一種金剛石線切割硅棒的切割工藝的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種金剛石線切割硅棒的切割工藝，采用多線切割機切割，含以下步驟：配制切削液，粘棒，上料，切割預熱，切割和下料等工序，并設置切割時的各項參數，可以將各種類型的硅棒切割成所需要的尺寸的硅片，該切割工藝能有效提高切割硅片的生產效率，提高切割能力，降低切割消耗和磨損量，降低切割成本。
【專利說明】—種金剛石線切割硅棒的切割工藝
【技術領域】
[0001]本發明屬于晶體硅切割【技術領域】，具體涉及一種金剛石線切割硅棒的切割工藝。【背景技術】
[0002]現代信息技術和現代電子技術的基礎是半導體技術，而硅材料是最重要的半導體材料。目前國內外通用的硅片切割技術為:游離磨料附著鍍銅鋼線切割技術，該技術是在內圓切割技術的基礎上升級換代的切割技術，雖然取得了很大的科技進步，但存在著很多缺陷:(1)需要用聚乙二醇做懸浮劑，對環境造成的污染較大；(2)切割的硅片表面損傷層較大，不適宜切割超薄硅片；(3)鍍銅鋼線因磨損產生的銅鐵離子在切割前沿與硅片產生鍵合吸附，極難清洗掉，導致表面金屬雜質沾污，降低晶硅電池光電轉化效率。
[0003]多線切割是一種不影響工件特性的非化學的物理加工方法，通過切割線的高速往復運動，把砂漿等帶入工件加工區域進行研磨，最終把工件切割成薄片，在整個切割過程中，主要涉及高速運動的切割線、砂漿和被加工件，砂漿在此起著刀具的作用.從而把硅棒切割成溥片。對于現在的多線切割機來說，鋼線無疑是重要的耗材之一。同時采用砂漿作為切割液時切割效率低，切割消耗大，因此，目前的多線切割工藝，環境污染嚴重，鋼線磨損量高，硅片損傷和受污嚴重，加工時間長，切割成本高。
【發明內容】
[0004]本發明所要解決的技術問題是提供一種金剛石線切割硅棒的切割工藝，該切割工藝通過采用切削液替代砂漿以及采用金剛石線替代鋼線，能減少環境污染，降低硅棒切割時間，有效提高切割硅片的 切割能力和切割效率，降低切割成本，提高切割硅片質量。
[0005]本發明的上述技術問題是通過如下技術方案來實現的:一種金剛石線切割硅棒的切割工藝，采用多線切割機切割，含以下步驟:
(O配制切削液，取切割液和純水混勻，獲得切削液，置于多線切割機的機床冷卻缸中備用;
(2)粘棒根據娃棒的晶向將娃棒進行粘結；
(3)上料把粘結好的硅棒置于多線切割機上，固定，下降到適合切割線切割高度，打開切削液供給，關閉多線切割機切割工作艙艙門；
(4)切割預熱切割前將切削液在切割工作艙內充分循環，將切割線以40(T750m/min的速度作往復運行；
(5)切割采用直徑為0.1~0.14mm的金剛石線作為切割線，調節切割線的預加張力為14~20N，線速度為40(T800m/min，切割速度為0.2~lmm/min，調節切削液的流量為100~120L/min，切削液的溫度為2(T30°C，對硅棒進行切割；
(6)下料切割完畢后，關閉切削液供給，打開切割工作艙艙門，將切割后的硅片取出，并對切割后的硅片進行后續處理。
