玻璃微粒堆疊體的制造方法及玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器的制造方法
【專利摘要】本發明提供一種玻璃微粒堆疊體的制造方法，其能夠防止作為原料氣體的硅氧烷的液化，使玻璃原料產率提高。在反應容器內設置初始棒和玻璃微粒生成用燃燒器(22)，經由供給配管(26)向燃燒器(22)導入原料氣體，在由燃燒器(22)形成的火焰內使原料氣體進行熱分解氧化反應而生成玻璃微粒，使所生成的玻璃微粒在初始棒上堆疊，而制作玻璃微粒堆疊體。此時，將硅氧烷作為向燃燒器(22)供給的原料氣體，進行加熱以使燃燒器(22)的溫度相對于硅氧烷的沸點落在大于或等于沸點－30℃而小于或等于沸點+30℃的范圍內，并且使供給配管(26)的溫度落在大于或等于所述硅氧烷的沸點而小于或等于沸點+30℃的范圍內。
【專利說明】玻璃微粒堆疊體的制造方法及玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器
【技術領域】
[0001]本發明涉及利用OVD法(外沉積法)、VAD法(氣相軸向沉積法)、MMD法(多燃燒器多層沉積方法)等，使玻璃微粒堆疊在初始棒上而制造玻璃微粒堆疊體的玻璃微粒堆疊體制造方法及用于制造該玻璃微粒堆疊體的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器。
【背景技術】
[0002]當前，作為玻璃母材的制造方法，已知包含下述工序的制造方法:利用OVD法或VAD法等制作玻璃微粒堆疊體的堆疊工序；以及加熱該玻璃微粒堆疊體而制作透明的玻璃母材的透明化工序。例如，在專利文獻I中公開了一種將四氯化硅(SiCl4)等原料氣體向燃燒器供給而制造玻璃微粒堆疊體的方法。
[0003]近幾年，如專利文獻2所示，有時作為玻璃微粒堆疊體的原料，代替SiCl4而使用硅氧烷。
[0004]專利文獻1:日本特開2003-81644號公報
[0005]專利文獻2:日本特表2001-509469號公報
【發明內容】
[0006]在專利文獻I及專利文獻2中，為了將原料氣體穩定地供給至燃燒器，對將原料氣體供給至燃燒器側的配管的全部或一部分進行加熱。但是，在將硅氧烷用作原料的情況下，存在下述課題，即，供給至燃燒器的原料氣體在燃燒器內冷卻而液化，不能適當地從燃燒器噴射。
[0007]本發明以解決上述課題為目的，提供一種玻璃微粒堆疊體的制造方法及玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器，其防止作為原料氣體的硅氧烷的液化，使燃燒器不會被堵塞。
[0008]在本發明的玻璃微粒堆疊體的制造方法中，具有堆疊工序，在該工序中，在反應容器內設置初始棒和玻璃微粒生成用的燃燒器，經由供給配管向所述燃燒器導入原料氣體，在所述燃燒器形成的火焰內使原料氣體進行熱分解氧化反應而形成玻璃微粒，使生成的玻璃微粒在所述初始棒上堆疊而制作玻璃微粒堆疊體，在該玻璃微粒堆疊體的制造方法中，將供給至所述燃燒器中的所述原料氣體設為硅氧烷，對所述燃燒器進行加熱，以使所述燃燒器的溫度相對于所述硅氧烷的沸點落在大于或等于所述沸點一 30°C而小于或等于所述沸點+30°C的范圍內，并且，對所述供給配管進行加熱，以使所述供給配管的溫度落在大于或等于所述硅氧烷的沸點而小于或等于所述沸點+30°C的范圍內。
[0009]另外，本發明的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器，將硅氧烷用作原料氣體而形成玻璃微粒堆疊體，該玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器由金屬構成，并且具有對所述燃燒器進行加熱的加熱器。
[0010]發明的效果
[0011] 根據本發明的玻璃微粒堆疊體的制造方法及玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器，能夠防止作為原料氣體的硅氧烷的液化，防止燃燒器堵塞。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1是表示實施本發明涉及的玻璃微粒堆疊體制造方法的制造裝置的一個方式的結構圖。
