玻璃減薄設備及玻璃減薄方法

玻璃減薄設備及玻璃減薄方法
【專利摘要】本發明涉及一種玻璃減薄設備和玻璃減薄方法。玻璃減薄設備包括箱體和設置于箱體中的噴淋裝置，箱體中設有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽，噴淋裝置包括分別位于第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管。使用上述玻璃減薄設備進行在不同的槽中進行噴淋洗滌和刻蝕的減薄方法能夠避免浸泡式減薄法中的反應產物粘附于玻璃上的問題，并且依次經過第一刻蝕槽、第二刻蝕槽和第三刻蝕槽的三次刻蝕，避免浸泡式刻蝕不均勻的問題。
【專利說明】玻璃減薄設備及玻璃減薄方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及玻璃減薄【技術領域】，特別是涉及一種玻璃減薄設備及玻璃減薄法。
【背景技術】
[0002]隨著便攜式電子器件的發展，手機、平板等便攜式電子器件越來越纖細化及薄型化，因此需要制造較薄的玻璃基板。
[0003]為了制造較薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設備的反應槽中，然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時間，使玻璃減薄液與玻璃反應，實現玻璃減薄。
[0004]目前的浸泡式減薄法中，反應產物會懸浮于玻璃減薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，這種方法容易造成蝕刻不均，導致進行減薄后還需要進行拋光處理，提高了制備成本。

【發明內容】

[0005]基于此，有必要提供一種玻璃減薄設備，以用于減薄玻璃時能夠避免浸泡式減薄法中的反應產物粘附于玻璃上及刻蝕不均勻的問題。
[0006]進一步，提供 一種玻璃減薄方法。
[0007]—種玻璃減薄設備，包括箱體和設置于所述箱體中的噴淋裝置，所述箱體中設有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽，所述噴淋裝置包括分別位于所述第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管。
[0008]在其中一個實施例中，所述第一淋洗槽上設置有可轉動的第一蓋板，所述第一刻蝕槽上設置有可轉動的第二蓋板，所述第二刻蝕槽上設置有可轉動的第三蓋板，所述第三刻蝕槽上設置有可轉動的第四蓋板，所述第二淋洗槽上設置有可轉動的第五蓋板，所述第三淋洗槽上設置有可轉動的第六蓋板，所述第四淋洗槽上設置有可轉動的第七蓋板，所述第一蓋板、第二蓋板、第三蓋板、第四蓋板、第五蓋板、第六蓋板和第七蓋板可轉動至某一方向而分別密封所述第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽。
[0009]在其中一個實施例中，所述第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管分別設置于所述第一蓋板、第二蓋板、第三蓋板、第四蓋板、第五蓋板、第六蓋板和第七蓋板上。
[0010]在其中一個實施例中，所述第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管上均設置有多個傘形噴咀。
[0011]在其中一個實施例中，所述第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管上均設置有壓力調節閥和壓力表。[0012]在其中一個實施例中，還包括設置于所述箱體中的機械臂，所述機械臂用于將待減薄玻璃放入第一淋洗槽，并從所述第一淋洗槽取出，依次放入所述第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽中。
[0013]在其中一個實施例中，所述箱體上還設有第一儲液槽、第二儲液槽、第三儲液槽、第四儲液槽、第五儲液槽、第六儲液槽和第七儲液槽，所述第一儲液槽與所述第一淋洗槽連通，所述第二儲液槽與所述第一刻蝕槽連通，所述第三儲液槽與所述第二刻蝕槽連通，所述第四儲液槽與所述第三刻蝕槽連通，所述第五儲液槽與所述第二淋洗槽連通，所述第六儲液槽與所述第三淋洗槽連通，所述第七儲液槽與所述第四淋洗槽連通。
[0014]一種玻璃減薄方法，包括如下步驟:
[0015]將待減薄玻璃放入上述玻璃減薄設備的第一淋洗槽中，通過所述第一噴淋管噴淋第一洗液對所述待減薄玻璃進行一次淋洗；