[0006]本發明步驟(1)中采用切削液替代砂漿，該切削液成分主要是高特高級水性金剛石線切削液，該切削液可選自尤希路youshiro GMW450太陽能娃晶片單/多晶娃金剛石多線切割液，由Cavo Special Lubricants加孚公司研制的GF-506C金剛石線切割液，東莞市源德潤滑油有限公司生產的金剛石線切割液，以及多線切割液Prolap 60等，這些切削液都具有優良的被清洗性，可用水進行清洗，還具有優良的用離心分離而進行的磨粒和切割液的再生利用性能，且對切屑有良好的分散性；另外該切割液與金剛石線有良好的協調作用，具有使用方便，潤滑性能好，切面平整光滑且不易崩邊，加工效率高，能有效提高金剛石線及鋸片使用壽命等特點；能有效改善車間環境、使用更加安全環保，節約資源；使用過程中亦不會損害皮膚、對環境無污染、對機床設備不銹蝕。
[0007]本發明步驟(1)中通過采用切削液代替傳統砂漿，可以降低切割時間，提高切割效率。
[0008]本發明步驟(1)中切割液的用量占其和純水總質量的2~10%。
[0009]本發明步驟(2)中所述娃棒的直徑優選不大于210mm,長度優選不大于1000mm。
[0010]本發明步驟(2)中根據硅棒的晶向將硅棒進行粘結時，粘結劑采用環氧樹脂膠。
[0011]作為本發明的一種優選的實施方式，本發明娃棒粘結時，最好在娃棒下面墊上樹脂墊板，然后將硅棒和樹脂墊板采用粘結劑粘結在粘結托上，所采用的粘結劑為環氧樹脂膠，在相對于粘結托那一側面的娃棒上粘結有導向條。 [0012]本發明步驟(3)中上料時，具體操作步驟可以為:用上料鏟車把粘接好的硅棒放入機器內，夾緊固定，下降到適當切合線網的適當高度，選擇切割工藝，打開切削液供給，關閉艙門。
[0013]本發明步驟(5)中采用直徑為0.1-0.14mm的金剛石線作為切割線替代現有技術中的鋼線，金剛石線切割具有以下優點:切割速度快；采用水基冷卻劑，環保效益顯著；切割硅片表面損傷層小，能切割超薄硅片；由于克服了金屬離子與硅片表面的鍵合吸附，故大大提升了晶娃電池片的光電轉化效率；每麗耗能大幅降低。
[0014]金剛石線是金剛石切割線的簡稱。金剛石線采用直徑0.08到0.55毫米的鋼絲作為基體，將硬度高、耐磨性好的金剛石磨粒通過電鍍、樹脂粘接等方式牢固地固定在鋼絲基體上而制成的一種切割線。
[0015]目前能商業化生產金剛石線的廠商主要是比利時的貝卡爾特公司，日本的旭金剛石公司，瑞士的DWT公司；國內主要是臺灣微鉆公司，長沙岱勒公司等。
[0016]光伏行業的硅片切割是整個產業鏈的關鍵一環，對切割線材料的要求非常高。目前傳統的硅片加工技術采用鍍銅鋼線和游離磨料，加工過程中，將磨料以懸浮液形式附著到鍍銅鋼線和加工件之間產生切削作用，切割速度較慢且處理游離磨料的成本很高。最重要的是，在切割過程中大量的銅鐵雜質由于磨削作用附著在硅片表面，擴散較深的銅鐵離子會鍵合吸附在娃片表面，形成復合中心，大大降低了娃片的少子壽命和光電轉化效率。而金剛石線是將金剛石微粉固定在鋼絲上，具有了金剛石微型的鋸齒，增加了鋼線的切割能力，因而擁有較高的切割速度，而且使用水作為冷卻劑，大大降低了對環境的污染。同時切割過程中銅鐵等金屬離子剝落很少，不會對硅片形成金屬沾污，所以金剛石線切割出的硅片擁有更高的光電轉化效率。
[0017]與傳統的切割鋼絲和游離磨料切割方式相比，金剛線具有諸多優點:
(I)切割速度較目前切割速度提高一倍，金剛石線切割速度是普通鋼線的2倍，因此單位產量的折舊、人工和能源成本將降低一半，同樣的投資卻能得到兩倍的效率；