[0013]圖2是表示生成玻璃微粒的燃燒器的第I實施方式的正視圖。
[0014]圖3是圖2所示的燃燒器的A — A剖面圖。
[0015]圖4是表示生成玻璃微粒的燃燒器的第2實施方式的與圖3相同的剖面圖。
[0016]圖5是圖4所示的燃燒器的從正面方向觀察的B — B剖面圖。
[0017]標號的說明
[0018]1:制造裝置，2:反應容器，3:升降旋轉裝置，5:控制部，10:支撐棒，11:初始棒，
21:原料供給裝置，22、22a:燃燒器，23:原料，24:原料容器，25:MFC, 26:供給配管，27:溫控室，28:帶狀加熱器，30:玻璃微粒，31:原料氣體噴口，32:助燃性氣體噴口、33:可燃性氣體噴口，35、36:加熱器，37:金屬線，38:熱電偶
【具體實施方式】
[0019]【本發明的實施方式的說明】
[0020]首先，以列舉方式說明本發明的實施方式的內容。
[0021] 本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體的制造方法具有下述的(I)的特征。
[0022](I) 一種玻璃微粒堆疊體的制造方法，在該方法中具有堆疊工序，在該工序中，在反應容器內設置初始棒和玻璃微粒生成用的燃燒器，經由供給配管向所述燃燒器導入原料氣體，在所述燃燒器形成的火焰內使原料氣體進行熱分解氧化反應而形成玻璃微粒，使生成的玻璃微粒在所述初始棒上堆疊而制作玻璃微粒堆疊體，
[0023]在該玻璃微粒堆疊體的制造方法中，
[0024]將供給至所述燃燒器中的所述原料氣體設為硅氧烷，
[0025]對所述燃燒器進行加熱，以使所述燃燒器的溫度相對于所述硅氧烷的沸點落在大于或等于所述沸點一 30°C而小于或等于所述沸點+30°C的范圍內，并且，對所述供給配管進行加熱，以使所述供給配管的溫度落在大于或等于所述硅氧烷的沸點而小于或等于所述沸點+30°C的范圍內。
[0026]本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體的制造方法具有上述(I)的特征，從而能夠防止作為原料氣體的硅氧烷在燃燒器及供給配管的內部液化，防止燃燒器堵塞。
[0027] 本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體的制造方法，更優選具有下述的(2)至
(4)中的至少一種特征。
[0028](2)由金屬構成所述燃燒器。
[0029](3)將用于加熱所述燃燒器的加熱器設置在所述燃燒器的外周部分。
[0030](4)將用于加熱所述燃燒器的加熱器與所述燃燒器的外筒相比設置在內側。
[0031]本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體的制造方法具有上述(2)的特征，因此，能夠提供導熱性良好且耐熱性等優異的燃燒器。
[0032]另外，本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體的制造方法具有上述(3)的特征，因此，能夠容易地將燃燒器的溫度保持在硅氧烷不會液化的溫度。
[0033]另外，本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體的制造方法具有上述(4)的特征，因此，能夠利用在內側設置的加熱器以較少的熱量，可靠地對設置在燃燒器內部的被供給原料氣體的噴口進行加熱。
[0034]另外，本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器具有下述(5)的特征。
[0035](5) 一種玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器，其將硅氧烷用作原料氣體而形成玻璃微粒堆疊體，