[0016]將經過一次淋洗的所述待減薄玻璃從所述第一淋洗槽中取出放入所述第一刻蝕槽中，通過所述第二噴淋管噴淋第一刻蝕液對所述待減薄玻璃進行一次刻蝕；
[0017]將經過一次刻蝕的所述待減薄玻璃從所述第一刻蝕槽中取出放入所述第二刻蝕槽中，通過所述第三噴淋管噴淋第二刻蝕液對所述待減薄玻璃進行二次刻蝕；
[0018]將經過二次刻蝕的所述待減薄玻璃從所述第二刻蝕槽中取出放入所述第三刻蝕槽中，通過所述第四噴淋管噴淋第三刻蝕液對所述待減薄玻璃進行三次刻蝕；
[0019]將經過三次刻蝕的所述待減薄玻璃從所述第三刻蝕槽中取出放入所述第二淋洗槽中，通過所述第五噴淋管噴淋第二洗液對所述待減薄玻璃進行二次淋洗；
[0020]將經過二次淋洗的所述待減薄玻璃從所述第二淋洗槽中取出放入所述第三淋洗槽中，通過所述第六噴淋管噴淋第三洗液對所述待減薄玻璃進行三次淋洗；
[0021]將經過三次淋洗的所述待減薄玻璃從所述第三淋洗槽中取出放入所述第四淋洗槽中，通過所述第七噴淋管噴淋第四洗液對所述待減薄玻璃進行四次淋洗；以及
[0022]將經過四次淋洗的所述待減薄玻璃從所述第四淋洗槽中取出放入所述干燥槽中進行干燥。
[0023]在其中一個實施例中，所述第一洗液、第二洗液和第四洗液為純水，所述第三洗液為堿液，所述第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液為氫氟酸。
[0024]在其中一個實施例中，所述第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的噴淋壓力為1.2kgf/cm2~1.8kgf/cm2。
[0025]使用上述玻璃減薄設備進行玻璃減薄時，待減薄玻璃依次經過第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽中，依次使用第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管對待減薄玻璃進行噴淋洗液和刻蝕液對待減薄玻璃進行淋洗和刻蝕，實現對待減薄玻璃的減薄。這種使用上述玻璃減薄設備進行的在不同的槽中進行噴淋洗滌和刻蝕的減薄方法能夠避免浸泡式減薄法中的反應產物粘附于玻璃上的問題，并且依次經過第一刻蝕槽、第二刻蝕槽和第三刻蝕槽的三次刻蝕，能夠避免浸泡式刻蝕不均勻的問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1為一實施方式的玻璃減薄設備的結構示意圖；[0027]圖2為圖1所示的玻璃減薄設備的剖去了部分箱體后的立體示意圖；
[0028]圖3為另一實施方式的玻璃減薄設備的結構示意圖；
[0029]圖4為一實施方式的玻璃減薄方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0030]為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的【具體實施方式】做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節以便于充分理解本發明。但是本發明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本發明內涵的情況下做類似改進，因此本發明不受下面公開的具體實施的限制。
[0031]請參閱圖1，一實施方式的玻璃減薄設備100，包括箱體20和設置于箱體20中的噴淋裝置。
[0032]箱體20為長方體。箱體20包括機架和外包于機架上的殼體(圖未示)。機架為不銹鋼支架，優選為SUS304方通支架。殼體的材料為聚丙烯。
[0033]箱體20中設有依次排列的第一淋洗槽21、第一刻蝕槽22、第二刻蝕槽23、第三刻蝕槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28。
[0034]為方便操作，第一淋洗槽21、第一刻蝕槽22、第二刻蝕槽23、第三刻蝕槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28中，相鄰的兩個槽緊靠設置，以便于操作。并且，第一淋洗槽21、第一刻蝕槽22、第二刻蝕槽23、第三刻蝕槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28呈直線式排列，便于待減薄玻璃在各個槽中運行。
[0035]第一淋洗槽21、第一刻蝕槽22、第二刻蝕槽23、第三刻蝕槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28中均設置有固定裝置，使玻璃可以立式放置于上述各個槽中。