(2)從根本上消除切割工藝帶來的金屬離子沾污，從而提高電池轉換效率，傳統的切割方式采用聚乙二醇做懸浮劑，硅片切割完畢后需要專門的硅片清洗劑在特定溫度下進行清洗，很容易對硅片表面造成污染，從而影響后期電池的性能，同時，傳統切割鋼絲采用鍍銅工藝，切割脫落的銅鐵等重金屬易對硅片造成沾污，影響電池轉化效率，使用超細金剛石線，切割過程中脫落的銅鐵很少，并且清洗不需要專門的清洗劑，基本不影響電池的性能，所以，使用金剛石線切割的硅片轉化效率更高；
(3)更適宜切割薄片，隨著硅基電池片技術的發展和電池成本的要求，硅片的厚度也越來越薄，傳統的切割方式由于切割工藝的限制，切割薄片時硅片的翹曲度無法控制，并且會形成較深的表面損傷層，而金剛石線切割速度較快，水性冷卻介質能夠及時將熱量散出，所以能夠很好的解決薄片出現翹曲的問題，并且機械損傷層大大降低，這也是金剛石線能夠代替傳統切割方式的優勢所在；
(4)環保節能，傳統的游離磨料切割工藝需要聚乙二醇做懸浮劑，投入的環保費用非常高，且使用過的游離磨料需要回收處理，耗用大量的人力和財力。而金鋼線的工藝只需要水或是水基冷卻清潔液就可以，實現了環保生產。同時由于使用水的粘度遠小于聚乙二醇，金剛線機床的運行功率遠小于傳統切割工藝的機床功率，因此它是真正意義上的節能環保加工方式。
[0018]本發明步驟(6)中下料時，硅棒切割完畢后，關閉切削液供給，打開切割艙門，確認硅棒是否切割完全，點動慢速抬升按鈕，確認切割線是否夾線；硅棒完全與切割線脫離后，按快速抬升按鈕，工作臺復位到原點，將硅棒使用下棒小車或者人工取下。
[0019]本發明步驟(6)中所述后續處理包括對硅片進行去膠和清洗處理。
[0020]本發明所述去膠為將切割后硅片用乳酸浸泡至去膠完全。
[0021]作為本發明的一種優選實施方式，本發明所述去膠將硅片置于全自動脫膠機中，在4(T70°C乳酸中浸泡至膠完全被去除。
[0022]本發明所述清洗處理為采用清洗劑伴隨超聲波清洗。
[0023]本發明所述清洗劑優選采用君合清洗劑，常州君合達克羅涂覆工程技術有限公司生產，君合硅片清洗劑。
[0024]本發明中的切割工藝通過合適的切割線線速、線徑、工作臺速度等設置，優化了切割效率，降低成本，達到了切割目的。
[0025]本發明具有如下優點:
(1)本發明采用切削液代替傳統砂漿，該切削液可降解，不會污染環境；
(2)本發明通過適當的調整切割線張力、切割速度以及切削液速度，能獲得很好的硅片切割能力，可以對多種硅棒進行切割；
(3)本發明通過采用金剛石線替代普通鋼線，金剛石線具有切割速度快，產能高，做出的電池片無污染，轉換效率高，不同于傳統的普通鋼線，傳統的普通鋼線不具有切割能力，還需要與砂漿配合使用；
(4)本發明通過將切削液代替傳統的砂漿，同時采用金剛石線替代傳統鋼線，能有效提高切割硅片的切割效率，提高切割能力，降低切割消耗和硅片磨損量，并能降低切割成本，且環保。【專利附圖】
【附圖說明】
[0026]圖1為本發明提供的金剛石線切割硅棒的切割工藝圖，其中I為硅棒及粘結托，2為切削液噴嘴，3為導輪，4為線輪，5為金剛石線。
【具體實施方式】
[0027]下面給出具體實施例，進一步說明本發明是如何實現的。
[0028]實施例1
本實施例主要設備及原材料為:多線切割機型號:MWM442DM ;原料:8英寸硅棒硅棒，邊長156mm,長度325mm,主棍5槽距350Mm。