[0036]該玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器由金屬構成，并且具有對所述燃燒器進行加熱的加熱器。
[0037]本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器具有上述(5)的特征，因此，能夠通過利用加熱器適當地加熱燃燒器，從而防止作為原料氣體的硅氧烷在燃燒器的內部液化，防止燃燒器堵塞。
[0038]本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器，更優選具有下述(6)或
(7)的特征。
[0039](6)所述加熱器設置在所述燃燒器的外周部分。
[0040](7)所述加熱器與所述燃燒器的外筒相比設置在內側。
[0041]本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器具有上述(6)的特征，因此，能夠以簡單的結構，將燃燒器的溫度保持為硅氧烷不會液化的溫度。
[0042]因為本發明的實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器具有上述(7)的特征，因此，能夠利用在內側設置的加熱器以較少的熱量，可靠地對設置在燃燒器內部的原料氣體噴口進行加熱。
[0043]【本發明的實施方式的詳細內容】
[0044](第I實施方式)
[0045]下面，參照附圖，說明本發明涉及的玻璃微粒堆疊體的制造方法及玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器的第I實施方式。此外，作為以下示出的制造方法，以OVD (Outside VaporDeposit1n)法為例子進行說明，但本發明并不限定于OVD法。本發明也可以應用至與OVD法同樣地根據原料氣體堆疊玻璃的方法、例如VAD(Vapor Phase Axial Deposit1n)法或MMD法等。
[0046]圖1是實施本實施方式的玻璃微粒堆疊體制造方法的制造裝置I的結構圖。制造裝置I具有反應容器2、升降旋轉裝置3、氣體供給裝置21、玻璃微粒生成用燃燒器22以及對各部分的動作進行控制的控制部5。
[0047]反應容器2是形成玻璃微粒堆疊體M的容器，具有安裝在容器側面的排氣管12。
[0048]升降旋轉裝置3是經由支撐棒10及初始棒11使玻璃微粒堆疊體M進行升降動作以及旋轉動作的裝置。升降旋轉裝置3基于從控制部5發送來的控制信號，對支撐棒10的動作進行控制。升降旋轉裝置3使玻璃微粒堆疊體M —邊旋轉一邊升降。
[0049]支撐棒10插在反應容器2的上壁形成的貫穿孔中而配置，在配置于反應容器2內的一個端部(圖1中的下端部)上安裝有初始棒11。升降旋轉裝置3把持支撐棒10的另一個端部(圖1中的上端部)。
[0050]初始棒11是堆疊玻璃微粒的棒，安裝在支撐棒10上。
[0051]排氣管12是將沒有附著在初始棒11及玻璃微粒堆疊體M上的玻璃微粒等與反應容器2內的氣體一起，向反應容器2的外部排出的管。
[0052]使作為原料23的硅氧烷氣化并利用氣體供給裝置21向燃燒器22供給。作為硅氧烷使用融點為17.5°C而沸點為175°C的八甲基環四硅氧烷(OMCTS)、融點為一 38°C而沸點為210°C的十甲基環戊硅氧烷(DMCPS)H^S 64°C而沸點為134°C的六甲基環三硅氧烷、融點為一 68°C而沸點為100°C的六甲基氧二硅氧烷等。在本例子中，說明作為硅氧烷而使用OMCTS的例子。此外，在圖1中，省略了向燃燒器22供給火焰形成用氣體的氣體供給裝置。
[0053]氣體供給裝置21具有:原料容器24，其儲存原料23 ;作為氣體流量控制裝置的MFC (Mass Flow Controller) 25，其對使原料23氣化而形成的原料氣體的供給流量進行控制；供給配管26，其將原料氣體向燃燒器22引導；以及溫控室27，其將原料容器24、MFC25以及供給配管26的一部分保持為規定溫度。通過氣體供給裝置21的溫度控制，原料容器24、MFC25及供給配管26被調整為規定溫度。
