攪拌直到混合溶液B變為白色粘稠狀，便得 到粉體前驅物；
[0011] 3)將制備好的粉體前驅物倒入水熱釜中，在150?240°C水熱環境下保溫10? 15h，得到體系粉體；將粉體進行洗滌、沉淀，最后進行坯體成型；
[0012] 4)將成型后的坯體進行微波燒結，燒結溫度1100?1300°C、保溫時間1?lOmin， 冷卻至室溫，得到BauCauTihZrxOfO. 03Bi體系陶瓷，即亞微米級別弛豫鐵電體。
[0013] 所述調節混合溶液呈堿性的方法為：通過按照Ti :[0H_] = 1: (5?10)的比例稱 取NaOH固體加入上述所得混合物中，使溶液中pH > 14。
[0014] 所述水熱反應中粉體前驅物在水熱釜中的填充比為60%?80%。
[0015] 所述的粉體在坯體成型前通過去離子水多次洗滌、沉淀，直到用AgN03檢驗沒有白 色沉淀為止。
[0016] 所述的坯體成型是將洗滌、沉淀后的體系粉體進行烘干、研磨、造粒、成型。
[0017] 所述成型后的坯體在空氣中進行微波燒結。
[0018] 所述成型后的坯體在微波燒結馬弗爐中進行燒結。
[0019] 與現有技術相比，本發明具有以下有益的技術效果：
[0020] ①與傳統的固相法相比，本發明中所采用的水熱法得到了晶粒細小均勻且混合勻 稱的摻Bi型BCTZ體系弛豫鐵電體的陶瓷粉體，避免了固相法帶來的雜質；
[0021] ②采用微波燒結技術，大大縮短了燒結時間，提高了燒結效率且節約了能源；
[0022] ③本發明的鐵電陶瓷的電性能檢驗室用Ag作為電極，測得陶瓷在不同頻率下 (0. 1?1000kHz)的介電常數-溫度曲線，在BauCaa.JihZrA-0.03Bi體系中，通過調節 Zr離子的摻雜量X，隨著Zr離子的加入，居里溫度由136°C降低為30°C同時居里溫區展 寬，頻率色散明顯，在室溫下也能得到良好的應用；晶粒尺寸逐漸均勻，平均晶粒尺寸約為 500nm，即為亞微米級別陶瓷，弛豫鐵電行為逐漸增強；
[0023] ④在本發明的水熱反應中，Zr元素在溶液中以離子的形式進入晶格中，由于 BaTi03與BaZr03可以無限固溶，所以Zr元素可均勻的分布在本發明的BCTZ陶瓷基體中， 完全固溶形成化合物，而不會有第二相產生，得到良好的結構起伏相變和成分起伏相變，同 時由于晶粒尺寸小且成分分布均勻，由結構起伏相變以及成分起伏相變引起的介電弛豫行 為較為明顯；由于介電弛豫的存在，可在一些極端環境下仍擁有良好的電學性能；
[0024] ⑤該體系無鉛，在低摻雜濃度時取代了傳統的弛豫鐵電材料PMN-PT，避免了鉛毒 對人體以及環境的危害；
[0025] 本發明中水熱法和微波燒結技術的結合可在短時間內得到高純度、高致密度、晶 粒尺寸細小均勻的摻Bi型BCTZ體系弛豫鐵電體陶瓷；通過摻雜Bi元素，使陶瓷具有優異 的弛豫鐵電體行為。本發明在BCTZ體系中適當地摻雜Bi 3+粒子，可以有效的改變陶瓷的晶 粒尺寸，同時使其室溫下的鐵電弛豫行為有一個較大程度的提升，其鐵電、壓電等性能也得 到不同程度的優化。在本發明中，Bi元素作為體系的摻雜物但不改變其摻雜量。本發明中 所探索的變量的Zr元素的摻雜量X，通過改變X的值，使陶瓷的電學性能以及微觀結構在一 個較寬的范圍內變化，同時優化了陶瓷的弛豫鐵電體行為，從而應用在了廣泛地電子陶瓷 領域。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0026] 圖1 (a)?（e)是本發明BayCaa.JihZrA-O. 03Bi體系陶瓷在X取不同值時的 介電常數-溫度曲線，其中：圖1 (a)x = 0. 00,圖1 (b)x = 0. 03,圖1 (c)x = 0. 06,圖1 (d) X = 0· 09,圖 1 (e) X = 0· 12 ;