[0029]目標切割娃片的規格為邊長156mm,厚度0.19mm,以下是使用直徑為0.14mm金剛石切割線進行硅片切割。
[0030]采用上述鋼線切割8英寸硅棒的工藝，具體步驟如下:
(1)切削液配制:切削液購自尤希路youshiroGMW450太陽能娃晶片單/多晶娃金剛石多線切割液，取切割液和純水混勻，獲得切削液，其中切割液占其和純水總質量的5%，將切削液置于多線切割機的機床冷卻缸中備用；
(2)粘棒:娃棒在粘接前,確認娃棒晶向，并按照晶向要求進行粘接,粘接劑使用環氧樹脂膠，將硅棒粘結到粘結托上，在硅棒與粘結托之間采用玻璃墊板連接，并在硅棒的對面(即相對于粘結有粘結托的硅棒側面而言)設置粘結導向條；
(3)上料:用上料車或者人工把粘接好的硅棒及粘結托I放入機器內的工作臺上，如圖1中的工作臺及粘結拖結合體所示，夾緊固定，下降到適當切割線網的高度，上升2_，選擇切割工藝，打開潤滑液供給，關閉艙門；上料切割示意圖和上料安裝整體示意圖請參閱圖1 ;
(4)切割預熱:切割前潤滑液在切割工作艙內進行充分循環，并使用40(T750m/min的速度進行切割線5往復運行，切割線5通過導輪3和線輪4控制；運轉10分鐘后，打開艙門，觀察線網，有無跳線，觀察導向輪，張力臂，線輪排線以確定機床處于正常狀態；
(5)切割:切割工藝設定，使用直徑0.14mm金剛石切割線5，在20N的預加張力作用下，線速度695m/min，根據鋼線直徑設定工作臺速度及曲線，切割速度在0.4^0.5mm/min，切割行程根據硅棒實際直徑設定，加工時間為6h ;切削液噴嘴2噴切削液110L/min，溫度25°C ；
(6)下料:硅棒切割完畢后，關閉砂漿供給，打開切割艙門，確認硅棒是否切割完全，點動慢速抬升按鈕，確認是否夾線；硅棒完全與切割線脫離后，按快速抬升按鈕，工作臺復位到原點，將硅棒使用下料鏟車取下，獲得邊長為156_，厚度為0.19mm的硅片；
(7)去膠:使用全自動脫膠機；浸泡溫度55°C；
(8)清洗:使用君合清洗劑(常州君合達克羅涂覆工程技術有限公司生產，君合硅片清洗劑，下同)伴隨超聲清洗的方法，進行硅片表面的清洗。
[0031]實施例2
本實施例主 要設備及原材料為:多線切割機型號:MWM442D ；原料:6.5英寸硅棒，邊長125mm,長度 320mm,主棍 5 槽距 340Mm。
[0032]目標切割硅片的規格為邊長125mm，厚度0.19mm,以下是使用直徑為0.1Omm金剛石切割線進行硅片切割。
[0033]采用上述設備切割超大直徑硅棒的工藝，具體步驟如下:
(1)切削液配制:切削液購自尤希路youshiroGMW450太陽能娃晶片單/多晶娃金剛石多線切割液，取切割液和純水混勻，獲得切削液，其中切割液占其和純水總質量的10%，將切削液置于多線切割機的機床冷卻缸中備用；
(2)粘棒:娃棒在粘接如，確認娃棒晶向，并按照晶向要求進行粘接，粘接劑使環氧樹脂膠，將硅棒粘結到粘結托上，連接材料使用玻璃墊板，并在對面粘結導向條；
(3)上料:用上料鏟車把粘接好的硅棒放入機器內，夾緊固定，下降到適當切割線網的高度，上升2mm，選擇切割工藝，打開潤滑液供給，關閉艙門；上料切割示意圖和上料安裝整體示意圖參閱圖1 ;
(4)切割預熱:切割前潤滑液在切割工作艙內進行充分循環，并使用30(T700m/min的速度進行切割線往復運行；運轉10分鐘后，打開艙門，觀察線網，有無跳線，觀察導向輪，張力臂，線輪排線以確定機床處于正常狀態；