[0054]MFC25是控制從燃燒器22噴射的原料氣體的流量的裝置。以原料容器24內的溫度成為大于或等于沸點(例如是OMCTS的標準沸點即175°C )的溫度的方式進行加熱而氣化形成的原料氣體，通過MFC25的流量控制而向燃燒器22供給。MFC25基于從控制部5發送來的控制信號，控制向燃燒器22供給的原料氣體的供給量。
[0055]供給配管26是將原料氣體向燃燒器22引導的配管。為了將供給配管26的溫度維持為高溫，在供給配管26的外周，例如卷繞有作為發熱體的帶狀加熱器28。帶狀加熱器28由柔性加熱器構成，該柔性加熱器是將金屬發熱體或碳制纖維狀面發熱體的極細絞線利用保護材料覆蓋而形成的。通過對該帶狀加熱器28進行通電，從而加熱供給配管26，以使供給配管26的溫度落在大于或等于作為原料氣體的硅氧烷的沸點而小于或等于沸點+30°C的范圍內。由此，在供給配管26內維持原料氣體的溫度，以使硅氧烷不會液化。此外，使供給配管26的溫度落在小于或等于硅氧烷的沸點+30°C的范圍內是因為，如果加熱至大于或等于沸點+30°C，則硅氧烷由于聚合反應而被顆粒化，存在發生供給配管26的堵塞的可能性。
[0056]燃燒器22由金屬材料構成，并與供給配管26連結。作為金屬材料，優選使用特別是耐腐蝕性優異的不銹鋼(SUS)。該燃燒器22通過使氣化形成的原料氣體在火焰中進行熱分解氧化反應，從而生成玻璃微粒30，將生成的玻璃微粒30噴出并堆疊至初始棒11上。具體而言，向燃燒器22，作為原料氣體而供給OMCTS等硅氧烷氣體，作為火焰形成氣體而供給H2、O 2等，作為燃燒器密封(seal)氣體而供給N2或Ar等惰性氣體。在該燃燒器22的氫氧火焰內，通過熱分解氧化反應而生成玻璃微粒30，生成的玻璃微粒30在初始棒11上堆疊而制作出規定外徑的玻璃微粒堆疊體M。
[0057]控制部5對升降旋轉裝置3、氣體供給裝置21等的各動作進行控制。控制部5向升降旋轉裝置3發送對玻璃微粒堆疊體M的升降速度及旋轉速度進行控制的控制信號。另外，控制部5向氣體供給裝置21的MFC25發送對從燃燒器22向初始棒11 (玻璃微粒堆疊體M)噴出的原料氣體的流量進行控制的控制信號。
[0058]為了噴出原料氣體、火焰形成氣體，作為燃燒器22，例如使用焦點型多噴嘴構造或多管式燃燒器構造。在本例子中，以焦點型的多噴嘴構造為例子進行說明。
[0059]圖2及圖3示出具有焦點型多噴嘴構造的燃燒器22的一個方式。
[0060]圖2所示的燃燒器22在中央處具有噴出作為原料氣體的硅氧烷的原料氣體噴口
31。在原料氣體噴口31的周圍以同心圓狀配置有多個噴出助燃性氣體的助燃性氣體噴口
32。在以同心圓狀配置的助燃性氣體噴口32的外周，進一步以同心圓狀配置有多個噴出可燃性氣體的可燃性氣體噴口 33。從中心處的原料氣體噴口 31，例如噴出作為原料氣體的OMCTS氣體。從助燃性氣體噴口 32噴出作為助燃性氣體的氧氣(O2)，從可燃性氣體噴口 33噴出作為可燃性氣體的氫氣(H2)等。
[0061]在燃燒器22中，向通過助燃性氣體及可燃性氣體形成的氫氧火焰中，噴出OMCTS氣體，通過熱分解氧化反應而合成出氧化硅(S12)顆粒。
[0062]如圖3所示，燃燒器22的原料氣體噴口 31與供給配管26的原料氣體噴口用供給配管26a連結，從原料氣體噴口用供給配管26a導入OMCTS氣體。
[0063]在燃燒器22內部，多個助燃性氣體噴口 32通過環狀的環配管32a彼此連通。環配管32a與供給配管26的助燃性氣體噴口用供給配管26b連結，從助燃性氣體噴口用供給配管26b經由環配管32a向各助燃性氣體噴口 32導入02。
[0064]在燃燒器22內部，多個可燃性氣體噴口 33通過環狀的環配管33a彼此連通。環配管33a與供給配管26的可燃性氣體噴口用供給配管26c連結，從可燃性氣體噴口用供給配管26c經由環配管33a向各可燃性氣體噴口 33導入H2。