[0027] 圖1 (f)是本發明BayCaa.JihZr^-O. 03Bi體系陶瓷五個樣品的介電常數-頻率 曲線。
[0028] 圖2(a)?（e)是本發明BauCaa.JihZrA-O. 03Bi弛豫鐵電體的弛豫行為參數。
【具體實施方式】
[0029] 本發明BauCauTihZrA-O. 03Bi體系弛豫鐵電材料，具體如下：
[0030] 按照分子式BauCaa.JihZrA-O. 03Bi進行配料，所采用的原料為 BaCl2 · 2H20 (s)、CaCl2 (s)、ZrOCl2 · 8H20 (s)、TiCl4 (1)以及 Bi (N03) 3 (s)，利用 NaOH 調節酸 堿性使溶液中pH > 14(即：氫氧根離子濃度大于lmol/L)。所采用的原料均為化學純。材 料的制備按照以下的工藝步驟：
[0031] 1)首先按照化學計量比即摩爾比為0. 9:0. 1 :x :0. 03,其中0彡X彡0. 12,稱量 BaCl2 ·2Η20(8)，ε&α2(8)，Ζι·〇α 2 ·8Η20(8)以及 Bi(N03)3(s)并分別配置成溶液后，再將上 述溶液混合、靜置，得到混合溶液A。
[0032] 2)按Ca2+與Ti4+的摩爾比為0. 1 :(l-x)，將TiCl4⑴逐滴加入混合溶液A中、 攪拌，制成混合溶液B，按照Ti : [0H-] = 1: (5?10)的比例稱取NaOH固體，將NaOH固 體加入混合溶液B中，調節混合溶液B的pH值大于14,攪拌直到呈白色粘稠狀，得到 Ba^Caa.JihZrxOfO. 03Bi 粉體前驅物。
[0033] 3)將Baa9CaQ. JihZr^-O. 03Bi粉體前驅物倒入水熱釜中，填充比為60 %? 80%，再在150?240°C水熱環境下保溫10?15h，得到BauCaaJihZr^-O. 03Bi體系粉 體，將粉體通過去離子水進行多次洗滌、沉淀，直到用AgN03檢驗沒有白色沉淀為止。最后 進行烘干、研磨、造粒、成型。
[0034] 4)在空氣環境下，將成型后的坯體在微波燒結馬弗爐中進行微波燒結，燒結溫度 1100?1300°C、保溫時間1?lOmin，隨爐冷卻至室溫。由于微波燒結是通過外部熱源和微 波與陶瓷內部的耦合兩種方式同時對陶瓷進行加熱，極大的縮短了燒結時間。通過水熱法 制備出的粉體具有純度高、晶粒尺寸均勻的特點，同時配合微波燒結這種快速的加熱方式 抑制了晶粒的生長。得到了致密度較高且晶粒尺度較為均勻的BayCauTihZrxOfO. 03Bi 體系陶瓷，即亞微米級別弛豫鐵電體。
[0035] 本發明提供了一種亞微米級無鉛弛豫鐵電體的制備方法。該方法通過傳統水 熱的方法，在室溫環境中產生高溫高壓的超臨界環境下制備粉體，利用快速微波燒結的 新型加熱方式，這種加熱方式所用的設備即微波燒結馬弗爐，在升溫的同時產生微波， 微波與陶瓷基體產生耦合或者加速陶瓷內部偶極子的轉向，產生熱量，即內部熱量與外 部熱量的同時作用，在短時間內得到了晶粒尺寸較小、致密的亞微米級陶瓷。由于通過 水熱法制備出的粉體為納米級，同時微波燒結時間短，抑制了晶粒的生長，同時由于該 陶瓷晶粒小且尺度均勻，因此在室溫下表現出良好的弛豫鐵電體行為。該陶瓷組分為 Bao.gCao.JihZrxOfO· 03Bi，其中 0· 00 彡 X 彡 0· 12。既在 BaCaTi03-0. 03Bi 體系中摻雜 Zr 元素和Bi元素，根據研究結果，在BCTZ體系陶瓷中Zr離子具有細化晶粒的作用，因此在本 發明中摻雜Zr離子同樣旨在抑制晶粒的生長，通過改變Zr離子的摻雜量，將陶瓷的晶粒尺 寸抑制在納米或者亞微米等級，能夠在室溫下表現出弛豫鐵電體行為；本發明中Bi元素摻 雜量為0.03,制備的陶瓷具有優異的弛豫鐵電體行為。與固相法相比，水熱法制備出的粉 體具有純度高，顆粒尺寸均勻等優點。