(5)切割:切割工藝設定，使用直徑0.1Omm的金剛石切割線，在14N的預加張力作用下，線速度695m/min,切割速度在0.4"0.5mm/min,切割行程根據娃棒實際直徑設定,加工時間為5.5h ;切削液噴嘴3噴射切削液100L/min，溫度25度；
(6)下料:硅棒切割完畢后，關閉潤滑液供給，打開切割艙門，確認硅棒是否切割完全，點動慢速抬升按鈕，確認是否夾線；硅棒完全與切割線脫離后，按快速抬升按鈕，工作臺復位到原點，將硅棒使用下料車取下，獲得邊長125_，厚度為0.19mm的硅片；
(7)去膠:使用全自動脫膠，乳酸浸泡溫度65°C；
(8)清洗:使用君合清洗劑伴隨超聲清洗的方法，進行硅片表面的清洗。
[0034]實施例3
本實施例主要設備及原材料為:多線切割機型號:MWM442DM ;原料:8英寸硅棒硅棒，邊長156mm,長度325mm,主棍5槽距330Mm。
[0035]目標切割娃片的規格為邊長156mm,厚度0.19mm,以下是使用直徑為0.12mm切割線進行硅片切割。
[0036]采用上述鋼線切割8英寸硅棒的工藝，具體步驟如下:
(1)切削液配制:切削液購自CavoSpecial Lubricants加孚公司研制的GF-506C金剛石線切割液，取切割液和純水混勻，獲得切削液，其中切割液占其和純水總質量的2%，將切削液置于多線切割機的機床冷卻缸中備用；
(2)粘棒:娃棒在粘接前,確認娃棒晶向，并按照晶向要求進行粘接，粘接劑使用環氧樹脂膠，將硅棒粘結到粘結托上，在硅棒與粘結托之間采用玻璃墊板連接，并在硅棒的對面(即相對于粘結有粘結托的硅棒側面而言)設置粘結導向條。
[0037](3)上料:用上料車或者人工把粘接好的硅棒放入機器內的工作臺上，如圖1中的工作臺及粘結拖結合體所示，夾緊固定，下降到適當切割線網的高度，上升2_，選擇切割工藝，打開潤滑液供給，關閉艙門；上料切割示意圖和上料安裝整體示意圖參閱圖1 ;
(4)切割預熱:切割前潤滑液在切割工作艙內進行充分循環，并使用400?750m/min的速度進行切割線往復運行；運轉10分鐘后，打開艙門，觀察線網，有無跳線，觀察導向輪，張力臂，線輪排線以確定機床處于正常狀態；(5)切割:切割工藝設定，使用直徑0.12mm切割線2，在18N的預加張力作用下，線速度695m/min，切割速度在0.3~0.4mm/min,切割行程根據硅棒實際直徑設定，加工時間為
8.5h ;切削液噴嘴噴射切削液110L/min，溫度25°C ；
(6)下料:硅棒切割完畢后，關閉潤滑液供給，打開切割艙門，確認硅棒是否切割完全，點動慢速抬升按鈕，確認是否夾線；硅棒完全與切割線脫離后，按快速抬升按鈕，工作臺復位到原點，將硅棒使用下料鏟車取下，獲得邊長為156_，厚度為0.19mm的硅片；
(7)去膠:使用全自動脫膠機，浸泡溫度40°C；
(8)清洗:使用君合清洗劑(常州君合達克羅涂覆工程技術有限公司生產，君合硅片清洗劑，下同)伴隨超聲清洗的方法，進行硅片表面的清洗。
[0038]實施例4
本實施例主要設備及原材料為:多線切割機型號:MWM442DM ;原料:8英寸硅棒硅棒，邊長156mm,長度325mm,主棍5槽距350Mm。