[0065]如圖2及圖3所示，為了將燃燒器22的溫度保持為高溫，在燃燒器22的外周部分，設置有作為發熱體的加熱器35。與帶狀加熱器28同樣地，作為加熱器35優選使用帶狀加熱器。加熱器35具有未圖示的溫控傳感器，利用溫控傳感器檢測加熱器35的溫度。另外，在原料氣體噴口 31的附近設置控制用溫度測定單元(熱電偶38)，檢測燃燒器22的溫度。通過對加熱器35進行通電,從而加熱燃燒器22,以使燃燒器22的溫度相對于作為原料氣體23的硅氧烷的沸點落在大于或等于所述沸點一 30°C而小于或等于所述沸點+30°C的范圍內。由此，維持燃燒器22的溫度，以使從燃燒器22噴射的硅氧烷不會液化，并且，防止由于由聚合反應導致的硅氧烷的顆粒化而使燃燒器22堵塞。此外，使燃燒器22的溫度相對于硅氧烷的沸點成為大于或等于沸點一 30°C是因為，只要使供給配管26的溫度成為大于或等于硅氧烷的沸點，則即使不將燃燒器22加熱至大于或等于沸點，原料氣體也不會液化。但是，燃燒器22的溫度低于沸點一 30°C，則會出現原料氣體液化的可能性。
[0066]下面，針對玻璃微粒堆疊體的制造方法的流程進行說明。
[0067]【堆疊工序】
[0068]利用OVD法(外沉積法)，進行玻璃微粒的堆疊，制造玻璃微粒堆疊體M。首先，如圖1所示，在升降旋轉裝置3上安裝有支撐棒10，并且在支撐棒10的下端部安裝有初始棒11的狀態下，將初始棒11及支撐棒10的一部分收容在反應容器2內。
[0069]然后，MFC25基于從控制部5發送來的控制信號，一邊控制原料氣體的供給量，一邊經由供給配管26(原料氣體噴口用供給配管26a)向燃燒器22供給原料氣體。此時，利用卷繞在供給配管26的外周部分的帶狀加熱器28，加熱供給配管26，以使供給配管26的溫度落在大于或等于作為原料氣體的硅氧烷的沸點而小于或等于沸點+30°C的范圍內。另外，利用未圖示的氣體供給裝置，經由助燃性氣體噴口用供給配管26b及可燃性氣體噴口用供給配管26c向燃燒器22供給O2及H2。
[0070]然后,通過使供給至燃燒器22的硅氧烷在氫氧火焰內進行熱分解氧化反應而生成玻璃微粒。
[0071]并且，燃燒器22將在火焰內生成的玻璃微粒持續地堆疊在旋轉及升降的初始棒11上。此時，利用設置在燃燒器22的外周部分上的加熱器35，加熱燃燒器22，以使燃燒器22的溫度相對于硅氧烷的沸點落在大于或等于沸點一 30°C而小于或等于沸點+30°C的范圍內。
[0072]升降旋轉裝置3基于來自控制部5的控制信號，使初始棒11及堆疊在初始棒11上的玻璃微粒堆疊體M在軸向上升降。
[0073]【透明化工序】
[0074]然后，將得到的玻璃微粒堆疊體M在惰性氣體和氯氣的混合氣氛中加熱后，在He氣氛中進一步加熱而得到透明玻璃母材。
[0075]如上述說明，在本實施方式中，加熱燃燒器22，以使噴射原料氣體的燃燒器22的溫度相對于作為原料氣體的硅氧烷的沸點落在大于或等于沸點一 30°C而小于或等于沸點+30°C的范圍，并且，加熱供給配管26，以使供給配管26的溫度落在大于或等于硅氧烷的沸點而小于或等于沸點+30°C的范圍。因此，能夠防止硅氧烷在燃燒器22的內部液化，并且，不會發生燃燒器22的堵塞等不良情況，能夠制造玻璃微粒堆疊體。
[0076]另外，根據本實施方式，燃燒器22由金屬構成，因此，能夠提供導熱性良好，耐熱性等優異的燃燒器22。
[0077]另外，根據本實施方式，用于加熱燃燒器22的加熱器36設置在燃燒器22的外周部分。由此，利用僅是在現有燃燒器的外周部分卷繞帶狀加熱器等這樣的簡單結構，就能夠將燃燒器22的溫度保持為原料氣體23不液化的溫度。
[0078](第2實施方式)
[0079]下面，參照圖4及圖5，說明第2實施方式涉及的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器。對于與第I實施方式相同的結構，省略其說明。
[0080]如圖4所示，第2實施方式涉及的燃燒器22a具有:噴出作為原料氣體的OMCTS氣體的原料氣體噴口 31 ;噴出作為助燃性氣體的O2的助燃性氣體噴口 32 ;以及噴出作為可燃性氣體的H2的可燃性氣體噴口 33。在燃燒器22a的內部設置有埋入式加熱器36。