[0036]具體地，第一淋洗槽21、第一刻蝕槽22、第二刻蝕槽23、第三刻蝕槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28由設置于箱體20中的多個聚丙烯板(PP板)圍成，以使槽體的耐腐蝕性能較好。
[0037]噴淋裝置包括第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47。
[0038]其中，第一噴淋管41位于第一淋洗槽21的上方，以使第一噴淋管41噴出的第一洗液對位于第一淋洗槽21中的待減薄玻璃進行一次淋洗。第二噴淋管42位于第一刻蝕槽22的上方，以使第二噴淋管42噴出的第一刻蝕液對位于第一刻蝕槽22中的待減薄玻璃進行一次刻蝕。第三噴淋管43位于第二刻蝕槽23的上方，以使第三噴淋管43噴出的第二刻蝕液對位于第二刻蝕槽23中的待減薄玻璃進行二次刻蝕。第四噴淋管44位于第三刻蝕槽24的上方，以使第四噴淋管44噴出的第二刻蝕液對位于第三刻蝕槽24中的待減薄玻璃進行三次刻蝕。第五噴淋管45位于第二淋洗槽25的上方，以使第五噴淋管45噴出的第二洗液對位于第二淋洗槽25中的待減薄玻璃進行二次淋洗。第六噴淋管46位于第三淋洗槽26的上方，以使第六噴淋管46噴 出的第三洗液對位于第三淋洗槽46中的待減薄玻璃進行三次淋洗。第七噴淋管47位于第四淋洗槽27的上方，以使第七噴淋管47噴出的第四洗液對位于第四淋洗槽27中的待減薄玻璃進行四次淋洗。[0039]干燥槽28用于對經過三次刻蝕和四次淋洗的待減薄玻璃進行干燥。
[0040]請一并參閱圖2，第一淋洗槽21上設置有可轉動的第一蓋板212。第一蓋板212設置于第一淋洗槽21的槽壁的遠離槽底的一端，當第一蓋板212轉動至某一角度時，第一蓋板212與槽底平行并密封第一淋洗槽21。第一噴淋管41設置于第一蓋板212上，當第一蓋板212密封第一淋洗槽21時，第一噴淋管41位于第一淋洗槽21的內部，并正對第一淋洗槽21的槽底。
[0041]第一刻蝕槽22上設置有可轉動的第二蓋板222。第二蓋板222設置于第一刻蝕槽22的槽壁的遠離槽底的一端，當第二蓋板222轉動至某一角度時，第二蓋板222與槽底平行并密封第一刻蝕槽22，圖2所示的狀態即為第二蓋板222密封第一刻蝕槽22的狀態。第二噴淋管42設置于第二蓋板222上，當第二蓋板222密封第一刻蝕槽22時，第二噴淋管42位于第一刻蝕槽22的內部，并正對第一刻蝕槽22的槽底。
[0042]第二刻蝕槽23上設置有可轉動的第三蓋板232。第三蓋板232設置于第二刻蝕槽23的槽壁的遠離槽底的一端，當第三蓋板232轉動至某一角度時，第三蓋板232與槽底平行并密封第二刻蝕槽23。第三噴淋管43設置于第三蓋板232上，當第三蓋板232密封第二刻蝕槽23時，第三噴淋管43位于第二刻蝕槽23的內部，并正對第二刻蝕槽23的槽底。
[0043]第三刻蝕槽24上設置有可轉動的第四蓋板242。第四蓋板242設置于第三刻蝕槽24的槽壁的遠離槽底的一端，當第四蓋板242轉動至某一角度時，第四蓋板242與槽底平行并密封第三刻蝕槽24，圖2所示的狀態即為第四蓋板242密封第三刻蝕槽24的狀態。第四噴淋管44設置于第四蓋板242上，當第四蓋板242密封第三刻蝕槽24時，第四噴淋管44位于第三刻蝕槽24的內部，并正對第三刻蝕槽24的槽底。
[0044]第二淋洗槽25上設置有可轉動的第五蓋板252。第五蓋板252設置于第二淋洗槽25的槽壁的遠離槽底的一端，當第五蓋板252轉動至某一角度時，第五蓋板252與槽底平行并密封第二淋洗槽25。第五噴淋管45設置于第五蓋板252上，當第五蓋板252密封第二淋洗槽25時，第五噴淋管45位于第二淋洗槽25的內部，并正對第二淋洗槽25的槽底。
`[0045]第三淋洗槽26上設置有可轉動的第六蓋板262。第六蓋板262設置于第三淋洗槽26的槽壁的遠離槽底的一端，當第六蓋板262轉動至某一角度時，第六蓋板262與槽底平行并密封第三淋洗槽26，圖2所示的狀態即為第六蓋板262密封第三淋洗槽26的狀態。第六噴淋管46設置于第六蓋板262上，當第六蓋板262密封第三淋洗槽26時，第六噴淋管46位于第三淋洗槽26的內部，并正對第三淋洗槽26的槽底。
[0046]第四淋洗槽27上設置有可轉動的第七蓋板272。第七蓋板272設置于第四淋洗槽27的槽壁的遠離槽底的一端，當第七蓋板272轉動至某一角度時，第七蓋板272與槽底平行并密封第四淋洗槽27。第七噴淋管47設置于第七蓋板272上，當第七蓋板272密封第四淋洗槽27時，第七噴淋管47位于第四淋洗槽27的內部，并正對第四淋洗槽27的槽底。