[0039]目標切割娃片的規格為邊長156mm,厚度0.19mm,以下是使用直徑為0.13mm金剛石切割線進行硅片切割。
[0040]采用上述鋼線切割8英寸硅棒的工藝，具體步驟如下:
(O切削液配制:切削液為多線切割液Prolap 60，取切割液和純水混勻，獲得切削液，其中切割液占其和純水總質量的8%，將切削液置于多線切割機的機床冷卻缸中備用；
(2)粘棒:娃棒在粘接前,確認娃棒晶向，并按照晶向要求進行粘接,粘接劑使用環氧樹脂膠，將硅棒粘結到粘結托上，在硅棒與粘結托之間采用玻璃墊板連接，并在硅棒的對面(即相對于粘結有粘結托的硅棒側面而言)設置粘結導向條；
(3)上料:用上料車或者人工把粘接好的硅棒及粘結托放入機器內的工作臺上，如圖1中的工作臺及粘結拖結合體所示，夾緊固定，下降到適當切割線網的高度，上升2_，選擇切割工藝，打開潤滑液供給，關閉艙門；上料切割示意圖和上料安裝整體示意圖請參閱圖1 ;
(4)切割預熱:切割前潤滑液在切割工作艙內進行充分循環，并使用600m/min的速度進行切割線往復運行，切割線通過導輪和線輪控制；運轉10分鐘后，打開艙門，觀察線網，有無跳線，觀察導向輪，張力臂，線輪排線以確定機床處于正常狀態；
(5)切割:切割工藝設定，使用直徑0.13mm金剛石切割線，在16N的預加張力作用下，線速度500m/min，根據鋼線直徑設定工作臺速度及曲線，切割速度在0.6^0.8mm/min，切割行程根據硅棒實際直徑設定，加工時間為7h ;切削液噴嘴噴切削液120L/min，溫度20°C ；
(6)下料:硅棒切割完畢后，關閉砂漿供給，打開切割艙門，確認硅棒是否切割完全，點動慢速抬升按鈕，確認是否夾線；硅棒完全與切割線脫離后，按快速抬升按鈕，工作臺復位到原點，將硅棒使用下料鏟車取下，獲得邊長為156_，厚度為0.19mm的硅片；
(7)去膠:使用全自動脫膠機；浸泡溫度60°C；
(8)清洗:使用君合清洗劑(常州君合達克羅涂覆工程技術有限公司生產，君合硅片清洗劑，下同)伴隨超聲清洗的方法，進行硅片表面的清洗。
[0041]實施例5 本實施例主要設備及原材料為:多線切割機型號:MWM442DM ;原料:8英寸硅棒硅棒，邊長156mm,長度325mm,主棍5槽距350Mm。
[0042]目標切割娃片的規格為邊長156mm,厚度0.19mm,以下是使用直徑為0.1lmm金剛石切割線進行硅片切割。
[0043]采用上述鋼線切割8英寸硅棒的工藝，具體步驟如下:
(O切削液配制:切削液為多線切割液Prolap 60，取切割液和純水混勻，獲得切削液，其中切割液占其和純水總質量的4%，將切削液置于多線切割機的機床冷卻缸中備用；
(2)粘棒:娃棒在粘接前,確認娃棒晶向，并按照晶向要求進行粘接,粘接劑使用環氧樹脂膠，將硅棒粘結到粘結托上，在硅棒與粘結托之間采用玻璃墊板連接，并在硅棒的對面(即相對于粘結有粘結托的硅棒側面而言)設置粘結導向條；
(3)上料:用上料車或者人工把粘接好的硅棒及粘結托放入機器內的工作臺上，如圖1中的工作臺及粘結拖結合體所示，夾緊固定，下降到適當切割線網的高度，上升2_，選擇切割工藝，打開潤滑液供給，關閉艙門；上料切割示意圖和上料安裝整體示意圖請參閱圖1 ;
(4)切割預熱:切割前潤滑液在切割工作艙內進行充分循環，并使用400m/min的速度進行切割線往復運行，切割線通過導輪和線輪控制?’運轉10分鐘后，打開艙門，觀察線網，有無跳線，觀察導向輪，張力臂，線輪排線以確定機床處于正常狀態；