同時采用微波燒結的方式對陶瓷生坯進行快速燒結， 得到了更加致密且晶粒尺寸更為均勻的Β &α9ε&(ι1?νχΖι·χ0 3-0. 03Bi體系陶瓷。微波燒結可 大大縮短燒結時間，節約了能源且提高了效率。在本發明的水熱反應中，Zr元素在溶液中 以離子的形式進入晶格中，由于BaTi0 3與BaZr03可以無限固溶，Zr元素可均勻的分布在陶 瓷基體中，得到良好的結構起伏相變和成分起伏相變。本發明的BayCauTihZrxOfO. 03Bi 弛豫鐵電體均避免了傳統的PMN-PT體系弛豫鐵電體和新型BaSrTi03體系弛豫鐵電體的缺 點，對人體和環境無害的同時且可應用在室溫范圍內。
[0036] 以下結合對比例和具體實施例對本發明做進一步說明。
[0037] 實施例一
[0038] 1)首先按照摩爾比為 0. 9:0. 1 :0. 03 稱取 BaCl2 · 2H20、CaCl2 以及 Bi (N03)3 并分 別配置成溶液后混合、靜置，得到混合溶液A ;
[0039] 2)按Ca2+與Ti4+的摩爾比為0. 1 :1，將TiCl4逐滴加入混合溶液A中攪拌制成混 合溶液B，同時通過NaOH調節混合溶液B的pH值大于14,攪拌直到混合溶液B變為白色粘 稠狀，便得到BauCauTiOfO. 03Bi粉體前驅物；
[0040] 3)將制備好的BayCaa.JiOfO. 03Bi粉體前驅物倒入水熱釜中，填充比為70%，在 240°C水熱環境下保溫12h，得到BauCauTiOfO. 03Bi粉體，將粉體進行洗滌、沉淀，最后進 行坯體成型；
[0041] 4)將成型后的坯體進行微波燒結，燒結溫度1200°C、保溫時間8min，冷卻至室溫， 得到 BauCaa.JiOfO· 03Bi 陶瓷。
[0042] 實施例二
[0043] 1)首先按照摩爾比為 0· 9:0. 1 :0· 03 :0· 03 稱取 BaCl2 · 2H20、CaCl2ZrOCl2 · 8H20 以及Bi (N03) 3并分別配置成溶液后混合、靜置，得到混合溶液A ;
[0044] 2)按Ca2+與Ti4+的摩爾比為0. 1 :0. 97,將TiCl4逐滴加入混合溶液A中攪拌制成 混合溶液B，同時通過NaOH調節混合溶液B的pH值大于14,攪拌直到混合溶液B變為白色 粘稠狀，便得到BauCauTi^Zr^OfO. 03Bi粉體前驅物；
[0045] 3)將制備好的BauCaa.Ji^Zr^A-O. 03Bi粉體前驅物倒入水熱釜中，填充比為 70%，在180°C水熱環境下保溫12h，得到BauCauTi^Zr^OfO. 03Bi粉體，將粉體進行洗 滌、沉淀，最后進行坯體成型；
[0046] 4)將成型后的坯體進行微波燒結，燒結溫度1200°C、保溫時間8min，冷卻至室溫， 得到 B^CaQ.JiQjZrQ.QA-O· 03Bi 陶瓷。
[0047] 實施例三
[0048] 1)首先按照摩爾比為 0· 9:0. 1 :0· 06 :0· 03 稱取 BaCl2 · 2H20、CaCl2ZrOCl2 · 8H20 以及Bi (N03) 3并分別配置成溶液后混合、靜置，得到混合溶液A ;
[0049] 2)按Ca2+與Ti4+的摩爾比為0. 1 :0. 94,將TiCl4逐滴加入混合溶液A中攪拌制成 混合溶液B，同時通過NaOH調節混合溶液B的pH值大于14,攪拌直到混合溶液B變為白色 粘稠狀，便得到BauCauT^MZiv^A-O. 03Bi粉體前驅物；
[0050] 3)將制備好的BauCaa.Ji^Zr^OfO. 03Bi粉體前驅物倒入水熱釜中，填充比為 80%，在150°C水熱環境下保溫15h，得到Ba^CaMl^^Zrc^OfO. 03Bi粉體，將粉體進行洗 滌、沉淀，最后進行坯體成型；
[0051] 4)將成型后的坯體進行微波燒結，燒結溫度1KKTC、保溫時間6min，冷卻至室溫， 得到 BauCaQ.JiQAZrQ.J^-O· 03Bi 陶瓷。