[0047]在一實施方式中，第一蓋板212、第二蓋板222、第三蓋板232、第四蓋板242、第五蓋板252、第六蓋板262、第七蓋板272的數量分別為二。兩個第一蓋板212分別設置于第一淋洗槽21的兩個相對的槽壁上。兩個第二蓋板222分別設置于第一刻蝕槽22的兩個相對的槽壁上。兩個第三蓋板232分別設置于第二刻蝕槽23的兩個相對的槽壁上。兩個第四蓋板243分別設置于第三刻蝕槽24的兩個相對的槽壁上。兩個第五蓋板252分別設置于第二淋洗槽25的兩個相對的槽壁上。兩個第六蓋板262分別設置于第三淋洗槽26的兩個相對的槽壁上。兩個第七蓋板272分別設置于第四淋洗槽27的兩個相對的槽壁上。
[0048]兩個第一蓋板212形成第一淋洗槽21的兩個對開門。兩個第二蓋板222形成第一刻蝕槽22的兩個對開門。兩個第三蓋板232形成第二刻蝕槽23的兩個對開門。兩個第四蓋板242形成第三刻蝕槽24的兩個對開門。兩個第五蓋板252形成第二淋洗槽25的兩個對開門。兩個第六蓋板262形成第三淋洗槽26的兩個對開門。兩個第七蓋板272形成第四淋洗槽27的兩個對開門。
[0049]優選地，第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47的數量分別為四。四個第一噴淋管41分別兩兩設置于兩個第一蓋板212上，四個第二噴淋管42分別兩兩設置于兩個第二蓋板222上，四個第三噴淋管43分別兩兩設置于兩個第三蓋板232上，四個第四噴淋管44分別兩兩設置于兩個第四蓋板242上，四個第五噴淋管45分別兩兩設置于兩個第五蓋板252上，四個第六噴淋管46分別兩兩設置于兩個第六蓋板262上，四個第七噴淋管47分別兩兩設置于兩個第七蓋板272上。
[0050]可以理解，在其他實施方式中，第一蓋板212、第二蓋板222、第二蓋板232、第四蓋板242、第五蓋板252、第六蓋板262、第七蓋板272的數量也可以為一，四個第一噴淋管41、四個第二噴淋管42、四個第三噴淋管43、四個第四噴淋管44、四個第五噴淋管45、四個第六噴淋管46和四個第七噴淋管47均分別設在于第一蓋板212、第二蓋板222、第三蓋板232、第四蓋板242、第五蓋板252、第六蓋板262和第七蓋板272上。
[0051]可以理解，在另外實施方式中，第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47的數量均不限于四個，可以為多個，例如五個、六個等。多個第一噴淋管41平行設置，多個第二噴淋管42平行設置，多個第三噴淋管43平行設置，多個第四噴淋管44平行設置，多個第五噴淋管45平行設置，多個第六噴淋管46平行設置，多個第七噴淋管47平行設置。
[0052]第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47上均開設`有多個噴孔，以便于對待減薄玻璃進行較好地淋洗和刻蝕。
[0053]請再次參閱圖1，優選地，箱體20中還設有第一儲液槽29、第二儲液槽210、第三儲液槽211、第四儲液槽212、第五儲液槽213、第六儲液槽214和第七儲液槽215。
[0054]第一儲液槽29用于儲存第一洗液,第二儲液槽210用于儲存第一刻蝕液,第三儲液槽211用于儲存第二刻蝕液，第四儲液槽212用于儲存第三刻蝕液，第五儲液槽213用于儲存第二洗液，第六儲液槽214用于儲存第三洗液,第七儲液槽215用于儲存第四洗液。
[0055]第一噴淋管41與第一儲液槽29連通，第二噴淋管42與第二儲液槽210連通，第三噴淋管43與第三儲液槽211連通，第四噴淋管44與第四儲液槽212連通，第五噴淋管45與第五儲液槽213連通，第六噴淋管46與第六儲液槽214連通，第七噴淋管47與第七儲液槽215連通。一個儲液槽對應一個噴淋管的方式，能夠隨時適應工藝調整的需求，當需要調整任一個噴淋管噴淋的液體時都能夠適用。
[0056]第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47上均設置有控制泵，分別用于控制相應的洗液或刻蝕液由相應的儲液槽流向相應的噴淋管。[0057]可以理解，在其他實施方式中，第一儲液槽29、第二儲液槽210、第三儲液槽211、第四儲液槽212、第五儲液槽213、第六儲液槽214和第七儲液槽215也可以設于箱體20的外部，例如均設于箱體20外部的另一個設備中，或者，單獨使用七個容器分別存放第一洗液、第一刻蝕液、第二刻蝕液、第三刻蝕液、第二洗液、第三洗液和第四洗液，只需能夠向第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47輸送相應的洗液和刻蝕液即可。