[0081]該加熱器36配置為沿著原料氣體噴口 31的長度方向與原料氣體噴口 31相鄰。作為加熱器36，優選使用熱阻較高的鎳鉻線等金屬體。為了設置加熱器36，在燃燒器22a的內部形成孔，在該孔中插入金屬體即可。在加熱器36的位于供給配管26側的端部，連接有用于對加熱器36進行加熱的引線37。
[0082]如圖5所示，加熱器36在原料氣體噴口 31的周圍均等地設置有多個(在這里是3個)。各加熱器36具有未圖示的溫控傳感器，利用溫控傳感器檢測加熱器36的溫度。另外，如圖4及圖5所示，在原料氣體噴口 31的附近設置控制用溫度測定單元(熱電偶38)，檢測燃燒器22a的溫度。通過經由引線37對各加熱器36進行通電，從而加熱燃燒器22a，以使燃燒器22a的溫度相對于硅氧烷的沸點落在大于或等于沸點一 30°C而小于或等于沸點+30°C的范圍內。
[0083]如上所述，在第2實施方式中，加熱器36是埋入式，與燃燒器22a的外筒相比設在內側。即，與設置在燃燒器22的外周部分上的第I實施方式的加熱器35相比，加熱器36設置為與原料氣體噴口 31較近。因此，能夠以比較少的熱量可靠地對在燃燒器22a內部設置的原料氣體噴口 31進行加熱。
[0084]【實施例】
[0085]使用圖1示出的制造裝置并通過OVD法進行了玻璃微粒的堆疊、即進行了玻璃微粒堆疊體的制造。作為燃燒器，如第I實施方式的說明所示，使用了在燃燒器的外周部分卷繞有帶狀加熱器的結構。向燃燒器作為原料氣體而供給了 OMCTS氣體，作為火焰形成氣體而供給了 H2及02。
[0086]此時，適當地選擇供給配管的溫度(V )和燃燒器的溫度(V )，評價了 OMCTS氣體是否液化(沒有液化的標注為〇，液化的標注為X)，以及燃燒器內部的原料氣體噴口是否堵塞(沒有堵塞的標注為〇，堵塞的標注為X)。在表1中示出其結果。
[0087]表1
【權利要求】
1.一種玻璃微粒堆疊體的制造方法，在該方法中具有堆疊工序，在該工序中，在反應容器內設置初始棒和玻璃微粒生成用的燃燒器，經由供給配管向所述燃燒器導入原料氣體，在所述燃燒器形成的火焰內使原料氣體進行熱分解氧化反應而形成玻璃微粒，使生成的玻璃微粒在所述初始棒上堆疊而制作玻璃微粒堆疊體， 在該玻璃微粒堆疊體的制造方法中， 將供給至所述燃燒器中的所述原料氣體設為硅氧烷， 對所述燃燒器進行加熱，以使所述燃燒器的溫度相對于所述硅氧烷的沸點落在大于或等于所述沸點一 30°c而小于或等于所述沸點+30°C的范圍內，并且，對所述供給配管進行加熱，以使所述供給配管的溫度落在大于或等于所述硅氧烷的沸點而小于或等于所述沸點+30°C的范圍內。
2.根據權利要求1所述的玻璃微粒堆疊體的制造方法， 由金屬構成所述燃燒器。
3.根據權利要求1或2所述的玻璃微粒堆疊體的制造方法， 將用于加熱所述燃燒器的加熱器設置在所述燃燒器的外周部分。
4.根據權利要求1或2所述的玻璃微粒堆疊體的制造方法， 將用于加熱所述燃燒器 的加熱器與所述燃燒器的外筒相比設置在內側。
5.一種玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器，其將硅氧烷用作原料氣體而形成玻璃微粒堆疊體， 該玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器由金屬構成，并且具有對所述燃燒器進行加熱的加熱器。
6.根據權利要求5所示的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器，所述加熱器設置在所述燃燒器的外周部分。
7.根據權利要求5所示的玻璃微粒堆疊體制造用燃燒器，所述加熱器與所述燃燒器的外筒相比設置在內側。
【文檔編號】C03B37/018GK104163569SQ201410204707
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年5月15日 優先權日:2013年5月15日
【發明者】山崎卓, 石原朋浩 申請人:住友電氣工業株式會社