(5)切割:切割工藝設定，使用直徑0.1lmm金剛石切割線，在16N的預加張力作用下，線速度700m/min，根據鋼線直徑設定工作臺速度及曲線，切割速度在0.8^1.0mm/min，切割行程根據硅棒實際直徑設定， 加工時間為5h ;切削液噴嘴噴切削液105L/min，溫度30°C ；
(6)下料:硅棒切割完畢后，關閉砂漿供給，打開切割艙門，確認硅棒是否切割完全，點動慢速抬升按鈕，確認是否夾線；硅棒完全與切割線脫離后，按快速抬升按鈕，工作臺復位到原點，將硅棒使用下料鏟車取下，獲得邊長為156_，厚度為0.19mm的硅片；
(7)去膠:使用全自動脫膠機；浸泡溫度70°C；
(8)清洗:使用君合清洗劑(常州君合達克羅涂覆工程技術有限公司生產，君合硅片清洗劑，下同)伴隨超聲清洗的方法，進行硅片表面的清洗。
[0044]以上列舉具體實施例對本發明進行說明。需要指出的是，以上實施例只用于對本發明作進一步說明，不代表本發明的保護范圍，其他人根據本發明的提示做出的非本質的修改和調整，仍屬于本發明的保護范圍。
【權利要求】
1.一種金剛石線切割硅棒的切割工藝，采用多線切割機切割，其特征是含以下步驟: (1)配制切削液，取切割液和純水混勻，獲得切削液，置于多線切割機的機床冷卻缸中備用; (2)粘棒根據娃棒的晶向將娃棒進行粘結； (3)上料把粘結好的硅棒置于多線切割機上，固定，下降到適合切割線切割高度，打開切削液供給，關閉多線切割機切割工作艙艙門； (4)切割預熱切割前將切削液在切割工作艙內充分循環，將切割線以40(T750m/min的速度作往復運行； (5)切割采用直徑為0.1-0.14mm的 金剛石線作為切割線，調節切割線的預加張力為14~20N，線速度為40(T800m/min，切割速度為0.2~lmm/min，調節切削液的流量為100~120L/min，切削液的溫度為2(T30°C，對硅棒進行切割； (6)下料切割完畢后，關閉切削液供給，打開切割工作艙艙門，將切割后的硅片取出，并對切割后的硅片 進行后續處理。
2.根據權利要求1所述的金剛石線切割硅棒的切割工藝，其特征是:步驟(1)中切割液的用量占其和純水總質量的2~10%。
3.根據權利要求1或2所述的金剛石鋼線切割硅棒的切割工藝，其特征是:步驟(2)中所述娃棒的直徑不大于210mm,長度不大于1000mm。
4.根據權利要求1所述的金剛石線切割硅棒的切割工藝，其特征是:步驟(2)中根據硅棒的晶向將硅棒進行粘結時，粘結劑采用環氧樹脂膠。
5.根據權利要求1所述的剛石線切割硅棒的切割工藝，其特征是:步驟(6)中所述后續處理包括對硅片進行去膠和清洗處理。
6.根據權利要求5所述的金剛石線切割硅棒的切割工藝，其特征是:所述去膠為將切割后硅片用在4(T70°C乳酸浸泡至去膠完全。
7.根據權利要求5述的金剛石線切割硅棒的切割工藝，其特征是:所述清洗處理為采用清洗劑伴隨超聲波清洗。
【文檔編號】B28D5/04GK103991140SQ201410173332
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年4月28日 優先權日:2014年4月28日
【發明者】王建鎖, 范靖 申請人:陽光硅谷電子科技有限公司