[0058]可以理解，在其他實施方式中，當第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液為同一種刻蝕液時，第二儲液槽210、第三儲液槽211和第四儲液槽212可以三合一，即僅使用一個第二儲液槽310存儲刻蝕液，用第一儲液槽39儲存第一洗液，用第三儲液槽313儲存第二洗液，用第四儲液槽314儲存第三洗液，用第五儲液槽315儲存第四洗液，如圖3所示。
[0059]優選地，通過第一控制閥控制第一刻蝕槽22與第二儲液槽210連通或不連通，且第一刻蝕槽22與第二儲液槽210之間設置有第一回流泵，以使第一刻蝕槽22中的第一刻蝕液能夠回流至第二儲液槽210中。通過第二控制閥控制第二刻蝕槽23與第三儲液槽211連通或不連通，且第二刻蝕槽23與第三儲液槽211之間設置有第二回流泵，以使第二刻蝕槽23中的第二刻蝕液能夠回流至第三儲液槽211中。通過第三控制閥控制第三刻蝕槽24與第四儲液槽212連通或不連通，且第三刻蝕槽24與第四儲液槽212之間設置有第三回流泵，以使第三刻蝕槽24中的第三刻蝕液能夠回流至第四儲液槽212中。通過第四控制閥控制第三淋洗槽26與第六儲液槽214連通或不連通，且第三淋洗槽26與第六儲液槽214之間設置有第四回流泵，以使第三洗液能夠回流至第六儲液槽214中。
[0060]上述第一控制閥、第一回流泵、第二控制閥、第二回流泵、第三控制閥、第三回流泵、第四控制閥和第四回流泵的設置，使第一刻蝕液、第二刻蝕液、第三刻蝕液和第三洗液能夠循環使用，節約成本，并能夠連續進行玻璃減薄。 [0061]優選地，第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47上均設置有多個傘形噴咀(也成為傘形噴頭或傘形噴嘴)(圖未示)，一個傘形噴咀對應一個噴孔。
[0062]使用傘形噴咀能夠使各種洗液和刻蝕液均以傘狀噴出，保證能夠噴射至待減薄玻璃的表面上。
[0063]優選地，第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47上均設置有壓力調節閥和壓力表(圖未示)，可以隨時調節和讀取調節第一洗液、第一刻蝕液、第二刻蝕液、第三刻蝕液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的壓力值。
[0064]使用上述玻璃減薄設備100時，待減薄玻璃依次經過第一淋洗槽21、第一刻蝕槽22、第二刻蝕槽23、第三刻蝕槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27中，依次使用第一噴淋管41、第二噴淋管42、第三噴淋管43、第四噴淋管44、第五噴淋管45、第六噴淋管46和第七噴淋管47對待減薄玻璃進行噴淋洗液和刻蝕液對待減薄玻璃進行淋洗和刻蝕，實現對待減薄玻璃的減薄，然后進入干燥槽28中干燥。這種使用上述玻璃減薄設備100在不同的槽中進行噴淋洗滌和刻蝕的減薄方法能夠避免浸泡式減薄法中的反應產物粘附于玻璃上的問題，并且依次經過第一刻蝕槽22、第二刻蝕槽23和第三刻蝕槽24的三次刻蝕，能夠避免浸泡式刻蝕不均勻的問題。[0065]請再次參閱圖1，優選地，玻璃減薄設備100還包括設置于箱體20中的機械臂60。機械臂60與驅動裝置連接(圖未示)，用于移動待減薄玻璃。優選地，驅動裝置為伺服電機，更優選為防腐蝕的伺服電機。
[0066]機械臂60運行的導軌為直線導軌，以和第一淋洗槽21、第一刻蝕槽22、第二刻蝕槽23、第三刻蝕槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28呈直線式排列相匹配，方便待減薄玻璃的傳送，并且直線導軌運行平穩，定位準確。
[0067]請再次參閱圖2，優選地，箱體20上設置有多個排風口 216，多個排風口 216與外部抽氣系統相連，以防止刻蝕液和洗液揮發到車間內，使操作環境不受刻蝕液和洗液的影響，提高操作的安全性。
[0068]優選地，箱體20上設置有透明推拉窗(圖未示)，可以通過透明推拉窗關口具體的操作情況，便于監控。透明推拉窗的材料優選為聚氯乙烯(PVC)，以兼具透明度高和耐腐蝕性好的優點。
[0069]更優選地，玻璃減薄設備100還包括PLC控制系統(圖未示)。PLC控制系統與各個控制閥、各個控制泵、各個回流泵和機械臂通訊連接，通過PLC控制系統控制各個控制閥開啟和關閉，控制各個控制泵、回流泵和機械臂的工作，實現自動化控制，提高效率。