[0052] 實施例四
[0053] 1)首先按照摩爾比為 0· 9:0. 1 :0· 09 :0· 03 稱取 BaCl2 · 2H20、CaCl2ZrOCl2 · 8H20 以及Bi (N03) 3并分別配置成溶液后混合、靜置，得到混合溶液A ;
[0054] 2)按Ca2+與Ti4+的摩爾比為0. 1 :0. 91，將TiCl4逐滴加入混合溶液A中攪拌制成 混合溶液B，同時通過NaOH調節混合溶液B的pH值大于14,攪拌直到混合溶液B變為白色 粘稠狀，便得到BauCauTic^Zrc^OfO. 03Bi粉體前驅物；
[0055] 3)將制備好的BauCaa.Ji^Zr^A-O. 03Bi粉體前驅物倒入水熱釜中，填充比為 60%，在200°C水熱環境下保溫10h，得到Ba^CaMTic^Ziv^A-O. 03Bi粉體，將粉體進行洗 滌、沉淀，最后進行坯體成型；
[0056] 4)將成型后的坯體進行微波燒結，燒結溫度1150°C、保溫時間5min，冷卻至室溫， 得到 B^CaQ.JiQiZrQ.QA-O· 03Bi 陶瓷。
[0057] 實施例五
[0058] 1)首先按照摩爾比為 0· 9:0. 1 :0· 12 :0· 03 稱取 BaCl2 · 2H20、CaCl2ZrOCl2 · 8H20 以及Bi (N03) 3并分別配置成溶液后混合、靜置，得到混合溶液A ;
[0059] 2)按Ca2+與Ti4+的摩爾比為0. 1 :0. 88,將TiCl4逐滴加入混合溶液A中攪拌制成 混合溶液B，同時通過NaOH調節混合溶液B的pH值大于14,攪拌直到混合溶液B變為白色 粘稠狀，便得到BauCaa.Jic^Zrc^OfO. 03Bi粉體前驅物；
[0060] 3)將制備好的BauCaa.Ji^ZruA-O. 03Bi粉體前驅物倒入水熱釜中，填充比為 65%，在190°C水熱環境下保溫13h，得到Ba^CauTic^Zrc^OfO. 03Bi粉體，將粉體進行洗 滌、沉淀，最后進行坯體成型；
[0061] 4)將成型后的坯體進行微波燒結，燒結溫度1150°C、保溫時間5min，冷卻至室溫， 得到 BaQ.9CaQ.Ji_ZrQ.J3-O· 03Bi 陶瓷。
[0062] 通過將以上對比例及實施例得到的陶瓷樣品上下兩側用砂紙打磨光滑，涂以Ag 漿作為電極，將制得的Baa 9Caa 03Bi體系無鉛壓電陶瓷進行介電常數-溫度測 量，所得到的材料性能：
[0063] ①本發明所制備的BauCaa.JihZr^-O· 03Bi體系陶瓷，由圖1 (a)?（f)表明：隨 著Zr摻雜量的提高，陶瓷樣品由傳統鐵電體逐漸轉化為弛豫鐵電體，居里溫度由136°C降 低為30°C同時居里溫區展寬，頻率色散逐漸明顯，鐵電弛豫行為逐漸增強。樣品由傳統鐵電 體轉化為弛豫鐵電體。
[0064] 由圖1 (d)和圖1 (e)表明：當X > 0. 09時，該體系陶瓷在室溫下是一種優異的弛 豫型鐵電體，表現出優異的弛豫行為，其最大AI；es(1000kH Z所對應的居里點減去1kHz所 對應的居里點）=15°C，且具有良好的頻率色散與相變彌散。
[0065] ②從圖2(a)?（e)可以看出，當X = 0. 00時，Tm(弛豫鐵電體居里峰中介電常數 最大值對應的溫度）與ΤΜ(正常鐵電體與弛豫鐵電體的偏離溫度）重合，γ (弛豫系數） = 1.12,表明其弛豫鐵電特性極其微弱。當X的值逐漸增加，γ逐漸趨近于2，且1'111與ΤΜ 逐漸分離，其弛豫鐵電行為逐漸增強。本發明BaMCauTihZrxOfO. 03Bi體系樣品表現出優 異的弛豫行為。
【權利要求】
