一種帶有刻度的壓靶模具的制作方法
【專利摘要】針對(duì)靶材壓制過程中的厚度控制問題，本實(shí)用新型提供一種帶有刻度的壓靶模具，包括模具套、下模具、上模具、上模具桿、刻度尺，其中，上模具和下模具安裝在模具套的中心孔內(nèi)，且上模具的上模具桿上安裝有刻度尺。本實(shí)用新型在上模具的上模具桿上安裝有刻度尺，能夠保證每次壓制得到的靶材具有相同的厚度，保證了生產(chǎn)上對(duì)厚度的一致性要求。
【專利說明】 一種帶有刻度的壓靶模具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及模具領(lǐng)域，尤其是涉及到一種帶有刻度的壓靶模具。
【背景技術(shù)】
[0002]使用脈沖激光沉積、磁控濺射等設(shè)備制備氧化物、陶瓷薄膜的時(shí)候都需要靶材。一般來說，氧化物、陶瓷靶材是通過粉末壓制而成。壓制靶材的過程是將粉末放入模具內(nèi)進(jìn)行壓制。在工業(yè)化生產(chǎn)靶材的時(shí)候，靶材的厚度要求是一定的，如何保證壓制靶材的厚度均勻性是關(guān)鍵問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]針對(duì)靶材壓制過程中的厚度控制問題，本實(shí)用新型提供一種帶有刻度的壓靶模具，能夠保證每次壓制得到的靶材具有相同的厚度，保證了生產(chǎn)上對(duì)厚度的一致性要求。本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案為，一種帶有刻度的壓靶模具，包括模具套、下模具、上模具、上模具桿、刻度尺，其中，上模具和下模具安裝在模具套的中心孔內(nèi)，且上模具的上模具桿上安裝有刻度尺。
[0004]本實(shí)用新型在上模具的上模具桿上安裝有刻度尺，能夠保證每次壓制得到的靶材具有相同的厚度，保證了生產(chǎn)上對(duì)厚度的一致性要求。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0005]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0006]圖中:1模具套、2下模具、3上模具、4上模具桿、5刻度尺。
【具體實(shí)施方式】
[0007]以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0008]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，模具套1、下模具2、上模具3、上模具桿4、刻度尺5，其中，上模具3和下模具2安裝在模具套I的中心孔內(nèi)，且上模具3的上模具桿4上安裝有刻度尺5。本實(shí)用新型在上模具3的上模具桿4上安裝有刻度尺5，能夠保證每次壓制得到的靶材具有相同的厚度，保證了生產(chǎn)上對(duì)厚度的一致性要求。
[0009]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1.一種帶有刻度的壓靶模具，包括模具套、下模具、上模具、上模具桿、刻度尺，其特征在于:所述的上模具和下模具安裝在模具套的中心孔內(nèi)，且上模具的上模具桿上安裝有刻度尺。
【文檔編號(hào)】B28B7/02GK203566825SQ201320322140
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年5月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月20日
【發(fā)明者】舒?zhèn)c 申請人:舒?zhèn)c