[0070]請參閱圖4，一實施方式的玻璃減薄方法，該方法使用上述玻璃減薄設備100進行玻璃減薄，包括如下步驟。 [0071]步驟SllO:將待減薄玻璃放入上述玻璃減薄設備的第一淋洗槽中，通過第一噴淋管噴淋第一洗液對待減薄玻璃進行一次淋洗。
[0072]用機械臂60將待減薄玻璃放入上述玻璃減薄設備100的第一淋洗槽21中，使待減薄玻璃立式放置并固定于第一淋洗槽21中。關上兩個第一蓋板212，打開第一噴淋管41上的控制泵，使第一儲液槽29中的第一洗液流向第一噴淋管41，并從第一噴淋管41上的多個傘形噴咀噴至待減薄玻璃的表面上，對待減薄玻璃進行淋洗。
[0073]本實施方式中，第一洗液為純水，用于除去待減薄玻璃表面的灰塵。
[0074]步驟S120:將經過一次淋洗的待減薄玻璃從第一淋洗槽中取出放入第一刻蝕槽中，通過第二噴淋管噴淋第一刻蝕液對待減薄玻璃進行一次刻蝕。
[0075]用機械臂60將經過一次淋洗的待減薄玻璃從第一淋洗槽21中取出，并放置于第一刻蝕槽22中。關上兩個第二蓋板222，打開第二噴淋管42上的控制泵，使第二儲液槽210中的第一刻蝕液流向第二噴淋管42，并從第二噴淋管42上的多個傘形噴咀噴至待減薄玻璃的表面上，對待減薄玻璃進行一次刻蝕。
[0076]本實施方式中，第一刻蝕液為質量濃度為40%的氫氟酸溶液。
[0077]步驟S130:將經過一次刻蝕的待減薄玻璃從第一刻蝕槽中取出放入第二刻蝕槽中，通過第三噴淋管噴淋第二刻蝕液對待減薄玻璃進行二次刻蝕。
[0078]用機械臂60將經過一次刻蝕的待減薄玻璃從第一刻蝕槽22中取出，并放置于第二刻蝕槽23中。關上兩個第三蓋板232，打開第三噴淋管43上的控制泵，使第三儲液槽211中的第二刻蝕液流向第三噴淋管43，并從第三噴淋管43上的多個傘形噴咀噴至待減薄玻璃的表面上，對待減薄玻璃進行二次刻蝕。
[0079]本實施方式中，第二刻蝕液為質量濃度為40%的氫氟酸溶液。
[0080]步驟S140:將經過二次刻蝕的待減薄玻璃從第二刻蝕槽中取出放入第三刻蝕槽中，通過第四噴淋管噴淋第三刻蝕液對待減薄玻璃進行三次刻蝕。
[0081]用機械臂60將經過二次刻蝕的待減薄玻璃從第二刻蝕槽23中取出，并放置于第三刻蝕槽24中。關上兩個第四蓋板242，打開第四噴淋管44上的控制泵，使第四儲液槽212中的第三刻蝕液流向第四噴淋管44，并從第四噴淋管44上的多個傘形噴咀噴至待減薄玻璃的表面上，對待減薄玻璃進行三次刻蝕。
[0082]本實施方式中，第三刻蝕液為質量濃度為40%的氫氟酸溶液。
[0083]步驟S150:將經過三次刻蝕的待減薄玻璃從第三刻蝕槽中取出放入第二淋洗槽中，通過第五噴淋管噴淋第二洗液對待減薄玻璃進行二次淋洗。
[0084]用機械臂60將經過三次刻蝕的待減薄玻璃從第三刻蝕槽24中取出，并放置于第二淋洗槽25中。關上兩個第五蓋板252，打開第五噴淋管45上的控制泵，使第五儲液槽213中的第二洗液流向第五噴淋管45，并從第五噴淋管45上的多個傘形噴咀噴至待減薄玻璃的表面上，對待減薄玻璃進行二次淋洗。
[0085]本實施方式中，第二洗液為純水，對待減薄玻璃進行二次淋洗以除去經過三次刻蝕的待減薄玻璃表面的刻蝕液和刻蝕產生的多余產物。
[0086]步驟S160:將經過二次淋洗的待減薄玻璃從第二淋洗槽中取出放入第三淋洗槽中，通過第六噴淋管噴淋第三洗液對待減薄玻璃進行三次淋洗。
[0087]用機械臂60將經過二次淋洗的待減薄玻璃從第二淋洗槽25中取出，并放置于第三淋洗槽26中。關上兩個第六蓋板262，打開第六噴淋管46上的控制泵,使第六儲液槽214中的第三洗液流向第六噴淋管46，并從第六噴淋管46上的多個傘形噴咀噴至待減薄玻璃的表面上，對待減薄玻璃進行三次淋洗。
[0088]本實施方式中,第三洗液為質量濃度為5%的氫氧化鈉的水溶液。用氫氧化鈉的水溶液對待減薄玻璃進行三次淋洗，以除去純水無法沖走的油污等附著物。
`[0089]步驟S170:將經過三次淋洗的待減薄玻璃從第三淋洗槽中取出放入第四淋洗槽中，通過第七噴淋管噴淋第四洗液對待減薄玻璃進行四次淋洗。
[0090]用機械臂60將經過三次淋洗的待減薄玻璃從第三淋洗槽26中取出，并設置于第四淋洗槽27中。關上兩個第七蓋板272，打開第七噴淋管47上的控制泵，使第七儲液槽215中的第四洗液流向第七噴淋管47，并從第七噴淋管47上的多個傘形噴咀噴至待減薄玻璃的表面上，對待減薄玻璃進行四次淋洗。
[0091]本實施方式中，第二洗液為純水，對待減薄玻璃進行四次淋洗以除去經過三次淋洗的待減薄玻璃表面的堿和多余的產物。
[0092]步驟S180:將經過四次淋洗的待減薄玻璃從第四淋洗槽中取出放入干燥槽中進行干燥。
[0093]用機械臂60將經過四次淋洗的待減薄玻璃從第四淋洗槽27中取出，并設置于干燥槽28中進行干燥。本實施方式中，干燥的方法為用冷風吹干。