1. 一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于：首先按所需制備的亞微 米級別弛豫鐵電體Ba a 9Caa JihZr^-O. 03Bi的化學計量比，取可溶于水的鋇源、鈣 源、鋯源、鉍源和鈦源配置成混合溶液，其中0 < X < 0. 12 ;調節混合溶液呈堿性，制得 BauCauTihZi^OfO. 03Bi的粉體前驅物；接著將粉體前驅物進行水熱反應，水熱反應溫度 為150?240°C，反應時間10?15h，制得Ba^Ca^Ti^ZrA-O. 03Bi的粉體；將粉體進行 坯體成型、并于1100?1300°C燒結，得到亞微米級別弛豫鐵電體。
2. 根據權利要求1所述的一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于：所述 混合溶液的配置方法為：將鋇源、鈣源、鋯源、鉍源分別溶解于蒸餾水中，各自攪拌至完全溶 解后得到四種溶液，將四種溶液混合均勻，再將TiCl 4逐滴加入其中，再次混合均勻后得到 混合溶液。
3. 根據權利要求1所述的一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于：包括 以下具體步驟： 1) 首先按照摩爾比為 〇· 9:0. 1 :x :0· 03 稱取 BaCl2 · 2H20、CaCl2、ZrOCl2 · 8H20 以及 Bi (N03) 3配置成混合溶液A，其中0彡x彡0· 12 ; 2) 按Ca2+與Ti4+的摩爾比為0. 1 : (1-x)，將TiCl4逐滴加入混合溶液A中制成混合溶 液B，同時調節混合溶液B的pH值大于14,攪拌直到混合溶液B變為白色粘稠狀，便得到粉 體前驅物； 3) 將制備好的粉體前驅物倒入水熱釜中，在150?240°C水熱環境下保溫10?15h，得 到體系粉體；將粉體進行洗滌、沉淀，最后進行坯體成型； 4) 將成型后的坯體進行微波燒結，燒結溫度1100?1300°C、保溫時間1?lOmin，冷卻 至室溫，得到BauCauTihZrxOfO. 03Bi體系陶瓷，即亞微米級別弛豫鐵電體。
4. 根據權利要求1或3所述的一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于： 所述調節混合溶液呈堿性的方法為：通過按照Ti :[0H_] = 1: (5?10)的比例稱取NaOH固 體加入上述所得混合物中，使溶液中pH > 14。
5. 根據權利要求1或3所述的一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于： 所述水熱反應中粉體前驅物在水熱釜中的填充比為60%?80%。
6. 根據權利要求1或3所述的一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于： 所述的粉體在坯體成型前通過去離子水多次洗滌、沉淀，直到用AgN03檢驗沒有白色沉淀為 止。
7. 根據權利要求6所述的一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于：所述 的坯體成型是將洗滌、沉淀后的體系粉體進行烘干、研磨、造粒、成型。
8. 根據權利要求6所述的一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于：所述 成型后的坯體在空氣中進行微波燒結。
9. 根據權利要求8所述的一種亞微米級別弛豫鐵電體的制備方法，其特征在于：所述 成型后的坯體在微波燒結馬弗爐中進行燒結。
【文檔編號】C04B35/49GK104108931SQ201410347488
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年7月21日 優先權日:2014年7月21日
【發明者】蒲永平, 孫梓雄 申請人:陜西科技大學