[0094]上述玻璃減薄方法使用上述玻璃減薄設備100進行減薄，經過一次淋洗的待減薄玻璃依次進行一次刻蝕、二次刻蝕和三次刻蝕后，再依次經過二次淋洗、三次淋洗和四次淋洗除去經過三次刻蝕后的待減薄玻璃表面的可能粘附的多余反應產物和刻蝕液，并進行干燥得到減薄后的玻璃。該方法相比于傳統的浸泡式減薄法，由于采用噴淋法并依次進行一次、二次和三次刻蝕，能夠避免浸泡式減薄法中的反應產物粘附于玻璃上及刻蝕不均勻的問題。
[0095]上述玻璃減薄方法可以很好的控制玻璃薄化后的厚度，凹凸點可以控制在0.08MM以內，表面效果好，無需后期拋光處理，有利于降低制備成本。
[0096]優選地，第一洗液、第一刻蝕液、第二刻蝕液、第三刻蝕液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的壓力為1.2kgf/cm2~1.8kgf/cm2,更優選為1.5kgf/cm2。在1.2kgf/cm2~
1.8kgf/cm2的壓力下，以保證能夠將玻璃上的附著物沖洗下來和對玻璃進行刻蝕而實現減薄，且又不至于壓力過大而損傷玻璃。
[0097]優選地，第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的噴淋時間為800秒~1200秒，更優選為1000秒。在800秒~1200秒內進行刻蝕，能夠較好地控制玻璃的厚度和控制凹凸
點較小。[0098]優選地，第一洗液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的噴淋時間為120秒。
[0099]以下為具體實施例。
[0100]實施例1
[0101]第一洗液、第二洗液和第四洗液為純水,第三洗液為質量濃度為5%的氫氧化鈉的水溶液，第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液均為質量濃度為40%的氫氟酸。
[0102]第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的壓力為1.5kgf/cm2，第一洗液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的噴淋時間均為120秒，第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的噴淋時間均為1000秒。
[0103]實施例2
[0104]第一洗液、第二洗液和第四洗液為純水,第三洗液為質量濃度為5%的氫氧化鈉的水溶液，第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液均為質量濃度為40%的氫氟酸。
[0105]第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的壓力為1.8kgf/cm2，第一洗液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的噴淋時間均為120秒，第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的噴淋時間均為1200秒。
[0106]實施例3
[0107]第一洗液、第二洗液和第四洗液為純水,第三洗液為質量濃度為5%的氫氧化鈉的水溶液，第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液均為質量濃度為40%的氫氟酸。
[0108]第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的壓力為1.2kgf/cm2，第一洗液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的噴淋時間均為120秒，第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的噴淋時間均為800秒。
[0109]用游標卡尺測定實施例1、實施例2和實施例3的減薄后的玻璃的表面的凹凸點，凹凸點均控制在0.08MM以內，表面效果好，無需后期拋光處理。
[0110]以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【權利要求】
1.一種玻璃減薄設備，其特征在于，包括箱體和設置于所述箱體中的噴淋裝置，所述箱體中設有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽，所述噴淋裝置包括分別位于所述第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管。
2.根據權利要求1所述的玻璃減薄設備，其特征在于，所述第一淋洗槽上設置有可轉動的第一蓋板，所述第一刻蝕槽上設置有可轉動的第二蓋板，所述第二刻蝕槽上設置有可轉動的第三蓋板，所述第三刻蝕槽上設置有可轉動的第四蓋板，所述第二淋洗槽上設置有可轉動的第五蓋板，所述第三淋洗槽上設置有可轉動的第六蓋板，所述第四淋洗槽上設置有可轉動的第七蓋板，所述第一蓋板、第二蓋板、第三蓋板、第四蓋板、第五蓋板、第六蓋板和第七蓋板可轉動至某一方向而分別密封所述第一淋洗槽、第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽。
3.根據權利要求2所述的玻璃減薄設備，其特征在于，所述第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管分別設置于所述第一蓋板、第二蓋板、第二蓋板、第四蓋板、第五蓋板、第六蓋板和第七蓋板上。
4.根據權利要求1所述的玻璃減薄設備，其特征在于，所述第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管上均設置有多個傘形噴咀。
5.根據權利要求1所述的玻璃減薄設備，其特征在于，所述第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管、第四噴淋管、第五噴淋管、第六噴淋管和第七噴淋管上均設置有壓力調節閥和壓力表。
6.根據權利要求1所述的玻璃減薄設備，其特征在于，還包括設置于所述箱體中的機械臂，所述機械臂用于將待減薄玻璃放入第一淋洗槽，并從所述第一淋洗槽取出，依次放入所述第一刻蝕槽、第二刻蝕槽、第三刻蝕槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽中。
7.根據權利要求1所述的玻璃減薄設備，其特征在于，所述箱體上還設有第一儲液槽、第二儲液槽、第三儲液槽、第四儲液槽、第五儲液槽、第六儲液槽和第七儲液槽，所述第一儲液槽與所述第一淋洗槽連通，所述第二儲液槽與所述第一刻蝕槽連通，所述第三儲液槽與所述第二刻蝕槽連通，所述第四儲液槽與所述第三刻蝕槽連通，所述第五儲液槽與所述第二淋洗槽連通，所述第六儲液槽與所述第三淋洗槽連通，所述第七儲液槽與所述第四淋洗槽連通。
8.一種玻璃減薄方法，其特征在于，包括如下步驟: 將待減薄玻璃放入如權利要求1~7任一項所述的玻璃減薄設備的第一淋洗槽中，通過所述第一噴淋管噴淋第一洗液對所述待減薄玻璃進行一次淋洗； 將經過一次淋洗的所述待減薄玻璃從所述第一淋洗槽中取出放入所述第一刻蝕槽中，通過所述第二噴淋管噴淋第一刻蝕液對所述待減薄玻璃進行一次刻蝕； 將經過一次刻蝕的所述待減薄玻璃從所述第一刻蝕槽中取出放入所述第二刻蝕槽中，通過所述第三噴淋管噴淋第二刻蝕液對所述待減薄玻璃進行二次刻蝕； 將經過二次刻蝕的所述待減薄玻璃從所述第二刻蝕槽中取出放入所述第三刻蝕槽中，通過所述第四噴淋管噴淋第三刻蝕液對所述待減薄玻璃進行三次刻蝕； 將經過三次刻蝕的所述待減薄玻璃從所述第三刻蝕槽中取出放入所述第二淋洗槽中，通過所述第五噴淋管噴淋第二洗液對所述待減薄玻璃進行二次淋洗； 將經過二次淋洗的所述待減薄玻璃從所述第二淋洗槽中取出放入所述第三淋洗槽中，通過所述第六噴淋管噴淋第三洗液對所述待減薄玻璃進行三次淋洗； 將經過三次淋洗的所述待減薄玻璃從所述第三淋洗槽中取出放入所述第四淋洗槽中，通過所述第七噴淋管噴淋第四洗液對所述待減薄玻璃進行四次淋洗；以及 將經過四次淋洗的所述待減薄玻璃從所述第四淋洗槽中取出放入所述干燥槽中進行干燥。
9.根據權利要求8所述的玻璃減薄方法，其特征在于，所述第一洗液、第二洗液和第四洗液為純水，所述第三洗液為堿液，所述第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液為氫氟酸。
10.根據權利要求8所述的玻璃減薄方法，其特征在于，所述第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蝕液、第二刻蝕液和第三刻蝕液的噴淋壓力為1.2kgf/cm2~.1.8kgf/cm2。
【文檔編號】C03C15/00GK103880295SQ201410066425
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2014年2月26日 優先權日:2014年2月26日
【發明者】張迅, 陽威, 歐陽小園, 易偉華 申請人:江西沃格光電股份有限公司